JPS63187244A - マスク収納ケ−ス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体素子製造用のマスクを収納する防塵用
のマスク収納ケースに関するものである。

〔従来の技術〕

半導体素子製造の露光装置に用いるマスクの収納ケース
は、従来、特開昭６０−９７６１８号公報に記載されて
いるように、開閉可能な上蓋と下蓋とくより密閉状態に
マスク？収納する箱形の形状をなし、上記下蓋にはマガ
ジンへの収納番地に対応する番地コードの切込みを有し
、さらに、上蓋および下蓋には、収納されたマスクが前
後左右に移動するのを防止する金属爪を設け、マスクを
各別に密閉状態のまま保存し、かつ搬送可能な構成にな
っていた。しかし、上蓋と下蓋との確実なりランプおよ
びマスクが上下方向に移動するのを防ぐ固定は行われず
、また、上記上蓋には透明なガラス窓が取付けられ、マ
スク収納の有無を確認できるようにはなっているが、マ
スクをケースに収納したままマスクパタンを透過照明に
より顕微鏡観察できるようには配慮されていない。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来技術では、上蓋に設けた位置決めピンを下蓋に
穿った穴に挿入して水平方向の位置ずれを防止している
が、上下方向に対する上蓋と下蓋との結合に対しては考
慮されていない。そのため、人手によりケース乞移動す
る場合に下蓋を確実に保持しなければならず、誤って上
蓋を持上げた時にはケース内のマスクを落下し破損する
おそれがあった。また、上記ケース内に収納したマスク
は上下方向に固定されていないため、ケースを落下させ
た場合にマスクが撮動し、マスクエツジ部の破損やバタ
ン面の汚染を生じることがある。

さらに、露光によってウェハにバタン転写後にマスク欠
陥に起因する不良が判明した場合、マスクバタン面を顕
微鏡で直接鋼量した（なるが、マスクをケースから出し
て観察する場合くは、観察中に顕微鏡や人体から発生す
る異物が上記バタン面に付着し、新たな不良原因を作る
怖れがあった。このため、マスクをケースに収納したま
ま観察できることが望ましく、そのための照明は反射、
透過の両方できることが好ましい。上記従来技術では、
上蓋にガラス窓が設けてあり反射照明による観察は可能
であるが、下蓋に観察用の窓がないため透過照明による
観察はできなかった。

本発明の目的は、上記各問題点を解決し、どのような姿
勢でもマスクケースの搬送が可能で、かつマスクをケー
スに収納したまま、反射、透過の両方の照明によるマス
クバタンの顕微鏡観察が可能なマスク収納ケースを得る
ことにある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は上蓋と下蓋とよりなるマスク収納ケースの上
蓋にマスクの弾性押圧手段乞投け、上蓋と下蓋には相互
にクランプできる蓋クランプ機構乞設けるとともに、上
蓋と下蓋との中央部に顕微ｆａ観察のためのガラス窓を
設けることにより達成される。

〔作用〕

上蓋側側圧弾性体よりなる押圧手段を設けることにより
、下蓋上に載置したマスクが上下方向に移動するの押圧
して防止し、上蓋と下蓋とに設けた蓋クランプ機構は、
上蓋を下蓋に機械的に係止固定し、人為的に上記クラン
プを解除しない限りは、上蓋が下蓋から離脱しないから
、どのような姿勢でマスクケースの搬送を行っても、下
蓋とともにマスクを取落すことはな（、搬送中にマスク
が撮動して破損したりバタン面を汚染するようなことが
ない。また、上蓋と下蓋との中央部にガラス窓を設けた
ことにより、マスクをケース内に収納したままの状態で
、マスクバタンの照明を反射および透過のいずれの方法
によっても顕微鏡による観察を行うことができ、その際
バタン面を汚染するようなことがない。

〔実施例〕

つぎに本発明の実施例を図面とともに説明する。第１図
は本発明によるマスク収納ケースの一実施例を示す断面
図である。第１図において、本発明のマスク収納ケース
は上Ｍ１と下蓋２とからなり、上下に分割可能な構成で
ある。上記上蓋１の内部両側には、それぞれ弾性板を湾
曲して形成した押圧ばね３を弾性押圧手段として設け、
上記上蓋１の外部両端には先端忙係止爪を有する帯状弾
性板よりなるフック部材６を設け、かつ上蓋１の中央部
には顕微鏡観察用のガラス窓１０を取付けている。また
、中央に顕微鏡観察用のガラス窓１１を設げた下蓋２の
上記ガラス窓１１の周囲には、マスク５の前後左右およ
び回転方向の位置決めを行うための複数個のガイド８を
設け、上記上蓋１の側壁内縁に嵌合する段差部を上記ガ
イド８の周りに有し、上記段差部の外側にはケース自身
を取付台に対して位置決めするための基準となる複数個
の穴９、および上蓋°１に設けたフック部材６の係止爪
を係止する穴を有する係止突起７乞有している。上記係
止突起７とフック部材６とで蓋クランプ機構４を構成し
ている。

上記の構成によるマスク収納ケースは、マスク５を下蓋
２の上記ガイド８の間にｇ置し、上蓋１をかぶせてフッ
ク部材６の先端の係止爪を上記下蓋２の係止突起７の穴
に係止すると、上蓋１の内部両側に設けた押圧ばね３は
それぞれマスク５の両端を弾性により押圧し、マスク５
がケース内で上下に移動するのを防止する。また本実施
例の蓋クランプ機構は、上蓋１のフック部材６の中間部
を指でケース中心に向げて押し、下蓋２の係止突起７か
ら上記フック部材６の係止爪を外して上蓋１馨持上げな
い限り、上蓋１と下４２は係合されたままであるから、
搬送中に下蓋２が落下してマスク５を損傷することはな
い。さらに、上蓋１と下蓋２との両方にガラス窓１０お
よび１１をそれぞれ設けているため、マスクパタンをケ
ースに収納したままで透過照明による顕微鏡観察を容易
に行うことができる。さらにまた、上記ガイド８と取付
基準穴９とにより、外部の装置、例えば露光装置に対し
てマスク５を正確に位置決めして取付けることができ、
マスク５の自動搬送に対しても十分に対応することが可
能である。

〔発明の効果〕

上記のように本発明によるマスク収納ケースは、上下に
分割可能な密閉構造を上蓋と下蓋とで構成スるマスク収
納ケースにおいて、上記上蓋にはマスクの上下４Ｉｉｂ
を防止する弾性押圧手段と、中央部にガラス窓とを設け
、上記下蓋には、マスクの位置決め？行う複数個のガイ
ドと、マスク収納ケースの位置決めを行う取付基準部と
、中央部にガラス窓とを設け、上記上蓋を上記下蓋に係
止する蓋クランプ機構を上蓋および下蓋に相対して設け
たことにより、マスクが収納ケース内で移動することな
く確実にクランプすることができ、かつ収納したままの
マスクを反射あるいは透過照明洗より顕微鏡観察できる
ので、マスクの安全な搬送と保管、および観察を行うこ
とがＯＴ能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるマスク収納ケースの一実施例を示
す断面図である。 １−・上蓋、２・・・下蓋、３・・・弾性押圧手段、４
・・・蓋クランプ機構、８・・・ガイド、９・・・取付
基準部、１０．１１・・・ガラス窓。 □〒ζ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、上下に分割可能な密閉構造を上蓋と下蓋とで構成す
   るマスク収納ケースにおいて、上記上蓋にはマスクの上
   下移動を防止する弾性押圧手段と、中央部にガラス窓と
   を設け、上記下蓋には、マスクの位置決めを行う複数個
   のガイドと、マスク収納ケースの位置決めを行う取付基
   準部と、中央部にガラス窓とを設け、上記上蓋を上記下
   蓋に係止する蓋クランプ機構を上蓋および下蓋に相対し
   て設けたことを特徴とするマスク収納ケース。