TWI816982B - 高架搬送車 - Google Patents

高架搬送車 Download PDF

Info

Publication number
TWI816982B
TWI816982B TW109105242A TW109105242A TWI816982B TW I816982 B TWI816982 B TW I816982B TW 109105242 A TW109105242 A TW 109105242A TW 109105242 A TW109105242 A TW 109105242A TW I816982 B TWI816982 B TW I816982B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
support
mentioned
force
base
body member
Prior art date
Application number
TW109105242A
Other languages
English (en)
Other versions
TW202045421A (zh
Inventor
小林誠
Original Assignee
日商村田機械股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日商村田機械股份有限公司 filed Critical 日商村田機械股份有限公司
Publication of TW202045421A publication Critical patent/TW202045421A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI816982B publication Critical patent/TWI816982B/zh

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C19/00—Cranes comprising trolleys or crabs running on fixed or movable bridges or gantries
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • F16F15/04—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using elastic means
    • F16F15/08—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using elastic means with rubber springs ; with springs made of rubber and metal
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • F16F15/04—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using elastic means
    • F16F15/08—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using elastic means with rubber springs ; with springs made of rubber and metal
    • F16F15/085—Use of both rubber and metal springs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0464—Storage devices mechanical with access from above
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
    • Y02T30/00—Transportation of goods or passengers via railways, e.g. energy recovery or reducing air resistance

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Vibration Prevention Devices (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Vehicle Step Arrangements And Article Storage (AREA)
  • Chain Conveyers (AREA)
  • Spinning Or Twisting Of Yarns (AREA)

Abstract

本發明之高架搬送車1具備有升降裝置10，該升降裝置10具有基底部10A、及經由防振部50A(40A)自鉛直方向下方將基底部以可沿著鉛直方向移動之方式加以支撐之第一支撐部50(第二支撐部40)。防振部具有：第一施力部58(48)，其以與支撐部及基底部之雙方接觸之狀態被設置，朝使第一本體構件54(第三本體構件45)及基底部相互地遠離之方向施力；以及第二施力部91A(91B)，其被設置於第一本體構件(第三本體構件)及基底部之一者，若既定值以上之負重施加於第一施力部時，便與第一本體構件(第三本體構件)及基底部之雙方接觸，並且朝使第一本體構件(第三本體構件)及基底部相互地遠離之方向施力。

Description

高架搬送車
本發明一態樣係關於高架搬送車。
已知有一種高架搬送車，其具備有：可沿著軌道移行之本體部、以及具有把持物品之把持部並藉由相對於上述本體部複數個吊持構件被捲入及捲出而進行升降之升降部。例如，於專利文獻1揭示有一種高架搬送車，其升降部具備設置有把持部之基底部、及具有經由防振部自鉛直方向下方將基底部以可沿著鉛直方向移動之方式加以支撐之支撐部並且安裝有吊持構件之複數個緩衝機構，且該等複數個緩衝機構藉由連桿機構所連結。於該高架搬送車中，連桿機構由於以使相互地被連結之複數個緩衝機構之支撐部與基底部之間之各距離彼此相互地接近之方式動作，因此可一邊降低會傳遞至物品之振動，一邊抑制物品之搖晃。 [先前技術文獻]  [專利文獻]
[專利文獻1]國際公開第2018/079146號公報
(發明所欲解決之問題)
於上述習知之高架搬送車中，在物品(FOUP(前開式晶圓傳送盒；Front Opening Unified Pod)之重量成為最重之情形時(於FOUP收容有最大收容數之收容物時)，會以作為防振部之彈簧構件等確實地發揮功能之方式來調整回彈強度，而防止振動傳遞至物品之情形。然而，經如此調整後之防振部，存在有會對於相對較輕之物品，回彈功能無法發揮，而無法防止振動之情形。
因此，本發明一態樣之目的，在於提供即便要搬送之物品之重量的範圍較大，亦可降低會傳遞至物品之振動的高架搬送車。 (解決問題之技術手段)
本發明一態樣之高架搬送車具備有可沿著軌道移行之本體部、及具有把持物品之把持部並且藉由吊持構件而相對於本體部被升降之升降部；其中，升降部具備有：基底部，其設置有把持部；及支撐部，其經由防振部自鉛直方向下方將基底部以可沿著鉛直方向移動之方式加以支撐；且防振部具有：第一施力部，其以與支撐部及基底部之雙方接觸之狀態被設置，朝使支撐部及基底部相互地遠離之方向施力；以及第二施力部，其被設置於支撐部及基底部之一者，若既定值以上之負重施加於第一施力部時，便與支撐部及基底部之雙方接觸，並且朝使支撐部及基底部相互地遠離之方向施力。
於該構成之高架搬送車中，在把持相對較輕之物品之情形時，僅第一施力部之施力力作用於基底部與支撐部之間，而於把持較既定值重之相對較重之物品之情形時，第一施力部之施力力與第二施力部之施力力之雙方作用於基底部與支撐部之間。亦即，於該構成之高架搬送車中，若所把持之物品較既定值重，第二施力部便使施力力作用於基底部與支撐部之間。藉此，於把持相對較輕之物品之情形時，可藉由第一施力部之作用來降低會傳遞至物品之振動，而於把持相對較重之物品之情形時，可藉由第一施力部與第二施力部之作用來降低會傳遞至物品之振動。其結果，即便要搬送之物品之重量的範圍較大，亦可降低會傳遞至物品之振動。
於本發明一態樣之高架搬送車中，支撐部亦可設置有複數個並且藉由連桿機構相互地被連結，且連桿機構以使相互地被連結之支撐部與基底部之間之各距離彼此相互地接近之方式動作。於該構成之高架搬送車中，由於連桿機構會使相互地被連結之支撐部與基底部之間之距離彼此相互地接近，因此可抑制基底部發生滾動運動之情形。因此，可減小在基底部之傾斜，甚至可抑制物品之搖晃。
於本發明一態樣之高架搬送車中，第二施力部亦可由具有黏彈性之構件所形成。於該構成中，可使被搬送物之搖晃衰減，而可有效地抑制物品之搖晃。
於本發明一態樣之高架搬送車中，物品亦可為未收容有被收容物之空的容器、或收容有被收容物之容器，且第一施力部以在把持有空的容器時不會被壓縮之方式被施加壓力。於該構成中，由於即便把持有空的容器，第一施力部亦不會壓縮，因此可容易地防止在把持有空的容器之階段第二施力部與支撐部及基底部之雙方接觸。
於本發明一態樣之高架搬送車中，升降部亦可進一步具有軸部，其一端被設置於支撐部，並且插通被設置在基底部之插通孔中，且第一施力部由軸部所插通，於軸部之另一端，設置有在與基底部之間夾持第三施力部之夾持構件，第三施力部與基底部及夾持構件之雙方接觸，並且朝使基底部及夾持構件相互地遠離之方向施力。於該構成中，可降低第二施力部壓縮後之彈回時的振動。
於本發明一態樣之高架搬送車中，彈性構件亦可由具有黏彈性之構件所形成。於該構成中，可使彈回時之振動衰減，而可有效地抑制物品之搖晃。 (對照先前技術之功效)
根據本發明一態樣，即便要搬送之物品之重量的範圍較大，亦可降低會傳遞至物品之振動。
以下，參照圖式，對一實施形態詳細地進行說明。再者，於圖式之說明中，對相同元件標示相同符號，並省略重複之說明。
圖1係表示一實施形態之高架搬送車之前視圖，而圖2係自前方觀察圖1之高架搬送車之側視圖。於圖1及圖2中，省略連桿機構70之圖示。圖1所示之高架搬送車1沿著被設置於無塵室之天花板等較地板面高之位置的移行軌道(rail)2移行。高架搬送車1例如在保管設備與既定之負載埠之間搬送作為物品之FOUP(前開式晶圓傳送盒)(物品、容器)90。於FOUP 90，例如收容有數片之半導體晶圓或光罩等。FOUP 90具有可由高架搬送車1所保持之凸緣98。
於以下之說明中，為說明上的方便，將圖1之左右方向(X軸方向)設為高架搬送車1之前後方向。將圖1之上下方向設為高架搬送車1之上下(鉛直)方向(Z軸方向)。將圖1之深度方向設為高架搬送車1之左右方向或寬度方向(Y軸方向)。X軸、Y軸及Z軸相互地正交。
如圖1所示，高架搬送車1具有移行驅動部3、水平驅動部(本體部)5、旋轉驅動部(本體部)6、升降驅動部(本體部)7、升降裝置(升降部)10、保持裝置(把持部)11、第一支撐部(支撐部)50(參照圖3)、第二支撐部(支撐部)40(參照圖4)、及連桿機構70(參照圖5)。
於高架搬送車1，以覆蓋水平驅動部5、旋轉驅動部6、升降驅動部7、升降裝置10及保持裝置11之方式，沿著前後方向設置有一對外罩8、8。一對外罩8、8在升降裝置10上升至上升端之狀態下，於保持裝置11之下方形成有供FOUP 90收容之空間。落下防止機構8A防止在升降裝置10上升至上升端之狀態下由保持裝置11所保持之FOUP 90的落下。又，搖晃抑制機構8B抑制於移行時由保持裝置11所保持之FOUP 90之高架搬送車1之前後方向(移行方向)及左右方向的搖晃。
移行驅動部3使高架搬送車1沿著移行軌道2移動。移行驅動部3被配置於移行軌道2內。移行驅動部3驅動在移行軌道2上移行之滾輪(未圖示)。於移行驅動部3之下部，經由軸3A而設置有水平驅動部5。水平驅動部5使旋轉驅動部6、升降驅動部7及升降裝置10在水平面內沿著與移行軌道2之延伸方向正交的方向(左右方向)移動。旋轉驅動部6使升降驅動部7及升降裝置10於水平面內旋轉。升降驅動部7藉由四條皮帶(吊持構件)9之捲入及捲出使升降裝置10升降。再者，升降驅動部7之皮帶9，亦可使用線纜及繩索等適當之吊持構件。
如圖1及圖2所示，本實施形態之升降裝置10以藉由升降驅動部7而可進行升降之方式被設置，且作為高架搬送車1之升降台而發揮功能。升降裝置10具有將FOUP 90加以把持之保持裝置11，並且藉由皮帶9而相對於作為本體部之水平驅動部5、旋轉驅動部6及升降驅動部7被升降。保持裝置11將FOUP 90加以保持。保持裝置11具備有呈L字狀之一對臂12、12、被固定於各臂12、12之手13、13、及使一對臂12、12開閉之開閉機構15。
一對臂12、12被設置於開閉機構15。開閉機構15使一對臂12、12朝相互地接近之方向及相互地分開之方向移動。藉由開閉機構15之動作，一對臂12、12沿著前後方向進退。藉此，被固定於臂12、12之一對手13、13進行開閉。於本實施形態中，於一對手13、13為打開狀態時，保持裝置11(升降裝置10)之高度位置以手13之保持面成為較凸緣98之下表面之高度更下方之方式被調整。然後，藉由在該狀態下一對手13、13成為閉合狀態，手13、13之保持面朝向凸緣98之下表面之下方前進，並於該狀態下使升降裝置10上升，藉此使凸緣98由一對手13、13所保持(把持)，而進行FOUP 90之支撐。
升降裝置10具備有：基底部10A，其設置有保持裝置11；外罩部10B，其覆蓋基底部10A；第一支撐部50，其經由防振部50A自鉛直方向下方將基底部10A可沿著鉛直方向移動地加以支撐；及第二支撐部40，其經由防振部40A自鉛直方向下方將基底部10A可沿著鉛直方向移動地加以支撐。
圖3係表示第一支撐部之概略構成之前視圖，而圖4係表示第二支撐部之概略構成之前視圖。再者，圖3為了說明上的方便，而省略後述之第一本體構件54之一部分及被連結於第一支撐部50之連桿機構70之一部分的圖示。如圖3及圖4所示，第一支撐部50及第二支撐部40係將皮帶9與升降裝置10(參照圖1)加以連結之機構，並且為抑制移行驅動部3進行移行時或升降裝置10進行升降時之振動傳遞至FOUP 90之情形的機構。
如圖2所示，第一支撐部50於左右方向上被設置於升降裝置10之右側。又，如圖3所示，第一支撐部50於前後方向上被配置於兩個部位。第一支撐部50具有連接構件51、擺動構件53、第一本體構件54、第二本體構件56、第一軸部(軸部)57、57、連結構件96、夾持構件95、及防振部50A。防振部50A具有一對第一施力部58、58、一對第二施力部91A、91A、及一對第三施力部92A、92A。
連接構件51係被安裝於皮帶9之構件。擺動構件53係被連結於連接構件51之構件。擺動構件53經由第一銷構件52可進行旋轉地被連結於連接構件51。第一本體構件54係上端開口之大致U字狀之構件，其底部被形成為於水平方向上平坦。第一本體構件54其上端藉由螺栓55被連結於擺動構件53之兩端。第一本體構件54具有第一支撐構件54A(參照圖5及圖6)、及第二支撐構件54B(參照圖5及圖6)。
第一支撐構件54A自下方支撐第一施力部58。第二支撐構件54B係與第一支撐構件54A正交之構件。第二本體構件56係將前後方向上之擺動構件53及第一本體構件54之大致中心部彼此加以連結之構件。一對第一軸部57、57係自第一支撐構件54A朝上方延伸之棒狀的構件，且沿著前後方向以夾著第二本體構件56之方式被配置。第一軸部57之一端被連接於第一本體構件54。第一軸部57被插通於在基底部10A所形成之插通孔中。於第一軸部57之基底部10A側之另一端，設置有在與基底部10A之間夾持第三施力部92A之夾持構件95。
一對第一施力部58、58係具有既定之彈簧常數之壓縮螺旋彈簧，且分別由一對第一軸部57、57所插通。一對第一施力部58、58之各者之上端，以被接觸於基底部10A，而下端被接觸於第一支撐構件54A之狀態被配置。亦即，一對第一施力部58、58之各者，以與第一支撐構件54A及基底部10A之雙方接觸之狀態設置，而朝使第一支撐構件54A及基底部10A相互地遠離之方向施力。作為防振部之第一施力部58，具有降低會在相互地接觸之構件間傳遞之振動的作用。
一對第二施力部91A、91A係由聚胺酯橡膠所形成之構件，而具有黏彈性。於第一施力部58、58未被施加既定值以上之負重時，一對第二施力部91A、91A之上端與基底部10A隔開間隙地被配置，而其下端以被接觸於第一支撐構件54A之狀態被配置。亦即，於第一施力部58、58未被施加既定值以上之負重時，一對第二施力部91A、91A之各者以僅與第一支撐構件54A接觸之狀態被設置，若既定值以上之負重施加於第一施力部58、58，便會與連結構件96及基底部10A之雙方接觸，並且朝使連結構件96及基底部10A相互地遠離之方向施力。
一對第三施力部92A、92A係由聚胺酯橡膠所形成之構件，而具有黏彈性。一對第三施力部92A、92A之各者被配置於基底部10A與夾持構件95之間。一對第三施力部92A、92A之各者與基底部10A及夾持構件95之雙方接觸，並且朝使基底部10A及夾持構件95相互地遠離之方向施力。
如圖2所示，第二支撐部40於左右方向上被設置在升降裝置10之左側。如圖4所示，第二支撐部40於前後方向上被配置在中央部附近。第二支撐部40具有連接構件41、41、擺動構件43、第三本體構件45、第四本體構件46、第二軸部(軸部)47、47、夾持構件94、及防振部40A。防振部40A具有一對第一施力部48、48、一對第二施力部91B、91B、及一對第三施力部92B、92B。
連接構件41、41係供皮帶9、9安裝之構件。擺動構件43係將一對連接構件41、41與第三本體構件45加以連結之構件。一對連接構件41、41與擺動構件43以可朝雙向旋轉之方式被連結，且經由一對第三銷構件42、42被連結。擺動構件43與第三本體構件45以可朝雙向旋轉之方式被連結，且經由第四銷構件44被連結。
第四本體構件46係被連結於第三本體構件45之下端，且沿著水平方向延伸之板材。第四本體構件46具有第三支撐構件46A、及第四支撐構件46B。第三本體構件45自下方支撐第一施力部48、48。第三支撐構件46A自下方支撐第二施力部91B、91B。第四支撐構件46B係與第三支撐構件46A正交之構件。一對第二軸部47、47係自第三本體構件45之下端朝上方延伸之棒狀的構件，且沿著前後方向以夾著第三本體構件45之方式被配置。第二軸部47之一端被連接於第四本體構件46。第二軸部47被插通於在基底部10A所形成之插通孔中。於第二軸部47之基底部10A側之另一端，設置有在與基底部10A之間夾持第三施力部92B之夾持構件94。
一對第一施力部48、48係具有既定之彈簧常數之壓縮螺旋彈簧，分別由一對第二軸部47、47所插通。一對第一施力部48、48之各者之上端，以被接觸於基底部10A，而下端被接觸於第三本體構件45之狀態被配置。亦即，一對第一施力部48、48之各者以與第三本體構件45及基底部10A之雙方接觸之狀態被設置，而朝使第三本體構件45及基底部10A相互地遠離之方向施力。作為防振部之第一施力部48，具有降低會在相互地接觸之構件間傳遞之振動的作用。
一對第二施力部91B、91B係由聚胺酯橡膠所形成之構件，而具有黏彈性。於第一施力部48、48未被施加既定值以上之負重時，一對第二施力部91B、91B之上端與基底部10A隔開間隙地被配置，而其下端以被接觸於第三支撐構件46A之狀態被配置。亦即，於第一施力部48、48未被施加既定值以上之負重時，一對第二施力部91B、91B之各者以僅與第三支撐構件46A接觸之狀態被設置，若既定值以上之負重施加於第一施力部48、48，便會與第三支撐構件46A及基底部10A之雙方接觸，並且朝使第三支撐構件46A及基底部10A相互地遠離之方向施力。
一對第三施力部92B、92B係由聚胺酯橡膠所形成之構件，而具有黏彈性。第三施力部92B、92B之各者被配置於夾持構件94與基底部10A之間，與夾持構件94及基底部10A之雙方接觸，並且朝使夾持構件94及基底部10A相互地遠離之方向施力。
如圖5至圖7所示，連桿機構70將沿著與前後方向(移行方向)及上下方向(鉛直方向)之雙方正交之左右方向(寬度方向)被排列之兩個第一支撐部50及第二支撐部40加以連結，並且將沿著前後方向被排列之兩個第一支撐部50、50彼此加以連結。連桿機構70以使第一支撐部50之第一本體構件54(連結構件96)與基底部10A之間之距離、和第二支撐部40之第四本體構件46與基底部10A之間之距離相互地接近之方式動作。又，連桿機構70以使被配置於左側之第一支撐部50之第一本體構件54與基底部10A之間之距離、和被配置於右側之第一支撐部50之第一本體構件54與基底部10A之間之距離相互地接近之方式動作。以下，對連桿機構70之細節進行說明。
連桿機構70具有第一桿71、第二桿72、第三桿73、第四桿74、第一襯套81、第一塊體82、第二塊體83、第二襯套84、第三襯套85、固定部86、及連結部88。
第一桿71由被固接於第二支撐部40之第四支撐構件46B之第一襯套81所支撐，且沿著前後方向延伸。第一桿71被插通在第一襯套81之插通孔81A中，被設置為可相對於第一襯套81旋轉且可朝向軸向滑動。第一襯套81之材料係以使第一桿71具有既定之旋轉性及既定之滑動性之方式所適當地選定。沿著前後方向排列之兩個第一桿71，沿著前後方向被配置於大致一直線上。又，各個第一桿71分別被配置為在前後方向上與分別插通一對第一施力部48、48之第二軸部47、47(參照圖4)位於一直線上。
第三桿73由被固接於第一支撐部50之第二支撐構件54B之第二襯套84所支撐，且沿著前後方向延伸。第三桿73被插通在第二襯套84之插通孔84A中，被設置為可相對於第二襯套84旋轉且可朝向軸向滑動。第四桿74由被固接於第一支撐部50之第二支撐構件54B之第三襯套85所支撐，且沿著前後方向延伸。第四桿74被插通在第三襯套85之插通孔85A中，被設置為可相對於第三襯套85旋轉且可朝向軸向滑動。第二襯套84及第三襯套85之材料亦與第一襯套81同樣地，以第三桿73及第四桿74具有既定之旋轉性及既定之滑動性之方式所適當地選定。
第三桿73與第四桿74以夾著第一支撐部50相互地平行之方式被配置。沿著前後方向被排列之兩個第三桿73、73，沿著前後方向被配置於一直線上，且經由如後將詳述之連結部88所連結。又，沿著前後方向被排列之兩個第四桿74、74，沿著前後方向被配置於一直線上。
第二桿72由固接於基底部10A之底面之第一塊體82及第二塊體83所支撐，且沿左右方向延伸。第二桿72被插通在第一塊體82之插通孔82A及第二塊體83之插通孔83A中，被設置為可相對於第一塊體82及第二塊體83旋轉且可朝向軸向滑動。
左右方向上之第二桿72之一端被連結於第一桿71。具體而言，第一桿71之端部被插通於在第二桿72所形成之插通孔72A中。左右方向上之第二桿72之另一端被連結於第三桿73。具體而言，第三桿73之端部被插通於在第二桿72所形成之插通孔72B中。又，第二桿72於左右方向上之第一塊體82與第二塊體83之間，被連結於第四桿74。第二桿72經由被固接於基底部10A之底面之固定部86被連結於第四桿74。固定部86吸收第四桿74與第二桿72之安裝公差。
自右方觀察高架搬送車1時，被連結於被配置在前側之第一支撐部50之第三桿73、與被連結於被配置在後側之第一支撐部50之第三桿73，經由連結部88被連結。連結部88被配置於成為沿著前後方向被排列之兩個第二襯套84、84之大致中心的位置。連結部88具有內插部88A，該內插部88A具有較被配置於前側之第三桿73之外徑大的內徑。第三桿73例如經由樹脂等之支撐構件被固定於內插部88A內之一個部位。藉此，第三桿73被設置為可於內插部88A之內部沿著上下左右方向移動。
其次，使用圖3對第一支撐部50之動作之一例進行說明。作為壓縮彈簧之第一施力部58，以在保持裝置11保持有空的FOUP 90時第一施力部58不會壓縮之方式被預先施加壓力。具體而言，以可得到與基底部10A、保持裝置11、及空的FOUP 90之重量之和相同之回彈力之方式被壓縮。因此，保持裝置11若把持收容有某些被收容物之FOUP 90，較第一既定值大之負重作用於第一施力部58，第一施力部58便會被壓縮。再者，於收容有相對較輕之被收容物之情形時(第一施力部58之壓縮量為既定值以下之情形時)，基底部10A不會與第二施力部91A之端部接觸。亦即，基底部10A僅經由第一施力部58而由第一本體構件54(連結構件96)所支撐。
若較第一既定值大之第二既定值之負重作用於第一施力部58，第一施力部58便會進一步被壓縮，而使基底部10A接觸於第二施力部91A之端部。亦即，基底部10A成為經由第一施力部58及第二施力部91A而由第一本體構件54(連結構件96)所支撐。相較於僅經由第一施力部58而由第一本體構件54(連結構件96)所支撐之情形，基底部10A在經由第一施力部58及第二施力部91A而由第一本體構件54(連結構件96)所支撐之情形時，相對於相同重量所造成之下沈量(基底部10A與第一本體構件54(連結構件96)之接近量)會變小。亦即，防振部50A之回彈係數以第二既定值之負重作用於第一施力部58時為界而進行切換。
又，若第一施力部58壓縮，第二施力部91A接觸於基底部10A接觸，第二施力部91A便會產生回彈力。該回彈力會使基底部10A產生振動。被配置於基底部10A與夾持構件95之間之第三施力部92A會吸收藉由該回彈力所產生之朝向上方之衝擊。
其次，使用圖4對第二支撐部40之動作之一例進行說明。作為壓縮彈簧之第一施力部48，以於保持裝置11保持有空的FOUP 90時第一施力部48不會壓縮之方式被預先賦予壓力。具體而言，與第一支撐部50同樣地，以可得到與基底部10A、保持裝置11及空的FOUP 90之重量之和相同之回彈力之方式被壓縮。因此，若保持裝置11將收容有某些被收容物之FOUP 90加以把持，且較第一既定值大之負重作用於第一施力部48，第一施力部48便會被壓縮。再者，於收容有相對較輕之被收容物之情形時(第一施力部48之壓縮量為既定值以下之情形時)，基底部10A不會接觸於第二施力部91B之端部。亦即，基底部10A僅經由第一施力部48而由第四本體構件46所支撐。
若較第一既定值更大之第二既定值之負重作用於第一施力部48，第一施力部48便進一步被壓縮，而成為基底部10A接觸於第二施力部91B之端部。亦即，基底部10A成為經由第一施力部48及第二施力部91B而由第四本體構件46所支撐。相較於僅經由第一施力部48而由於第四本體構件46所支撐之情形，在基底部10A經由第一施力部48及第二施力部91B而由第四本體構件46所支撐之情形時，相對於相同重量所造成之下沈量(基底部10A與第四本體構件46之接近量)會變小。亦即，防振部40A之回彈係數會以第二既定值之負重作用於第一施力部48時為界而進行切換。
又，若第一施力部48壓縮，第二施力部91B接觸於基底部10A，第二施力部91B便會產生回彈力。該回彈力會使基底部10A產生振動。被配置於基底部10A與夾持構件94之間之第三施力部92B會吸收藉由該回彈力所產生之朝向上方之衝擊。
其次，使用圖5至圖7，對將沿著左右方向被排列之第二支撐部40與第一支撐部50加以連結之連桿機構70之動作之一例進行說明。例如，藉由移行時之離心力，力會作用於左側之第二支撐部40之第一施力部48、48。若力作用於第二支撐部40之第一施力部48、48，第一施力部48、48便會被壓縮，第四本體構件46會朝上方(箭頭D1)移動。亦即，第四本體構件46與基底部10A之距離會縮短。若第四本體構件46朝上方移動，經由第一襯套81被固定於第四本體構件46之第一桿71之第一襯套81側之端部，會以被連結於第二桿72之側之端部為基點朝上方(箭頭D2)移動。
若第一桿71之第一襯套81側之端部朝上方移動，第二桿72便自左側觀察時朝順時針方向(箭頭D3)旋轉。若第二桿72朝順時針方向旋轉，被連結於該第二桿72之第三桿73之連結部88側之端部便會以被連結於第二桿72之側之端部為基點而朝上方(箭頭D4)移動。又，若第二桿72朝順時針方向旋轉，被連結於較第二桿72之第四桿74之與被連結於第二桿72之側為相反側之端部，便會以被連結於第二桿72之側之端部為基點朝上方(箭頭D4)移動。藉此，經由第二襯套84被固定於第三桿73並且經由第三襯套85被固定於第四桿74之第一本體構件54，會被朝上方(箭頭D5)推升。若第一本體構件54朝上方被推升，一對第一施力部58、58便會被壓縮。亦即，第一本體構件54與基底部10A之距離會縮短。
另一方面，若第一施力部48、48伸長，第四本體構件46朝下方(與箭頭D1為相反方向)移動，第一桿71之第一襯套81側之端部便會以被連結於第二桿72之側之端部為基點朝下方(與箭頭D2為相反方向)移動。若第一桿71之第一襯套81側之端部朝下方移動，第二桿72便會自左側觀察朝左旋方向(與箭頭D3為相反方向)旋轉。若第二桿72朝左旋方向旋轉，第三桿73之連結部88側之端部便會以被連結於第二桿72之側之端部為基點朝下方(與箭頭D4為相反方向)移動，而第四桿74之與被連結於第二桿72之側為相反側之端部便會以被連結於第二桿72之側之端部為基點朝下方(與箭頭D4為相反方向)移動。藉此，第一本體構件54朝下方(與箭頭D5為相反方向)被下推，而使一對第一施力部58、58被伸長。
如此，將沿著左右方向被排列之第二支撐部40與第一支撐部50加以連結之連桿機構70，若第二支撐部40及第一支撐部50之一者之彈簧構件壓縮或伸長，第二桿72便會以被固接於基底部10A之底面之第一塊體82及第二塊體83為支點而隨之進行旋轉運動，從而將第二支撐部40及第一支撐部50之另一者之彈簧構件壓縮或使其伸長。亦即，連桿機構70於相互地被連結之第二支撐部40及第一支撐部50之基底部10A與第四本體構件46之距離、和基底部10A與第一本體構件54之距離之間產生差距時，以使相互地被連結之第二支撐部40及第一支撐部50之基底部10A與第四本體構件46之距離、和基底部10A與第一本體構件54之距離相互地接近之方式動作。
連桿機構70具有於相互地被連結之第二支撐部40及第一支撐部50之基底部10A與第四本體構件46之距離、和基底部10A與第一本體構件54之距離之間產生差距時，會產生應力(扭轉應力)之第二桿72。第二桿72所產生之應力之反作用力，係作為使相互地被連結之第二支撐部40及第一支撐部50之基底部10A與第四本體構件46之距離、和基底部10A與第一本體構件54之距離相互地接近之力而發揮作用。
其次，對將沿著前後方向被排列之第一支撐部50彼此加以連結之連桿機構70之動作之一例進行說明。例如，藉由移行時之加速或減速，力會作用於後側之第一支撐部50之第一施力部58、58。若力作用於第一支撐部50之第一施力部58、58，第一施力部58、58便會被壓縮，第一本體構件54朝上方(箭頭D5)移動。亦即，第一本體構件54與基底部10A之距離會縮短。若第一本體構件54朝上方(箭頭D5)進行移動，經由第二襯套84被固定於第一本體構件54之第三桿73之連結部88側之端部便會以被連結於第二桿72之側之端部為基點朝上方(箭頭D6)移動。
若連結部88朝上方(箭頭D6)進行移動，被連結於連結部88之另一第三桿73(於圖5中被配置於左方之第三桿73)亦同樣地，連結部88側之端部以被連結於第二桿72之側之端部為基點朝上方(箭頭D6)進行移動。藉此，經由第二襯套84被固定於第三桿73之前側之第一支撐部50之第一本體構件54朝上方(箭頭D7)被推升。若第一本體構件54朝上方被推升，一對第一施力部58、58便會被壓縮。亦即，第一本體構件54與基底部10A之距離會縮短。
另一方面，若前側之第一支撐部50之第一施力部58、58伸長，第一本體構件54朝下方(與箭頭D5為相反方向)進行移動，第三桿73之連結部88側之端部便會以被連結於第二桿72之側之端部為基點朝下方(與箭頭D6為相反方向)進行移動。若連結部88朝下方進行移動，被連結於連結部88之另一第三桿73，其連結部88側之端部亦會以被連結於第二桿72之側之端部為基點朝下方(與箭頭D6為相反方向)進行移動。藉此，前側之第一支撐部50之第一本體構件54會朝下方(與箭頭D7為相反方向)被下推。若第一本體構件54朝下方被下推，一對第一施力部58、58便會被伸長。
如此，將沿前後方向被排列之第一支撐部50彼此加以連結之連桿機構70，若一第一支撐部50之一第一施力部58、58壓縮或伸長，便以連結部88為支點，另一第三桿73之移動追隨一第三桿73之移動，而使另一第一支撐部50之第一施力部58、58壓縮或伸長。亦即，連桿機構70以使相互地被連結之第一支撐部50之基底部10A與各第一本體構件54、54之間之距離彼此相互地接近之方式動作。
連桿機構70具有於相互地被連結之第一支撐部50彼此之基底部10A、與第一本體構件54之各距離之間產生差距時，會產生應力之第三桿73。第三桿73所產生之應力之反作用力，係作為使相互地被連結之第一支撐部50彼此之基底部10A、與第一本體構件54之各距離相互地接近之力而發揮作用。
對上述實施形態之高架搬送車1之作用效果進行說明。上述高架搬送車1之第一支撐部50，於將相對較輕之FOUP 90加以把持之情形時，僅第一施力部58之回彈力(施力力)作用於基底部10A與第一本體構件54(連結構件96)之間，而於將較第二既定值重且相對較重之FOUP 90加以把持之情形時，第一施力部58與第二施力部91A雙方之回彈力(施力力)會作用於基底部10A與第一本體構件54(連結構件96)之間。同樣地，上述高架搬送車1之第二支撐部40，於將相對較輕之FOUP 90加以把持之情形時，僅第一施力部48之回彈力作用於基底部10A與第四本體構件46之間，而於將較第二既定值重且相對較重之FOUP 90加以把持之情形時，第一施力部48與第二施力部91B之雙方之回彈力會單獨地作用於基底部10A與第四本體構件46之間。藉此，於將相對較輕之FOUP 90加以把持之情形時，可藉由第一施力部58(第一施力部48)之作用來降低會傳遞至FOUP 90之振動，於將相對較重之FOUP 90加以把持之情形時，可藉由第一施力部58(第一施力部48)與第二施力部91A(第二施力部91B)之相互作用來降低會傳遞至FOUP 90之振動。其結果，即便於要搬送之FOUP 90之重量範圍較大之情形時，亦可降低會傳遞至FOUP 90之振動。
於上述高架搬送車1中，第二施力部91A、91B係由具有黏彈性之構件所形成。藉此，可使FOUP 90之搖晃衰減，而可有效地抑制FOUP 90之搖晃。
於上述高架搬送車1中，第一施力部48、58以於把持有空的FOUP 90時不會被壓縮之方式被施加壓力。藉此，由於即便把持有空的FOUP 90第一施力部48、58亦不會壓縮，因此可容易地防止在把持有空的FOUP 90之階段，第二施力部91A、91B接觸於第一本體構件54(第四本體構件46)及基底部10A雙方之情形。
於上述高架搬送車1中，在第一本體構件54(第四本體構件46)與基底部10A之間配置有第三施力部92A、92B。藉此，可降低第二施力部91A、91B壓縮後之彈回時的振動。
於上述高架搬送車1中，第三施力部92A、92B係由具有黏彈性之構件所形成。藉此，可使彈回時之振動之搖晃衰減，而可有效地抑制FOUP 90之搖晃。
於上述高架搬送車1中，基底部10A由於被設置為可經由第一施力部58及第一施力部48而相對於第一本體構件54及第四本體構件46沿著上下方向移動，因此可抑制移行驅動部3進行移行時或升降裝置10進行升降時之振動會傳遞至物品之情形。又，於上述高架搬送車1中，由於連桿機構70於相互地被連結之第二支撐部40及第一支撐部50之基底部10A與第四本體構件46之距離、和基底部10A與第一本體構件54之距離之間產生差距時，使相互地被連結之第二支撐部40及第一支撐部50之基底部10A與第四本體構件46之距離、和基底部10A與第一本體構件54之距離相互地接近，因此可抑制於基底部10A發生滾動運動之情形。因此，可減小基底部10A之傾斜，而可抑制FOUP 90之搖晃。其結果，可一邊降低會傳遞至FOUP 90之振動，一邊抑制FOUP 90之搖晃。
連桿機構70由於將沿著與移行驅動部3移行之前後方向及上下方向之雙方正交之左右方向(寬度方向)被排列之兩個第一支撐部50及第二支撐部40彼此加以連結，因此可抑制彎道移行時或將FOUP 90朝向橫向進行移載時會發生之朝向寬度方向之滾動運動。又，連桿機構70由於將沿著移行驅動部3移行之方向被排列之兩個第一支撐部50彼此加以連結，因此可抑制因移行時之加速或減速所發生之朝向前後方向之滾動運動。
以上，雖已對一實施形態進行說明，但本發明一態樣並非被限定於上述實施形態者，而可於不脫離發明主旨之範圍內進行各種變更。
於上述實施形態中，雖已舉設置有將沿著左右方向被排列之兩個第一支撐部50及第二支撐部40加以連結，並且將沿著前後方向被排列之兩個第一支撐部50、50彼此加以連結之連桿機構70為例進行說明，但亦可為未設置有連桿機構70之構成之高架搬送車1。即便於該情形時，即便要搬送之FOUP 90之重量的範圍較大，亦可降低會傳遞至FOUP 90之振動。
於上述實施形態及變形例中，雖已舉第一支撐部50在左右方向上被設置於升降裝置10之右側，且第二支撐部40在左右方向被設置於升降裝置10之左側為例進行說明，但並不限定於此。例如，既可對調在左右方向上第一支撐部50與第二支撐部40之位置，亦可於左右方向之兩側配置第一支撐部50或第二支撐部40。
於上述實施形態及變形例中，雖已舉第二施力部91A、91A被固接於第一支撐構件54A為例進行說明，但亦可被固接於基底部10A之下表面。同樣地，雖已舉第二施力部91B、91B被固接於第三支撐構件46A為例進行說明，但亦可被固接於基底部10A之下表面。
亦可取代上述實施形態及變形例之第一施力部58或第一施力部48、或者除了上述實施形態及變形例之第一施力部58或第一施力部48以外，再配置例如由矽酮樹脂等所形成之凝膠狀之彈性體。即便於該情形時，亦可與配置第一施力部58或第一施力部48之情形時同樣地吸收振動及衝擊。
於上述實施形態及變形例中，雖已舉沿著左右方向被排列之第一支撐部50及第二支撐部40藉由連桿機構70所連結，並且沿著前後方向被排列之第一支撐部50彼此藉由連桿機構70所連結為例進行說明，但並不限定於此。例如，亦可為僅沿著左右方向被排列之第一支撐部50及第二支撐部40藉由連桿機構70所連結之構成之高架搬送車。即便於該情形時，亦可抑制彎道移行時或將FOUP朝向橫向進行移載時會發生之朝向寬度方向之滾動運動。又，亦可為僅沿著前後方向被排列之第一支撐部50彼此藉由連桿機構70所連結之構成之高架搬送車。即便於該情形時，亦可抑制因移行時之加速或減速所發生之朝向前後方向之滾動運動。
於上述實施形態及變形例中，雖已舉第二施力部91A、91A被配置於第一支撐構件54A與基底部10A之間，且第二施力部91B、91B被配置於第三支撐構件46A與基底部10A之間為例進行說明，但並不限定於此。例如，第二施力部91A、91A亦可被設置於例如基底部10A之下表面，並被設置於在第一施力部58壓縮既定量時第三桿73所會移動之位置。亦即，第二施力部91A、91A亦可被設置為接觸於在把持有較第二既定值重之FOUP 90時之第三桿73。同樣地，第二施力部91B、91B亦可被設置為接觸於在把持有較第二既定值重之FOUP 90時之第一桿71。
1:高架搬送車 2:移行軌道 3:移行驅動部 5:水平驅動部 6:旋轉驅動部 7:升降驅動部 8:外罩 9:皮帶 10:升降裝置(升降部) 10A:基底部 10B:外罩部 11:保持裝置(把持部) 12:臂 13:手 15:開閉機構 40:第二支撐部(支撐部) 40A,50A:防振部 41:連接構件 42:第三銷構件 43:擺動構件 45:第三本體構件 46:第四本體構件 46A:第三支撐構件 46B:第四支撐構件 47:第二軸部(軸部) 48,58:第一施力部 50:第一支撐部(支撐部) 51:連接構件 52:第一銷構件 53:擺動構件 54:第一本體構件 54B:第二支撐構件 55:螺栓 56:第二本體構件 57:第一軸部(軸部) 70:連桿機構 71:第一桿 72:第二桿 72A,72B,81A,83A,84A,85A:插通孔 73:第三桿 74:第四桿 81:第一襯套 82:第一塊體 83:第二塊體 84:第二襯套 85:第三襯套 86:固定部 88:連結部 88A:內插部 90:FOUP 91A,91B:第二施力部 92A,92B:第三施力部 94:夾持構件 95:夾持構件 96:連結構件 98:凸緣 D1,D2,D3,D4,D5,D6,D7:箭頭
圖1係表示一實施形態之高架搬送車之前視圖。 圖2係自前方觀察圖1之高架搬送車之側視圖。 圖3係自右方觀察第一支撐部之前視圖。 圖4係自左方觀察第二支撐部之前視圖。 圖5係連桿機構之立體圖。 圖6係被配置於基底部之背面之連桿機構的立體圖。 圖7係被配置於基底部之背面之連桿機構的立體圖。
9:皮帶
10:升降裝置(升降部)
10A:基底部
10B:外罩部
50:第一支撐部(支撐部)
50A:防振部
51:連接構件
52:第一銷構件
53:擺動構件
54:第一本體構件
55:螺栓
56:第二本體構件
57:第一軸部(軸部)
58:第一施力部
72:第二桿
73:第三桿
83:第二塊體
91A:第二施力部
92A:第三施力部
95:夾持構件
96:連結構件

Claims (5)

  1. 一種高架搬送車，其具備有可沿著軌道移行之本體部、及具有把持物品之把持部並且藉由吊持構件而相對於上述本體部被升降之升降部；其中，上述升降部具備有：基底部，其設置有上述把持部；及支撐部，其經由防振部自鉛直方向下方將上述基底部以可沿著鉛直方向移動之方式加以支撐；且上述防振部具有：第一施力部，其以與上述支撐部及上述基底部之雙方接觸之狀態被設置，朝使上述支撐部及上述基底部相互地遠離之方向施力；以及第二施力部，其被設置於上述支撐部及上述基底部之一者，若既定值以上之負重施加於上述第一施力部時，便與上述支撐部及上述基底部之雙方接觸，並且朝使上述支撐部及上述基底部相互地遠離之方向施力；上述升降部進一步具有軸部，其一端被設置於上述支撐部，並且插通被設置於上述基底部之插通孔中，且上述第一施力部由上述軸部所插通，於上述軸部之另一端，設置有在與上述基底部之間夾持第三施力部之夾持構件，上述第三施力部與上述基底部及上述夾持構件之雙方接觸，並且朝使上述基底部及上述夾持構件相互地遠離之方向施力。
  2. 如請求項1之高架搬送車，其中， 上述支撐部設置有複數個並且藉由連桿機構相互地被連結，且上述連桿機構以使相互地被連結之上述支撐部與上述基底部之間之各距離彼此相互地接近之方式動作。
  3. 如請求項1或2之高架搬送車，其中，上述第二施力部係由具有黏彈性之構件所形成。
  4. 如請求項1或2之高架搬送車，其中，上述物品係未收容有被收容物之空的容器、或收容有上述被收容物之容器，且上述第一施力部以在把持有上述空的容器時不會被壓縮之方式被施加壓力。
  5. 如請求項1之高架搬送車，其中，上述第三施力部係由具有黏彈性之構件所形成。
TW109105242A 2019-02-25 2020-02-19 高架搬送車 TWI816982B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019-031995 2019-02-25
JP2019031995 2019-02-25

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW202045421A TW202045421A (zh) 2020-12-16
TWI816982B true TWI816982B (zh) 2023-10-01

Family

ID=72239955

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW109105242A TWI816982B (zh) 2019-02-25 2020-02-19 高架搬送車

Country Status (7)

Country Link
US (1) US11961751B2 (zh)
EP (1) EP3932830B1 (zh)
JP (1) JP7226518B2 (zh)
CN (1) CN113439063B (zh)
SG (1) SG11202108890VA (zh)
TW (1) TWI816982B (zh)
WO (1) WO2020174809A1 (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7323080B2 (ja) * 2020-11-10 2023-08-08 村田機械株式会社 天井搬送車
KR102671898B1 (ko) * 2021-11-08 2024-06-03 한국전력공사 튠트 매스 댐퍼 및 이를 포함하는 에너지 저장 시스템
CN114954544B (zh) * 2022-08-03 2022-10-25 烟台南山学院 一种工业建筑设计石膏模型定位搬运装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001163447A (ja) * 1999-12-10 2001-06-19 Murata Mach Ltd 移載装置とこれを用いた無人搬送車
JP2009176765A (ja) * 2008-01-21 2009-08-06 Asyst Technologies Japan Inc 被搬送物及び防振機構
TW201208957A (en) * 2010-07-02 2012-03-01 Muratec Automation Co Ltd Gripper device for Overhead Hoist Transport vehicle and Overhead Hoist Transport vehicle
TW201448129A (zh) * 2013-02-12 2014-12-16 Murata Machinery Ltd 保管架
JP2017145134A (ja) * 2016-02-19 2017-08-24 村田機械株式会社 天井搬送車
WO2018079146A1 (ja) * 2016-10-25 2018-05-03 村田機械株式会社 天井搬送車

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3601228A (en) * 1968-05-22 1971-08-24 Univ Dayton Resonant-beam/tuned damper
US5178357A (en) * 1989-08-16 1993-01-12 Platus David L Vibration isolation system
US20060179729A1 (en) * 2003-11-21 2006-08-17 Feng Li Shock absorbing support system
EP2444690B1 (en) * 2010-10-19 2018-05-02 Jaguar Land Rover Limited Vibration damper of a vehicle and method of reducing vibration
JP5950457B2 (ja) * 2012-12-05 2016-07-13 信越化学工業株式会社 ガラス基板搬送台車
JP6028760B2 (ja) * 2014-04-01 2016-11-16 村田機械株式会社 搬送装置及び天井走行車

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001163447A (ja) * 1999-12-10 2001-06-19 Murata Mach Ltd 移載装置とこれを用いた無人搬送車
JP2009176765A (ja) * 2008-01-21 2009-08-06 Asyst Technologies Japan Inc 被搬送物及び防振機構
TW201208957A (en) * 2010-07-02 2012-03-01 Muratec Automation Co Ltd Gripper device for Overhead Hoist Transport vehicle and Overhead Hoist Transport vehicle
TW201448129A (zh) * 2013-02-12 2014-12-16 Murata Machinery Ltd 保管架
JP2017145134A (ja) * 2016-02-19 2017-08-24 村田機械株式会社 天井搬送車
WO2018079146A1 (ja) * 2016-10-25 2018-05-03 村田機械株式会社 天井搬送車

Also Published As

Publication number Publication date
EP3932830A4 (en) 2022-10-26
CN113439063B (zh) 2022-12-16
US11961751B2 (en) 2024-04-16
JPWO2020174809A1 (ja) 2021-12-23
US20220157630A1 (en) 2022-05-19
CN113439063A (zh) 2021-09-24
WO2020174809A1 (ja) 2020-09-03
EP3932830A1 (en) 2022-01-05
TW202045421A (zh) 2020-12-16
EP3932830B1 (en) 2023-08-09
JP7226518B2 (ja) 2023-02-21
SG11202108890VA (en) 2021-09-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI816982B (zh) 高架搬送車
TWI716647B (zh) 高架搬運車
JP6344410B2 (ja) 天井搬送車
JP6958639B2 (ja) 搬送車
WO2023013173A1 (ja) 天井搬送車
WO2022102280A1 (ja) 天井搬送車
KR102720414B1 (ko) 천장 반송차
WO2021049203A1 (ja) 天井搬送車
JP7537620B2 (ja) 天井搬送車