JP7187747B2 - 密封搬送装置 - Google Patents
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Description
11 収容空間
12 開口部
20 測定対象物
30 載置モジュール
31 カバー部
32 載置部
40、70 駆動装置
41 引張ばね
42 プレストレスト力ばね
50、60 ロックアセンブリ
61 フアスナー
62 ドライバー
71 ネジアセンブリ
72 モーター装置
80 空気圧制御装置
90 窓
100 密封搬送装置
301 導電性プローブ
302 加熱チップ
303 絶縁部材
Claims (18)
- 電子顕微鏡の真空チャンバー内で用いられる密封搬送装置であって、
測定対象物を収容するための収容空間、及び開口部を有する本体と、
前記収容空間に配置されている載置モジュールと、
前記載置モジュールに接続されており、前記載置モジュールの少なくとも一部が移動して前記収容空間から離れるように駆動することによって、前記測定対象物を前記収容空間から移出させる駆動装置と
を含み、
前記載置モジュールは、
前記本体の前記開口部に対応して配置されて、前記収容空間を密封するためのカバー部と、
前記カバー部から延在して、前記収容空間の中に配置されて、前記測定対象物を載置するための載置部と、
を含み、
ここで、前記載置モジュールが移動して前記収容空間から離れると、前記収容空間は、密封状態から非密封状態に変わる、
密封搬送装置。 - 前記駆動装置は、前記載置モジュールを前記収容空間から離すように引っ張るかまたは押す弾性素子を含む、請求項1に記載の密封搬送装置。
- 前記弾性素子は、引張ばねまたはプレストレスト力ばねを含む、請求項2に記載の密封搬送装置。
- 前記載置モジュールを前記本体の前記収容空間の中にロックおよび固定するロックアセンブリを更に含み、前記ロックアセンブリがアンロックされると、前記弾性素子は前記載置モジュールを前記収容空間から離すように引っ張るかまたは押す、請求項2または3に記載の密封搬送装置。
- 前記駆動装置は、
前記載置モジュールに接続されており、前記載置モジュールを前記収容空間の中にロックおよび固定するネジアセンブリと、
前記ネジアセンブリに接続されており、前記ネジアセンブリを回転させて、前記載置モジュールを前記収容空間から離すように駆動するモーター装置と、
を含む、請求項1から4のいずれか一項に記載の密封搬送装置。 - 前記カバー部は、前記収容空間を外部環境から気密に隔離するための密封素子をさらに含む、請求項1から5のいずれか一項に記載の密封搬送装置。
- 前記本体に配置されており、前記収容空間内の空気圧を制御するための空気圧制御装置をさらに含む、請求項1から6のいずれか一項に記載の密封搬送装置。
- 前記本体はさらに窓を含み、前記窓の材料は、可視光または電子ビームを通過させることができる材料を含む、請求項1から7のいずれか一項に記載の密封搬送装置。
- 前記載置部は、前記測定対象物の位置を変更するために水平移動または垂直移動を実行する変位ユニットをさらに含む、請求項1から8のいずれか一項に記載の密封搬送装置。
- 前記本体と前記載置モジュールとの間に制御電圧または電流を伝送するための電気部品をさらに含む、請求項1から9のいずれか一項に記載の密封搬送装置。
- 温度を制御するために前記載置部に配置される温度制御素子をさらに含む、請求項1から10のいずれか一項に記載の密封搬送装置。
- 電子顕微鏡の真空チャンバー内で用いられる密封搬送装置であって、
測定対象物を収容するための収容空間、及び開口部を有する本体と、
前記収容空間に配置されている載置モジュールと、
前記載置モジュールに接続されており、前記載置モジュールの少なくとも一部が移動して前記収容空間から離れるように駆動することによって、前記測定対象物を前記収容空間から移出させる駆動装置と
を含み、
前記載置モジュールは、
前記本体の前記開口部に対応して配置されて、前記収容空間を密封するためのカバー部と、
前記カバー部から延在して、前記収容空間の中に配置されて、前記測定対象物を載置するための載置部と、
を含み、
ここで、前記載置モジュールが移動して前記収容空間から離れると同時に、前記測定対象物は、前記収容空間から離れる、
密封搬送装置。 - 前記駆動装置は、前記載置モジュールを前記収容空間から離すように引っ張るかまたは押す弾性素子を含む、請求項12に記載の密封搬送装置。
- 前記弾性素子は、引張ばねまたはプレストレスト力ばねを含む、請求項13に記載の密封搬送装置。
- 前記載置モジュールを前記本体の前記収容空間の中にロックおよび固定するロックアセンブリを更に含み、前記ロックアセンブリがアンロックされると、前記弾性素子は前記載置モジュールを前記収容空間から離すように引っ張るかまたは押す、請求項13または14に記載の密封搬送装置。
- 前記駆動装置は、
前記載置モジュールに接続されており、前記載置モジュールを前記収容空間の中にロックおよび固定するネジアセンブリと、
前記ネジアセンブリに接続されており、前記ネジアセンブリを回転させて、前記載置モジュールを前記収容空間から離すように駆動するモーター装置と、
を含む、請求項12から15のいずれか一項に記載の密封搬送装置。 - 前記本体と前記載置モジュールとの間に制御電圧または電流を伝送するための電気部品をさらに含む、請求項12から16のいずれか一項に記載の密封搬送装置。
- 温度を制御するために前記載置部に配置される温度制御素子をさらに含む、請求項12から17のいずれか一項に記載の密封搬送装置。
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