JP2020036003A - 電気的に絶縁されたピンリフター - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (14)
- リフティング真空プロセスチャンバ(4)によって提供されうるプロセス雰囲気領域(P)内で、処理されるべき基板(1)、特にウェハ、を、移動及び位置決めをするように設計されたピンリフティング装置(10、40、50、60)、特にピンリフター、であり、
・前記基板(1)に接触し且つ支持するように設計された支持ピン(7、59)、を収容するように設計された結合部(32、58、68)、を有する結合部分(31)、及び、
・前記結合部(32、58、68)が、
嵌合状態で存在される前記支持ピン(7、59)を、その意図された効果について実質的に作用のない状態である、降下された通常位置から、制御された方法で、
前記嵌合状態にある前記支持ピン(7、59)が、前記基板(1)を収容し及び/又は提供するという意図された効果をもたらす、伸長された支持位置へ、且つ
再び元に戻す
という調整が可能であり、且つ
前記結合部(32、58、68)と調整要素(14、44、54)によって相互作用、特に、前記調整要素(14、44、54)が調整軸(A)に沿って直線的に移動可能であること、をするように設計された駆動ユニット(12)
を有する駆動部分(11)、
を有する上記ピンリフティング装置であって、
前記駆動部分(11)と前記結合部分(31)との間に配置され、前記駆動部分(11)と前記結合部分(31)との間の完全な電気的絶縁を提供する絶縁構成要素(20)によって特徴付けられる、
上記ピンリフティング装置(10、40、50、60)。 - ・前記駆動部分(11)及び前記結合部分(31)は、それぞれ前記絶縁構成要素(20)に接続され、
・前記駆動部分(11)は、前記絶縁構成要素(20)によって、前記結合部分(31)に対して固定位置にあり、
・前記駆動部分(11)及び前記結合部分(31)は、前記絶縁構成要素(20)によって提供された物理的分離により、非接触な様式で存在し、且つ
・前記駆動部分(11)と前記結合部分(31)との間の通電経路が、前記絶縁構成要素(20)によって遮断されている、
ことを特徴とする、請求項1に記載のピンリフティング装置(10、40、50、60)。 - 前記絶縁構成要素(20)が、
・前記駆動部分(11)及び前記結合部分(31)に強固に接続された固定要素(22、42、52、62)、及び
・前記駆動部分(11)及び前記結合部分(31)に相対的に移動可能である結合要素(21、41、51、61)、
を含んでいる、
ことを特徴とする、請求項1又は2に記載のピンリフティング装置(10、40、50、60)。 - 前記固定要素(22、42、52、62)及び前記結合要素(21、41、51、61)が、電気的非伝導性材料、特に、ポリマー含有の又はセラミックの材料、特に、ポリエーテルケトン(PEK)又はポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、から製造される、
ことを特徴とする、請求項3に記載のピンリフティング装置(10、40、50、60)。 - 前記結合要素(21、41、51、61)が、
・前記調整要素(14、44、54)と前記結合部(32、58、68)との相互作用、又は
・前記駆動ユニット(12)と前記調整要素(14、44、54)との間接的又は直接的な結合、
を提供する、
ことを特徴とする、請求項3又は4に記載のピンリフティング装置(10、40、50、60)。 - 前記結合要素(21、41、51、61)は、前記結合部分(31)によって画定された内容積部(Vi)内において、前記駆動ユニット(12)によって、前記調整軸(A)に沿って移動可能である、
ことを特徴とする、請求項3〜5のいずれか1項に記載のピンリフティング装置(10、40、50、60)。 - 前記結合要素(21、41、51、61)は、
降下された通常位置において、前記固定要素(22、42、52、62)と接触し、そして、
前記固定要素(22、42、52、62)に対する伸長された支持位置において、非接触である、
ことを特徴とする、請求項3〜6のいずれか1項に記載のピンリフティング装置(10、40、50、60)。 - 前記結合要素は、結合スリーブ(21、51、61)として形成されており、
前記調整要素(14、54)は、前記結合スリーブ内に少なくとも部分的に収容され、そして、
前記結合スリーブ(21、51、61)は、前記結合部(32、58、68)の結合凹部内に少なくとも部分的に延在し、且つ前記結合凹部に接続されている、
ことを特徴とする、請求項3〜6のいずれか1項に記載のピンリフティング装置(10、40、50、60)。 - 前記調整要素は、前記駆動ユニットのねじ付きスピンドル(13、53)へ結合され、且つ前記ねじ付きスピンドル(13、53)に沿って、直線的に移動させられうるスライド部(14、54)として設計され、
前記ねじ付きスピンドル(13、53)は、前記結合部分(31)の内容積部(Vi)内に、特に前記調整軸(A)と同軸的に、延在している、
ことを特徴とする、請求項3〜8のいずれか1項に記載のピンリフティング装置(10、40、50、60)。 - 前記調整要素は、ねじ付きスピンドル(13、53)又はプッシュロッド(44)として設計されており、
前記調整要素(13、44、53)は、前記結合要素(21、41、51、61)によって、間接的又は直接的に、前記結合部(32、58、68)へ結合される、
ことを特徴とする、請求項3〜8のいずれか1項に記載のピンリフティング装置(10、40、50、60)。 - 前記結合要素(21、41、51、61)、特に結合スリーブ、は、前記結合部分の前記容積部内に延在している前記ねじ付きスピンドル(13、53)の部分を、凹部(21’)によって収容されうるように寸法決めされる凹部(21’)を有している、
ことを特徴とする、請求項9又は10に記載のピンリフティング装置(10、40、50、60)。 - 前記駆動ユニット(12)は、
・前記ねじ付きスピンドル(13、53)へ結合され、且つ、動作中に、前記ねじ付きスピンドル(13、53)の回転を、特に前記調整軸(A)の周りで、与える制御可能な電気モータ、又は
・特にプッシュロッド(44)の形態における、前記調整要素へ結合される空気圧駆動シリンダ、
を含んでいる、
ことを特徴とする、請求項9〜11のいずれか1項に記載のピンリフティング装置(10、40、50、60)。 - 前記電気モータ(12)によって提供されうる前記ねじ付きスピンドル(13、53)の回転中に、
前記スライド部(14、54)、前記結合要素(21、41、51、61)、及び前記結合部(32、58、68)、の直線運動が、前記結合部分(31)の領域において、特に前記結合部分の前記内容積部内において、前記ねじ付きスピンドル(13、53)とスライド部(14、54)との相互作用によって行われる、
ことを特徴とする、請求項9〜12のいずれか1項に記載のピンリフティング装置(10、40、50、60)。 - 前記絶縁構成要素(20)は、特定された空間的寸法の外側円筒形状を有する外壁を有し、
前記駆動部分(11)の外壁と前記結合部分(31)の外壁とは、これらの部分がそれぞれ前記絶縁構成要素(20)へ接続されている少なくともそれぞれの接触領域において、1つの対応する円筒形状と空間的寸法を有する、
ことを特徴とする、請求項1〜13のいずれか一項に記載のピンリフティング装置(10、40、50、60)。
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