JPH0333744A - ホトマスクケース及びホトマスクの保管方法 - Google Patents
ホトマスクケース及びホトマスクの保管方法Info
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- JPH0333744A JPH0333744A JP1168207A JP16820789A JPH0333744A JP H0333744 A JPH0333744 A JP H0333744A JP 1168207 A JP1168207 A JP 1168207A JP 16820789 A JP16820789 A JP 16820789A JP H0333744 A JPH0333744 A JP H0333744A
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- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims description 6
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract description 4
- 238000005406 washing Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、ホトマスクを収納するホトマスクケースに関
する。
する。
〈従来の技術〉
従来のホトマスクケースな第６図及び第７図により説明
する。
する。
ｆｔ５６図に示すホトマスクケース３０は、マスク収納
部３１と、該マスク収納部３１にｄｓｍ：＋２を介して
回動自在に設けた蓋部３３とから戊る。
部３１と、該マスク収納部３１にｄｓｍ：＋２を介して
回動自在に設けた蓋部３３とから戊る。
前記マスク収納部３１にはマスク支持部３４が設けられ
ている。又前記蓋部３３にはマスク押え部３５が設けら
れている。更に、該蓋部３３にはｌヒめ具３６か設けら
れている。
ている。又前記蓋部３３にはマスク押え部３５が設けら
れている。更に、該蓋部３３にはｌヒめ具３６か設けら
れている。
上記ホトマスクケース３０では、蓋部３３を開閉してホ
トマスク５０の出し入れが行われる。又ホトマスクケー
ス３０に収納されたホトマスク５０はマスク支持部３４
に支持される。更に蓋部３３を閉じた時には、ホトマス
ク５０かマスク押え部３５に押圧されて固定される。
トマスク５０の出し入れが行われる。又ホトマスクケー
ス３０に収納されたホトマスク５０はマスク支持部３４
に支持される。更に蓋部３３を閉じた時には、ホトマス
ク５０かマスク押え部３５に押圧されて固定される。
更に別のホトマスクケース４０としては、ｐＪＳＴ図に
示す如く、マスク収納溝４１を設けたマスク収納部４２
と蓋部４３とから威る。
示す如く、マスク収納溝４１を設けたマスク収納部４２
と蓋部４３とから威る。
上記ホトマスクケース４０では、マスク収納溝４１にホ
トマスク５０が挿入されて収納される。
トマスク５０が挿入されて収納される。
〈発明が解決しようとする課題〉
しかしながら、上記構成の前者のホトマスクケースては
、平置状にする為、蓋部を開閉した時に蝶番や係合部等
が擦れてホトマスクケースの庁耗粉か発生し、ホトマス
クケースや収納したホトマスクを汚染する。
、平置状にする為、蓋部を開閉した時に蝶番や係合部等
が擦れてホトマスクケースの庁耗粉か発生し、ホトマス
クケースや収納したホトマスクを汚染する。
又マスク支持部やマスク押え部等の突起部か多い為に洗
浄が容易でない。
浄が容易でない。
一方後者のホトマスクケースでは、縦置状にする為広い
収納空間を必要とする。
収納空間を必要とする。
〈課題を解決するための手段〉
本発明は、上記課題を解決する為に成されたちのて、収
納されたマスクの洗浄度を維持するとともに、広い保管
空間を必要としないホトマスクケースな提供することを
目的とする。
納されたマスクの洗浄度を維持するとともに、広い保管
空間を必要としないホトマスクケースな提供することを
目的とする。
即ち、枠体から威り、該枠体にマスク支持部を設けたマ
スク支持体と、該マスク自体の上面に対して係合自在に
設けた蓋部と、該マスク支持体の下面に対して係合自在
に設けた底部とから構成されたことを特徴とするもので
ある。
スク支持体と、該マスク自体の上面に対して係合自在に
設けた蓋部と、該マスク支持体の下面に対して係合自在
に設けた底部とから構成されたことを特徴とするもので
ある。
又該マスク支持体にマスク固定手段を設けることも好ま
しい。更に該マスク支持体を積み重ねて複層に設けるこ
とも望ましい。
しい。更に該マスク支持体を積み重ねて複層に設けるこ
とも望ましい。
〈作用〉
上記構成のホトマスクケースは、マスク支持体と蓋部と
底部とから構成されているので、（ａ）マスク支持体と
蓋部又は底部と擦れ合うことがない為にホトマスクケー
スより発塵が生じない。
底部とから構成されているので、（ａ）マスク支持体と
蓋部又は底部と擦れ合うことがない為にホトマスクケー
スより発塵が生じない。
（ｂ）マスク支持体と蓋部と底部とに分解される為にホ
トマスクケースの洗浄を容易にする。
トマスクケースの洗浄を容易にする。
（ｃ）マスク支持体を積み重ねて複層に設けられる為に
ホトマスクケースの収納空間を小さくする。
ホトマスクケースの収納空間を小さくする。
〈実施例〉
本発明の実施例を第１図乃至第５図により説明する。
第１図に示すホトマスクケースｌは、マスク支持体２と
蓋部３と底部４とから成る。
蓋部３と底部４とから成る。
前記マスク支持体２は枠体で形成されている。
該マスク支持体２の内周にはマスク支持部５が設けられ
ている。又該マスク支持体２の上面には、外周に治って
環状突部６か設けられている。更に該マスク支持体２の
下面には、外周に沿って環状溝７が設けられている。更
に又該マスク支持体２の上面外周及び下面外周には鍔８
及び鍔９が設けられている。
ている。又該マスク支持体２の上面には、外周に治って
環状突部６か設けられている。更に該マスク支持体２の
下面には、外周に沿って環状溝７が設けられている。更
に又該マスク支持体２の上面外周及び下面外周には鍔８
及び鍔９が設けられている。
該マスク支持体２の厚さｈは、ホトマスク５０とペリク
ル５１との厚さにより所定の厚さに設けられる。当然の
ことながら、ペリクル５１を装着しないホトマスク５０
を収納する場合には、ペリクル５１の厚さ分たけマスク
支持体２の厚さを薄く設けることができる。
ル５１との厚さにより所定の厚さに設けられる。当然の
ことながら、ペリクル５１を装着しないホトマスク５０
を収納する場合には、ペリクル５１の厚さ分たけマスク
支持体２の厚さを薄く設けることができる。
前記蓋部３は、板状体から形成される。該蓋部３の下面
には、凹状部ＩＯが設けられるとともに、前記環状突部
６に係合する環状溝１１が外周に沿って設けられる。又
該蓋部３の下面外周には鍔１２が設けられる。
には、凹状部ＩＯが設けられるとともに、前記環状突部
６に係合する環状溝１１が外周に沿って設けられる。又
該蓋部３の下面外周には鍔１２が設けられる。
又底部４は、板状体から形成される。該底部４の上面に
は、凹状部１３が設けられるとともに前記環状溝７に係
合する環状突部１４が外周に沿って設けられる。又該底
部４の上面外周には鍔１５が設けられる。
は、凹状部１３が設けられるとともに前記環状溝７に係
合する環状突部１４が外周に沿って設けられる。又該底
部４の上面外周には鍔１５が設けられる。
上記構成のホトマスクケースｌにホトマスク５０を収納
するには、先ずマスク支持体２のマスク支持部５にホト
マスク５０を設置する。該ホトマスク５０にペリクル５
１が装着されている場合には、ペリクル装着面を上面又
は下面の何れに向けてもよい。そして、環状突部６に環
状溝１１を係合させてマスク支持体２に蓋部３を静かに
設置するとともに環状突部１４に環状溝７を係合させて
底部４にマスク支持体２を静かに設置する。
するには、先ずマスク支持体２のマスク支持部５にホト
マスク５０を設置する。該ホトマスク５０にペリクル５
１が装着されている場合には、ペリクル装着面を上面又
は下面の何れに向けてもよい。そして、環状突部６に環
状溝１１を係合させてマスク支持体２に蓋部３を静かに
設置するとともに環状突部１４に環状溝７を係合させて
底部４にマスク支持体２を静かに設置する。
上記の様に各環状突部と各環状溝とを係合させることに
より、ホトマスクケース１内に外部から塵埃が侵入する
のを防止する。又マスク支持体２と蓋部３又は底部４と
が互いに擦れ合うことがないので摩耗による発塵が生じ
ない。
より、ホトマスクケース１内に外部から塵埃が侵入する
のを防止する。又マスク支持体２と蓋部３又は底部４と
が互いに擦れ合うことがないので摩耗による発塵が生じ
ない。
更にマスク支持体２．蓋部３及び底部４に分解されるの
て洗浄が容易になる。
て洗浄が容易になる。
尚前記ホトマスク５０を収納した前記ホトマスクケース
１を運搬する際には、第２図に示す如く、鍔８と鍔１２
．鍔９と鍔１５の夫々をクリップ１６で挟着するのが好
ましい。
１を運搬する際には、第２図に示す如く、鍔８と鍔１２
．鍔９と鍔１５の夫々をクリップ１６で挟着するのが好
ましい。
該クリップ１６はコ字形状でかつ弾性体で形成されてい
る。そして、該クリップ１６によって、蓋部３及び底部
４がマスク支持体２から外れるのを防止する。
る。そして、該クリップ１６によって、蓋部３及び底部
４がマスク支持体２から外れるのを防止する。
又前記マスク支持体２には、収納したホトマスク５０を
固定する為のマスク固定手段を設けることか望ましい。
固定する為のマスク固定手段を設けることか望ましい。
第３図に該マスク固定手段１７の説明図を示す。
又第４図に第３図中のＡ−Ａ線断面図を示す。
該マスク固定手段１７は、傾動部１８と爪部１９とから
成る逆り字形状に形成されている。該傾動部１８は、弾
性体から成り、溝２０を介して、前記マスク支持体２に
対して傾動自在に設けられる。
成る逆り字形状に形成されている。該傾動部１８は、弾
性体から成り、溝２０を介して、前記マスク支持体２に
対して傾動自在に設けられる。
該マスク固定手段１７は、マスク支持体２の対向する２
ケ所に設けられるのが好ましい。
ケ所に設けられるのが好ましい。
前記マスク固定手段１７を設けたマスク支持体２にホト
マスク５０を収納するには、先ず各傾動部１８を傾動さ
せ各爪部１９をマスク支持体２に対して外側方向に開く
、そしてホトマスク５０をマスク支持体２に挿入し、傾
動部１８を復元させて爪部１９でホトマスク５０を固定
する。
マスク５０を収納するには、先ず各傾動部１８を傾動さ
せ各爪部１９をマスク支持体２に対して外側方向に開く
、そしてホトマスク５０をマスク支持体２に挿入し、傾
動部１８を復元させて爪部１９でホトマスク５０を固定
する。
又ホトマスク５０をマスク支持体２から外すには、傾動
部１８を傾動させ爪部１９を開いて、ホトマスク５０を
取り出す。
部１８を傾動させ爪部１９を開いて、ホトマスク５０を
取り出す。
次に、マスク支持体２を積み重ねて複層に設けた場合を
第５図により説明する。
第５図により説明する。
ホトマスクケースｌは、前記第１図により説明したもの
と同様のマスク支持体２，２と蓋部３と底部４から威る
。
と同様のマスク支持体２，２と蓋部３と底部４から威る
。
前記マスク支持体２には、上面に環状突部６か設けられ
、下面に環状溝７が設けられる。
、下面に環状溝７が設けられる。
各マスク支持体２．２は、一方の前記環状突部６に他方
の前記環状溝７が係合されて複層に形成される。
の前記環状溝７が係合されて複層に形成される。
前記蓋部３の下面には、上層のマスク支持体の環状突部
６に係合する環状溝１１が設けられる。
６に係合する環状溝１１が設けられる。
又前記底部４の上面には、下層のマスク支持体２の環状
溝７に係合する環状突部１５か設けられる。
溝７に係合する環状突部１５か設けられる。
更に該マスク支持体２には、前記第３図及び第４図によ
り説明したマスク固定手段１７を設けることか望ましい
。
り説明したマスク固定手段１７を設けることか望ましい
。
上記構成のホトマスクケースｌにホトマスク５０を収納
するには、先ずマスク支持体２．２の夫々にホトマスク
ｓｏ、ｓｏを設置する。そして、環状突部６に環状溝１
１を係合させて上層のマスク支持体２に蓋部３を静かに
設置する。次に上層のマスク支持体２の環状溝７に下層
のマスク支持体２の環状突部６を係合させて、マスク支
持体２を複層に設ける。そして、下層のマスク支持体２
の環状溝７と環状突部１５を係合させて、底部４に該マ
スク支持体２を静かに設置する。
するには、先ずマスク支持体２．２の夫々にホトマスク
ｓｏ、ｓｏを設置する。そして、環状突部６に環状溝１
１を係合させて上層のマスク支持体２に蓋部３を静かに
設置する。次に上層のマスク支持体２の環状溝７に下層
のマスク支持体２の環状突部６を係合させて、マスク支
持体２を複層に設ける。そして、下層のマスク支持体２
の環状溝７と環状突部１５を係合させて、底部４に該マ
スク支持体２を静かに設置する。
この様にホトマスクケースｌは、マスク支持体２を積み
重ねて複層に設けたので、収納空間が小さくなる。
重ねて複層に設けたので、収納空間が小さくなる。
尚該ホトマスクケースｌを運搬する際には、前記第２図
により説明したクリップ１６により、各マスク支持体２
同士、蓋部３とマスク支持体２．底部４とマスク支持体
２の夫々な挟着するのか好ましい。
により説明したクリップ１６により、各マスク支持体２
同士、蓋部３とマスク支持体２．底部４とマスク支持体
２の夫々な挟着するのか好ましい。
〈発明の効果〉
以上説明した様に、本発明によれば、マスク支持体と蓋
部と底部とから構成されたことにより、（＋）マスク支
持体と蓋部又は底部とが擦れ合うことがない為にマスク
ケースからの発塵な防止することができ、収納されるホ
トマスクを清沖に保管することができる。
部と底部とから構成されたことにより、（＋）マスク支
持体と蓋部又は底部とが擦れ合うことがない為にマスク
ケースからの発塵な防止することができ、収納されるホ
トマスクを清沖に保管することができる。
（―）マスク支持体を積み重ねて複層に設けたので、マ
スクケースの収納スペースを小さくすることができる。
スクケースの収納スペースを小さくすることができる。
（ｉｉｉ ’）マスク支持体１．蓋部及び底部に分解で
きるので洗浄が容易になり、清浄度が向上できる。
きるので洗浄が容易になり、清浄度が向上できる。
第１図は１本発明の詳細な説明する縦断面図。
第２図は、クリップの説明図、
第３図は、マスク固定手段の説明図、
第４図は、第３図中のＡ−Ａ＆Ｉａ縦断面図、第５図は
、他の実施例を説明する縦断面図、第６図及び第７図は
、従来のホトマスクケースの斜視図である。 ｌ・・・ホトマスクケース、 ２・・・マスク支持体。 ３・・・蓋部、 ４・・・底部、 ５・・・マスク支持
部。 １７・・・マスク固定手段、１８・・・傾動部。 １９・・・爪部、５０・・・ホトマスク。
、他の実施例を説明する縦断面図、第６図及び第７図は
、従来のホトマスクケースの斜視図である。 ｌ・・・ホトマスクケース、 ２・・・マスク支持体。 ３・・・蓋部、 ４・・・底部、 ５・・・マスク支持
部。 １７・・・マスク固定手段、１８・・・傾動部。 １９・・・爪部、５０・・・ホトマスク。
Claims (3)
- （１）枠体から成り、該枠体にマスク支持部を設けたマ
スク支持体と、 前記マスク支持体の上面に対して係合自在に設けた蓋部
と、 前記マスク支持体の下面に対して係合自在に設けた底部
より構成されたことを特徴とするホトマスクケース。 - （２）前記マスク支持体に、傾動部と爪部とから成るマ
スク固定手段を設けたことを特徴とする請求項１記載の
ホトマスクケース。 - （３）前記マスク支持体を積み重ねて複層に設けたこと
を特徴とする請求項１又は請求項２記載のホトマスクケ
ース。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16820789A JP2796131B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | ホトマスクケース及びホトマスクの保管方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16820789A JP2796131B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | ホトマスクケース及びホトマスクの保管方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0333744A true JPH0333744A (ja) | 1991-02-14 |
| JP2796131B2 JP2796131B2 (ja) | 1998-09-10 |
Family
ID=15863776
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16820789A Expired - Fee Related JP2796131B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | ホトマスクケース及びホトマスクの保管方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2796131B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007333950A (ja) * | 2006-06-14 | 2007-12-27 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | ペリクル収納容器およびペリクル収納容器用の挟持部材 |
| JP2008114793A (ja) * | 2006-11-07 | 2008-05-22 | Aisin Seiki Co Ltd | 車両用ステップ装置 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5739537A (en) * | 1980-08-22 | 1982-03-04 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Dust-proof cassette for photo-masking or reticule |
| JPS5741749A (en) * | 1980-08-25 | 1982-03-09 | Hitachi Ltd | Diagnosing system of fault detecting circuit |
| JPS584925A (ja) * | 1981-06-12 | 1983-01-12 | Fujitsu Ltd | プレ−ト保持具 |
| JPS6118959A (ja) * | 1984-07-06 | 1986-01-27 | Canon Inc | 防塵カセツト |
| JPS62158682A (ja) * | 1985-12-28 | 1987-07-14 | キヤノン株式会社 | 基板収納容器 |
| JPS63187244A (ja) * | 1987-01-30 | 1988-08-02 | Hitachi Ltd | マスク収納ケ−ス |
-
1989
- 1989-06-29 JP JP16820789A patent/JP2796131B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
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| JP2008114793A (ja) * | 2006-11-07 | 2008-05-22 | Aisin Seiki Co Ltd | 車両用ステップ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2796131B2 (ja) | 1998-09-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |