JP4898740B2 - バルブ機構及び基板収納容器 - Google Patents
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Description
保持筒、中蓋筒、及び固定筒をそれぞれ樹脂含有の成形材料により構成し、中蓋筒の表面を部分的に開口させるとともに、保持筒と中蓋筒の部分的に開口した表面間にフィルタを介在し、固定筒の底部に、気体流通用の通気口を設け、弁体を、熱可塑性エラストマーあるいはゴムからなる弾性材料により保持筒と固定筒との嵌め合わせ方向に伸縮可能な有底筒形に形成してその周壁を外方向に広がる断面略く字形に曲げ、この弁体の頂部を中蓋筒内に支持させるとともに、弁体の底部を平坦にして固定筒の通気口に接離可能に接触させ、弁体を圧縮してその底部を固定筒の通気口から離隔させることにより、保持筒と固定筒との間で気体をフィルタを介して流通させるようにしたことを特徴としている。
また、保持筒と固定筒の少なくともいずれか一方に突起を設けることができる。
また、弁体の底部に樹脂製の保護層を積層することが可能である。
容器本体と蓋体の少なくともいずれか一方に貫通孔を設け、この貫通孔に請求項1ないし5いずれかに記載のバルブ機構を嵌め付けたことを特徴としている。
また、容器本体の底部に貫通孔を穿孔し、この貫通孔を基板の容器本体底部に投影される投影領域の外側に位置させることができる。
また、貫通孔とバルブ機構との間にシール部材を介在し、バルブ機構の保持筒あるいは固定筒に、貫通孔の周縁部に引っかかるフランジを設けることができる。
また、中蓋筒の表面を部分的に開口させ、保持筒と中蓋筒の部分的に開口した表面間にフィルタを介在するので、フィルタが脱落するのを規制することができる。また、弁体を有底筒形に形成してその周壁を外方向に断面略く字形に曲げるので、弁体の周壁の反発力により、固定筒の通気口に弁体の底部を確実に接触させることが可能になる。また、中蓋筒内に弁体の頂部を支持させるので、バルブ機構の内部で弁体がふらつくのを抑制することが可能になる。また、同一のバルブ機構を給気用としても、排気用としても活用することができるので、組立作業や部品管理が容易となる。
また、保持筒と固定筒の少なくともいずれか一方に突起を設ければ、この突起を使用することにより、固定筒の取り付け作業の不具合を防止したり、取り付け作業の作業性を向上させることが可能になる。
また、弁体の底部に樹脂製の保護層を積層すれば、この保護層により、弁体底部の磨耗防止や変形防止が期待できる。
これに対し、気体を流通させる場合には、気体置換装置の通気口45を貫通した給排ピン60の突き上げにより周壁51が圧縮されて固定筒44の通気口45から離隔し、固定筒44の通気口45を開放させることにより、保持筒31と固定筒44との間で気体をフィルタ37を介して流通させる(図5参照)。
2 貫通孔
3 保持リブ
4 シール部材
20 蓋体
30 バルブ機構
31 保持筒
32 区画リブ
33 係合溝(凹部)
34 螺子山
35 位置規制突起(突起)
36 フランジ
37 フィルタ
38 中蓋筒
39 区画リブ
40 シール部材
41 支持溝
42 係合爪(凸部)
44 固定筒
45 通気口
46 シール部材
47 螺子溝
48 突起
49 フランジ
50 弁体
51 周壁
52 底部
53 保護層
54 筒形リブ
55 傾斜面
56 弾性層
57 ベローズ
59 支持爪
60 給排ピン
Claims (7)
- 略筒形の保持筒と、この保持筒の部分的に開口した表面を被覆するフィルタと、保持筒に内蔵される中蓋筒と、保持筒の開口裏面側に嵌め合わされる有底筒形の固定筒と、保持筒の中蓋筒と固定筒との間に介在されて気体の流通を制御する弁体とを含み、基板を収納する基板収納容器に取り付けられるバルブ機構であって、
保持筒、中蓋筒、及び固定筒をそれぞれ樹脂含有の成形材料により構成し、中蓋筒の表面を部分的に開口させるとともに、保持筒と中蓋筒の部分的に開口した表面間にフィルタを介在し、固定筒の底部に、気体流通用の通気口を設け、弁体を、熱可塑性エラストマーあるいはゴムからなる弾性材料により保持筒と固定筒との嵌め合わせ方向に伸縮可能な有底筒形に形成してその周壁を外方向に広がる断面略く字形に曲げ、この弁体の頂部を中蓋筒内に支持させるとともに、弁体の底部を平坦にして固定筒の通気口に接離可能に接触させ、弁体を圧縮してその底部を固定筒の通気口から離隔させることにより、保持筒と固定筒との間で気体をフィルタを介して流通させるようにしたことを特徴とするバルブ機構。 - 保持筒内に中蓋筒をシール部材を介して圧入し、保持筒の内周面と中蓋筒の外周面のいずれか一方に凹部を、他方には凸部をそれぞれ形成し、これら凹部と凸部とを相互に干渉させるようにした請求項1記載のバルブ機構。
- 保持筒と固定筒の少なくともいずれか一方に突起を設けた請求項1又は2記載のバルブ機構。
- 固定筒の通気口の周縁部に、弁体の底部に接触するシール部材を取り付けた請求項1、2、又は3記載のバルブ機構。
- 弁体の底部に樹脂製の保護層を積層した請求項1ないし4いずれかに記載のバルブ機構。
- 基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部を開閉する着脱自在の蓋体とを備えた基板収納容器であって、
容器本体と蓋体の少なくともいずれか一方に貫通孔を設け、この貫通孔に請求項1ないし5いずれかに記載のバルブ機構を嵌め付けたことを特徴とする基板収納容器。 - 貫通孔とバルブ機構との間にシール部材を介在し、バルブ機構の保持筒あるいは固定筒に、貫通孔の周縁部に引っかかるフランジを設けた請求項6記載の基板収納容器。
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