JP2001301877A - マスクケース - Google Patents
マスクケースInfo
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- JP2001301877A JP2001301877A JP2000123926A JP2000123926A JP2001301877A JP 2001301877 A JP2001301877 A JP 2001301877A JP 2000123926 A JP2000123926 A JP 2000123926A JP 2000123926 A JP2000123926 A JP 2000123926A JP 2001301877 A JP2001301877 A JP 2001301877A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 マスクケースの合せ目の外表面を平滑にし
て、粘着テープ等により気密性を高める。 【解決手段】 本体と蓋体との合わせ目を互いに段部を
設けて、いんろう接合する。ケース本体と蓋体との間に
は、プラスチック製丁番を挿入し、固定する。丁番は硬
質プラスチック材料で一体状に成形したもので、中央の
本体部を二つ割にし、中央の薄い接合部を軸にして開閉
するようにし、本体部の各二つ割部分にはそれぞれ取付
翼部を一体状に形成する。そうして丁番の夫々の翼部を
ケース本体と蓋体の合わせ目縁部に形成した取付溝孔内
に挿入してケース本体と蓋体とを接合させた時に、ケー
ス本体と蓋体及び丁番本体部の外表面が平滑になるよう
に、ケース本体と蓋体、及び丁番を成形する。
て、粘着テープ等により気密性を高める。 【解決手段】 本体と蓋体との合わせ目を互いに段部を
設けて、いんろう接合する。ケース本体と蓋体との間に
は、プラスチック製丁番を挿入し、固定する。丁番は硬
質プラスチック材料で一体状に成形したもので、中央の
本体部を二つ割にし、中央の薄い接合部を軸にして開閉
するようにし、本体部の各二つ割部分にはそれぞれ取付
翼部を一体状に形成する。そうして丁番の夫々の翼部を
ケース本体と蓋体の合わせ目縁部に形成した取付溝孔内
に挿入してケース本体と蓋体とを接合させた時に、ケー
ス本体と蓋体及び丁番本体部の外表面が平滑になるよう
に、ケース本体と蓋体、及び丁番を成形する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、集積回路システ
ムをシリコン上に形成して行く際に用いるマスク基板
を、その不使用時に塵埃から気密に保護し、保存や運搬
等に供するためのマスクケースに関する。
ムをシリコン上に形成して行く際に用いるマスク基板
を、その不使用時に塵埃から気密に保護し、保存や運搬
等に供するためのマスクケースに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、集積回路の製造工程で多用されて
いる5インチ叉は6インチのマスク基板は、塵埃その他が
付着すると集積回路形成に重大な影響を与えるので、不
使用時にマスク基板を塵埃等から保護して保存叉は運搬
するために、それを収納するマスク基板専用の開閉蓋付
プラスチック容器が開発され、用いられている。
いる5インチ叉は6インチのマスク基板は、塵埃その他が
付着すると集積回路形成に重大な影響を与えるので、不
使用時にマスク基板を塵埃等から保護して保存叉は運搬
するために、それを収納するマスク基板専用の開閉蓋付
プラスチック容器が開発され、用いられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】マスク基板用のプラス
チック容器は、出来るだけ簡単な構造で有効な気密性を
保持するために、本体と蓋体との間の合わせ目にいんろ
う接合と称する段を設けるとともに、必要に応じて容器
の外部から気密保持のための粘着テープを、本体と蓋体
との合わせ目を塞ぐようにしている。この場合、容器の
外表面に丁番軸、蓋体の鎖錠用止め金等が突出している
と、上記粘着テープは突起部分をまたいで貼りつけねば
ならず、所望の気密性を達成することができない。
チック容器は、出来るだけ簡単な構造で有効な気密性を
保持するために、本体と蓋体との間の合わせ目にいんろ
う接合と称する段を設けるとともに、必要に応じて容器
の外部から気密保持のための粘着テープを、本体と蓋体
との合わせ目を塞ぐようにしている。この場合、容器の
外表面に丁番軸、蓋体の鎖錠用止め金等が突出している
と、上記粘着テープは突起部分をまたいで貼りつけねば
ならず、所望の気密性を達成することができない。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明は、全てプラス
チック材料により、安価にして簡単に組立てるようにし
たマスクケースであって、本体と蓋体との合わせ目を互
いに段部を設けて、いんろう接合するようにした接合部
の外表面を平滑にして、粘着テープを外接合部外表面に
粘着させて気密性を高めるようにしたマスクケースに関
する。
チック材料により、安価にして簡単に組立てるようにし
たマスクケースであって、本体と蓋体との合わせ目を互
いに段部を設けて、いんろう接合するようにした接合部
の外表面を平滑にして、粘着テープを外接合部外表面に
粘着させて気密性を高めるようにしたマスクケースに関
する。
【０００５】ケース本体と蓋体との間には、プラスチッ
ク製丁番を挿入し、固定する。丁番は硬質プラスチック
材料で一体状に成形したもので、中央の本体部を二つ割
にし、中央の薄い接合部を軸にして開閉するようにし、
本体部の各二つ割部分にはそれぞれ取付翼部を一体状に
形成する。そうして丁番の夫々の翼部をケース本体と蓋
体の合わせ目縁部に形成した取付溝孔内に挿入してケー
ス本体と蓋体とを接合させた時に、ケース本体と蓋体及
び丁番本体部の外表面が平滑になるように、ケース本体
と蓋体、及び丁番を成形する。
ク製丁番を挿入し、固定する。丁番は硬質プラスチック
材料で一体状に成形したもので、中央の本体部を二つ割
にし、中央の薄い接合部を軸にして開閉するようにし、
本体部の各二つ割部分にはそれぞれ取付翼部を一体状に
形成する。そうして丁番の夫々の翼部をケース本体と蓋
体の合わせ目縁部に形成した取付溝孔内に挿入してケー
ス本体と蓋体とを接合させた時に、ケース本体と蓋体及
び丁番本体部の外表面が平滑になるように、ケース本体
と蓋体、及び丁番を成形する。
【０００６】ケース本体の丁番取付位置と反対の側にあ
る、本体と蓋体の係止具も、外表面を本体、蓋体と同じ
平滑面にするか、突起が出来る場合には前記合せ目から
離れた位置に配置するようにすれば、後述するように、
合わせ目に沿って外表面を粘着テープ等で覆う場合、粘
着テープの巻きつけが容易になる。
る、本体と蓋体の係止具も、外表面を本体、蓋体と同じ
平滑面にするか、突起が出来る場合には前記合せ目から
離れた位置に配置するようにすれば、後述するように、
合わせ目に沿って外表面を粘着テープ等で覆う場合、粘
着テープの巻きつけが容易になる。
【０００７】丁番の取付翼部の前後表面には、数本のう
ね部が一体形成され、丁番の夫々の翼部をケース本体と
蓋体の合わせ目縁部に形成した取付溝孔内に挿入したと
きに、前記うね部が孔の内壁に摩擦接合して、丁番をケ
ース本体と蓋体との間に固定させる。ケース本体と蓋体
とは、丁番によって自由に開閉され、マスク基板の収納
及び取り出しを適宜行い得るほか、これを収納し閉蓋し
た時には、ケース本体と蓋体との間の、外表面の合わせ
目は平滑になり、この合わせ目に沿って、外表面を粘着
テープ等で覆うことにより、マスクケースの気密性を更
に高めることが出来る。
ね部が一体形成され、丁番の夫々の翼部をケース本体と
蓋体の合わせ目縁部に形成した取付溝孔内に挿入したと
きに、前記うね部が孔の内壁に摩擦接合して、丁番をケ
ース本体と蓋体との間に固定させる。ケース本体と蓋体
とは、丁番によって自由に開閉され、マスク基板の収納
及び取り出しを適宜行い得るほか、これを収納し閉蓋し
た時には、ケース本体と蓋体との間の、外表面の合わせ
目は平滑になり、この合わせ目に沿って、外表面を粘着
テープ等で覆うことにより、マスクケースの気密性を更
に高めることが出来る。
【０００８】
【発明の実施の態様】この発明の実施の態様を図1乃至
図8に示す。図１はこの発明のマスクケースの主要な構
成要素である本体１、蓋体２及び丁番３を展開して示し
たもので、ケース本体１及び蓋体２は共に、例えばポリ
カーボネイト樹脂よりなる、透明乃至半透明プラスチッ
ク容器を形成し、本体と蓋体との合わせ目をリブと溝部
とによりいんろう接合するようにし、内部にマスク基板
を収納する。本体と蓋体との対応する縁部には、丁番３
の夫々の翼部を挿入するための取付溝孔４，５が夫々形
成されている。ケース本体と蓋体とを接合させた時に、
ケース本体と蓋体及び丁番本体部の外表面が平滑になる
ように、ケース本体１と蓋体２の取付溝孔４、５及び丁
番３の外表面を成形する。
図8に示す。図１はこの発明のマスクケースの主要な構
成要素である本体１、蓋体２及び丁番３を展開して示し
たもので、ケース本体１及び蓋体２は共に、例えばポリ
カーボネイト樹脂よりなる、透明乃至半透明プラスチッ
ク容器を形成し、本体と蓋体との合わせ目をリブと溝部
とによりいんろう接合するようにし、内部にマスク基板
を収納する。本体と蓋体との対応する縁部には、丁番３
の夫々の翼部を挿入するための取付溝孔４，５が夫々形
成されている。ケース本体と蓋体とを接合させた時に、
ケース本体と蓋体及び丁番本体部の外表面が平滑になる
ように、ケース本体１と蓋体２の取付溝孔４、５及び丁
番３の外表面を成形する。
【０００９】図２にこの発明のマスクケースに用いる丁
番の一実施例の見取り図を示す。丁番３は、例えばＰＢ
Ｔ樹脂等硬質プラスチック材料で、図示のように一体状
に成形する。すなわち中央の本体部８を二つ割にし、中
央の薄い接合部を軸にして開閉するようにする。本体部
８の各二つ割部分にはそれぞれ取付翼部９，９を一体状
に形成する。この取付翼部９、９の前後表面には、数本
のうね部１０が一体形成され、丁番の夫々の翼部をケー
ス本体と蓋体の合わせ目縁部に形成した取付溝孔４内に
挿入してケース本体と蓋体とを接合させた時に、前記う
ね部が孔の内壁に摩擦接合して、丁番をケース本体と蓋
体との間に固定させる。
番の一実施例の見取り図を示す。丁番３は、例えばＰＢ
Ｔ樹脂等硬質プラスチック材料で、図示のように一体状
に成形する。すなわち中央の本体部８を二つ割にし、中
央の薄い接合部を軸にして開閉するようにする。本体部
８の各二つ割部分にはそれぞれ取付翼部９，９を一体状
に形成する。この取付翼部９、９の前後表面には、数本
のうね部１０が一体形成され、丁番の夫々の翼部をケー
ス本体と蓋体の合わせ目縁部に形成した取付溝孔４内に
挿入してケース本体と蓋体とを接合させた時に、前記う
ね部が孔の内壁に摩擦接合して、丁番をケース本体と蓋
体との間に固定させる。
【００１０】図３はケース本体１、蓋体２及び丁番３の
縦断面を示す部分図で、取付前と後とを並べることによ
って、ケース本体と蓋体の合わせ目縁部に形成したいん
ろう接合部と、ケース本体と蓋体及び丁番本体部の外表
面が平滑になる様子を示す。
縦断面を示す部分図で、取付前と後とを並べることによ
って、ケース本体と蓋体の合わせ目縁部に形成したいん
ろう接合部と、ケース本体と蓋体及び丁番本体部の外表
面が平滑になる様子を示す。
【００１１】図４には、ケース本体の丁番取付位置と反
対の側にある、本体と蓋体の係止具１０を、前記合せ目
から離れた位置に配置したものを示す。すなはち係止具
はケース本体側の合せ目から上方に張り出した板の先端
に設けられた本体側係止ブロック１１と、閉蓋したとき
これに接合する蓋体側係止ブロック１２を、同じく蓋体
に取付けられた係止スライダ１３によって係合すること
によって、蓋体の係止施錠を行う。この場合、係止ブロ
ック１１，１２及びスライダ１３は、ケース本体と蓋体
との合せ目から離れた位置にあるので、ケース本体と蓋
体との間の、外表面の合わせ目は平滑になり、この合わ
せ目に沿って、外表面を粘着テープ等で覆うことによ
り、マスクケースの気密性を更に高めることが出来る。
対の側にある、本体と蓋体の係止具１０を、前記合せ目
から離れた位置に配置したものを示す。すなはち係止具
はケース本体側の合せ目から上方に張り出した板の先端
に設けられた本体側係止ブロック１１と、閉蓋したとき
これに接合する蓋体側係止ブロック１２を、同じく蓋体
に取付けられた係止スライダ１３によって係合すること
によって、蓋体の係止施錠を行う。この場合、係止ブロ
ック１１，１２及びスライダ１３は、ケース本体と蓋体
との合せ目から離れた位置にあるので、ケース本体と蓋
体との間の、外表面の合わせ目は平滑になり、この合わ
せ目に沿って、外表面を粘着テープ等で覆うことによ
り、マスクケースの気密性を更に高めることが出来る。
【００１２】ケース本体１と蓋体２とによって気密に保
たれる空間内には、夫々本体及び蓋体の内表面から必要
数の保持枝部６，７が突出して、マスク基板を保持す
る。特殊形状の基板には、専用ケースとなる本体及び蓋
体で対応するが、図５乃至６に示す実施例では、汎用さ
れている５インチ叉は６インチのマスク基板に対して共
用できるように、８本の保持枝部６，７を形成して、６
インチ基板の場合、図５のように四隅の保持枝部６を、
５インチ基板の場合、図６のように辺の中間の保持枝部
７を用いるようにすれば良い。また、保持枝部６，７の
形状としては、本体内表面化一体的に突出させた幹部
に、図７に示すように傾斜平面を持つ台板部１４、叉は
図８に示すように帽子部１５を取付ける。台板部１４叉
は帽子部１５はケース本体叉は蓋体よりも柔らかく、摩
擦係数の大きいプラスチック材料、例えばポリアミド樹
脂で成形しケース本体、蓋体の幹部に継ぎ枝するように
すればよい。
たれる空間内には、夫々本体及び蓋体の内表面から必要
数の保持枝部６，７が突出して、マスク基板を保持す
る。特殊形状の基板には、専用ケースとなる本体及び蓋
体で対応するが、図５乃至６に示す実施例では、汎用さ
れている５インチ叉は６インチのマスク基板に対して共
用できるように、８本の保持枝部６，７を形成して、６
インチ基板の場合、図５のように四隅の保持枝部６を、
５インチ基板の場合、図６のように辺の中間の保持枝部
７を用いるようにすれば良い。また、保持枝部６，７の
形状としては、本体内表面化一体的に突出させた幹部
に、図７に示すように傾斜平面を持つ台板部１４、叉は
図８に示すように帽子部１５を取付ける。台板部１４叉
は帽子部１５はケース本体叉は蓋体よりも柔らかく、摩
擦係数の大きいプラスチック材料、例えばポリアミド樹
脂で成形しケース本体、蓋体の幹部に継ぎ枝するように
すればよい。
【００１３】
【発明の効果】この発明は以上のような構成であるの
で、高価な半導体用マスクケースを、安価なプラスチッ
ク製容器に収納するとともに、蓋体の丁番及び鎖錠係止
具が、本体と蓋体との合せ目にいかなる突起も造らず、
外表面を平滑に保つので、粘着テープ等を用いて気密性
を挙げることが出来る。またケース本体、蓋体及び丁番
は、廉価なプラスチック材料で、射出成形、モールド成
形により安価に造ることが出来、かつ組立てが容易であ
る。
で、高価な半導体用マスクケースを、安価なプラスチッ
ク製容器に収納するとともに、蓋体の丁番及び鎖錠係止
具が、本体と蓋体との合せ目にいかなる突起も造らず、
外表面を平滑に保つので、粘着テープ等を用いて気密性
を挙げることが出来る。またケース本体、蓋体及び丁番
は、廉価なプラスチック材料で、射出成形、モールド成
形により安価に造ることが出来、かつ組立てが容易であ
る。
【図１】 この発明のマスクケースの主要な構成要素で
ある本体、蓋体及び丁番を展開して示した展開見取り
図、
ある本体、蓋体及び丁番を展開して示した展開見取り
図、
【図２】 この発明のマスクケースに用いる丁番の一実
施例の見取り図、
施例の見取り図、
【図３】 ケース本体、蓋体及び丁番の縦断面、及びそ
れらの組立て状態を示す部分図、
れらの組立て状態を示す部分図、
【図４】 ケース本体と蓋体の係止具を、前記合せ目か
ら離れた位置に配置したものを示す展開見取り図、
ら離れた位置に配置したものを示す展開見取り図、
【図５】 ケース本体内に６インチマスクを収納した状
態を示す。
態を示す。
【図６】 ケース本体内に５インチマスクを収納した状
態を示す。
態を示す。
【図７】 保持枝部の形状として、傾斜平面を持つ台板
部をもつものを示す。
部をもつものを示す。
【図８】 保持枝部の形状として、帽子部を取付けたも
のを示す。
のを示す。
１ ケース本体 ２ 蓋体 ３ 丁番 ４、５ 取付溝孔 ６、７ 保持枝部 ８ 本体部 ９ 取付翼部 １０ うね部 １１、１２ 係止ブロック １３ 係止スライダ １４ 台板部 １５ 帽子部
フロントページの続き Ｆターム(参考） 3E061 AA01 AB09 CA22 DB11 DB17 3E067 AA12 AB41 BA02A BA05A BB14A BC06A BC07A EA18 EA24 EA32 EB17 FA01 FC01 GD10 3E096 AA01 BA08 BB05 CA02 CB03 CC02 DA30 DB01 DC02 EA02X EA02Y FA03 GA04 GA07 GA14 5F046 AA21 CB17
Claims (4)
- 【請求項１】 全てプラスチック材料により組立てるよ
うにしたマスクケースであって、本体と蓋体との合わせ
目を互いに段部を設けていんろう接合するようにした接
合部の外表面を平滑にし、粘着テープを接合部の平滑な
外表面に粘着させて気密性を高めるようにしたマスクケ
ース。 - 【請求項２】 ケース本体と蓋体との間には、硬質プラ
スチック材料で一体状に成形した丁番を挿入、固定する
ようにし、丁番の夫々の翼部をケース本体と蓋体の合わ
せ目縁部に形成した取付溝孔内に挿入し、ケース本体と
蓋体とを接合させた時に、ケース本体と蓋体及び丁番本
体部の外表面が平滑になるように、ケース本体と蓋体、
及び丁番を成形した、請求項１に記載のマスクケース。 - 【請求項３】 ケース本体の丁番取付位置と反対の側に
ある、本体と蓋体の係止具を前記合せ目から離れた位置
に配置した、請求項１に記載のマスクケース。 - 【請求項４】 前記丁番は中央の本体部を二つ割にし、
中央の薄い接合部を軸にして開いたり閉じたりするよう
にし、本体部の各二つ割部分にはそれぞれ取付翼部を一
体状に形成し、この取付翼部の前後表面には、数本のう
ね部が一体形成された、請求項２叉は３の内1項に記載
のマスクケース用丁番。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000123926A JP2001301877A (ja) | 2000-04-25 | 2000-04-25 | マスクケース |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000123926A JP2001301877A (ja) | 2000-04-25 | 2000-04-25 | マスクケース |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001301877A true JP2001301877A (ja) | 2001-10-31 |
Family
ID=18634141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000123926A Pending JP2001301877A (ja) | 2000-04-25 | 2000-04-25 | マスクケース |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001301877A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005031489A (ja) * | 2003-07-08 | 2005-02-03 | Hoya Corp | マスクブランクス等の収納容器及びマスクブランクスの収納方法並びにマスクブランクス収納体 |
| JP2006184442A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Nikon Corp | レチクル保護装置および露光装置 |
| US7384133B2 (en) | 2003-08-08 | 2008-06-10 | Seiko Epson Corporation | Liquid container capable of maintaining airtightness |
| US7463338B2 (en) | 2003-07-08 | 2008-12-09 | Hoya Corporation | Container for housing a mask blank, method of housing a mask blank, and mask blank package |
-
2000
- 2000-04-25 JP JP2000123926A patent/JP2001301877A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005031489A (ja) * | 2003-07-08 | 2005-02-03 | Hoya Corp | マスクブランクス等の収納容器及びマスクブランクスの収納方法並びにマスクブランクス収納体 |
| US7463338B2 (en) | 2003-07-08 | 2008-12-09 | Hoya Corporation | Container for housing a mask blank, method of housing a mask blank, and mask blank package |
| US7838182B2 (en) | 2003-07-08 | 2010-11-23 | Hoya Corporation | Container for housing a mask blank, method of housing a mask blank, and mask blank package |
| US7384133B2 (en) | 2003-08-08 | 2008-06-10 | Seiko Epson Corporation | Liquid container capable of maintaining airtightness |
| US8083335B2 (en) | 2003-08-08 | 2011-12-27 | Seiko Epson Corporation | Liquid container |
| US8210670B2 (en) | 2003-08-08 | 2012-07-03 | Seiko Epson Corporation | Liquid container |
| US8668317B2 (en) | 2003-08-08 | 2014-03-11 | Seiko Epson Corporation | Liquid container |
| JP2006184442A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Nikon Corp | レチクル保護装置および露光装置 |
| JP4581681B2 (ja) * | 2004-12-27 | 2010-11-17 | 株式会社ニコン | レチクル保護装置および露光装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060607 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060613 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061017 |