JP3120494U - レチクルポッドの保持構造 - Google Patents

Abstract

【課題】効果的にレチクルを挟持できるレチクルポッドの保持構造を提供する。
【解決手段】
本考案のレチクルポッドの保持構造はレチクル３を収納する格納空間１０を具え、格納空間１０中に複数の保持部材２を設置し、各保持部材２は基部２１を具え、基部２１は固定手段で格納空間１０中に固定し、基部２１の上面に上向きに延伸して且つ基部２１に向かって反転した彎曲部２２を設け、基部２１と彎曲部２２の間に彎曲部２２が変形移動できる緩衝空間を具え、彎曲部２２の自由端に順に弾接部２４と保持部２５を設け、彎曲部２２の外側にガイド面２３を設けることにより、レチクル３をレチクルポッドの格納空間１０に入れるとき、まず各保持部材２のガイド面２３がレチクル３を正しい位置に導き、レチクル３の位置がずれるのを防ぎ、更に各保持部材２の弾接部２４と保持部２５でレチクル３を支持固定して、レチクル３がレチクルポッド内で一定位置を保つようにする。
【選択図】 図４

Description

本考案はレチクルポッドの保持構造に関し、特にレチクルポッド内に使用する保持部材であり、レチクルポッドの格納空間の壁面に複数の保持部材をそれぞれ設置し、保持部材のガイド面を利用してレチクルを正しい位置へ導くとともに、レチクルが保持部材の間に弾接支持するようにして、レチクルの磨耗と粉塵の発生を避けることができるレチクルポッドの保持構造に関する。

現代人類の生活をとりまくハイテクノロジー製品を制御する知識と技術の中で、最も重要な位置を占めるのがウエハであるが、ウエハは極度に精密な電子回路をもち、その製造過程はレチクルポッドを利用してクリーンルーム内で高精度の作業を行うため、コストが非常に高い。ウエハの製造不良が発生して大きな代償を払うのを避けるには、製造作業の過程にいささかのミスもわずかな偏りも許されない。

ヒューレット・パッカード・カンパニーが提出したＳＭＩＦシステムは、半導体ウエハが半導体製造工程の保管搬送過程で受けるパーティクルを減少することを目的としている。局部的に清浄を達成する方法は、搬送過程で機械的にウエハ周囲の気相の環境（空気または窒素など）が基本的にウエハに相対的に固定して動かないようにし、また周囲の環境中のパーティクルがウエハに密接した環境に進入しないようにする。更にＳＭＩＦシステムは少量の清浄気体で対象物に清浄な環境を提供でき、気体の運動、気流の方向及び外部の汚染源の影響を受けることが無い。

クリーンルームはではウエハやレチクルの破壊を防ぐために、レチクル搬送ポッドでウエハやレチクルを搬送する。しかし搬送の過程でウエハやレチクルの安定と無塵状態を保って、ウエハやレチクルのパーティクル汚染や損壊を防止する必要があるが、レチクル搬送ポッドはある程度使用すると、一部のパーティクルや肉眼では分からないゴミなどが付着するのは避けられない。そこでレチクル搬送ポッドは、定期的に清浄してポッド内の無塵状態を確保しなければならない。こうして搬送、保管過程でのレチクルの汚染を防ぐ必要があり、パーティクルがレチクルのマスクパターン上に落ちて発見されなければ、後続プロセスのウエハは全て廃棄することになり、損失は重大である。よって、一般に半導体ウエハ工場では定期的にレチクル搬送ポッドの洗浄を行い、静電装置が磨耗していた場合も定期的に交換を行う。

一般にレチクルを収納するレチクルポッドは、図８に示す公知のレチクルポッドの側視断面図のように、レチクルポッドＡの内部上下に向かい合う凸柱Ａ１をそれぞれ設け、レチクルＢを上下に向かい合わせに設けた凸柱Ａ１の間に置き、凸柱Ａ１が上下からレチクルＢの各角の表面に弾接することによって固定する。しかし、凸柱Ａ１でレチクルＢを弾性固定する方法は、凸柱Ａ１の変形や長さの不足などで弾性固定力不良が生じやすく、レチクルＢがレチクルポッドＡ内で滑ってしまう。レチクルポッドＡを搬送するときにレチクルＢの各角が凸柱Ａ１と往復して摩擦してしまい、大量の粉塵が発生してレチクルＢを汚染する。

更に、別の公知のレチクルポッド構造は、図９、図１０に示すように、レチクルポッドＣ内部の上下の四隅にコ形の支持体Ｄを設け、支持体ＤはレチクルＢの角に上下から弾接してレチクルＢを固定する。しかし、支持体ＤでレチクルＢに弾接する方式も、弾性固定力不良のためにレチクルＢの角が往復摩擦してしまい、大量の粉塵が発生してレチクルＢを汚染してしまう。
Ｕ．Ｓ．Ｐａｔｅｎｔ Ｎｏ．４，５３２，９７０ Ｕ．Ｓ．Ｐａｔｅｎｔ Ｎｏ．４，５３４，３８９

効果的にレチクルを挟持できるレチクルポッドを提供し、レチクルがレチクルポッド内で固定され、レチクルがレチクルポッドで位置ずれを起こす状況を減少させ、並びにレチクルとレチクルポッドが相互に摩擦して大量の粉塵を発生するのを避けるようにすることを課題とする。

上記課題を解決するために、本考案は下記の特徴を有するレチクルポッドの保持構造を提供する。
１．請求項１に記載のレチクルポッドの保持構造は、レチクルポッドの保持構造であって、特にレチクルポッド内に使用する保持部材において、該レチクルポッドはレチクルを収容できる格納空間を具え、且つ格納空間中に複数の保持部材を設置し、その改良は、該複数の保持部材は基部を具え、基部は固定手段によって格納空間中に固定し、且つ基部の上面に上向きに延伸し且つ基部に向かって反転した彎曲部を設け、彎曲部の自由端に順に弾接部と保持部を設け、各保持部材の弾接部と保持部でレチクルを弾接支持し位置決めするようにして成ることを特徴とする。
２．請求項２に記載のレチクルポッドの保持構造は、請求項１の場合において、
該固定手段は基部に設置した係合環で、格納空間中に設置した支持点を挟持して保持部材を固定状態にするようにして成ることを特徴とする。
３．請求項３に記載のレチクルポッドの保持構造は、請求項１の場合において、
該固定手段は受け孔を設けた固定部とし、固定部の受け孔を格納空間中に設置した支持点に被せて固定するようにして成ることを特徴とする。
４．請求項４に記載のレチクルポッドの保持構造は、請求項１の場合において、
該固定手段は基部に設置した固定孔に、固定部材を挿入して格納空間中にかしめることができるようにして成ることを特徴とする。

本考案のレチクルポッドの保持構造は、実際の使用に際して以下の長所がある。
１．本考案の保持部材２はガイド面２３によって制限手段１１１上方のレチクル３を低位置へ導き、レチクル３がポッド体１内で位置ずれが発生するのを防ぐ。
２．本考案の保持部材２は彎曲部２２の弾接部２４と保持部２５で弾接支持することによって、レチクル３が各保持部材２と摩擦を起こさないようにし、レチクル３の磨耗と粉塵発生を防止し、レチクルポッドの無塵状態を維持する。
３．本考案の保持部材２は彎曲部２２の自由端のみが変形移動するため、彎曲部２２がレチクル３を保持するときの変形移動量を減少でき、レチクル３をポッド体１内の格納空間１０内に収納すると、搬送過程では防振器の緩衝効果を具える。

（実施例１）
図１、図２に示すように、本考案のレチクルポッドの保持構造は、ポッド体１と複数の保持部材２を具える。
ポッド１はベース１１とカバー１２から成り、ベース１１は複数の制限手段１１１を具え、ベース１１とカバー１２の間に格納空間１０を形成し、格納空間１０の壁面の適当な位置に複数の支持点１３を設ける。

保持部材２は基部２１を具え、基部２１の上面に上向きに延伸して且つ基部２１に向かって反転した彎曲部２２を設ける。彎曲部２２の外側にガイド面２３を設け、彎曲部２２に弾接部２４を設け、且つ弾接部２４末端を彎曲させて保持部２５を延設する。基部２１と彎曲部２２の間は、彎曲部２２が変形して移動するための緩衝空間とする。基部２１から延伸して係合環２６を設けて、格納空間１０の壁面に設けた支持点１３を挟み込む。基部２１と彎曲部２２は別に製造して一体に組合せてもよく、一体成型で製造してもよい。

本考案の使用時には、レチクル３をベース１１の複数の制限手段１１１上に置いてレチクル３とベース１１が一定の距離を保つようにし、後で機械のアームを挿入して取り出しやすいようにする。カバー１２をベース１１上にかぶせる。このとき、各保持部材２はガイド面２３を通じて制限手段１１１情報のレチクル３を定位置に導いて、レチクル３がずれないようにする。カバー１２を完全に合わせると、レチクル３は各保持部材２に設けた彎曲部２２の間に位置決めされ、レチクル３の上表面と側面はカバー１２の複数の保持部材２の弾接部２４と保持部２５内にそれぞれ弾接し、弾性固定を形成する。これによりレチクル３は堅固にポッド体１の格納空間１０内に収納され、彎曲部２２の弾接部２４と保持部２５の弾性支持により、レチクル３は各保持部材２と摩擦することはなく、レチクル３の磨耗および粉塵発生を防止でき、レチクルポッドの無塵状態を保つことができる。

図３に示すように、保持部材２がレチクル３を保持するとき、彎曲部２２の弾接部２４と保持部２５でレチクル３に弾接し、彎曲部２２が変形して移動するようにし、しかし彎曲部２２は基部２１の上面から上向きに延伸し且つ基部２１に向かって反転しているため、彎曲部２２は自由端だけが変形移動し、これにより彎曲部２２がレチクル３を保持するときの変形移動量を減少し、レチクル３をポッド体１の格納空間１０内に収納すると、搬送過程においては防振器の緩衝効果がある。

（実施例２）
図４、図５に示すように、保持部材２は基部２１に受け穴を具えた固定部２７を設け、保持部材２は固定部２７の受け穴を格納空間１０の壁面に設置した支持点１３に被せて固定し、保持部材２がレチクル３を弾接支持すると、彎曲部２２の弾接部２４と保持部２５がレチクル３に弾接し、彎曲部２２は変形移動するが、彎曲部２２は基部２１の上面から上向きに延伸し且つ基部２１に向かって反転しているため、彎曲部２２は自由端のみが変形移動し、これによって彎曲部２２がレチクル３を保持する時の変形移動量が減少し、レチクル３をポッド体１の格納空間１０内に収納すると、搬送過程においては防振器の緩衝効果がある。

（実施例３）
図６、図７に示すように、保持部材２は基部２１に固定部材２９を挿入してかしめることができるようにした固定孔２８を設ける。固定部材２９は基部２１の上面から固定孔２８に挿入してもよく、基部２１の底面から固定孔２８に挿入してもよく、保持部材２を格納空間１０の壁面にかしめる。このようにすると保持部材２の高さを削減でき、ひいてはポッド体１の厚さを縮小できる。また、保持部材２がレチクル３を弾接支持するとき、彎曲部２２の弾接部２４と保持部３でレチクル３を保持し、彎曲部２２は変形移動するが、重心が低くなるため、彎曲部２２が変形移動すると基部２１に弾接し、これによって彎曲部２２がレチクル３を保持するときの変形移動量が減少し、レチクル３をポッド体１の格納空間１０内に収納すると、搬送過程においては防振器の緩衝効果がある。

上述の説明の保持部材２は係合環２６で格納空間１０の壁面の支持点１３を挟持しており、基部２１に固定部２７を設けて、保持部材２は固定部２７を格納空間１０の壁面に被せて固定できるようにしてもよい。また、基部２１に固定部材２９を挿入してかしめることができるようにした固定孔２８を設けて、保持部材２を格納空間１０の壁面にかしめ固定してもよい。このほか、接着剤で保持部材２を格納空間１０の壁面に粘着してもよい。以上は本考案を固定する異なる手段であり、同等の効果が得られる他の構造であってもよい。

上述の説明の保持部材２は格納空間１０の上壁面または下壁面のどちらに設置してもよく、また同時に上下壁面に設置して、ベース１１の制限手段１１１の代替としてもよい。格納空間１０の上下壁面の保持部材２はレチクル３の各側辺に設け、各保持部材２でレチクル３の各辺を保持できるようにするが、保持部材２の位置と配列方法はこれに限らず、同等の効果が得られる他の構造であってもよい。

本考案（実施例１）の立体分解図である。 本考案（実施例１）の保持部材の立体外観図である。 本考案（実施例１）の保持部材が変形移動したときの略図である。 本考案（実施例２）の保持部材の立体外観図である。 本考案（実施例２）の保持部材が変形移動したときの略図である。 本考案（実施例３）の保持部材の立体外観図である。 本考案（実施例３）の保持部材が、変形移動したときの略図である。 公知技術の側視断面図である。 もう一つの公知技術の立体分解図である。 もう一つの公知技術の側視断面図である。

符号の説明

１ ポッド体
１０ 格納空間
１１ ベース
１１１ 制限手段
１２ カバー
１３ 支持点
２ 保持部材
２１ 基部
２２ 彎曲部
２３ ガイド面
２４ 弾接部
２５ 保持部
２６ 係合環
２７ 固定部
２８ 固定孔
２９ 固定部材
３ レチクル
Ａ レチクルポッド
Ａ１ 凸柱
Ｂ レチクル
Ｃ レチクルポッド
Ｄ 支持体

Claims (4)

1. レチクルポッドの保持構造であって、特にレチクルポッド内に使用する保持部材において、該レチクルポッドはレチクルを収容できる格納空間を具え、且つ格納空間中に複数の保持部材を設置し、その改良は、
   該複数の保持部材は基部を具え、基部は固定手段によって格納空間中に固定し、且つ基部の上面に上向きに延伸し且つ基部に向かって反転した彎曲部を設け、彎曲部の自由端に順に弾接部と保持部を設け、各保持部材の弾接部と保持部でレチクルを弾接支持し位置決めするようにして成ることを特徴とするレチクルポッドの保持構造。
2. 該固定手段は基部に設置した係合環で、格納空間中に設置した支持点を挟持して保持部材を固定状態にするようにして成ることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッドの保持構造。
3. 該固定手段は受け孔を設けた固定部とし、固定部の受け孔を格納空間中に設置した支持点に被せて固定するようにして成ることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッドの保持構造。
4. 該固定手段は基部に設置した固定孔に、固定部材を挿入して格納空間中にかしめることができるようにして成ることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッドの保持構造。