TWI716647B - 高架搬運車 - Google Patents

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Abstract

高架搬運車(1)之昇降裝置(10)係具備：分別供安裝複數根帶體(9)之緩衝機構(第二緩衝機構(40)及第一緩衝機構(50))、以及供設置保持裝置(11)之基座部(10A)。緩衝機構係具有：配置於基座部的下方之支承部(第四主體構件(46)及第一主體構件(54))，基座部是透過防振部(第二彈簧構件(48)及第一彈簧構件(58))而設置成可相對於支承部沿上下方向移動。複數個緩衝機構是藉由連桿機構(70)連結，連桿機構是以使互相連結的複數個緩衝機構之支承部和基座部之間的各距離彼此互相接近的方式進行動作。

Description

高架搬運車
[0001] 本發明的一態樣是關於高架搬運車。
[0002] 習知的高架搬運車係具備有可沿著軌道行走之主體部及昇降部，該昇降部係具有把持物品之把持部，且藉由複數個吊持構件之捲繞及退繞而相對於前述主體部進行昇降。例如，專利文獻1所揭示的高架搬運車，是在昇降部和把持部之間配置可在鉛直方向彈性變形自如的緩衝體。依據此構造的高架搬運車，能夠抑制行走體行走時或昇降部昇降時的振動傳遞到物品。 　　[0003] 　　[專利文獻1]日本特開2016-94263號公報
[發明所欲解決之問題] 　　[0004] 上述習知之配置有緩衝材的高架搬運車，雖可將行走體行走時或昇降部昇降時傳遞到物品的振動降低，但例如受到行走中的加速度或轉彎行走中的離心力，昇降部容易發生滾轉(rolling)運動。如此般發生的滾轉運動會使昇降部傾斜，而使物品產生擺動，例如導致物品與高架搬運車的外殼(cover)接觸、物品的移載精度變差等的問題。 　　[0005] 於是，本發明的一態樣之目的是為了提供一種高架搬運車，可將傳遞到物品的振動降低並抑制物品的擺動。 [解決問題之技術手段] 　　[0006] 本發明的一態樣之高架搬運車，係具備有可沿著軌道行走之主體部及昇降部，該昇降部係具有把持物品之把持部，且藉由複數個吊持構件而相對於主體部進行昇降；昇降部係具備：供設置把持部之基座部、及複數個緩衝機構，複數個緩衝機構係具有支承部且供安裝至少一個吊持構件，支承部係透過防振部而將基座部從鉛直方向下方支承成可沿鉛直方向移動，複數個緩衝機構係藉由連桿機構互相連結，連桿機構是以使互相連結的複數個緩衝機構之支承部和基座部之間的各距離彼此互相接近的方式進行動作。 　　[0007] 依據此構造的高架搬運車，基座部係透過防振部設置成相對於各支承部可沿鉛直方向移動，因此可抑制主體部行走時或昇降部昇降時的振動傳遞到物品。此外，依據此構造的高架搬運車，連桿機構是以使互相連結之各個緩衝機構的支承部和基座部之間的各距離彼此互相接近的方式進行動作，因此能抑制基座部之滾轉運動發生。因此，能將基座部的傾斜減少，可抑制物品的擺動。結果，可將傳遞到物品的振動降低並抑制物品的擺動。 　　[0008] 本發明的一態樣之高架搬運車可以是，連桿機構係將在與主體部行走的方向及鉛直方向雙方正交的方向上排列之二個緩衝機構彼此連結。 　　[0009] 依據此構造的高架搬運車能夠抑制住，例如轉彎行走時或將物品往橫方向移載時所發生之朝向寬度方向(與主體部行走的方向及鉛直方向雙方正交的方向)之滾轉運動。 　　[0010] 本發明的一態樣之高架搬運車可以是，連桿機構係將在主體部的行走方向上排列之二個緩衝機構彼此連結。 　　[0011] 依據此構造的高架搬運車能夠抑制住，例如因行走時的加速或減速所發生之朝向前後方向(主體部行走的方向)之滾轉運動。 　　[0012] 本發明的一態樣之高架搬運車可以是，連桿機構係將在與主體部的行走方向及鉛直方向的雙方正交的方向上排列之二個緩衝機構彼此連結，並將在主體部的行走方向上排列之二個緩衝機構彼此連結。 　　[0013] 依據此構造的高架搬運車可以抑制住，例如轉彎行走時或將物品往橫方向移載時所發生之朝向寬度方向的滾轉運動，例如因行走時的加速或減速所發生之朝向前後方向(主體部的行走方向)之滾轉運動。再者，可吸收因物品的重心位置改變及公差之至少一方所產生之把持有物品的狀態或未把持物品的狀態下之基座部的傾斜，而維持水平狀態。 　　[0014] 本發明的一態樣之高架搬運車可以是，昇降部是藉由四根吊持構件而相對於主體部懸吊，複數個緩衝機構當中之一個緩衝機構進一步具有：可搖動地設置於支承部之搖動部，四根吊持構件當中之二根吊持構件係安裝於搖動部。 　　[0015] 依據此構造的高架搬運車，昇降部雖是藉由四根吊持構件懸吊，但實質上是成為在三處被懸吊的狀態，這三處包括：未安裝於搖動部之二根吊持構件和昇降部之二處的連結部分、以及在上述昇降部被可搖動地連結之一處的搖動部分。如此，可獲得與藉由三根吊持構件懸吊的情況同樣的效果，能將昇降部以更穩定的狀態懸吊。再者，縱使一根吊持構件因某些原因而被切斷的情況仍可維持吊持狀態，相較於實際上是用三根吊持構件懸吊的情況，可將安全性提高。 [發明效果] 　　[0016] 依據本發明的一態樣，可將傳遞到物品的振動降低並抑制昇降部(把持部)的傾斜。
[0018] 以下，參照圖式，針對一實施形態詳細地說明。又在圖式的說明中，是對同一要素賦予同一符號而省略重複的說明。 　　[0019] 圖1顯示一實施形態的高架搬運車之前視圖，圖2係將圖1的高架搬運車從前方觀察之側視圖。在圖1及圖2，是將連桿機構70的圖示省略。圖1所示的高架搬運車1，是沿著設置於無塵室的天花板等之比地面高的位置之行走軌道2行走。高架搬運車1，是例如在保管設備和既定的裝載埠之間將作為物品之FOUP(前開式晶圓傳送盒)(物品)90進行搬運。在FOUP90是例如收容複數片的半導體晶圓或光罩等。FOUP90係具有：被保持於高架搬運車1之凸緣95。 　　[0020] 在以下的說明，為了便於說明，是將圖1中的左右方向(X軸方向)設為高架搬運車1的前後方向。將圖1中的上下方向設為高架搬運車1的上下(鉛直)方向(Z軸方向)。將圖1中的縱深方向設為高架搬運車1的左右方向或寬度方向(Y軸方向)。X軸、Y軸及Z軸是互相正交的。 　　[0021] 如圖1所示般，高架搬運車1係具有：行走驅動部3、水平驅動部(主體部)5、旋轉驅動部(主體部)6、昇降驅動部(主體部)7、昇降裝置(昇降部)10、保持裝置(把持部)11、第一緩衝機構50(參照圖5)、第二緩衝機構40(參照圖5)、以及連桿機構70(參照圖5)。在高架搬運車1，以覆蓋水平驅動部5、旋轉驅動部6、昇降驅動部7、昇降裝置10及保持裝置11的方式在前後方向設置一對的外殼8,8。在昇降裝置10上昇到上昇端的狀態下，一對的外殼8,8是在保持裝置11的下方形成用於收容FOUP90的空間。在昇降裝置10上昇到上昇端的狀態下，落下防止機構8A係用於防止被保持裝置11所保持之FOUP90的落下。此外，擺動抑制機構8B係用於抑制在行走時被保持裝置11所保持之FOUP90之朝向高架搬運車1的前後方向(行走方向)及左右方向的擺動。 　　[0022] 行走驅動部3，係讓高架搬運車1沿著行走軌道2移動。行走驅動部3配置於行走軌道2內。行走驅動部3係驅動在行走軌道2上行走的滾輪(未圖示)。在行走驅動部3的下部，透過軸3A而設有水平驅動部5。水平驅動部5，係讓旋轉驅動部6、昇降驅動部7及昇降裝置10在水平面內沿著與行走軌道2的延伸方向正交的方向(左右方向)移動。旋轉驅動部6，是在水平面內讓昇降驅動部7及昇降裝置10旋轉。昇降驅動部7，是藉由四根帶體(吊持構件)9的捲繞及退繞而讓昇降裝置10昇降。昇降驅動部7之帶體9，也能採用金屬線(wire)及繩索(rope)等之適宜的吊持構件。 　　[0023] 如圖1及圖2所示般，本實施形態的昇降裝置10，設置成可藉由昇降驅動部7進行昇降，是作為高架搬運車1之昇降台而發揮作用。昇降裝置10係具有：作為供安裝四根帶體9的複數個緩衝機構之第一緩衝機構50及第二緩衝機構40、供設置保持裝置11之基座部10A、以及覆蓋基座部10A之外殼部10B。保持裝置11係用於保持FOUP90。保持裝置11係具備：呈L字狀之一對的臂部12,12、固定於各臂部12,12之手部13,13、以及讓一對的臂部12,12開閉之開閉機構15。 　　[0024] 一對的臂部12,12設置於開閉機構15。開閉機構15是讓一對的臂部12,12朝向互相接近的方向及互相離開的方向移動。藉由開閉機構15的動作，使一對的臂部12,12沿著前後方向進退。藉此，使固定於臂部12,12之一對的手部13,13開閉。在本實施形態，當一對的手部13,13成為開狀態時，保持裝置11(昇降裝置10)的高度位置被調整成，使手部13的保持面位於凸緣95之下表面的下方。而且，在此狀態下使一對的手部13,13成為閉狀態，使手部13,13的保持面往凸緣95之下表面的下方進出，在此狀態下讓昇降裝置10上昇，藉由一對的手部13,13將凸緣95保持(把持)，而進行FOUP90的支承。 　　[0025] 圖3係顯示第一緩衝機構的概略構造之前視圖，圖4係顯示第二緩衝機構的概略構造之前視圖。圖3中，為了便於說明，係省略後述的第一主體構件54的一部分(第二支承構件54B)及連結於第一緩衝機構50之連桿機構70的圖示。此外，在圖4中，為了便於說明，係省略後述的第四主體構件46的一部分(第四支承構件46B)及連結於第二緩衝機構40之連桿機構70的圖示。如圖3及圖4所示般，第一緩衝機構50及第二緩衝機構40，係將帶體9和昇降裝置10(參照圖1)連結的機構，且是抑制行走驅動部3行走時或昇降裝置10昇降時的振動傳遞到FOUP90的機構。 　　[0026] 如圖2所示般，第一緩衝機構50，是在左右方向上設置於昇降裝置10的右側。此外，第一緩衝機構50，如圖3所示般是在前後方向上配置於二處。第一緩衝機構50係具有：連接構件51、搖動構件53、第一主體構件(支承部)54、第二主體構件56、第一軸部57,57、以及第一彈簧構件(防振部)58,58。 　　[0027] 連接構件51係供安裝帶體9的構件。搖動構件53是連結於連接構件51的構件。搖動構件53是透過第一銷構件52而可旋轉地連結於連接構件51。第一主體構件54是上端開口之大致U字狀的構件，其底部是在水平方向上形成為平坦。第一主體構件54的上端是藉由螺栓55連結於搖動構件53的兩端。第一主體構件54係具有第一支承構件54A(參照圖5及圖6)以及第二支承構件54B(參照圖5及圖6)。第一支承構件54A係將第一彈簧構件58,58從下方支承。第二支承構件54B是與第一支承構件54A正交的構件。 　　[0028] 第二主體構件56，係將前後方向上之搖動構件53及第一主體構件54的大致中心部彼此連結的構件。一對的第一軸部57,57是從第一主體構件54往上方延伸之棒狀構件，在前後方向隔著第二主體構件56而配置。一對的第一彈簧構件58,58，是具有既定的彈簧常數之壓縮螺旋彈簧，分別套設於一對的第一軸部57,57之各個。在一對的第一彈簧構件58,58之上端，以接觸的狀態配置基座部10A。第一彈簧構件58，是將基座部10A朝向與FOUP90的把持方向(鉛直方向下方)為相反側的上方推壓。作為防振部之第一彈簧構件58的作用，係將在互相接觸的構件間傳遞之振動降低。 　　[0029] 如圖2所示般，第二緩衝機構40是在左右方向上設置於昇降裝置10的左側。如圖4所示般，第二緩衝機構40是在前後方向上配置於中央部附近。第二緩衝機構40係具有：連接構件41,41、搖動構件(搖動部)43、第三主體構件45、第四主體構件(支承部)46、第二軸部47,47、以及第二彈簧構件(防振部)48,48。 　　[0030] 連接構件41,41係供安裝帶體9,9的構件。搖動構件43是將一對的連接構件41,41和第三主體構件45連結的構件。一對的連接構件41,41和搖動構件43，是連結成可朝雙向旋轉，且是透過一對的第三銷構件42,42來連結。搖動構件43和第三主體構件45是透過第四銷構件44來連結。第四主體構件46是連結於第三主體構件45的下端，且是在水平方向延伸的板材。第四主體構件46係具有第三支承構件46A(參照圖5及圖6)以及第四支承構件46B(參照圖5及圖6)。第三支承構件46A是將第二彈簧構件48,48從下方支承。第四支承構件46B是與第三支承構件46A正交的構件。 　　[0031] 一對的第二軸部47,47，是從第四主體構件46往上方延伸的棒狀構件，且在前後方向上隔著第三主體構件45而配置。一對的第二彈簧構件48,48，是具有既定的彈簧常數之壓縮螺旋彈簧，且分別套設於一對的第二軸部47,47各個。在一對的第二軸部47,47的上端，以接觸的狀態配置基座部10A。第二彈簧構件48是將基座部10A朝向與FOUP90的把持方向(鉛直方向下方)為相反側之上方推壓。作為防振部的第二彈簧構件48之作用，是將在互相接觸的構件間傳遞之振動降低。 　　[0032] 如圖5～圖7所示般，連桿機構70，係將在與前後方向(行走方向)及上下方向(鉛直方向)雙方正交的左右方向(寬度方向)上排列之二個第一緩衝機構50及第二緩衝機構40連結，並將在前後方向上排列之二個第一緩衝機構50,50彼此連結。連桿機構70是以使第一緩衝機構50的第一主體構件54和基座部10A間的距離與第二緩衝機構40的第四主體構件46和基座部10A間的距離互相接近的方式進行動作。此外，連桿機構70是以使配置於左側之第一緩衝機構50的第一主體構件54和基座部10A間的距離與配置於右側之第一緩衝機構50的第一主體構件54和基座部10A間的距離互相接近的方式進行動作。以下，針對連桿機構70詳細地說明。 　　[0033] 連桿機構70係具有：第一軸體71、第二軸體72、第三軸體73、第四軸體74、第一軸襯(bush)81、第一塊體82、第二塊體83、第二軸襯84、第三軸襯85、固定部86、以及連結部88。 　　[0034] 第一軸體71，是藉由固設於第二緩衝機構40的第四支承構件46B之第一軸襯81支承，且在前後方向延伸。第一軸體71，是插穿於第一軸襯81之插穿孔81A，並設置成可相對於第一軸襯81旋轉且往軸方向滑動。第一軸襯81的材料，是以使第一軸體71具有既定的旋轉性且既定的滑動性的方式適宜地選擇。在前後方向上排列的二個第一軸體71，是在前後方向配置於大致一直線上。此外，各個第一軸體71配置成，在前後方向上與讓一對的第二彈簧構件48,48分別插穿之第二軸部47,47(參照圖4)位於一直線上。 　　[0035] 第三軸體73，是藉由固設於第一緩衝機構50的第二支承構件54B之第二軸襯84支承，且在前後方向延伸。第三軸體73，是插穿於第二軸襯84的插穿孔84A，並設置成可相對於第二軸襯84旋轉且往軸方向滑動。第四軸體74，是藉由固設於第一緩衝機構50的第二支承構件54B之第三軸襯85支承，且在前後方向延伸。第四軸體74，是插穿於第三軸襯85的插穿孔85A，並設置成可相對於第三軸襯85旋轉且往軸方向滑動。第二軸襯84及第三軸襯85的材料也是與第一軸襯81的同樣的，以使第三軸體73及第四軸體74具有既定的旋轉性且既定的滑動性的方式適宜地選擇。 　　[0036] 第三軸體73和第四軸體74配置成，隔著第一緩衝機構50而互相平行。更詳細的說，將通過讓一對的第一彈簧構件58,58分別插穿之第一軸部57,57的前後方向的線設為假想線時，第三軸體73及第四軸體74配置成，以該假想線為軸而成為線對稱。在前後方向上排列的二個第三軸體73,73，是在前後方向配置於一直線上，且透過隨後詳述的連結部88而互相連結。此外，在前後方向上排列的二個第四軸體74,74，是在前後方向配置於一直線上。 　　[0037] 第二軸體72，是藉由固設於基座部10A的底面之第一塊體82及第二塊體83支承，且在左右方向延伸。第二軸體72，是插穿於第一塊體82的插穿孔82A及第二塊體83的插穿孔83A，並設置成可相對於第一塊體82及第二塊體83旋轉且往軸方向滑動。 　　[0038] 在左右方向上之第二軸體72的一端是連結於第一軸體71。具體而言，第一軸體71的端部是插穿於形成於第二軸體72之插穿孔72A。在左右方向上之第二軸體72的另一端是連結於第三軸體73。具體而言，第三軸體73的端部是插穿於形成於第二軸體72之插穿孔72B。此外，第二軸體72，是在左右方向上之第一塊體82和第二塊體83之間連結於第四軸體74。第二軸體72，是透過固設於基座部10A的底面之固定部86而連結於第四軸體74。固定部86係吸收第四軸體74和第二軸體72的安裝公差。 　　[0039] 將高架搬運車1從右方觀察時，與配置於前側的第一緩衝機構50連結之第三軸體73、和與配置於後側的第一緩衝機構50連結之第三軸體73，是透過連結部88互相連結。連結部88配置於在前後方向上排列之二個第二軸襯84,84的大致中心的位置。連結部88具有內插部88A，內插部88A的內徑是比配置於前側之第三軸體73的外徑大。第三軸體73，例如透過樹脂等的支承構件固定於內插部88A內的一處。藉此，第三軸體73設置成可在內插部88A的內部朝向上下左右方向移動。 　　[0040] 接下來，使用圖5～圖7，說明將在左右方向上排列的第二緩衝機構40和第一緩衝機構50連結之連桿機構70的動作之一例。例如，受到行走時的離心力，有力作用於左側的第二緩衝機構40之第二彈簧構件48,48。當力作用於第二緩衝機構40之第二彈簧構件48,48時，第二彈簧構件48,48收縮，第四主體構件46往上方(箭頭D1)移動。亦即，第四主體構件46和基座部10A的距離縮短。當第四主體構件46往上方移動時，透過第一軸襯81固定於第四主體構件46之第一軸體71的第一軸襯81側的端部，會以與第二軸體72連結側的端部為基點而往上方(箭頭D2)移動。 　　[0041] 當第一軸體71之第一軸襯81側的端部往上方移動時，第二軸體72會朝順時針方向(箭頭D3)旋轉。當第二軸體72朝順時針方向旋轉時，與其連結之第三軸體73之連結部88側的端部，會以與第二軸體72連結側的端部為基點而往上方(箭頭D4)移動。此外，當第二軸體72朝順時針方向旋轉時，與其連結之第四軸體74之與第二軸體72連結側為相反側的端部，會以與第二軸體72連結側的端部為基點而往上方(箭頭D4)移動。如此，透過第二軸襯84固定於第三軸體73且透過第三軸襯85固定於第四軸體74之第一主體構件54被往上方(箭頭D5)推頂。當第一主體構件54被往上方推頂時，一對的第一彈簧構件58,58收縮。亦即，第一主體構件54和基座部10A的距離縮短。 　　[0042] 另一方面，當第二彈簧構件48,48伸展而使第四主體構件46往下方(與箭頭D1為相反的方向)移動時，第一軸體71之第一軸襯81側的端部，會以與第二軸體72連結側的端部為基點而往下方(與箭頭D2為相反的方向)移動。當第一軸體71之第一軸襯81側的端部往下方移動時，第二軸體72會朝逆時針方向(與箭頭D3為相反的方向)旋轉。當第二軸體72朝逆時針方向旋轉時，第三軸體73之連結部88側的端部會以與第二軸體72連結側的端部為基點而往下方(與箭頭D4為相反的方向)移動，第四軸體74之與第二軸體72連結側為相反側的端部，會以與第二軸體72連結側的端部為基點而往下方(與箭頭D4為相反的方向)移動。藉此，第一主體構件54被往下方(與箭頭D5為相反的方向)推壓，而使一對的第一彈簧構件58,58伸展。 　　[0043] 如此般，用於將在左右方向上排列的第二緩衝機構40和第一緩衝機構50連結之連桿機構70，只要第二緩衝機構40及第一緩衝機構50之一方的彈簧構件收縮或伸展，第二軸體72就會追隨而以固設於基座部10A的底面之第一塊體82及第二塊體83為支點進行旋轉運動，而使第二緩衝機構40及第一緩衝機構50之另一方的彈簧構件收縮或伸展。亦即，連桿機構70，當互相連結的第二緩衝機構40及第一緩衝機構50之基座部10A和第四主體構件46之距離、與基座部10A和第一主體構件54之距離之間有差異時，是以使互相連結的第二緩衝機構40及第一緩衝機構50之基座部10A和第四主體構件46的距離、與基座部10A和第一主體構件54的距離互相接近的方式進行動作。 　　[0044] 連桿機構70具有第二軸體72，當互相連結的第二緩衝機構40及第一緩衝機構50之基座部10A和第四主體構件46的距離、與基座部10A和第一主體構件54的距離之間有差異時，第二軸體72會讓應力(扭轉應力)產生。與在第二軸體72所產生的應力對應之反作用力，成為將互相連結的第二緩衝機構40及第一緩衝機構50之基座部10A和第四主體構件46的距離、與基座部10A和第一主體構件54的距離互相拉近的力而發揮作用。 　　[0045] 接下來說明，將在前後方向上排列的第一緩衝機構50彼此連結之連桿機構70的動作之一例。例如，因行走時的加速或減速，而有力作用於後側的第一緩衝機構50之第一彈簧構件58,58。當力作用於第一緩衝機構50之第一彈簧構件58,58時，第一彈簧構件58,58收縮，而使第一主體構件54往上方(箭頭D6)移動。亦即，第一主體構件54和基座部10A的距離縮短。當第一主體構件54往上方(箭頭D5)移動時，透過第二軸襯84而固定於第一主體構件54之第三軸體73的連結部88側之端部，會以與第二軸體72連結側的端部為基點而往上方(箭頭D6)移動。 　　[0046] 當連結部88往上方(箭頭D6)移動時，連結於連結部88之另一方的第三軸體73(圖5中，配置於左方的第三軸體73)也會以與第二軸體72連結側的端部為基點而使連結部88側的端部往上方(箭頭D6)移動。如此，透過第二軸襯84而固定於第三軸體73之前側的第一緩衝機構50之第一主體構件54被往上方(箭頭D7)推頂。當第一主體構件54被往上方推頂時，一對的第一彈簧構件58,58收縮。亦即，第一主體構件54和基座部10A的距離縮短。 　　[0047] 另一方面，當前側的第一緩衝機構50之第一彈簧構件58,58收縮而使第一主體構件54往下方(與箭頭D5為相反的方向)移動時，第三軸體73之連結部88側的端部，會以與第二軸體72連結側的端部為基點而往下方(與箭頭D6為相反的方向)移動。當連結部88往下方移動時，連接於連結部88之另一方的第三軸體73也會以與第二軸體72連結側的端部為基點而使連結部88側的端部往下方(與箭頭D6為相反的方向)移動。如此，使前側的第一緩衝機構50之第一主體構件54被往下方(與箭頭D7為相反的方向)推壓。當第一主體構件54被往下方推壓，一對的第一彈簧構件58,58伸展。 　　[0048] 如此般，將在前後方向上排列的第一緩衝機構50彼此連結的連桿機構70，只要一方的第一緩衝機構50之一方的第一彈簧構件58,58收縮或伸展，追隨著以連結部88為支點之一方的第三軸體73之移動，另一方的第三軸體73會移動，而使另一方的第一緩衝機構50之第一彈簧構件58,58收縮或伸展。亦即，連桿機構70是以使互相連結的第一緩衝機構50之基座部10A和各第一主體構件54,54之間的距離彼此互相接近的方式進行動作。 　　[0049] 連桿機構70具有第三軸體73，當互相連結的第一緩衝機構50彼此之基座部10A和第一主體構件54之各距離間有差異時，第三軸體73會讓應力產生。與在第三軸體73所產生的應力對應之反作用力，成為使互相連結的第一緩衝機構50彼此之基座部10A和第一主體構件54的各距離互相接近的力而發揮作用。 　　[0050] 針對上述實施形態的高架搬運車1之作用效果做說明。上述實施形態的高架搬運車1，基座部10A係透過第一彈簧構件58及第二彈簧構件48而設置成可相對於第一主體構件54及第四主體構件46沿上下方向移動，因此可抑制行走驅動部3行走時或昇降裝置10昇降時的振動傳遞到物品。此外，上述實施形態的高架搬運車1，連桿機構70，當互相連結的第二緩衝機構40及第一緩衝機構50之基座部10A和第四主體構件46的距離、與基座部10A和第一主體構件54的距離之間有差異時，是以使互相連結的第二緩衝機構40及第一緩衝機構50之基座部10A和第四主體構件46的距離、與基座部10A和第一主體構件54的距離互相接近的方式進行動作，因此可抑制基座部10A產生滾轉運動。因此，可將基座部10A的傾斜減少，可抑制FOUP90的擺動。結果，可將傳遞到FOUP90的振動降低並抑制FOUP90的擺動。 　　[0051] 連桿機構70，係將在與行走驅動部3行走的前後方向及上下方向雙方正交的左右方向(寬度方向)上排列之二個第一緩衝機構50及第二緩衝機構40彼此連結，因此可抑制轉彎行走時或將FOUP90往橫方向移載時所發生之朝向寬度方向的滾轉運動。此外，連桿機構70係將在行走驅動部3行走的方向上排列之二個第一緩衝機構50彼此連結，因此可抑制因行走時的加速或減速所發生之朝向前後方向的滾轉運動。 　　[0052] 上述實施形態的高架搬運車1，昇降裝置10雖是藉由四根帶體9懸吊，但實質上是成為在三處被懸吊的狀態，這三處包括：安裝於第一緩衝機構50的二根帶體9和昇降裝置10之二處的連接部分、以及在第二緩衝機構40被連結成可搖動之一處的第四銷構件44。如此，可獲得與藉由三根帶體9懸吊的情況同樣的效果，能將昇降部10以更穩定的狀態懸吊。再者，縱使一根帶體9因某些原因而被切斷的情況仍可維持吊持狀態，相較於實際上是用三根帶體9懸吊的情況，可將安全性提高。 　　[0053] 以上是針對一實施形態做說明，但本發明的一態樣並不限定於上述實施形態，在不脫離發明趣旨的範圍可進行各種的變更。 　　[0054] 在上述實施形態所說明的例子，在左右方向上排列的第一緩衝機構50及第二緩衝機構40是藉由連桿機構70連結，且在前後方向上排列的第一緩衝機構50彼此是藉由連桿機構70連結。本發明的一態樣並不限定於此。例如高架搬運車亦可構成為，僅在左右方向上排列的第一緩衝機構50及第二緩衝機構40是藉由連桿機構70連結。在此情況也是，可抑制轉彎行走時或將FOUP往橫方向移載時所發生之朝向寬度方向的滾轉運動。此外，高架搬運車亦可構成為，僅在前後方向上排列的第一緩衝機構50彼此是藉由連桿機構70連結。在此情況也是，可抑制行走時的加速或減速所發生之朝向前後方向的滾轉運動。 　　[0055] 在上述實施形態或變形例所說明的例子，第一緩衝機構50是藉由第三軸體73及第四軸體74這二根軸體來固定，但亦可構成為例如僅藉由第三軸體73來固定。又像本實施形態這樣，固定於第一主體構件54之連桿機構70的一部分、即軸體與第一彈簧構件58,58的排列方向不一致的情況(不在上述假想線上的情況)，藉由第三軸體73及第四軸體74這二根軸體進行固定的構造較容易維持水平方向的平衡。如此，可有效抑制FOUP90的擺動。 　　[0056] 在上述實施形態或變形例所說明的例子，是在帶體9所構成的懸吊部的位置之大致正下方配置作為防振部之第一彈簧構件58及第二彈簧構件48，但本發明的一態樣並不限定於此。亦可構成為，將帶體9所構成的懸吊部的位置和防振部的位置互相錯開配置。 　　[0057] 對於上述實施形態或變形例之第一彈簧構件58或第二彈簧構件48，可取而代之或是另外配置例如由矽氧樹脂等所形成之凝膠狀的彈性體。在此情況也是，能夠與配置第一彈簧構件58或第二彈簧構件48的情況同樣地吸收振動及衝撃。 　　[0058] 在上述實施形態或變形例所說明的例子，昇降裝置10是藉由四根帶體9懸吊，但亦可構成為藉由三根帶體9懸吊。在此情況，帶體9是安裝於連接構件51,51(參照圖3)及第四銷構件44(參照圖4)這三處。 　　[0059] 在上述實施形態或變形例所說明的例子，是藉由讓第一彈簧構件58插穿於作為軸構件之第一軸部57、或讓第二彈簧構件48插穿於作為軸構件之第二軸部47，而相對於作為支承部之第一主體構件54或第四主體構件46將基座部10A配置成可沿上下方向移動，但本發明的一態樣並不限定於此。例如，作為可讓其沿上下方向移動的構造，也能採用線性運動導件。
[0060]1‧‧‧高架搬運車2‧‧‧行走軌道3‧‧‧行走驅動部5‧‧‧水平驅動部6‧‧‧旋轉驅動部7‧‧‧昇降驅動部
9:帶體
10:昇降裝置
10A:基座部
11:保持裝置
40:第二緩衝機構(緩衝機構)
41:連接構件
43:搖動構件
46:第四主體構件(支承部)
46A:第三支承構件
46B:第四支承構件
48:第二彈簧構件(防振部)
50:第一緩衝機構(緩衝機構)
51:連接構件
54:第一主體構件(支承部)
54A:第一支承構件
54B:第二支承構件
58:第一彈簧構件(防振部)
70:連桿機構
71:第一軸體
72:第二軸體
72A、72B:插穿孔
73:第三軸體
74:第四軸體
81:第一軸襯
81A:插穿孔
82:第一塊體
82A:插穿孔
83:第二塊體
83A:插穿孔
84:第二軸襯
84A:插穿孔
86:固定部
88:連結部
88A:內插部
D1~D7:箭頭
[0017] 　　圖1係顯示一實施形態的高架搬運車之前視圖。 　　圖2係將圖1的高架搬運車從前方觀察之側視圖。 　　圖3係將第一緩衝機構從左方觀察之前視圖。 　　圖4係將第二緩衝機構從右方觀察之後視圖。 　　圖5係連桿機構的立體圖。 　　圖6係配置於基座部的背面之連桿機構的立體圖。 　　圖7係配置於基座部的背面之連桿機構的立體圖。
40‧‧‧第二緩衝機構(緩衝機構)
41‧‧‧連接構件
43‧‧‧搖動構件
46‧‧‧第四主體構件(支承部)
46A‧‧‧第三支承構件
46B‧‧‧第四支承構件
48‧‧‧第二彈簧構件(防振部)
50‧‧‧第一緩衝機構(緩衝機構)
51‧‧‧連接構件
54‧‧‧第一主體構件(支承部)
54A‧‧‧第一支承構件
54B‧‧‧第二支承構件
58‧‧‧第一彈簧構件(防振部)
70‧‧‧連桿機構
71‧‧‧第一軸體
72‧‧‧第二軸體
72A、72B‧‧‧插穿孔
73‧‧‧第三軸體
74‧‧‧第四軸體
81‧‧‧第一軸襯
81A‧‧‧插穿孔
82‧‧‧第一塊體
82A‧‧‧插穿孔
83‧‧‧第二塊體
83A‧‧‧插穿孔
84‧‧‧第二軸襯
84A‧‧‧插穿孔
86‧‧‧固定部
88‧‧‧連結部
88A‧‧‧內插部
D1~D7‧‧‧箭頭

Claims (4)

  1. 一種高架搬運車，係具備有可沿著軌道行走之主體部及昇降部，前述昇降部係具有把持物品之把持部，且藉由複數個吊持構件而相對於前述主體部進行昇降；前述昇降部係具備：供設置前述把持部之基座部、及複數個緩衝機構，前述複數個緩衝機構係具有支承部且供安裝至少一個吊持構件，前述支承部係透過防振部而將前述基座部從鉛直方向下方支承成可沿鉛直方向移動，前述複數個緩衝機構係藉由連桿機構互相連結，前述連桿機構是以使互相連結的前述複數個緩衝機構之前述支承部和前述基座部之間的各距離彼此互相接近的方式進行動作。
  2. 如請求項1所述之高架搬運車，其中，前述連桿機構，係將在與前述主體部行走的方向及鉛直方向雙方正交的方向上排列之二個前述緩衝機構彼此連結。
  3. 如請求項1或請求項2所述之高架搬運車，其中，前述連桿機構，係將在前述主體部行走的方向上排列之二個前述緩衝機構彼此連結。
  4. 如請求項1所述之高架搬運車，其中， 前述昇降部是藉由四根前述吊持構件而相對於前述主體部懸吊，前述複數個緩衝機構當中之一個緩衝機構進一步具有：可搖動地設置於前述支承部之搖動部，前述四根吊持構件當中之二根吊持構件係安裝於前述搖動部。
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