JP2011186006A - 基板収納装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板収納装置100内に外気を取り込む給気部110と,給気部に対向して配置された排気部120と,給気部と排気部との間に設けられ,これらの間を連通する連通孔142を有する基板載置板140と,給気部に設けられた給気フィルタ112と,給気部又は排気部に設けられたファン122とを備え,基板収納装置100内の状態を検出する状態センサと,パーティクル帯電装置と,温調装置とのいずれか又は2つ以上の組合せを装着孔150に着脱自在に設けた。
【選択図】 図2
Description
先ず,本実施形態にかかる基板収納装置を図面を参照しながら説明する。ここでは,基板としてのマスクブランクスを1枚ずつ収納して搬送する基板収納装置を例に挙げる。図1は本実施形態にかかる基板収納装置の構成例を示す斜視図であり,図2は基板収納装置の縦断面図である。図1に示すように基板収納装置100の外観は箱状であり,その内部に1枚のマスクブランクスMを水平に収納できるように構成されている。
次に,上述した状態センサ,パーティクル帯電装置,温調装置を装着した基板収納装置100の具体例について説明する。例えば図1に示すように本実施形態にかかる基板収納装置100はその給気部110に装着孔150を設け,状態センサ,パーティクル帯電装置,温調装置に設けた装着部152をこの装着孔150に取り付けることによって着脱自在に装着できる。
110 給気部
112 給気フィルタ
114 導入ポート
116 ガス供給源
120 排気部
122 ファン
130 側壁
132 支持部材
140 基板載置板
142 連通孔
150 装着孔
152 装着部
154 状態センサ
156 パーティクル帯電装置
158 温調装置
160 制御部
162 記憶部
164 操作部
170,172,174 防振材
180 外側容器
182 循環路
184 閉塞板
M マスクブランクス
Claims (12)
- 基板を収納する基板収納装置であって,
前記基板収納装置内に外気を取り込む給気部と,
前記給気部に対向して配置された排気部と,
前記給気部と前記排気部との間に設けられ,これらの間を連通する連通孔を有する基板載置板と,
前記給気部に設けられた給気フィルタと,
前記給気部又は前記排気部に設けられたファンと,を備え,
前記基板収納装置内の状態を検出する状態センサと,パーティクル帯電装置と,温調装置とのいずれか又は2つ以上の組合せを着脱自在に設けたことを特徴とする基板収納装置。 - 前記状態センサは,温度センサ,帯電センサ,パーティクルセンサ,振動センサ,ガスセンサのいずれか又は2つ以上の組み合せであることを特徴とする請求項1に記載の基板収納装置。
- 前記状態センサの出力を記憶する記憶部と,
前記記憶部に記憶された前記状態センサの出力が所定の閾値を超えたか否かを判定する制御部と,
を設けたことを特徴とする請求項2に記載の基板収納装置。 - 前記基板収納装置を覆うように収納する外側容器を備え,
前記基板収納装置と前記外側容器との間に,前記排気部からの排気を前記給気部に戻す循環路を形成したことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の基板収納装置。 - 前記基板収納装置と前記外側容器との間に防振材を設けて,前記防振材の間を前記循環路にしたことを特徴とする請求項4に記載の基板収納装置。
- 前記基板収納装置の外側又は前記外側容器の外側に防振材を設けたことを特徴とする請求項4に記載の基板収納装置。
- 前記給気部と前記排気部との間には,側板を着脱自在に設けたことを特徴とする請求項6に記載の基板収納容器。
- 基板を収納する基板収納装置であって,
前記基板収納装置内にパージガスを導入する導入ポートを設けた給気部と,
前記給気部に対向して配置された排気部と,
前記給気部と前記排気部との間に設けられ,これらの間を連通する連通孔を有する基板載置板と,
前記給気部又は前記排気部に設けられたファンと,を備え,
前記基板収納装置内の状態を検出する状態センサと,パーティクル帯電装置と,温調装置とのいずれか又は2つ以上の組合せを着脱自在に設けたことを特徴とする基板収納装置。 - 基板を収納する基板収納装置であって,
前記基板収納装置内に外気を取り込む給気部と,
前記給気部に対向して配置された排気部と,
前記給気部と前記排気部との間に設けられ,これらの間を連通する連通孔を有する基板載置板と,
前記給気部又は前記排気部に設けられたファンと,を備え,
前記基板収納装置内の状態を検出する状態センサと,パーティクル帯電装置と,温調装置とのいずれか又は2つ以上の組合せを着脱自在に設け,
前記排気部と前記給気部との間は開口していることを特徴とする基板収納装置。 - 前記基板収納装置を覆うように収納する外側容器を備え,
前記外側容器には,前記排気部と前記給気部との間は開口を閉塞する閉塞板を設け,
前記基板収納装置と前記外側容器との間に,前記排気部からの排気を前記給気部に戻す循環路を形成したことを特徴とする請求項9に記載の基板収納装置。 - 前記基板収納装置と前記外側容器との間に防振材を設けるとともに,前記防振材の間を前記循環路にしたことを特徴とする請求項10に記載の基板収納装置。
- 前記基板収納装置の外側又は前記外側容器の外側に防振材を設けたことを特徴とする請求項10に記載の基板収納装置。
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