JP2007173265A - 耐衝撃性クリーン容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】耐衝撃性クリーン容器1は容器3を有し、容器3にはガスケット18を介して扉17が設けられている。
扉17上には緩衝材21c、21dが設けられており、容器3の上部13の内壁には緩衝材21a、21bが設けられている。
また、緩衝材21c、21dの上面には下部保持部24a、24bが設けられており、緩衝材21a、21bの下面には上部保持部23a、23bが設けられている。
扉17が閉じた状態では、試料25は、上部保持部23a、23bと下部保持部24a、24bに挟み込まれており、上部保持部と下部保持部に設けられた緩衝材が試料25に外部からの衝撃が伝わるのを防ぐ。
【選択図】図2
Description
図15に示すように、マスク201は外形が200mmウェハ形状であり、表面には、長さ204が1.13mmの正方形で、厚さが2umのシリコンからなるメンブレン203が形成され、メンブレン203に回路パターンに対応するステンシルパターンが形成された構造のものである。
Equipment and Materials International)(所在地3081 Zanker Road, San Jose, CA 95134, USA)による規格(以下、SEMI規格と呼ぶ。)が定められている。
One(登録商標)がある。
図16はSMIFポッド131の構造を示す斜視図であって、図17はポッドのA1−A1断面図である。また、図18は、図16のB1方向矢視図である。
図16〜図18に示すように、容器133は、上部135、側部137a、137b、137c、137d、および張り出し部分であるかぎ部139a、139b、139c、139dからなる。
ガスケット145は扉141が閉じた状態において容器133と扉141の間を大気が通過するのを防ぐ。
なお、ガスケット145は、扉141側に固定されていても、容器133側に固定されていてもよい。
容器133の内部には試料として試料151が設けられ、扉が閉じた状態では、試料151は、上部保持部153aと下部保持部157aに挟み込まれ、また、上部保持部153bと下部保持部157bに挟み込まれており、上部保持部153a、153bの有する弾性力で、SMIFポッド131内で移動しないように固定される。
なお、このような場合、図16のA1−A1断面上には、3対のうちの1対しか存在しえないが、保持の仕方の説明の都合で、2対を図中に描いてある。本明細書中の他の断面図も同様である。
大気型の容器133には、この必要を満たし、かつ軽量で透明な材料としてバイヨン(登録商標)やバレックス(登録商標)が用いられる。
真空型の容器133や扉141は、大気圧に耐えられる強度を有する必要から、金属やガラスが用いられる。上部保持部153a、153bおよび下部保持部157a、157bにはポリエーテルエーテルケトン(PEEK)が用いられる。
金属で容器筐体の大部分を作製した場合には、試料151を外部から視認できるように、上部135にはガラス製ののぞき窓135aを設けることが望ましいい。なお、上部135自体が透明な材料で構成される場合には、のぞき窓135aは特に設けられない。
図19は扉141の詳細図である。
図19に示すように、扉141の内部には円盤状の回転板147が軸159に軸支されており、回転板147は軸159を中心にC1およびC2方向に回転可能である。
latch hole)167a、167bが設けられている。
図20〜図22はオープナ171による扉141の開動作と、試料151の従来のSMIFポッド131からの搬出手順を示す図である。
詳しくは後述するが、回転部175a、駆動ピン179a、179bは、SMIFポッド131の扉141を開閉する際に用いられる。
なお、オープナ171内部も低真空対応になっている。
また、扉141をポートドア173のガスケット181と密着させる。
前記扉は、前記扉を施錠する施錠手段と、前記施錠を解除する解除手段と、を有する。
前記第1の扉は、前記第1の扉を施錠する施錠手段と、前記施錠を解除する解除手段と、を有する。
前記外容器と前記内容器の間には、隔壁が設けられていてもよい。
前記隔壁には、粒子を吸着する吸着膜が設けられていてもよい。
前記外容器は、外部から開閉可能な第2の扉を更に有してもよい。
前記第1の扉と前記第2の扉の間には、前記第2の扉の開閉に連動して前記第1の扉が開閉する開閉手段が設けられていてもよい。
前記の第2の扉は、前記の第2の扉を施錠する施錠手段と、前記施錠を解除する解除手段と、を有する。
容器3と扉17はガスケット18によって密着しており、内部はクリーンルーム内と同様の清浄度に保たれている。
なお、内部は真空にしてもよい。
また、緩衝材21c、21dの上面には下部保持部24a、24bが設けられており、緩衝材21a、21bの下面には上部保持部23a、23bが設けられている。
なお、図示はしていないが、上部保持部と下部保持部はもう1対あり、3対の上部保持部と下部保持部は試料151の外周にわたり略120度間隔で設けられており、各対に対して緩衝材が設けられている。
ここでエラストマーとは、ゴムと熱可塑性エラストマーから成る総称であり、熱可塑性エラストマーの例としては、ウレタン熱可塑性エラストマーを挙げることができる。
従って、搬送中の試料25の破損を防ぐことができる。
さらに、従来の容器に比べて、作製費の大幅な追加は不要であるため、生産性に優れる。
なお、第1の実施形態に係る耐衝撃性クリーン容器1と同様の機能を果たす要素には同一の番号を付し、説明を省略する。
なお、かぎ部35a、35b、35c、35dは矩形の開口部45を有している。
なお、容器3の構造はSMIFポッド131と同様である。
図5〜8は試料25をオープナ51を用いて耐衝撃性クリーン容器30から取り出す際の手順を示す図である。
図5に示すように、オープナ51は箱型の形状を有し、上部55にはポートドア57が設けられている。
ポートドア57は図示しないアクチュエータ等によって、上下に移動可能である。
なお、オープナ51の内部はクリーンルーム内と同様の清浄度に保たれている。
回転部63には駆動ピン65a、65bが設けられている。
まず、図5に示すように、耐衝撃性クリーン容器30は図示しないロボットアーム等によって、図のH2方向に移動される。
かぎ部35a、35cが、オープナ51のガスケット59と密着することにより、外部の空気がオープナ51および容器3の内部に侵入することを防ぐことができる。
このとき、駆動ピン65a、65bは図19に示す駆動ピン用穴に挿入される。
このようにして、試料25を外気に触れさせることなく、耐衝撃性クリーン容器30から取り出すことができる。
従って、第1の実施形態と同様の効果を奏する。
さらに2重構造にすることによって、外容器、内容器と緩衝材のそれぞれに対して、その用途に適した材質を選択できることができる。
例えば、緩衝材として、緩衝性に富み、かつガス放出量の少ない材料は限定されるが、ガス放出量の少ないという制約を外すと、より多くの材料を選択することができる。
図9は第3の実施形態に係る耐衝撃性クリーン容器30aを示す断面図であって、図10は図9の隔壁63付近を示す詳細図である。なお、第2の実施形態に係る耐衝撃性クリーン容器30と同様の機能を果たす要素には同一の番号を付し、説明を省略する。
第3の実施形態における耐衝撃性クリーン容器30aは、第2の実施形態に係る耐衝撃性クリーン容器30において、外容器3aのかぎ部35a、35cと容器3のかぎ部9a、9cの間に隔壁63を設けたものである。
隔壁63を設けることにより、緩衝材41a、41cから発生する粒子等の異物が、試料25を取り出す際に、容器3およびオープナ51内に進入することを防ぐことができる。
吸着膜65を設けることにより、搬送中に開口部45から侵入し、隔壁63の内壁に付着した粒子67等の異物が、試料25を取り出す際に、容器3およびオープナ51内に進入することを防ぐことができる。
従って、第2の実施形態と同様の効果を奏する。
図11は第4の実施形態に係る耐衝撃性クリーン容器30bを示す断面図である。なお、第2の実施形態に係る耐衝撃性クリーン容器30と同様の機能を果たす要素には同一の番号を付し、説明を省略する。
第4の実施形態における耐衝撃性クリーン容器30bは、第2の実施形態に係る耐衝撃性クリーン容器30において、扉17の幅を太くして、扉17の底面と外容器の底面であるかぎ部の間に段差が生じないようにしたものである。
従って、第2の実施形態と同様の効果を奏する。
図12は第5の実施形態に係る耐衝撃性クリーン容器30cを示す断面図である。
なお、第2の実施形態に係る耐衝撃性クリーン容器30と同様の機能を果たす要素には同一の番号を付し、説明を省略する。
扉17bは固定用ピン75a、75b、によって底部9に固定されている。
扉17bの構造は扉17と同様であり、扉17bの内部には回転板33bが軸35bに軸支されており、回転板33bが回転することによって固定用ピン75a、75bが移動するようになっている。
即ち、扉17bの回転板33bを回転させることにより、固定用ピン75a、75bおよび固定用ピン19a、19bが移動するため、扉17と扉17bを同時に開閉することができる。
従って、第4の実施形態と同様の効果を奏する。
なお、側部91aは開口部である。
なお、側部103aは開口部である。
側部103aには扉107が開閉可能に設けられている。
扉107が閉じた状態では、扉107はガスケット119aによって容器99に密着している。
底部97と底部105の間には緩衝材113a、113bが設けられている。
容器99の内部には試料25が設けられ、試料25は、支持部115aと支持部117aに挟み込まれ、支持部115bと支持部117bに挟み込まれて固定されている。
隔壁119の構造および効果は第3の実施形態の隔壁63と同様であるため、説明を省略する。
従って第1の実施形態と同様の効果を奏する。
なお、試験は破壊試験なので、試験で破損があったサンプルを試験に再度用いることはできないため、試験に用いた組の中でのサンプルの組み合わせは同じではない。
落下試験は、容器もしくはサンプルの一端を床面に接触させたまま、他の一端を10〜20mm持ち上げてから自由落下させる片側接触試験と、床面に対してサンプルが平行である状態を維持したまま持ち上げて10〜50mmの高さから自由落下させる水平保持試験の2種類の試験を行った。まず耐衝撃性クリーン容器1にサンプルを収容し、落下試験を行った。そのの結果を図23に示す。
なお、試験結果の評価は、サンプルの破損がない場合は「○」、メンブレンのみが一部でも破損した場合は「△」、フレームが一部でも破損した場合は「×」という3段階の評価である。
図24より、片側接触試験、水平保持試験いずれも一部サンプルに破損が見られ、耐衝撃性クリーン容器1と比べて耐衝撃性が劣っていることがわかる。
図25より、片側接触試験、水平保持試験いずれも全ての条件でサンプルに破損が見られ、サンプルはむき出しの状態で落下させると容易に破損してしまうことがわかる。
3…………外容器
5a………のぞき窓
7a………側部
9a………かぎ部
17………扉
17a……扉
17b……扉
18………ガスケット
19a……固定用ピン
21a……緩衝材
23a……上部保持部
24a……下部保持部
25………試料
27………回転板
29………軸
30………耐衝撃性クリーン容器
30a……耐衝撃性クリーン容器
30b……耐衝撃性クリーン容器
30c……耐衝撃性クリーン容器
39a……緩衝材
40a……通気口
41a……緩衝材
51………オープナ
53a……掛け金
55………上部
59………ガスケット
61………ガスケット
63………隔壁
63a……回転部
65………吸着膜
65a……駆動ピン
67………粒子
87………耐衝撃性クリーン容器
Claims (10)
- 容器と、
前記容器の内部に設けられ、試料を保持する保持部と、
前記容器に設けられ、外部から開閉可能な扉と、
前記容器と前記保持部の間に設けられ、前記容器に与えられた振動を吸収する緩衝材と、
を有することを特徴とする耐衝撃性クリーン容器。 - 前記扉は、
前記扉を施錠する施錠手段と、
前記施錠を解除する解除手段と、
を有することを特徴とする請求項1記載の耐衝撃性クリーン容器。 - 外容器と、
前記外容器の内部に設けられ、試料を保持する保持部を有する内容器と、
前記内容器に設けられ、外部から開閉可能な第1の扉と、
前記外容器と前記内容器の間に設けられ、前記外容器に与えられた振動を吸収する緩衝材と、
を有することを特徴とする耐衝撃性クリーン容器。 - 前記第1の扉は、
前記第1の扉を施錠する施錠手段と、
前記施錠を解除する解除手段と、
を有することを特徴とする請求項3記載の耐衝撃性クリーン容器。 - 前記外容器と前記内容器の間には、隔壁が設けられていることを特徴とする請求項3または4記載の耐衝撃性クリーン容器。
- 前記隔壁には、粒子を吸着する吸着膜が設けられていることを特徴とする請求項5記載の耐衝撃性クリーン容器。
- 前記外容器は、外部から開閉可能な第2の扉を更に有することを特徴とする請求項3記載の耐衝撃性クリーン容器
- 前記第1の扉と前記第2の扉の間には、前記第2の扉の開閉に連動して前記第1の扉が開閉する開閉手段が設けられていることを特徴とする請求項7記載の耐衝撃性クリーン容器。
- 前記の第2の扉は、
前記の第2の扉を施錠する施錠手段と、
前記施錠を解除する解除手段と、
を有することを特徴とする請求項7または8記載の耐衝撃性クリーン容器。 - 容器と、オープナと、からなる試料移載システムであって、
前記オープナは、
ポート扉と、
前記耐衝撃性クリーン容器の外部から開閉可能な扉の開閉を行う開閉機構と、
前記耐衝撃性クリーン容器を前記ポート扉に載置して、前記耐衝撃性クリーン容器に収納された試料を前記オープナ内部に搬送する手段と、
を有し、
前記容器として、請求項1から9のいずれかに記載の耐衝撃性クリーン容器を用いることを特徴とする試料移載システム。
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