JP2009229808A - マスク配置装置の係止構造 - Google Patents

Abstract

【課題】半導体製造プロセツ等でのマスクを配置装置において、シェル上の取付け穴を介してシェルと係止構造との組立および分解において、利便性を向上させる係止構造を提供する。
【解決手段】マスク配置装置の係止構造は、シェル２と、該シェル２の内部に枢着される少なくとも１つの係止部３と、該係止部３の底部に結合される少なくとも１つのロッキングプレート４と、少なくとも１つのネジ５とを備え、シェル２は、少なくとも１つの取付け穴２１を有し、取付け穴２１はシェル２の上表面からその内部を貫通し、ネジ５を順番に取付け穴２１と係止部３とを貫通させ、ロッキングプレート４を螺着する。
【選択図】図２

Description

本発明は、マスク配置装置の係止構造に関し、特に、シェル上に設けられた少なくとも１つの取付け穴を介してシェルと少なくとも１つの係止構造との組立または分解作業を行なうマスク配置装置の係止構造に関する。

従来より、集積回路等の半導体製造プロセス中、マスク配置装置へのマスクやウエハーの組み立て分解の作業が必要である。
以下、従来技術を図面に基づいて説明する。図１は、従来のマスク配置装置の係止構造を示す斜視図である。図１に示すように、従来のマスク配置装置は、シェル１１、係止部１２および底座１３を含む。シェル１１内部の向かい合う側面に固定柱１１１が配置されている。各固定柱１１１の底端にはネジ穴（図示せず）がそれぞれ設けられている。各係止部１２は、それぞれ固定柱１１１に対応してシェル１１の内部に配置されて、係止部１２の底部も２つのロッキングプレート１２１にそれぞれ結合されていることにより、複数のネジ１２２が下から上に順番にロッキングプレート１２１と係止部１２とを貫通して、対応する各固定柱１１１のネジ穴にそれぞれ螺着され、各係止部１２がシェル１１内部に枢着される。底座１３は、各係止部１２に対応する複数の基準ノッチ１３１を配置し、マスク１４が底座１３に配置されると、シェル１１を底座１３に被せることができる。これにより、各係止部１２が対応する各基準ノッチ１３１を係止し、シェル１１と底座１３とは互いに結合固定され、マスク１４はマスク配置装置にしっかり配置される。

マスク配置装置からマスク１４を取り出す際は、工作機台１５を用いて各係止部１２を係止状態から開放する。工作機台１５は、内側に横方向に往復移動できる複数のアーム（図示せず）を有し、各アームは、ノックピン（図示せず）をそれぞれ有する。マスク配置装置が工作機台１５の所定の位置に配置されると、各アームのノックピンがそれぞれ各係止部１２のロケット穴（図示せず）に挿入される。各アームの横方向の移動を利用して係止部１２を制御し、底座１３の基準ノッチ１３１から枢転させて離れさせる。これにより、シェル１１から底座１３が分離され、底座１３からマスク１４を取り出すことができ、後続のウェハ製作工程に進むことができる。

従来のマスク配置装置は、使用時において以下の欠点があった。
マスク配置装置の係止構造は、シェル１１の固定柱１１１、各係止部１２、各ロッキングプレート１２１および各ネジ１２２からなる。係止構造により各係止部１２は、シェル１１の内部に枢着される。しかし、アームの横方向の移動中に故障が起きた場合、マスク配置装置が工作機台１５から分離できなくなったり、シェル１１が底座１３から分離できなくなったりするという状況を引き起こしてしまうことが多かった。従来のマスク配置装置の係止構造は、工具を使ってシェル１１の外部から直接係止部１２を外すことができなかった。そのため、マスク配置装置からマスク１４を取り出す場合、工作機台１５を分解してようやくマスク配置装置を取り外すことが可能となった。これにより、さらにシェル１１と底座１３とを分離させ、マスク１４を取り出した。工作機台１５の分解作業において、人的コストおよび時間がかなり消費された。また、後続のウェハ製作工程を遅らせることになり、ウェハ製作工程の経済的効率が大幅に下落してしまった。以上の原因により、従来のマスク配置装置の係止構造は、改良が必要であった。
米国特許第4,532,970号明細書 米国特許第4,534,389号明細書

本発明は上述した不都合に鑑みてなされたもので、本発明の第１の目的は、シェル上に設けられた少なくとも１つの取付け穴を介してシェルと少なくとも１つの係止構造との組立および分解作業を行ない、組立および分解の利便性を向上させるマスク配置装置の係止構造を提供することにある。
本発明の第２の目的は、係止部が係止片およびスプリングを有することにより、シェルが底座の少なくとも１つの基準ノッチをしっかり係止し、固定状態を向上させるマスク配置装置の係止構造を提供することにある。

上述の目的を達成するため、本発明は、マスク配置装置の係止構造を提供する。
請求項１の発明は、マスク配置装置の係止構造において、シェルと、シェル内部に枢着される少なくとも１つの係止部と、係止部の底部に結合される少なくとも１つのロッキングプレートと、少なくとも１つのネジとを備える。シェルは、少なくとも１つの取付け穴を有し、取付け穴はシェルの上表面からその内部を貫通し、ネジを順番に取付け穴と係止部とを貫通させ、ロッキングプレートを螺着することを特徴とする。

請求項２の発明は、請求項１のマスク配置装置の係止構造において、前記係止部は、係止片およびスプリングを有し、前記係止片の一方の端部にはソケットが形成されており、もう一方の端部には嵌合片が形成されており、前記嵌合片はロケット穴を有し、前記ロケット穴は前記スプリングに結合する凸柱を有し、前記スプリングの一方の端部は前記係止片の支持部を支持し、もう一方の端部は前記シェルの内壁を支持することを特徴とする。
請求項３の発明は、請求項２のマスク配置装置の係止構造において、前記係止部は、一方の側面に支持部が形成されており、前記スプリングの一方の端部を支持することを特徴とする。

請求項４の発明は、請求項１のマスク配置装置の係止構造において、前記シェルは、内側に前記取付け穴に対応する位置に枢着柱が配置され、前記係止片の前記ソケットを枢着させ、前記取付け穴は枢着柱を貫通することを特徴とする。
請求項５の発明は、請求項１または２のマスク配置装置の係止構造において、前記ロッキングプレートは、前記ネジを螺着するネジ穴を有することを特徴とする。
請求項６の発明は、請求項１、２または４のマスク配置装置の係止構造において、前記シェルは、側面に少なくとも１つのノッチを設けていることを特徴とする。

本発明のマスク配置装置の係止構造は、故障時において、従来技術と異なり、シェルの取付け穴を設けたことにより、取付け穴からネジを取り外して、シェルを係止部およびロッキングプレートから分離させ、マスクを取り出し、後続のウェハ製作工程に進むことができる。この分解作業は、迅速で、簡単であるという長所があり、後続のウェハ製作工程の遅れを防止し、ウェハ製作工程の経済的効率を向上させる。また、係止部を設けたことにより、シェルがしっかりと底座に係止することができるため、良好な固定状態が与えられた。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図２は、本発明の一実施形態によるマスク配置装置の係止構造を示す斜視図である。図２に示すように、本発明のマスク配置装置の係止構造は、シェル２、少なくとも１つの係止部３、少なくとも１つのロッキングプレート４および少なくとも１つのネジ５を含む。シェル２は、少なくとも１つの取付け穴２１および少なくとも１つのノッチ２２を有する。取付け穴２１は、シェル２の上表面からその内部を貫通している。取付け穴２１は、シェル２の角の位置に設けられるのが好適である。ノッチ２２は、係止部３がシェル２内部で枢動できるように、シェル２の側面に設けられている。係止部３は、取付け穴２１に対応してシェル２の内部に配置されている。ロッキングプレート４は、係止部３を支持している。ネジ５は、順番に取付け穴２１と係止部３とを貫通して、ロッキングプレート４を螺着し、係止部３をシェル２の内部に枢着する。これにより、シェル２の外部から取付け穴２１を介して直接ネジ５を閉めたり緩めたりして、係止部３の分解および組立が行なわれる。

図３は、本発明の一実施形態によるマスク配置装置を示す斜視図である。図２および３に示すように、本実施形態による係止部３は、係止片３１およびスプリング３２を有する。係止片３１の一方の端部には、ソケット３１１が形成されており、もう一方の端部には、頂面から底面に貫通するロケット穴３１３を設ける嵌合片３１２が形成されている。また、係止片３１の側面には、支持部３１４が形成されており、支持部３１４は、ソケット３１１と嵌合片３１２との間に配置され、係止片３１の一方の端部を支持する。スプリング３２は、スプリングまたはその他の同様の効果を有する弾性デバイスから選択されるのが好適で、係止片３１を枢動させて元に位置に戻す機能を有する。ロッキングプレート４は、スプリング３２と結合する凸柱４１、およびネジ５が順番に取付け穴２１とソケット３１１とを貫通してから、螺着されるネジ穴４２を有する。

図４は、本発明の一実施形態によるマスク配置装置の係止構造を示す底面図である。図２〜図４に示すように、本発明のマスク配置装置の係止構造を組み立てる際、係止片３１のソケット３１１は、取付け穴２１に対応してシェル２の内部に枢着し、係止片３１の嵌合片３１２は、シェル２のノッチ２２の内側の位置に配置されている。これにより、係止片３１は、シェル２内部で枢転を行なうことができる。図３に示すように、係止片３１の詳細な枢着方法は、係止片３１のソケット３１１に枢着するため、シェル２の内側の取付け穴２１に対応する位置に枢着柱２３が配置されている。取付け穴２１は、枢着柱２３を貫通していたり、枢着柱２３がロッキングプレート４上（図示せず）に配置されて、ネジ穴４２が枢着柱２３の端面に設けられていたり、ソケット３１１が直接ネジ５を枢軸としたりする。係止片３１がシェル２の内部に枢着されると、スプリング３２は、ロッキングプレート４の凸柱４１に接合され、ロッキングプレート４は、係止片３１の底部に接合されることにより、スプリング３２の一方の端部は、係止片３１の支持部３１４を支持し、もう一方の端部は、シェル２の内壁(図4、６のノッチ２２の上方の内壁)を支持する。これにより、係止部３がシェル２の内部に枢着するように、ネジ５は、取付け穴２１とソケット３１１とを順番に貫通し、ロッキングプレート４のネジ穴４２を螺着する。

図５は、本発明のマスク配置装置の係止構造が工作機台上に配置された状態を示す斜視図である。図６は、本発明のマスク配置装置の係止構造が分解される前の状態示す側面図である。図７は、本発明のマスク配置装置の係止構造が分解された後の状態示す側面図である。図３〜図７に示すように、本発明のマスク配置装置は、シェル２、内部カバ６および底座７からなる。内部カバ６は、シェル２の内側に接合し、底座７は、マスク８を配置する。底座７は、係止部３に対応して少なくとも１つの基準ノッチ７１を有する。シェル２が底座７に被せられると、マスク８をマスク配置装置内に配置するため、係止片３１の嵌合片３１２は、対応する基準ノッチ７１を嵌合して、シェル２と底座７とを互いに接合させ固定する。また、図５に示すように、マスク８を取り出す際は、マスク配置装置を先に工作機台９上に配置し、工作機台９の内側のアーム（図示せず）のノックピン（図示せず）を係止片３１のロケット穴３１３中に挿入する。アームの横方向の移動により、係止片３１の嵌合片３１２を制御して枢転させ底座７の基準ノッチ７１から分離させる。これと同時に、スプリング３２の形状を変化させる。これにより、底座７は、シェル２から分離し、底座７からマスク８が取り出せるようになり、後続のウェハ製作工程に進むことができる。

図６および図７に示すように、工作機台９のアームが底座７とシェル２から分離する過程で故障が起きた場合は、工具（図示せず）をシェル２の外部から取付け穴２１内に直接入れて、直ちにネジ５を回転させて取り出す。これにより、係止部３とロッキングプレート４とをシェル２から分離させ、順番にシェル２、係止部３、ロッキングプレート４と底座７とを分離させ、マスク８を取り出し、後続のウェハ製作工程に進むことができる。

以上のように、本発明のマスク配置装置の係止構造は、故障時において、従来技術と異なり、シェル２の取付け穴２１を設けたことにより、取付け穴２１からネジ５を取り外して、シェル２を係止部３およびロッキングプレート４から分離させ、マスク８を取り出すことができる。これにより、後続のウェハ製作工程に進むことができる。分解作業は、迅速で、簡単であるという長所があり、後続のウェハ製作工程の遅れを防止し、ウェハ製作工程の経済的効率を向上させる。また、係止部３を設けたことにより、シェル２がしっかりと底座７に係止することができるため、良好な固定状態が与えられた。

以上のように、本発明のマスク配置装置の係止構造の実施例は、故障時において、従来技術と異なり、シェルの取付け穴を設けたことにより、取付け穴からネジを取り外して、シェルを係止部およびロッキングプレートから分離させ、マスクを取り出し、後続のウェハ製作工程に進むことができ、この分解作業は、迅速で、簡単であるという長所があり、後続のウェハ製作工程の遅れを防止し、ウェハ製作工程の経済的効率を向上させ、また、係止部を設けたことにより、シェルがしっかりと底座に係止することができるため、良好な固定状態が与えらる。
なお、本発明では好適な実施形態を前述の通りに開示したが、これらは決して本発明を限定するものではなく、当該技術を熟知する者は誰でも、本発明の精神と領域を脱しない範囲内で各種の変更や修正を加えることができることは勿論である。

従来のマスク配置装置の係止構造を示す斜視図である。 本発明の一実施形態によるマスク配置装置の係止構造を示す斜視図である。 本発明の一実施形態によるマスク配置装置を示す斜視図である。 本発明の一実施形態によるマスク配置装置の係止構造を示す底面図である。 本発明のマスク配置装置の係止構造が工作機台上に配置された状態を示す斜視図である。 本発明のマスク配置装置の係止構造が分解される前の状態示す側面図である。 本発明のマスク配置装置の係止構造が分解された後の状態示す側面図である。

符号の説明

２ シェル
３ 係止部
４ ロッキングプレート
５ ネジ
６ 内部カバ
７ 底座
８ マスク
９ 工作機台
２１ 取付け穴
２２ ノッチ
２３ 枢着柱
３１ 係止片
３２ スプリング
４１ 凸柱
４２ ネジ穴
７１ 基準ノッチ
３１１ ソケット
３１２ 嵌合片
３１３ ロケット穴
３１４ 支持部

Claims (6)

1. シェルと、
   前記シェル内部に枢着される少なくとも１つの係止部と、
   前記係止部の底部に結合される少なくとも１つのロッキングプレートと、
   少なくとも１つのネジとを備えるマスク配置装置の係止構造であって、
   前記シェルは、少なくとも１つの前記取付け穴を有し、前記取付け穴は前記シェルの上表面からその内部を貫通し、前記ネジを順番に前記取付け穴と前記係止部とを貫通させ、前記ロッキングプレートを螺着することを特徴とするマスク配置装置の係止構造。
2. 前記係止部は、係止片およびスプリングを有し、前記係止片の一方の端部にはソケットが形成されており、もう一方の端部には嵌合片が形成されており、前記嵌合片はロケット穴を有し、前記ロケット穴は前記スプリングに結合する凸柱を有し、前記スプリングの一方の端部は前記係止片の支持部を支持し、もう一方の端部は前記シェルの内壁を支持することを特徴とする請求項１に記載のマスク配置装置の係止構造。
3. 前記係止部は、一方の側面に支持部が形成されており、前記スプリングの一方の端部を支持することを特徴とする請求項２に記載のマスク配置装置の係止構造。
4. 前記シェルは、内側に前記取付け穴に対応する位置に枢着柱が配置され、前記係止片の前記ソケットを枢着させ、前記取付け穴は枢着柱を貫通することを特徴とする請求項１に記載のスク配置装置の係止構造。
5. 前記ロッキングプレートは、前記ネジを螺着するネジ穴を有することを特徴とする請求項１または２に記載のマスク配置装置の係止構造。
6. 前記シェルは、側面に少なくとも１つのノッチを設けていることを特徴とする請求項１、２または４に記載のマスク配置装置の係止構造。

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