KR20170076179A - 웨이퍼 수납 용기 - Google Patents

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KR20170076179A
KR20170076179A KR1020150186131A KR20150186131A KR20170076179A KR 20170076179 A KR20170076179 A KR 20170076179A KR 1020150186131 A KR1020150186131 A KR 1020150186131A KR 20150186131 A KR20150186131 A KR 20150186131A KR 20170076179 A KR20170076179 A KR 20170076179A
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gasket
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김동연
김혁기
남정훈
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삼성전자주식회사
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Abstract

웨이퍼 보관 용기는 베이스, 가이드, 커버, 로킹 부재 및 실링 부재를 포함할 수 있다. 상기 베이스는 복수개의 웨이퍼들이 안치되는 안치면을 가질 수 있다. 상기 가이드는 상기 베이스의 안치면에 배치되어, 상기 웨이퍼들이 수용되는 공간을 한정할 수 있다. 상기 커버는 상기 베이스의 안치면을 덮을 수 있다. 상기 로킹 부재는 상기 커버를 상기 베이스에 로킹시킬 수 있다. 상기 실링 부재는 상기 로킹 부재와 상기 가이드 사이를 실링하여, 상기 수용 공간으로 외기가 침투하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 실링 부재가 가이드와 로킹 부재 사이를 실링하게 되므로, 오염 물질을 포함하는 외기가 가이드 내의 수용 공간으로 침투하는 것이 억제될 수 있다.

Description

웨이퍼 수납 용기{WAFER CONTAINER}
본 발명은 웨이퍼 수납 용기에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 복수개의 웨이퍼들을 수평하게 수납하는 용기에 관한 것이다.
웨이퍼 수납 용기는 베이스, 커버 및 로킹 부재를 포함할 수 있다. 복수개의 가이드들이 베이스의 상부면에 형성되어, 웨이퍼들이 수납되는 공간을 한정할 수 있다. 커버는 베이스를 덮을 수 있다. 로킹 부재는 커버를 베이스에 로킹시킬 수 있다.
관련 기술들에 따르면, 베이스와 커버 사이에 틈새가 형성될 수 있다. 또한, 로킹 부재에도 틈새가 형성될 수 있다. 오염 물질을 포함하는 외기가 틈새들을 통해서 수납 공간 내로 침투하여, 웨이퍼들을 오염시킬 수 있다.
본 발명은 외기의 침투를 억제할 수 있는 웨이퍼 보관 용기를 제공한다.
본 발명의 일 견지에 따른 웨이퍼 보관 용기는 베이스, 가이드, 커버, 로킹 부재 및 실링 부재를 포함할 수 있다. 상기 베이스는 복수개의 웨이퍼들이 안치되는 안치면을 가질 수 있다. 상기 가이드는 상기 베이스의 안치면에 배치되어, 상기 웨이퍼들이 수용되는 공간을 한정할 수 있다. 상기 커버는 상기 베이스의 안치면을 덮을 수 있다. 상기 로킹 부재는 상기 커버를 상기 베이스에 로킹시킬 수 있다. 상기 실링 부재는 상기 로킹 부재와 상기 가이드 사이를 실링하여, 상기 수용 공간으로 외기가 침투하는 것을 방지할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 실링 부재는 상기 가이드를 둘러싸도록 배치되어 상기 커버와 상기 안치면에 밀착되는 실링 스크린을 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 실링 스크린은 상기 커버의 내면에 일체로 형성될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 베이스는 상기 실링 스크린이 삽입되는 실링 홈을 가질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 실링 부재는 상기 실링 스크린에 부착된 실링 패드를 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 실링 스크린은 상기 베이스의 안치면에 일체로 형성될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 커버는 상기 실링 스크린이 삽입되는 실링 홈을 가질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 실링 부재는 상기 실링 스크린에 부착된 실링 패드를 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 웨이퍼 수납 용기는 상기 가이드와 상기 로킹 부재 사이에 배치되어, 상기 실링 부재와 밀착되는 개스킷을 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 개스킷은 상기 실링 부재가 삽입되는 실링 홈을 가질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 개스킷은 상기 가이드의 외측면에 형성된 결합돌기가 삽입되는 결합홈을 가질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 개스킷은 상기 베이스의 안치면에 형성된 결합홈에 삽입되는 결합돌기를 가질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 로킹 부재는 상기 베이스의 안치면에 배치되고, 로킹턱을 갖는 적어도 하나의 로킹판, 및 상기 커버에 형성되어 상기 로킹턱이 걸려 지지되는 로킹홈을 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 견지에 따른 웨이퍼 수납 용기는 베이스, 커버 및 개스킷을 포함할 수 있다. 상기 베이스는 복수개의 웨이퍼들이 안치되는 안치면, 상기 안치면으로부터 수직하게 상기 안치면의 원주선 방향을 따라 배열되어 상기 웨이퍼들이 수용되는 공간을 한정하는 복수개의 가이드들, 및 상기 가이드들의 외측에서 상기 안치면으로부터 수직하게 상기 안치면의 원주선 방향을 따라 배열되고 로킹턱을 갖는 복수개의 로킹판들을 포함할 수 있다. 상기 커버는 상기 베이스의 안치면 가장자리에 맞대어질 수 있다. 상기 커버는 상기 가이드들과 상기 로킹판들 사이로 연장된 실링 스크린, 및 상기 로킹턱이 걸려 지지되는 로킹홈을 포함할 수 있다. 상기 개스킷은 상기 베이스에 착탈 가능하게 결합되어, 상기 실링 스크린과 밀착될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 커버는 상기 실링 스크린의 하단에 부착된 실링 패드를 더 포함할 수 있다. 상기 베이스는 상기 실링 패드가 삽입되는 실링 홈, 및 상기 안치면에 형성된 결합홈을 더 포함할 수 있다. 상기 개스킷은 상기 결합홈에 삽입되는 결합돌기를 가질 수 있다.
상기된 본 발명에 따르면, 실링 부재가 가이드와 로킹 부재 사이를 실링하게 되므로, 오염 물질을 포함하는 외기가 가이드 내의 수용 공간으로 침투하는 것이 억제될 수 있다. 따라서, 수용 공간 내에 수용된 웨이퍼들이 오염되는 것을 억제시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기를 나타낸 분해 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 웨이퍼 수납 용기를 나타낸 단면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기를 나타낸 분해 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 웨이퍼 수납 용기를 나타낸 단면도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기를 나타낸 분해 사시도이다.
도 6은 도 5에 도시된 웨이퍼 수납 용기를 나타낸 단면도이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기를 나타낸 분해 사시도이다.
도 8은 도 7에 도시된 웨이퍼 수납 용기를 나타낸 단면도이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기를 나타낸 분해 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 웨이퍼 수납 용기를 나타낸 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기(100)는 베이스(110), 복수개의 가이드(120)들, 커버(130), 로킹 부재(140) 및 실링 부재를 포함할 수 있다.
베이스(110)는 복수개의 웨이퍼들이 안치되는 안치면(112)을 가질 수 있다. 웨이퍼들을 안치면(112)에 수평하게 적층될 수 있다. 안치면(112)은 베이스(110)의 상부면일 수 있다. 베이스(110)는 플라스틱 재질을 포함할 수 있다.
가이드(120)들은 베이스(110)의 안치면(112)에 배열되어, 웨이퍼들이 수용되는 수용 공간을 한정할 수 있다. 가이드(120)들은 안치면(112)에 베이스(110)의 원주선 방향을 따라 배열될 수 있다. 그러므로, 안치면(112)의 중심으로부터 가이드(120)들까지의 반경은 웨이퍼의 반경보다 길 수 있다. 가이드(120)들은 안치면(112)으로부터 수직하게 위를 향해 연장될 수 있다. 따라서, 가이드(120)들은 베이스(110)와 일체로 될 수 있다. 다른 실시예로서, 가이드(120)들은 베이스(110)의 안치면(112)에 부착된 별도의 부품일 수도 있다. 또한, 가이드(120)들은 직사각형 형태로 배열될 수도 있다.
도 1에는 커버(130)의 절반이 도시되어 있을 수 있다. 도시되지 않은 커버(130)의 절반은 도 1에 도시된 커버(130)의 절반과 실질적으로 동일한 형상을 가질 수 있다. 커버(130)는 베이스(110)의 안치면(112)을 덮을 수 있다. 커버(130)는 안치면(112)의 가장자리에 맞대어지는 하단을 가질 수 있다. 커버(130)의 하단과 안치면(112)의 가장자리 사이에 틈새가 형성될 수 있다. 커버(130)는 가이드(120)들과 함께 웨이퍼의 수용 공간을 한정할 수 있다. 따라서, 커버(130)는 베이스(110)의 중심과 실질적으로 동일한 중심을 가질 수 있다. 커버(130)는 베이스(110)의 재질과 실질적으로 동일한 재질을 포함할 수 있다.
로킹 부재(140)는 커버(130)를 베이스(110)에 로킹시킬 수 있다. 로킹 부재(140)는 복수개의 로킹판(142)들 및 로킹홈(144)들을 포함할 수 있다.
로킹판(142)들은 가이드(120)들의 외측인 안치면(112) 부분에 배치될 수 있다. 로킹판(142)들은 안치면(112)에 베이스(110)의 원주선 방향을 따라 배열될 수 있다. 따라서, 로킹판(142)들은 가이드(120)들로부터 이격되어 있을 수 있다. 다른 실시예로서, 로킹판(142)들은 직사각형 형태로 배열될 수도 있다. 로킹판(142)들은 안치면(112)으로부터 수직하게 위를 향해 연장될 수 있다. 그러므로, 로킹판(142)들은 베이스(110)와 일체로 될 수 있다. 다른 실시예로서, 로킹판(142)들은 베이스(110)의 안치면(112)에 부착된 별도의 부품일 수도 있다. 로킹판(142)들 각각은 로킹턱(143)을 포함할 수 있다. 로킹턱(143)은 로킹판(142)의 상단에 형성될 수 있다. 로킹턱(143)은 로킹판(142)의 상단 내측면에 형성될 수 있다. 다른 실시예로서, 로킹턱(143)은 로킹판(142)의 상단 외측면에 형성될 수도 있다.
로킹홈(144)들은 커버(130)에 형성될 수 있다. 로킹판(142)들이 베이스(110)의 원주선 방향을 따라 배열되므로, 로킹홈(144)들도 커버(130)의 원주선 방향을 따라 배열될 수 있다. 로킹턱(143)이 로킹홈(144)에 걸려 지지될 수 있다. 로킹턱(143)과 로킹홈(144) 사이에 틈새가 형성될 수 있다.
실링 부재는 가이드(120)들과 로킹판(142) 사이를 실링하여, 오염 물질을 포함하는 외기가 커버(130)의 하단과 안치면(112)의 가장자리 사이의 틈새, 및 로킹턱(143)과 로킹홈(144) 사이의 틈새를 통해서 수용 공간 내로 침투하는 것을 억제할 수 있다. 본 실시예에서, 실링 부재는 실링 스크린(150) 및 실링 패드(152)를 포함할 수 있다.
실링 스크린(150)은 커버(130)의 내측면으로부터 가이드(120)들과 로킹판(142) 사이의 공간으로 수직하게 아래를 향해 연장될 수 있다. 따라서, 실링 스크린(150)은 커버(130)와 일체로 될 수 있다. 다른 실시예로서, 실링 스크린(150)은 커버(130)에 부착된 별도의 부품일 수도 있다. 실링 스크린(150)은 가이드(120)들을 둘러싸는 형상을 가질 수 있다. 예를 들어서, 실링 스크린(150)은 링 형상을 가질 수 있다. 다른 실시예로서, 실링 스크린(150)은 직사각틀과 같은 다른 형상들을 가질 수도 있다.
실링 패드(152)는 실링 스크린(150)의 하단에 부착될 수 있다. 실링 패드(152)는 가이드(120)들과 로킹판(142)들 사이의 안치면(112) 부분에 밀착될 수 있다. 실링 패드(152)는 신축성 재질을 포함할 수 있다. 예를 들어서, 실링 패드(152)는 엘라스토머(elastomer)와 같은 고무 재질을 포함할 수 있다.
베이스(110)는 실링 패드(152)가 삽입되는 실링 홈(114)을 가질 수 있다. 실링 홈(114)은 안치면(112)에 베이스(110)의 원주선 방향을 따라 형성될 수 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기를 나타낸 분해 사시도이고, 도 4는 도 3에 도시된 웨이퍼 수납 용기를 나타낸 단면도이다.
본 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기(100a)는 실링 부재를 제외하고는 도 1에 도시된 웨이퍼 수납 용기(100)의 구성요소들과 실질적으로 동일한 구성요소들을 포함할 수 있다. 따라서, 동일한 구성요소들은 동일한 참조부호들로 나타내고, 또한 동일한 구성요소들에 대한 반복 설명은 생략할 수 있다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 실링 부재는 실링 스크린(160) 및 실링 패드(162)를 포함할 수 있다.
실링 스크린(160)은 가이드(120)들과 로킹판(142) 사이의 안치면(112) 부분으로부터 수직하게 위를 향해 연장될 수 있다. 따라서, 실링 스크린(160)은 베이스(110)와 일체로 될 수 있다. 다른 실시예로서, 실링 스크린(160)은 베이스(110)에 부착된 별도의 부품일 수도 있다. 실링 스크린(160)은 가이드(120)들을 둘러싸는 형상을 가질 수 있다. 예를 들어서, 실링 스크린(160)은 링 형상을 가질 수 있다. 다른 실시예로서, 실링 스크린(160)은 직사각틀과 같은 다른 형상들을 가질 수도 있다.
실링 패드(162)는 실링 스크린(160)의 상단에 부착될 수 있다. 실링 패드(162)는 커버(130)의 내측면에 밀착될 수 있다. 실링 패드(162)는 신축성 재질을 포함할 수 있다. 예를 들어서, 실링 패드(162)는 엘라스토머(elastomer)와 같은 고무 재질을 포함할 수 있다.
커버(130)는 실링 패드(162)가 삽입되는 실링 홈(132)을 가질 수 있다. 실링 홈(132)은 커버(130)의 내측면에 커버(130)의 원주선 방향을 따라 형성될 수 있다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기를 나타낸 분해 사시도이고, 도 6은 도 5에 도시된 웨이퍼 수납 용기를 나타낸 단면도이다.
본 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기(100b)는 개스킷을 더 포함한다는 점을 제외하고는 도 1에 도시된 웨이퍼 수납 용기(100)의 구성요소들과 실질적으로 동일한 구성요소들을 포함할 수 있다. 따라서, 동일한 구성요소들은 동일한 참조부호들로 나타내고, 또한 동일한 구성요소들에 대한 반복 설명은 생략할 수 있다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 개스킷(170)은 가이드(120)들과 로킹판(142) 사이에 배치되어, 실링 스크린(150)의 하단과 밀착될 수 있다. 개스킷(170)은 베이스(110)의 안치면(112)에 결합될 수 있다. 개스킷(170)은 링 형상을 가질 수 있다. 개스킷(170)는 신축성 재질을 포함할 수 있다. 예를 들어서, 개스킷(170)은 엘라스토머(elastomer)와 같은 고무 재질을 포함할 수 있다.
개스킷(170)은 지지 돌기(171)들을 포함할 수 있다. 지지 돌기(171)들은 개스킷(170)의 내측면에 형성될 수 있다. 지지 돌기(171)들은 가이드(120)들의 양측면들에 밀착되어, 개스킷(170)을 가이드(120)들에 지지시킬 수 있다.
개스킷(170)은 실링 홈(172)을 포함할 수 있다. 실링 홈(172)은 개스킷(170)의 상부면에 형성될 수 있다. 실링 스크린(150)의 하단이 실링 홈(172) 내에 삽입될 수 있다.
개스킷(170)은 수용홈(174)을 포함할 수 있다. 수용홈(174)은 개스킷(170)의 외측면에 형성될 수 있다. 실링 홈(172) 내에 삽입된 실링 스크린(150)의 하단이 개스킷(170)을 누르면, 개스킷(170)이 수용홈(174) 내로 진입하게 되어, 실링 스크린(150)의 하단과 실링 홈(172)의 내벽 간의 밀착성을 향상시킬 수 있다.
개스킷(170)은 결합 돌기(176)를 포함할 수 있다. 결합 돌기(176)는 개스킷(170)의 하부면에 형성될 수 있다. 결합 돌기(176)가 삽입되는 결합홈(116)이 베이스(110)의 안치면(112)에 형성될 수 있다. 결합 돌기(176)가 결합홈(116)에 삽입되는 것에 의해서, 개스킷(170)이 베이스(110)에 조립될 수 있다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기를 나타낸 분해 사시도이고, 도 8은 도 7에 도시된 웨이퍼 수납 용기를 나타낸 단면도이다.
본 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기(100c)는 개스킷을 제외하고는 도 5에 도시된 웨이퍼 수납 용기(100b)의 구성요소들과 실질적으로 동일한 구성요소들을 포함할 수 있다. 따라서, 동일한 구성요소들은 동일한 참조부호들로 나타내고, 또한 동일한 구성요소들에 대한 반복 설명은 생략할 수 있다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 개스킷(180)은 지지 돌기(181)들을 포함할 수 있다. 지지 돌기(181)들은 개스킷(180)의 내측면에 형성될 수 있다. 지지 돌기(181)들은 가이드(120)들의 양측면들에 밀착되어, 개스킷(180)을 가이드(120)들에 지지시킬 수 있다.
개스킷(180)은 실링 홈(182)을 포함할 수 있다. 실링 홈(182)은 개스킷(180)의 상부면에 형성될 수 있다. 실링 스크린(150)의 하단이 실링 홈(182) 내에 삽입될 수 있다.
개스킷(180)은 수용홈(184)을 포함할 수 있다. 수용홈(184)은 개스킷(180)의 외측면에 형성될 수 있다. 실링 홈(182) 내에 삽입된 실링 스크린(150)의 하단이 개스킷(180)을 누르면, 개스킷(180)이 수용홈(184) 내로 진입하게 되어, 실링 스크린(150)의 하단과 실링 홈(182)의 내벽 간의 밀착성을 향상시킬 수 있다.
개스킷(180)은 결합홈(186)을 포함할 수 있다. 결합홈(186)는 개스킷(180)의 내측면에 형성될 수 있다. 결합홈(186)에 삽입되는 결합 돌기(122)가 가이드(120)의 외측면에 형성될 수 있다. 결합 돌기(122)가 결합홈(186)에 삽입되는 것에 의해서, 개스킷(180)이 가이드(120)에 조립될 수 있다.
상기된 본 실시예들에 따르면, 실링 부재가 가이드와 로킹 부재 사이를 실링하게 되므로, 오염 물질을 포함하는 외기가 가이드 내의 수용 공간으로 침투하는 것이 억제될 수 있다. 따라서, 수용 공간 내에 수용된 웨이퍼들이 오염되는 것을 억제시킬 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
110 ; 베이스 112 ; 안치면
114, 172, 182 ; 실링 홈 116, 186 ; 결합홈
118, 122 ; 결합 돌기 120 ; 가이드
130 ; 커버 132 ; 로킹홈
140 ; 로킹 부재 142 ; 로킹판
143 ; 로킹턱 144 ; 로킹홈
150, 160 ; 실링 스크린 152, 162 ; 실링 패드
170, 180 ; 개스킷 174, 184 ; 수용홈
176 ; 결합 돌기

Claims (10)

  1. 복수개의 웨이퍼들이 안치되는 안치면을 갖는 베이스;
    상기 베이스의 안치면에 배치되어, 상기 웨이퍼들이 수용되는 공간을 한정하는 가이드;
    상기 베이스의 안치면을 덮는 커버;
    상기 커버를 상기 베이스에 로킹하는 로킹 부재(locking member); 및
    상기 로킹 부재와 상기 가이드 사이를 실링하여, 상기 수용 공간으로 외기가 침투하는 것을 방지하는 실링 부재(sealing member)를 포함하는 웨이퍼 수납 용기.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 실링 부재는 상기 가이드를 둘러싸도록 배치되어 상기 커버와 상기 안치면에 밀착되는 실링 스크린을 포함하는 웨이퍼 수납 용기.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 베이스는 상기 실링 스크린이 삽입되는 실링 홈을 갖는 웨이퍼 수납 용기.
  4. 제 2 항에 있어서, 상기 실링 부재는 상기 실링 스크린에 부착된 실링 패드를 더 포함하는 웨이퍼 수납 용기.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 가이드와 상기 로킹 부재 사이에 배치되어, 상기 실링 부재와 밀착되는 개스킷을 더 포함하는 웨이퍼 수납 용기.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 개스킷은 상기 실링 부재가 삽입되는 실링 홈을 갖는 웨이퍼 수납 용기.
  7. 제 5 항에 있어서, 상기 개스킷은 상기 베이스의 안치면에 형성된 결합홈에 삽입되는 결합돌기를 갖는 웨이퍼 수납 용기.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 로킹 부재는
    상기 베이스의 안치면에 배치되고, 로킹턱을 갖는 적어도 하나의 로킹판; 및
    상기 커버에 형성되어, 상기 로킹턱이 걸려 지지되는 로킹홈을 포함하는 웨이퍼 수납 용기.
  9. 복수개의 웨이퍼들이 안치되는 안치면, 상기 안치면으로부터 수직하게 상기 안치면의 원주선 방향을 따라 배열되어 상기 웨이퍼들이 수용되는 공간을 한정하는 복수개의 가이드들, 및 상기 가이드들의 외측에서 상기 안치면으로부터 수직하게 상기 안치면의 원주선 방향을 따라 배열되고 로킹턱을 갖는 복수개의 로킹판들을 포함하는 베이스;
    상기 베이스의 안치면 가장자리에 맞대어지고, 상기 가이드들과 상기 로킹판들 사이로 연장된 실링 스크린, 및 상기 로킹턱이 걸려 지지되는 로킹홈을 포함하는 커버; 및
    상기 베이스에 착탈 가능하게 결합되어, 상기 실링 스크린과 밀착되는 개스킷을 포함하는 웨이퍼 수납 용기.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 커버는 상기 실링 스크린의 하단에 부착된 실링 패드를 더 포함하고, 상기 베이스는 상기 실링 패드가 삽입되는 실링 홈 및 상기 안치면에 형성된 결합홈을 더 포함하며, 상기 개스킷은 상기 결합홈에 삽입되는 결합돌기를 갖는 웨이퍼 수납 용기.
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