JP2001163447A - 移載装置とこれを用いた無人搬送車 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 無人搬送車のスカラーアームのハンド１６に
下部のベース１８と上部の支持板２０とを設け、その間
を防振ゲル２２と金属バネ２４とで接続する。金属バネ
２４と防振ゲル２２とで高さを変え、最初は一方のみが
作用し、荷重が増すと双方が作用するようにする。 【効果】 防振ゲル２２と金属バネ２４との組み合わせ
で走行時の振動を減衰させ、スカラーアーム１０で物品
を保持したまま走行できる。また軽荷重でも重荷重でも
支持板２０の高さが余り変わらないので、荷下ろし時の
制御が容易になる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の利用分野】この発明は移載装置とこれを用いた
無人搬送車とに関し、特に移載物品への防振に関する。

【０００２】

【従来技術】移載装置先端の物品支持部に、防振用に弾
性部材を設けることが提案されている。しかしながら防
振部材には、防振に有効な荷重の範囲があり、この範囲
から外れると、振動の吸収効率が低下する。このため軽
荷重の場合と重荷重の場合との双方で、充分に制振する
ことは困難であった。また防振部材は荷重により圧縮さ
れるので、軽荷重の場合と重荷重の場合とで、物品の高
さ位置が変化する。そして充分に制振するには柔らかく
変形しやすい防振部材が好ましく、このような防振部材
では物品の高さ位置が広範囲に変化するため移載が困難
になる。これらのため充分な制振と、移載の容易さとを
両立させることは困難であった。

【０００３】

【発明の課題】請求項１，２の発明の課題は、軽荷重か
ら重荷重まで充分に制振でき、かつ重量による物品の高
さ位置の変化が少ない、移載装置を提供することにあ
る。請求項２の発明の追加の課題は、軽荷重でも重荷重
でも、ストッパーに対して支持部が適切な高さにあるよ
うにすることにある。請求項３の発明の課題は、移載装
置で保持した物品に無人搬送車の走行による振動が加わ
るのを防止し、移載装置で物品を保持したままで無人搬
送車が走行し得るようにすることにある。

【０００４】

【発明の構成】この発明の移載装置は、移載装置の先端
部に、移載装置本体に接続したベースと、該ベースに対
して上下動自在な支持部とを設け、移載物品からの前記
支持部への荷重を、少なくとも２種類の防振部材により
前記ベースへ伝達し、かつ前記２種類の防振部材の間で
作用を開始する高さ位置を異ならせたものである。好ま
しくは、最初に作用を開始する防振部材を弾性定数の小
さな部材で、遅れて作用を開始する防振部材を弾性定数
の大きな部材で構成する。好ましくは、前記２種類の防
振部材の一方を金属バネで、他方を樹脂弾性部材で構成
して、これらの高さを異ならせると共に、前記ベースに
前記支持部からの物品の脱落を防止するためのストッパ
ーを設ける。

【０００５】またこの発明は、前記移載物品を該移載装
置で保持したまま搬送するように構成した、無人搬送車
にある。

【０００６】

【発明の作用と効果】請求項１の発明では、移載物品を
支持するための支持部への荷重を、少なくとも２種類の
防振部材を介してベースへ伝達する。そしてこれらの防
振部材の間で、作用を開始する高さ位置を異ならせてお
く。このため例えば、最初に作用を開始する側の防振部
材を弾性係数の小さな部材で構成し、次に作用を開始す
る側の部材を弾性係数の大きな防振部材で構成すれば、
軽い物品を移載する場合には弾性係数の小さな防振部材
で制振でき、充分に振動を吸収できる。また重い物品を
移載する場合、２つの防振部材が共に作用し、有効に制
振できる。さらに軽い物品では、弾性係数の小さな防振
部材で荷重を支えるので、重量当たりの沈み込みが大き
く、重い物品では弾性係数の大きな防振部材が加わるの
で、重量当たりの沈み込みが小さい。このため軽い物品
でも重い物品でも、移載時の物品の高さ位置が余り変化
せず、移載が容易になる。

【０００７】請求項２の発明では、少なくとも２種類の
防振部材の一方を金属バネで構成し、他方をゴム状弾性
体やゲル状弾性体等の樹脂弾性部材で構成する。これら
の材料としては、ゴムやエラストマー等がある。このた
め重い物品を移載する場合でも、樹脂弾性部材により有
効に振動を吸収できる。そして重い物品でも軽い物品で
も、支持部の高さ位置が余り変化しないので、ベース側
にストッパーを設けても、物品の脱落を防止することが
できる。

【０００８】請求項１または２の移載装置を用いると、
移載装置で保持している物品に加わる振動を小さくする
ことができる。このため物品を移載装置で保持したまま
無人搬送車で搬送でき、無人搬送車に設けた防振の載置
台に物品を移載した後に搬送する場合に比し、移載に必
要な時間を短縮することができる。このことはクリーン
ルームのグレーティング床等を走行するため振動が加わ
り、しかも半導体基板や液晶基板等の振動に弱い物品を
搬送する、クリーンルーム用の無人搬送車で特に有効で
ある。

【０００９】

【実施例】図１〜図５に、無人搬送車２への応用を例と
して実施例を示す。図１において、４はクリーンルーム
のグレーティング床で、無人搬送車２はグレーティング
床４を走行し、６はその走行部で、８は移載制御部であ
る。移載制御部８には移載装置としてのスカラーアーム
１０が例えば昇降自在に取り付けられ、１２はその第１
アームで、１４は第２アームであり、１６は先端のハン
ドである。ハンド１６は第２アーム１４に対して可動自
在であり、下部のベース１８と上部の支持板２０とで構
成され、これらの間を防振ゲル２２とコイルスプリング
等の金属バネ２４とで接続してある。移載制御部８とス
カラーアーム１０は、移載装置の例である。

【００１０】金属バネ２４は防振ゲル２２よりも背が高
く、常時支持板２０の裏面に接触し、防振ゲル２２は、
荷重の大きな物品を搬送した場合にのみ、支持板２０の
裏面に接触する。金属バネ２４や防振ゲル２２の配置
は、支持板２０への荷重をベース１８へ伝える位置であ
れば良く、弾性係数は防振ゲル２２の方が金属バネ２４
よりも大きい。３０は搬送対象のカセットで、半導体基
板や液晶ガラス基板等の物品を搬送し、３２はそのネッ
ク、３４はフランジで、フランジ３４を支持板２０上に
載置して、移載や搬送を行う。図２に、無人搬送車２の
上部を正面から見た姿を示す。３６は例えば一対のスト
ッパーで、ベース１８に取り付け、フランジ３４が移動
して支持板２０から脱落するのを防止する。

【００１１】図３に、ベース１８と支持板２０との関係
を示す。ベース上の例えば４カ所に防振ゲル２２を設
け、同様に例えば４カ所に金属バネ２４を設ける。４０
はガイドで、ベース１８に対する支持板２０の上下動を
ガイドし、設けなくてもよい。４２〜４４は支持板２０
に設けた支持部で、フランジ３４を底面から支持する。
また４６，４７はストッパーで、ベース１８に設け、フ
ランジ３４が所定の位置から外れるのを防止する。なお
５０は、第２アーム１４とハンド１６との間の回動軸で
ある。

【００１２】図４に、空荷から軽荷重，重荷重へと、ハ
ンド１６に加わる荷重が変化した際の、支持板２０の高
さ位置の変化を示す。図４の上部に示すように、空荷の
場合、金属バネ２４のみが支持板２０に接触し、防振ゲ
ル２２は支持板２０には接触しない。なお防振ゲル２２
を支持板２０の裏面に取り付けて、空荷で防振ゲル２２
がベース１８に触れず、加重が加わった後にベース１８
に触れるようにしても良い。空荷の場合、ストッパー３
６の先端は、支持板２０の頂面とほぼ同等の高さもしく
はそれよりも低い位置にある。

【００１３】空のカセット等を支持板２０上に移載し、
軽い荷重が支持板２０に加わると、弾性係数の小さな金
属バネ２４に荷重が加わるので、支持板２０は沈み込
み、ストッパー３６が支持板２０の頂面よりも高い位置
に現れる。この時、防振ゲル２２は支持板２０の裏面に
未接触、あるいは接触しても変形が小さく、防振ゲル２
２から支持板２０に加わる力は小さい。

【００１４】半導体基板や液晶ガラス基板等を収容した
重いカセットを移載すると、支持板２０はさらに沈み込
み、防振ゲル２２と金属バネ２４の双方で支えられる。
防振ゲル２２は金属バネ２４よりも弾性係数が大きいの
で、軽荷重の状態から重荷重の状態への支持板２０の沈
み込みは僅かで、物品の高さ位置の変化も僅かとなる。
このため軽荷重の場合でも、重荷重の場合でも、同じス
トッパーで物品の係止が外れるのを防止できる。

【００１５】図４の上部の空荷の状態は、スカラーアー
ム１０で物品を固定のステーション等から荷積みする前
の状態である。この時、支持板２０やストッパー３６
は、共に物品のフランジ３４よりも低い位置にあること
が必要で、ストッパー３６が支持板２０の表面から突出
しないので、荷積みが容易になる。

【００１６】カセット等の物品が軽い場合、弾性係数の
小さな金属バネ２４で支えるので、振動を充分に吸収で
き、カセット等が重い場合、金属バネ２４に加えて防振
ゲル２２で支えるので、沈み込みの程度は余り変わら
ず、同じストッパー３６で物品が外れるのを防止でき
る。さらに物品が重い場合、弾性を主とした金属バネ２
４と、振動吸収能力の高い防振ゲル２２との組み合わせ
により、充分に振動を吸収できる。

【００１７】物品から支持板２０への荷重と、支持板２
０の変位との関係を図５に示す。物品の荷重が小さい場
合、金属バネ２４が主として作用し、これによって荷重
当たりの変位は大きい。次に荷重が増加すると、防振ゲ
ル２２と金属バネ２４の双方が作用するので、荷重当た
りの変位は小さくなり、共通のストッパー３６により物
品が脱落するのを防止できる。

【００１８】ここでは２種類の防振部材の作用開始高さ
を変えるため、ベースから見た高さが高い金属バネ２４
と高さが低い防振ゲル２２との組み合わせを用いた。し
かしこれらの部材を共に金属バネ等で構成してもよく、
あるいは逆に共に樹脂弾性部材等で構成してもよい。ま
た防振ゲル２２に代えてゴム弾性部材等を用いる場合、
例えば空荷の状態でゴム弾性部材が僅かに引っ張られる
ようにして、ベース１８と支持板２０の双方に接触さ
せ、軽荷重の状態でゴム弾性部材からの力が小さくなる
ようにし、重荷重の状態でゴム弾性部材が圧縮されて大
きな反発力が生じるようにしてもよい。即ち２つの防振
部材の間で、作用の開始高さを変えることは、防振部材
の高さを異ならせることだけに限らない。

【００１９】実施例では、移載装置として移載制御部８
とスカラーアーム１０の組み合わせを用いたが、これに
限るものではなく、例えばスライドフォーク等を用いて
もよい。また実施例では、スカラーアーム１０自体の高
さ調整は移載制御部８内での昇降により処理したが、ハ
ンド１６に昇降機構を設けてもよい。実施例の無人搬送
車はクリーンルームでの搬送に特に適しているが、これ
に限るものではない。

【図面の簡単な説明】

【図１】 実施例の無人搬送車の側面図

【図２】 実施例の無人搬送車の要部正面図

【図３】 実施例の移載装置での、ハンドのベースと支
持板との関係を示す平面図

【図４】 実施例の移載装置でのベースに対する支持板
の高さの変化を示す図

【図５】 実施例の移載装置での、荷重と支持板の変位
との関係を示す特性図

【符号の説明】

２ 無人搬送車 ４ グレーティング床 ６ 走行部 ８ 移載制御部 １０ スカラーアーム １２ 第１アーム １４ 第２アーム １６ ハンド １８ ベース ２０ 支持板 ２２ 防振ゲル ２４ 金属バネ ３０ カセット ３２ ネック ３４ フランジ ３６ ストッパー ４０ ガイド ４２〜４４ 支持部 ４６，４７ ストッパー ５０ 回動軸

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 移載装置の先端部に、移載装置本体に接
   続したベースと、該ベースに対して上下動自在な支持部
   とを設け、 移載物品からの前記支持部への荷重を、少なくとも２種
   類の防振部材により前記ベースへ伝達し、かつ前記２種
   類の防振部材の間で作用を開始する高さ位置を異ならせ
   た、移載装置。
2. 【請求項２】 前記２種類の防振部材の一方を金属バネ
   で、他方を樹脂弾性部材で構成して、これらの高さを異
   ならせると共に、前記ベースに前記支持部からの物品の
   脱落を防止するためのストッパーを設けたことを特徴と
   する、請求項１の移載装置。
3. 【請求項３】 請求項１または２の移載装置を搭載し、
   前記移載物品を該移載装置で保持したまま搬送するよう
   に構成した、無人搬送車。