CN202193337U

CN202193337U - 气密光罩盒构造

Info

Publication number: CN202193337U
Application number: CN2011202872158U
Authority: CN
Inventors: 陈明生
Original assignee: Individual
Current assignee: JIADENG PRECISE INDUSTRY Co Ltd
Priority date: 2011-08-09
Filing date: 2011-08-09
Publication date: 2012-04-18
Anticipated expiration: 2021-08-09

Abstract

本实用新型涉及一种气密光罩盒构造，特别是指一种密封性佳、且可防止微粒侵入的气密光罩盒构造，其是由可相对盖合的一本体与一盖体所组成，且本体与盖体之间形成有一容置光罩的空间，本实用新型的特色在于本体与盖体的至少其中之一，在两者相对盖合的其中一接合表面上设有一道软质的弹性密合件，通过本实用新型的设计，可借由软质的弹性密合件使光罩盒的本体与盖体的接合表面产生较佳的贴合性与气密性，如此可有效防止外部微粒、水气或有害物质侵入光罩盒内部，以提升光罩储存时的洁净度，可避免光罩表面因微粒、水气或有害物质附着而破坏表面图案，而能用于保存或运输光罩。

Description

气密光罩盒构造

技术领域

本实用新型有关一种用于保存与运输光罩的光罩盒，具体而言是指一种密封效果佳的气密光罩盒构造。

背景技术

近年来电子产品不断朝向轻薄短小、高频、高效能等特性发展，而欲满足这个产品发展的方向，用于电子产品中的核心半导体元件或液晶显示元件的芯片就需微小化与具有高效能，而欲使芯片微小化与具高效能，则需使芯片上的集成电路线径微细化，因此现有的集成电路线径已由早期的0.25微米发展至90～45纳米，而芯片上集成电路线径的微细化的成败主要在于半导体工艺中的黄光微影工艺技术，而其关键设备是在于光罩。

由于光罩在作业环境中，存在有不少的微粒、水气、气体、化学溶剂分子等有害物质，这些有害物质会附着于光罩表面，且在经长时间储存或晶圆曝光工艺的加热后，会于光罩表面产生微粒附着、结晶、又或雾化等现象，而直接影响到光罩在黄光微影工艺中的透光率，进而使光罩上的图形失真，其会造成半导体元件或液晶显示元件良率降低，且增加清理与改善的时间，造成生产量降低，相对上也会提高营运的成本。

因此，光罩在保存或运送时，用于收纳的光罩盒需能有效防止微粒侵入，以避免光罩表面附着尘埃。而现有光罩盒是由可相对开盖合的本体与盖体所组成，且本体与盖体之间形成有一可容置光罩的容置空间，由于光罩盒在收纳光罩时因时间长、或因运输过程中的气压变化，使微粒或水气可能从本体与盖体相对盖合的接缝表面的间隙侵入，进而附着于光罩表面，为此，当需要长时间存放或运输时，会于该光罩盒的本体与盖体的接缝处的环状周缘粘着有一胶带，借以提高其密封性，但其因本体与盖体后侧枢轴结构呈凸出状，且前侧可用于选择性扣固本体与盖体的嵌扣结构也呈凸出状，而造成胶带无法贴合于本体与盖体接缝的周缘表面，进而影响到本体与盖体的气密性。

为此，如日本专利特开平2001-301877可见光罩盒于本体与盖体的接缝相互套合，并于本体与盖体之间插入以硬质塑料材料一体成形的轴片，使之可以固定，且将轴片的各翼部插入形成于本体与盖体的接缝缘部的安装沟孔内，使本体与盖体接合时，该本体与盖体及轴片的外表面成平滑地形成本体与盖体及轴片的光罩盒。

另，如中国台湾专利公告第I221824号的光罩盒具有本体与关闭本体开口部的盖体，本体与盖体在其一边以轴片形状开合自在地连接，在相对的另一边部分可将盖体闭锁及解除闭锁，其特征在于可闭锁及解除闭锁的闭锁机构是于本体与盖体的接缝的内部方向设凹部，同时在该凹部内设可动的关闭滑板，借由使该关闭滑板于该凹部内可动使之具有可将盖体闭锁及解除闭锁的闭锁机构，使光罩盒的该侧面部分成平面状态。

前述专利均在于提高胶带与光罩盒接缝处的贴合面积，减少因高低表面产生的未贴合现象，但其仍然需要在光罩盒的接缝周缘粘贴胶带，增加作业时间与成本；况且其并未消除光罩盒的本体与盖体接缝表面间的间隙，因此一旦胶带未粘贴完善，或因长时间存放与外力等因素，而造成胶带剥离时，环境中的微粒、水气或有害物质仍会侵入光罩盒内部，无法确保内部光罩的洁净度；最后，使用者更需要花时间去除光罩盒的胶带，如未能有效清理干净，将影响到该光罩盒之后的密封效果，进而缩短或减少该光罩盒的使用寿命或次数。

换言之，如能直接提升光罩盒的本体与盖体间的接缝处密封效果，不仅可克服前述的问题与不便，同时可确保光罩在收纳时的洁净度，且能增加光罩管理的便利性，进一步可提升生产的良品率、增加产量与降低成本。

实用新型内容

因此，本实用新型的主要目的在提供一种能确保光罩表面的洁净度、且密封效果佳的气密光罩盒构造。

又，本实用新型的另一主要目的系在提供一种自身密合性佳的气密光罩盒构造，借以减少不必要的黏贴胶带与清理工具，而能有效节省其作业时间与成本，进一步可延长或增加光罩盒的使用寿命与次数。

为达到上述目的，本实用新型主要是通过下列的技术手段来具体实现前述的目的与效能；一种气密光罩盒构造，其包含有一开口向上的本体及一开口向下的盖体，且本体与盖体选择性相对盖合形成一容置光罩的存放空间；

其中本体与盖体在盖合的接缝处分别形成有一相对的开口周缘，且本体与盖体的开口周缘分别具有一相互嵌套接合的嵌接部，又本体与盖体至少其中之一的嵌接部在相对接合表面上具有一道完整环绕光罩盒接缝处的环状弹性密合件。

所述本体与所述盖体的材质选自金属或塑料。

所述弹性密合件以射出溶合方式形成于所述本体的嵌接部对应所述盖体的嵌接部的顶缘接合表面上。

所述本体的嵌接部在相对所述盖体的嵌接部的其中至少一个接合表面形成有一道扣环槽，而环状的所述弹性密合件具有对应该扣环槽的压接部，所述弹性密合件通过该压接部与该扣环槽接合于所述本体的嵌接部上。

所述本体的嵌接部上形成有一嵌扣部，而环状的所述弹性密合件具有对应该嵌扣部的嵌套部，所述弹性密合件通过该嵌套部套接于所述本体的嵌扣部上。

所述本体上的弹性密合件是由软质、且具弹性回复预力的塑料材质所制成。

所述弹性密合件选自橡胶、硅胶或热塑性弹性体。

所述本体选自丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物，而所述弹性密合件选自能与其破坏性溶合的人工胶。

所述本体与所述盖体的内部周缘任意处设有两片以上肋片，且所述本体与所述盖体的外侧表面另具有两个以上能防止所述本体与盖体变形的上下沿伸的相对边肋。

所述本体与所述盖体的内部在对应光罩的角落边缘分设有一相对错位的限压件，该限压件的自由端具有一能承接或压掣光罩上下表面的承压部，又该限压件进一步在该承压部一侧凸伸有一能贴抵光罩侧边表面的推抵部。

借此，通过前述技术手段的展现，让本实用新型的光罩盒可借由软质的弹性密合件的设计，使其能吸收本体与盖体的接合表面的间隙，而能提升自身的密封效果，可有效防止外部微粒、水气或有害物质侵入光罩盒内部，进一步提高光罩收纳时的洁净度，可避免光罩表面因微粒、水气或有害物质附着而受到污染，故可提升其附加价值，并可提高其经济效益。

附图说明

图1为本实用新型光罩盒构造的展开示意图，其说明各组件的形态及其相对关系；

图2为本实用新型光罩盒构造盖合时的示意图；

图3为本实用新型光罩盒构造的局部放大示意图；

图4为本实用新型光罩盒构造的剖面示意图；

图5为本实用新型光罩盒构造的局部剖面放大示意图；

图6为本实用新型光罩盒构造另一实施例的局部剖面放大示意图；

图7为本实用新型光罩盒构造再一实施例的局部剖面放大示意图。

附图标记说明

10 本体 100 边肋

11 开口周缘 12 嵌接部

120 扣环槽 122 嵌扣部

13 接轴部 14 滑条

15 扣块 16 肋片

17 限压件 18 承压部

19 推抵部 20 盖体

200 边肋 21 开口周缘

22 嵌接部 23 接轴部

24 扣条 26 肋片

27 限压件 28 承压部

29 推抵部 30 弹性密合件

35 弹性密合件 36 压接部

40 弹性密合件 42 嵌套部

50 光罩

具体实施方式

为进一步了解本实用新型的构成、特征及其它目的，以下举本实用新型的若干较佳实施例，并配合附图详细说明如后，同时让熟悉该项技术领域者能够具体实施。

本实用新型是一种供收纳、保存运送用于制造半导体元件或液晶显示元件等的光罩的气密光罩盒构造，随附图例示的本实用新型光罩盒的具体实施例及其构件中，所有关于前与后、左与右、顶部与底部、上部与下部、以及水平与垂直的参考，仅用于方便进行描述，并非限制本实用新型，也并非将其构件限制于任何位置或空间方向。附图与说明书中所指定的尺寸，当可在不离开本实用新型的权利要求范围内，根据本实用新型的具体实施例的设计与需求而进行变化。

请参照图1、2及4所示，本实用新型气密光罩盒构造包含有一开口向上的本体10及一开口向下的盖体20，其中本体10与盖体20可选择性相对盖合形成一容置光罩50的存放空间，且该本体10与盖体20的材质可选自金属或塑料，本实用新型是以硬质的ABS塑料(苯乙烯、丙烯腈和丁二烯乳浆共聚合而成)为主要实施例。

而关于本实用新型较佳实施例的详细构成，则仍请参看图1、2、3及4所示，其中本体10与盖体20在盖合的接缝处分别形成有一相对的开口周缘11、21，且本体10与盖体20的开口周缘11、21分别具有一突出状的嵌接部12、22，嵌接部12、22呈相对错位状，使本体10与盖体20盖合时可借由该两嵌接部12、22相互嵌套接合，并令本体10与盖体20于接缝处的内外表面呈平齐状(且前述本体10与盖体20的嵌接部也可互换)，又本体10与盖体20至少其中之一的嵌接部12、22于至少其中一相对接合表面上具有一道完整环绕光罩盒接缝处的环状弹性密合件30，该弹性密合件30是由软质、且具弹性回复预力的塑料材质所制成，该弹性密合件30可选自如橡胶、硅胶、人工胶、TPV(Thermoplastic Vulcanizate，热塑性硫化橡胶)、TPE(Thermoplastic Elastomer，热塑性弹性体)或TPEE(热塑性聚酯弹性体)等等，本实用新型选自可与本体10与盖体20的ABS塑料(Acrylonitrile Butadiene Styrene，丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物)进行破坏性溶合的人工胶(如和泰股份有限公司生产的

HA系列产品)，而另外配合参看图5所示，本实用新型的较佳实施例是将该弹性密合件30以射出溶合方式形成于本体10的嵌接部12对应盖体20嵌接部22的顶缘接合表面上(其也可为粘合或嵌卡，如图6、7的实施例，后面会有说明)，且前述盖体20盖合于本体10上时，盖体20的嵌接部22相对接合表面适可紧压该弹性密合件30变形，以完全消除本体10与盖体20盖合时接缝处接合表面的间隙，达到防止微粒、水气或有害物质侵入光罩盒的目的。

又本体10与盖体20在一侧边上形成有相对的接轴部13、23，使本体10与盖体20可利用接轴部13、23相对枢接、且能相对枢转启闭，再者该接轴部13、23可形成突出于光罩盒侧边的外部或内部。另本体10与盖体20异于接轴部13、23的侧边分别形成有相对交错的一滑条14与一扣条24，其中滑条14上滑设有一扣块15，该扣块15可在本体10与盖体20相对盖合时滑扣于扣条24上，使光罩盒的本体10与盖体20产生闭锁的效果，令盖体20无法被掀起，且当扣块15滑离扣条24时，可产生释放的效果，使盖体20可相对本体10掀开，而开启该光罩盒。

再者本体10与盖体20的内部周缘任意处设有两片以上肋片16、26，其能防止本体10与盖体20变形，且本体10与盖体20的外侧表面另具有两个以上上下延伸的相对边肋100、200，其能进一步确保本体10与盖体20的外形，借此可防止本体10与盖体20相对嵌套的嵌接部12、22产生偏移，以确保弹性密合件30消除间隙的效能，并能提高本体10与盖体20的结构强度。更特别的是本体10与盖体20的内部在对应光罩50的四个角落边缘分设有一相对错位的限压件17、27，限压件17、27的自由端具有一能承接或压掣光罩50上下表面的承压部18、28，又限压件17、27进一步于承压部18、28一侧凸伸有一可贴抵光罩50侧边表面的推抵部19、29，使本体10与盖体20相对盖合时，可利用限压件17、27将光罩50限制定位于光罩盒内部，且通过承压部18、28与推抵部19、29能产生定位与压掣作用，防止光罩50在光罩盒因偏移或晃动而产生静电，可避免微粒、水气或有害物质因静电而附着于光罩50或各限压件17、27的接触表面。

借此，光罩盒的本体10与盖体20在盖合的接缝处，可利用弹性密合件30产生密封效果，以避免微粒、水气或有害物质侵入，而组构成一可收纳、保存运输光罩50的气密光罩盒构造，且可将前述本体10作为盖体、而盖体20作为本体，其也可达到相同功能。

经由上述的说明，本实用新型在实际运用时，则如图1、图2及图4所揭示，当使用者欲将光罩50收纳于光罩盒内时，将盖体20向上相对本体10掀开，且将光罩50置于本体10的限压件17上，并利用限压件17的承压部18与推抵部19相对光罩50顶撑及定位，接着将盖体20向下相对本体10盖合，使盖体20可利用其限压件27的承压部28与推抵部29相对光罩50压掣及定位，令光罩50完全夹限于光罩盒的本体10与盖体20之间。

且本体10与盖体20在盖合时，由于本体10开口周缘11的嵌接部12具有弹性密合件30，因此当盖体20利用嵌接部22相对盖合时，盖体20可利用嵌接部22的接合表面紧压该设于本体10嵌接部12上的弹性密合件30产生具弹性回复预力的变形，其能完全消除本体10与盖体20在盖合时相对接合表面的间隙，使光罩盒本身具有极佳的密封效果，而达到防止微粒、水气或有害物质侵入光罩盒的目的，以确保光罩盒内光罩50的洁净度。同时由于本体10与盖体20相对盖合时，可利用限压件17、27将光罩50完全夹限定位，故可防止光罩50在光罩盒因偏移或晃动而产生静电，而具有避免微粒、水气或有害物质因静电而附着于光罩50或各限压件17、27接触表面的效果。

又本实用新型另有一实施例，其如图6所示，该光罩盒的本体10嵌接部12在相对盖体20嵌接部22的其中至少一接合表面形成有一道扣环槽120，而环状的弹性密合件35具有对应该扣环槽120的压接部36，使弹性密合件35能通过压接部36与扣环槽120接合于本体10嵌接部12上，且前述盖体20盖合于本体10上时，盖体20的嵌接部22相对接合表面适可紧压该弹性密合件35变形，以完全消除本体10与盖体20盖合时接缝处接合表面的间隙，达到防止微粒、水气或有害物质侵入光罩盒的目的，其一样能具有前述的优点与实用价值。

再者，该弹性密合件40并另有一实施例，其如图7所示，该光罩盒的本体10嵌接部12上形成有一较小的嵌扣部122，而环状的弹性密合件40具有对应该嵌扣部122的“冂”形嵌套部42，使弹性密合件40能通过嵌套部42套接于本体10的嵌扣部122上，且弹性密合件40并至少对应本体10与盖体20的嵌接部12、22接缝处的其中之一接合表面，如此当盖体20盖合于本体10上时，盖体20的嵌接部22接合表面可紧压该弹性密合件40变形，以消除本体10与盖体20盖合时接缝处的间隙，其一样具有本实用新型前述防止微粒、水气或有害物质侵入的效果。

经由前述技术手段的实现，使得本实用新型至少具有下列的效能与功效增进：

1、通过本实用新型光罩盒的弹性密合件30设计，使光罩盒本身可产生较佳的密封效果，而能消除本体10与盖体20接缝处的间隙，故不论是长时间存放或于气压变化较大的环境中运输，均能有效防止微粒、水气或有害物质侵入光罩盒，以确保光罩盒内光罩50的洁净度，进而提高工艺良品率。

2、由于本实用新型的光罩盒的本体10与盖体20相对盖合时，可利用限压件17、27将光罩50限制定位于光罩盒内部，且通过承压部18、28与推抵部19、29的定位与压掣作用，可避免光罩50在光罩盒内任意偏移或晃动，防止因摩擦而产生静电，故可有效避免微粒、水气或有害物质因静电而附着于光罩50的接触表面。

3、且本实用新型的光罩盒的本体10与盖体20相对盖合时，利用其弹性密合件30的气密作用，而有有效防止水气侵入，减少光罩50表面积聚水气形成雾霾的机会，如此可消除、最小化或充分地控制雾霾形成与环境调整，减少光罩50清洗的次数，以降低生产的成本。

4、又本实用新型的光罩盒因本身即具有极佳的密封效果，因此在长时间存放或运输时，不需要使用胶带来粘贴本体10与盖体20间的接缝，而能减少不必要的粘贴与清理工作，除能节省人力、时间与成本外，更能延长或增加光罩盒的使用寿命或次数，可有效提升其经济效益。

Claims

1.一种气密光罩盒构造，其包含有一开口向上的本体及一开口向下的盖体，且该本体与盖体选择性相对盖合形成一容置光罩的存放空间；

其特征在于，所述本体与所述盖体在盖合的接缝处分别形成有一相对的开口周缘，且所述本体与所述盖体的开口周缘分别具有一相互嵌套接合的嵌接部，又所述本体与盖体至少其中之一的嵌接部在相对接合表面上具有一道完整环绕光罩盒接缝处的环状弹性密合件。

2.依权利要求1所述的气密光罩盒构造，其特征在于，所述本体与所述盖体的材质选自金属或塑料。

3.依权利要求1所述的气密光罩盒构造，其特征在于，所述弹性密合件以射出溶合方式形成于所述本体的嵌接部对应所述盖体的嵌接部的顶缘接合表面上。

4.依权利要求1所述的气密光罩盒构造，其特征在于，所述本体的嵌接部在相对所述盖体的嵌接部的其中至少一个接合表面形成有一道扣环槽，而环状的所述弹性密合件具有对应该扣环槽的压接部，所述弹性密合件通过该压接部与该扣环槽接合于所述本体的嵌接部上。

5.依权利要求1所述的气密光罩盒构造，其特征在于，所述本体的嵌接部上形成有一嵌扣部，而环状的所述弹性密合件具有对应该嵌扣部的嵌套部，所述弹性密合件通过该嵌套部套接于所述本体的嵌扣部上。

6.依权利要求1或3或4或5所述的气密光罩盒构造，其特征在于，所述本体上的弹性密合件是由软质、且具弹性回复预力的塑料材质所制成。

7.依权利要求6所述的气密光罩盒构造，其特征在于，所述弹性密合件选自橡胶、硅胶或热塑性弹性体。

8.依权利要求6所述的气密光罩盒构造，其特征在于，所述本体选自苯乙烯、丙烯腈和丁二烯乳浆共聚物，而所述弹性密合件选自能与其破坏性溶合的人工胶。

9.依权利要求1所述的气密光罩盒构造，其特征在于，所述本体与所述盖体的内部周缘任意处设有两片以上肋片，且所述本体与所述盖体的外侧表面另具有两个以上能防止所述本体与盖体变形的上下沿伸的相对边肋。

10.依权利要求1所述的气密光罩盒构造，其特征在于，所述本体与所述盖体的内部在对应光罩的角落边缘分设有一相对错位的限压件，该限压件的自由端具有一能承接或压掣光罩上下表面的承压部，又该限压件进一步在该承压部一侧凸伸有一能贴抵光罩侧边表面的推抵部。