JP2004214658A - マスク用コンテナ、リソグラフ・マスクをコンテナ内へ移送する方法及びコンテナ内のマスクを走査する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】少なくとも所定の波長の放射に対して少なくとも部分的に半透明であり、所定の波長の光を使用して、コンテナ70の外部からマスクMAの像を得ることができるように形成されている。コンテナ70の半透明部分は、ガラス及びプレキシガラスのうちの少なくとも1つの材料でできている。これにより、コンテナ70を通してマスクMAを走査することができる。
【選択図】図6
Description
−前記保管箱を前記デバイス又は装置の封入保護環境の壁の開放可能な壁部分に提供するステップであって、前記保管箱が、前記開放可能なカバー部分と前記開放可能な壁部分が向かい合い、かつ、前記開放可能な壁部分から前記開放可能なカバー部分に向かう方向から見た場合に、前記開放可能な壁部分の周囲が前記開放可能なカバー部分の周囲と一致し、あるいは前記開放可能なカバー部分の周囲を取り囲むように提供され、前記保護環境が、不活性ガスで充填されるか、あるいは排気されるか、そのいずれかに適合するようになされたステップと、
−前記保管箱の前記開放可能なカバー部分及び前記保護環境の前記開放可能な壁部分を開放するステップであって、前記保管箱の前記カバーが前記保護環境の前記壁部分を形成し、前記保管箱の内部が前記保護環境部分になるステップと、
−前記基板又はマスクの少なくとも一方を、前記保管箱の内部空間から前記保護環境内の空間へ、あるいは前記保護環境内の空間から前記保管箱の内部空間へ移送するステップが含まれ、また、前記方法は、
マスクが上で定義したコンテナによって封入されること、及び、
前記方法が、マスクを前記保管箱の内部空間から前記保護環境内の空間へ移送する際に、コンテナの頂部部分及び底部部分を取り外すステップ、あるいはマスクを前記保護環境内の空間から前記保管箱の内部空間へ移送する際に、マスクを封入するべく頂部部分及び底部部分を組み立てるステップをさらに含むことを特徴としている。
−投影放射(例えばレーザ放射)ビームPBを供給するための放射系Ex、IL(この特定の事例の場合、放射系には放射源LAがさらに含まれている)と、
−マスクMA(例えばレチクル)を保持するためのマスク・ホルダを備えた、マスクをアイテムPLに対して正確に位置決めするための第1の位置決め手段PMに接続された第1の対物テーブル(マスク・テーブル)MTと、
−基板W(例えばレジスト被覆シリコン・ウェハ)を保持するための基板ホルダを備えた、基板をアイテムPLに対して正確に位置決めするための第2の位置決め手段PWに接続された第2の対物テーブル(基板テーブル)WTと、
−マスクMAの照射部分を基板Wの標的部分C(例えば1つ又は複数のダイからなる)に結像させるための投影系(「レンズ」)PLとを備えている。
1.ステップ・モードでは、マスク・テーブルMTは、基本的に静止状態に維持され、マスク像全体が標的部分Cに1回の照射(すなわち単一「フラッシュ」で)投影される。次に、基板テーブルWTがx及び/又はy方向にシフトされ、異なる標的部分CがビームPBによって照射される。
2.走査モードでは、所与の標的部分Cが単一「フラッシュ」に露光されない点を除き、ステップ・モードと基本的に同じシナリオが適用される。走査モードではマスク・テーブルMTを所与の方向(いわゆる「走査方向」、例えばy方向)に速度νで移動させることができるため、投影ビームPBでマスク像を走査し、かつ、基板テーブルWTを同時に同じ方向又は逆方向に、速度V=Mνで移動させることができる。MはレンズPLの倍率である(通常、M=1/4又はM=1/5)。この方法によれば、解像度を犠牲にすることなく、比較的大きい標的部分Cを露光させることができる。
Claims (13)
- マスク(MA)を封入することができるコンテナであって、前記コンテナ(70)が、少なくとも所定の波長の放射に対して少なくとも部分的に半透明であり、前記コンテナが、前記所定の波長の光を使用して、前記コンテナ(70)の外部から前記マスク(MA)の像を得ることができるように形成されていることを特徴とするコンテナ。
- 前記コンテナ(70)の前記半透明部分が、ガラス、プレキシガラスのうちの少なくとも1つの材料でできていることを特徴とする請求項1に記載のコンテナ。
- 前記コンテナが、底部部分(71)及び頂部部分(72)を備え、前記底部部分及び頂部部分(71、72)の各々が接続部材(74)を備え、前記底部部分(71)の前記接続部材(74)を前記頂部部分(72)の前記接続部材(74)に接続することができることを特徴とする請求項1又は2に記載のコンテナ。
- 前記マスク(MA)の少なくとも一方の面の走査を可能にするために、前記コンテナ(70)の前記頂部部分(72)及び前記底部部分(71)の少なくとも一方が、放射に対して少なくとも部分的に半透明であることを特徴とする請求項3に記載のコンテナ。
- 前記コンテナの外部と内部の圧力差をなくすべく、前記底部部分及び/又は頂部部分(71、72)の前記接続部材(74)が、少なくとも部分的に多孔性(70)であることを特徴とする請求項3又は4に記載のコンテナ。
- 前記コンテナ(70)が前記マスク(MA)を支持するための支持デバイス(73、76)を備えたことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載のコンテナ。
- 前記支持デバイス(73、76)が、前記コンテナ(70)から前記マスク(MA)まで延びた脚として形成されたことを特徴とする請求項6に記載のコンテナ。
- 前記支持デバイス(73、76)が、前記マスク(MA)を異なる方向から支持するようになされ、それにより前記マスク(MA)がクランプされることを特徴とする請求項6又は7に記載のコンテナ。
- 前記コンテナ(70)の前記半透明部分の特性が、前記マスク(MA)上のパターン構造と一致するように局部的に適合されたことを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載のコンテナ。
- 前記コンテナ(70)の前記半透明部分が少なくとも1つのレンズ(80)を備えたことを特徴とする請求項9に記載のコンテナ。
- 前記コンテナ(70)が保管箱(10)にぴったりと収まり、あるいは前記コンテナ(70)が保管箱(10)であることを特徴とする請求項1から10のいずれか一項に記載のコンテナ。
- 基板又はマスク(MA)を取り扱い、処理し、あるいは使用するべく、開放可能なカバー部分(12)を有する保管箱(10)からデバイス又は装置へ、あるいはデバイス又は装置から保管箱(10)へ、1つ又は複数の基板又はマスク(MA)を移送するための方法であって、前記方法が、
前記保管箱(10)を前記デバイス又は装置の封入保護環境の壁の開放可能な壁部分(21)に提供するステップであって、前記保管箱(10)が、前記開放可能なカバー部分(12)と前記開放可能な壁部分(21)が向かい合い、かつ、前記開放可能な壁部分(21)から前記開放可能なカバー部分(12)に向かう方向から見た場合に、前記開放可能な壁部分(21)の周囲が前記開放可能なカバー部分(12)の周囲と一致し、あるいは前記開放可能なカバー部分(12)の周囲を取り囲むように提供され、前記保護環境が、不活性ガスで充填されるか、あるいは排気されるか、そのいずれかに適合するようになされたステップと、
前記保管箱(10)の前記開放可能なカバー部分(12)及び前記保護環境の前記開放可能な壁部分(21)を開放するステップであって、前記保管箱(10)の前記カバーが前記保護環境の前記壁部分を形成し、前記保管箱(10)の内部が前記保護環境部分になるステップと、
前記基板又はマスク(MA)の少なくとも一方を、前記保管箱(10)の内部空間から前記保護環境内の空間へ、あるいは前記保護環境内の空間から前記保管箱(10)の内部空間へ移送するステップを含み、
前記マスク(MA)が、請求項3から11までのいずれか一項に記載のコンテナ(70)によって封入され、かつ、
前記方法が、前記マスク(MA)を前記保管箱(10)の内部空間から前記保護環境内の空間へ移送する際に、前記コンテナ(70)の前記頂部部分(72)及び前記底部部分(71)を取り外すステップ、あるいは前記マスク(MA)を前記保護環境内の空間から前記保管箱(10)の内部空間へ移送する際に、マスクを封入するべく前記頂部部分(72)及び前記底部部分(71)を組み立てるステップを含むことを特徴とする方法。 - マスク(MA)が、請求項1から11までのいずれか一項に記載のコンテナ(70)によって封入されることを特徴とする、スキャナ・アセンブリ(60)を使用して前記マスク(MA)の汚染を走査する方法。
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