CN113439063A - 空中搬送车 - Google Patents

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Abstract

空中搬送车具备升降装置，该升降装置具有基部、和经由防振部从铅垂方向下方将基部以能够沿铅垂方向移动的方式支承的第一支承部(第二支承部)。防振部具有：第一施力部，该第一施力部以与支承部和基部这两者接触的状态设置，并对第一主体部件(第三主体部件)及基部向使第一主体部件(第三主体部件)与基部互相远离的方向施力；和第二施力部，该第二施力部设于第一主体部件(第三主体部件)及基部中的一方，当向第一施力部施加了规定值以上的载荷时，该第二施力部与第一主体部件(第三主体部件)及基部这两者接触并对第一主体部件(第三主体部件)及基部向使第一主体部件(第三主体部件)与基部互相远离的方向施力。

Description

空中搬送车
技术领域
本发明的一个方面涉及空中搬送车。
背景技术
已知一种空中搬送车，具备：能够沿着轨道行进的主体部；和升降部，该升降部具有把持物品的把持部，并通过卷绕及放出多个吊持部件而相对于所述主体部升降。例如，专利文献1中公开了一种空中搬送车，其中，升降部具备设有把持部的基部、和多个缓冲机构，该多个缓冲机构具有经由防振部将基部从铅垂方向下方以能够沿铅垂方向移动的方式支承的支承部，并安装有吊持部件，这些多个缓冲机构由连杆机构连结。在该空中搬送车中，由于连杆机构以使互相连结的多个缓冲机构中的支承部与基部之间的各距离彼此互相接近的方式动作，所以能够减少传递至物品的振动并抑制物品的晃动。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：国际公布第2018/079146号公报
发明内容
在上述以往的空中搬送车中，在物品(FOUP)的重量变成最重的情况下(当FOUP中容纳有最大容纳数的容纳物时)，调整回弹强度以使作为防振部的弹簧部件等确实地发挥功能，从而防止振动传递至物品。然而，在像这样调整后的防振部中，有时对于相对较轻的物品无法发挥回弹功能，从而无法防止振动。
因此，本发明的一个方面的目的在于，提供一种空中搬送车，即使在搬送的物品的重量有差距的情况下也能够减少传递至物品的振动。
本发明的一个方面的空中搬送车具备：能够沿着轨道行进的主体部；和具有把持物品的把持部并通过吊持部件而相对于主体部升降的升降部，在该空中搬送车中，升降部具备：设有把持部的基部；和支承部，该支承部经由防振部从铅垂方向下方将基部以能够沿铅垂方向移动的方式支承，防振部具有：第一施力部，该第一施力部以与支承部和基部这两者接触的状态设置，并对支承部及基部向使支承部与基部互相远离的方向施力；和第二施力部，该第二施力部设于支承部及基部中的一方，当向第一施力部施加了规定值以上的载荷时，该第二施力部与支承部及基部这两者接触并对支承部及基部向使支承部与基部互相远离的方向施力。
在该结构的空中搬送车中，在把持相对较轻的物品的情况下，仅第一施力部的作用力作用于基部与支承部之间；在把持比规定值重而相对较重的物品的情况下，第一施力部的作用力和第二施力部的作用力这两者作用于基部与支承部之间。即，在该结构的空中搬送车中，若把持的物品比规定值重，则第二施力部使作用力作用于基部与支承部之间。由此，在把持相对较轻的物品的情况下，能够通过第一施力部的作用来减少传递至物品的振动；在把持相对较重的物品的情况下，能够通过第一施力部和第二施力部的作用来减少传递至物品的振动。其结果是，即使在搬送的物品的重量有差距的情况下也能减少传递至物品的振动。
在本发明的一个方面的空中搬送车中，也可以是，支承部设有多个并由连杆机构互相连结，连杆机构以使互相连结的支承部与基部之间的各距离彼此互相接近的方式动作。在该结构的空中搬送车中，由于连杆机构使互相连结的支承部与基部之间的距离彼此互相接近，所以能够抑制基部发生侧倾运动。因此，能够减小基部的倾斜，进而能够抑制物品的晃动。
在本发明的一个方面的空中搬送车中，也可以是，第二施力部由具有粘弹性的部件形成。在该结构中，能够使被搬送物的晃动衰减，从而能够有效地抑制物品的晃动。
在本发明的一个方面的空中搬送车中，也可以是，物品是未容纳被容纳物的空的容器或容纳有被容纳物的容器，第一施力部以在把持着空的容器时不被压缩的方式被预加压。在该结构中，由于即使把持着空的容器，第一施力部也不会收缩，所以能够容易地防止在把持着空的容器的阶段第二施力部与支承部和基部这两者接触。
在本发明的一个方面的空中搬送车中，也可以是，升降部还具有一端设于支承部并穿插在设于基部的穿插孔内的轴部，第一施力部被轴部穿插其中，在轴部的另一端设有在与基部之间夹持第三施力部的夹持部件，第三施力部与基部及夹持部件这两者接触，并对基部及夹持部件向使基部与夹持部件互相远离的方向施力。在该结构中，能够减少第二施力部收缩时的弹回之际的振动。
在本发明的一个方面的空中搬送车中，也可以是，弹性部件由具有粘弹性的部件形成。在该结构中，能够使弹回时的振动衰减，从而能够有效地抑制物品的晃动。
发明效果
根据本发明的一个方面，即使在搬送的物品的重量有差距的情况下，也能够减少传递至物品的振动。
附图说明
图1是表示一个实施方式的空中搬送车的主视图。
图2是从前方向观察到的图1的空中搬送车的侧视图。
图3是从右方向观察到的第一支承部的主视图。
图4是从左方向观察到的第二支承部的主视图。
图5是连杆机构的立体图。
图6是配置于基部背面的连杆机构的立体图。
图7是配置于基部背面的连杆机构的立体图。
具体实施方式
以下，参照附图对一个实施方式进行详细说明。需要说明的是，在附图的说明中对相同要素标注相同的附图标记并省略重复说明。
图1是表示一个实施方式的空中搬送车的主视图，图2是从前方向观察到的图1的空中搬送车的侧视图。在图1及图2中省略了连杆机构70的图示。图1所示的空中搬送车1沿着设于清洁室的天花板等比地面高的位置上的行进轨道(rail)2行进。空中搬送车1例如在保管设备与规定的装载口之间搬送作为物品的FOUP(Front Opening Unified Pod：前开式晶圆传送盒)(物品·容器)90。在FOUP90中例如容纳多枚半导体晶圆或标线片等。FOUP90具有由空中搬送车1保持的凸缘98。
在以下说明中，为了便于说明而将图1中的左右方向(X轴向)作为空中搬送车1的前后方向。将图1中的上下方向作为空中搬送车1的上下(铅垂)方向(Z轴向)。将图1中的进深方向作为空中搬送车1的左右方向或宽度方向(Y轴向)。X轴、Y轴及Z轴互相正交。
如图1所示，空中搬送车1具有行进驱动部3、水平驱动部(主体部)5、旋转驱动部(主体部)6、升降驱动部(主体部)7、升降装置(升降部)10、保持装置(把持部)11、第一支承部(支承部)50(参照图3)、第二支承部(支承部)40(参照图4)和连杆机构70(参照图5)。
在空中搬送车1以覆盖水平驱动部5、旋转驱动部6、升降驱动部7、升降装置10及保持装置11的方式沿前后方向设有一对罩8、8。一对罩8、8在升降装置10上升至上升端的状态下在保持装置11的下方形成有容纳FOUP90的空间。防止落下机构8A防止在升降装置10上升至上升端的状态下由保持装置11保持的FOUP90落下。另外，晃动抑制机构8B抑制在行进时由保持装置11保持的FOUP90在空中搬送车1的前后方向(行进方向)及左右方向上晃动。
行进驱动部3使空中搬送车1沿着行进轨道2移动。行进驱动部3配置于行进轨道2内。行进驱动部3驱动在行进轨道2行进的滚轮(未图示)。在行进驱动部3的下部经由轴3A设有水平驱动部5。水平驱动部5使旋转驱动部6、升降驱动部7及升降装置10在水平面内沿与行进轨道2的延伸方向正交的方向(左右方向)移动。旋转驱动部6使升降驱动部7及升降装置10在水平面内旋转。升降驱动部7通过四条带(吊持部件)9的卷绕及放出而使升降装置10升降。此外，升降驱动部7中的带9也可以使用线材及绳索等适当的吊持部件。
如图1及图2所示，本实施方式中的升降装置10通过升降驱动部7而能够升降地设置，并作为空中搬送车1中的升降台发挥功能。升降装置10具有把持FOUP90的保持装置11，并通过带9而相对于作为主体部的水平驱动部5、旋转驱动部6及升降驱动部7升降。保持装置11保持FOUP90。保持装置11具备：L字形的一对臂12、12；固定于各臂12、12的柄13、13；和使一对臂12、12开闭的开闭机构15。
一对臂12、12设于开闭机构15。开闭机构15使一对臂12、12向互相接近的方向及互相远离的方向移动。通过开闭机构15的动作，一对臂12、12沿前后方向进退。由此，固定于臂12、12的一对柄13、13开闭。在本实施方式中，当一对柄13、13为打开状态时，调整保持装置11(升降装置10)的高度位置以使柄13的保持面比凸缘98的下表面的高度靠下方。然后，通过在该状态下使一对柄13、13成为关闭状态，柄13、13的保持面进入凸缘98的下表面的下方，通过在该状态下使升降装置10上升而由一对柄13、13保持(把持)凸缘98来进行FOUP90的支承。
升降装置10具备：设有保持装置11的基部10A；覆盖基部10A的罩部10B；经由防振部50A从铅垂方向下方将基部10A以能够沿铅垂方向移动的方式支承的第一支承部50；和经由防振部40A从铅垂方向下方将基部10A以能够沿铅垂方向移动的方式支承的第二支承部40。
图3是表示第一支承部的概要结构的主视图，图4是表示第二支承部的概要结构的主视图。此外，图3为了便于说明而省略了后述第一主体部件54的一部分及与第一支承部50连结的连杆机构70的一部分的图示。如图3及图4所示，第一支承部50及第二支承部40是将带9与升降装置10(参照图1)连结的机构，且是抑制行进驱动部3行进时或升降装置10升降时的振动传递至FOUP90的机构。
如图2所示，第一支承部50在左右方向上设于升降装置10的右侧。另外，第一支承部50如图3所示在前后方向上配置于两处。第一支承部50具有连接部件51、摆动部件53、第一主体部件54、第二主体部件56、第一轴部(轴部)57、57、连结部件96、夹持部件95、和防振部50A。防振部50A具有一对第一施力部58、58、一对第二施力部91A、91A和一对第三施力部92A、92A。
连接部件51是安装于带9的部件。摆动部件53是与连接部件51连结的部件。摆动部件53经由第一销部件52而能够旋转地与连接部件51连结。第一主体部件54是上端开口的大致U字形的部件，其底部以在水平方向上平坦的方式形成。第一主体部件54的上端通过螺栓55而与摆动部件53的两端连结。第一主体部件54具有第一支承部件54A(参照图5及图6)和第二支承部件54B(参照图5及图6)。
第一支承部件54A从下方支承第一施力部58。第二支承部件54B是与第一支承部件54A正交的部件。第二主体部件56是将前后方向上的摆动部件53及第一主体部件54的大致中心部彼此连结的部件。一对第一轴部57、57是从第一支承部件54A向上方延伸的棒状部件，并以在前后方向上夹着第二主体部件56的方式配置。第一轴部57的一端与第一主体部件54连接。第一轴部57穿插在形成于基部10A的穿插孔内。在第一轴部57的基部10A侧的另一端设有在与基部10A之间夹持第三施力部92A的夹持部件95。
一对第一施力部58、58是具有规定的弹簧常数的压缩螺旋弹簧，并且一对第一轴部57、57分别穿插其中。一对第一施力部58、58各自的上端与基部10A接触，它们的下端以与第一支承部件54A接触的状态配置。即，一对第一施力部58、58分别以与第一支承部件54A和基部10A这两者接触的状态设置，并对第一支承部件54A及基部10A向使第一支承部件54A与基部10A互相远离的方向施力。作为防振部的第一施力部58具有减少传递至互相接触的部件之间的振动的作用。
一对第二施力部91A、91A是由聚氨酯橡胶构成的部件，具有粘弹性。当未向第一施力部58、58施加规定值以上的载荷时，一对第二施力部91A、91A的上端与基部10A隔开间隙地配置，它们的下端以与第一支承部件54A接触的状态配置。即，当未向第一施力部58、58施加规定值以上的载荷时，一对第二施力部91A、91A分别以仅与第一支承部件54A接触的状态设置；当向第一施力部58、58施加了规定值以上的载荷时，一对第二施力部91A、91A分别与连结部件96及基部10A这两者接触并对连结部件96及基部10A向使连结部件96与基部10A互相远离的方向施力。
一对第三施力部92A、92A是由聚氨酯橡胶构成的部件，具有粘弹性。一对第三施力部92A、92A分别配置于基部10A与夹持部件95之间。一对第三施力部92A、92A分别与基部10A及夹持部件95这两者接触，并对基部10A及夹持部件95向使基部10A与夹持部件95互相远离的方向施力。
如图2所示，第二支承部40在左右方向上设于升降装置10的左侧。如图4所示，第二支承部40在前后方向上配置于中央部附近。第二支承部40具有连接部件41、41、摆动部件43、第三主体部件45、第四主体部件46、第二轴部(轴部)47、47、夹持部件94和防振部40A。防振部40A具有一对第一施力部48、48、一对第二施力部91B、91B和一对第三施力部92B、92B。
连接部件41、41是安装有带9、9的部件。摆动部件43是将一对连接部件41、41与第三主体部件45连结的部件。一对连接部件41、41与摆动部件43以能够双向旋转的方式连结，并经由一对第三销部件42、42而连结。摆动部件43与第三主体部件45以能够双向旋转的方式连结，并经由第四销部件44而连结。
第四主体部件46是与第三主体部件45的下端连结并沿水平方向延伸的板材。第四主体部件46具有第三支承部件46A和第四支承部件46B。第三主体部件45从下方支承第一施力部48、48。第三支承部件46A从下方支承第二施力部91B、91B。第四支承部件46B是与第三支承部件46A正交的部件。一对第二轴部47、47是从第三主体部件45的下端向上方延伸的棒状部件，并以在前后方向上夹着第三主体部件45的方式配置。第二轴部47的一端与第四主体部件46连接。第二轴部47穿插在形成于基部10A的穿插孔内。在第二轴部47的基部10A侧的另一端设有在与基部10A之间夹持第三施力部92B的夹持部件94。
一对第一施力部48、48是具有规定的弹簧常数的压缩螺旋弹簧，并且一对第二轴部47、47分别穿插其中。一对第一施力部48、48各自的上端与基部10A接触，它们的下端以与第三主体部件45接触的状态配置。即，一对第一施力部48、48分别以与第三主体部件45和基部10A这两者接触的状态设置，并对第三主体部件45及基部10A向使第三主体部件45与基部10A互相远离的方向施力。作为防振部的第一施力部48具有减少传递至互相接触的部件之间的振动的作用。
一对第二施力部91B、91B是由聚氨酯橡胶构成的部件，具有粘弹性。当未向第一施力部48、48施加规定值以上的载荷时，一对第二施力部91B、91B的上端与基部10A隔开间隙地配置，它们的下端以与第三支承部件46A接触的状态配置。即，当未向第一施力部48、48施加规定值以上的载荷时，一对第二施力部91B、91B分别以仅与第三支承部件46A接触的状态设置；当向第一施力部48、48分别施加了规定值以上的载荷时，一对第二施力部91B、91B分别与第三支承部件46A及基部10A这两者接触并对第三支承部件46A及基部10A向使第三支承部件46A与基部10A互相远离的方向施力。
一对第三施力部92B、92B是由聚氨酯橡胶构成的部件，具有粘弹性。第三施力部92B、92B分别配置于夹持部件94与基部10A之间，与夹持部件94及基部10A这两者接触并对夹持部件94及基部10A向使夹持部件94与基部10A互相远离的方向施力。
如图5～图7所示，连杆机构70将在与前后方向(行进方向)及上下方向(铅垂方向)这两者正交的左右方向(宽度方向)上排列的两个第一支承部50及第二支承部40连结，并将在前后方向上排列的两个第一支承部50、50彼此连结。连杆机构70以使第一支承部50中的第一主体部件54(连结部件96)与基部10A之间的距离、和第二支承部40中的第四主体部件46与基部10A之间的距离互相接近的方式动作。另外，连杆机构70以使配置于左侧的第一支承部50中的第一主体部件54与基部10A之间的距离、和配置于右侧的第一支承部50中的第一主体部件54与基部10A之间的距离互相接近的方式动作。以下，对连杆机构70的详情进行说明。
连杆机构70具有第一杆(shaft)71、第二杆72、第三杆73、第四杆74、第一衬套81、第一块体82、第二块体83、第二衬套84、第三衬套85、固定部86和连结部88。
第一杆71支承于第一衬套81，并沿前后方向延伸，该第一衬套81固定于第二支承部40中的第四支承部件46B。第一杆71穿插于第一衬套81的穿插孔81A，并以能够相对于第一衬套81旋转且能够向轴向滑动的方式设置。第一衬套81的材料以第一杆71具有规定的旋转性且具有规定的滑动性的方式适当选定。在前后方向上排列的两个第一杆71沿前后方向配置于大致一条直线上。另外，各个第一杆71以在前后方向上与分别穿插一对第一施力部48、48的第二轴部47、47(参照图4)处于一条直线上的方式配置。
第三杆73支承于第二衬套84，并沿前后方向延伸，该第二衬套84固定于第一支承部50中的第二支承部件54B。第三杆73穿插于第二衬套84的穿插孔84A，并以能够相对于第二衬套84旋转且能够向轴向滑动的方式设置。第四杆74支承于第三衬套85，并沿前后方向延伸，该第三衬套85固定于第一支承部50中的第二支承部件54B。第四杆74穿插于第三衬套85的穿插孔85A，并以能够相对于第三衬套85旋转且能够向轴向滑动的方式设置。第二衬套84及第三衬套85的材料也与第一衬套81同样地以第三杆73及第四杆74具有规定的旋转性且具有规定的滑动性的方式适当选定。
第三杆73与第四杆74以隔着第一支承部50互相平行的方式配置。在前后方向上排列的两个第三杆73、73沿前后方向配置于一条直线上，并经由之后详述的连结部88而连结。另外，在前后方向上排列的两个第四杆74、74沿前后方向配置于一条直线上。
第二杆72支承于固定在基部10A的底面的第一块体82及第二块体83，并沿左右方向延伸。第二杆72穿插于第一块体82的穿插孔82A及第二块体83的穿插孔83A，并以能够相对于第一块体82及第二块体83旋转且能够向轴向滑动的方式设置。
左右方向上的第二杆72的一端与第一杆71连结。具体而言，第一杆71的端部穿插在形成于第二杆72的穿插孔72A内。左右方向上的第二杆72的另一端与第三杆73连结。具体而言，第三杆73的端部穿插在形成于第二杆72的穿插孔72B内。另外，第二杆72在左右方向上的第一块体82与第二块体83之间与第四杆74连结。第二杆72经由固定于基部10A的底面的固定部86而与第四杆74连结。固定部86吸收第四杆74与第二杆72的安装公差。
当从右方向观察空中搬送车1时，与配置于前侧的第一支承部50连结的第三杆73和与配置于后侧的第一支承部50连结的第三杆73经由连结部88而连结。连结部88配置于在前后方向上排列的两个第二衬套84、84的大致中心的位置。连结部88具有内径比配置于前侧的第三杆73的外径大的内插部88A。第三杆73例如经由树脂等的支承部件固定于内插部88A内的一处。由此，第三杆73以能够在内插部88A的内部向上下左右方向移动的方式设置。
接着，使用图3来说明第一支承部50的动作的一例。对作为压缩弹簧的第一施力部58以在保持装置11保持着空的FOUP90时第一施力部58不会收缩的方式预先施加有压力。具体而言，以能够获得与基部10A、保持装置11及空的FOUP90的重量之和相同的回弹力的方式进行压缩。因此，当保持装置11把持容纳有某些被容纳物的FOUP90、且比第一规定值大的载荷作用于第一施力部58时，第一施力部58被压缩。此外，在容纳有比较轻的被容纳物的情况下(在第一施力部58的收缩量为规定值以下的情况下)，基部10A不与第二施力部91A的端部接触。即，基部10A仅经由第一施力部58支承于第一主体部件54(连结部件96)。
当比第一规定值更大的第二规定值的载荷作用于第一施力部58时，第一施力部58被进一步压缩，基部10A与第二施力部91A的端部接触。即，基部10A经由第一施力部58及第二施力部91A支承于第一主体部件54(连结部件96)。与仅经由第一施力部58支承于第一主体部件54(连结部件96)的情况相比，基部10A在经由第一施力部58及第二施力部91A支承于第一主体部件54(连结部件96)的情况下，针对相同重量的下沉量(基部10A与第一主体部件54(连结部件96)的接近量)变小。即，防振部50A的回弹系数以第二规定值的载荷作用于第一施力部58时为界转变。
另外，若第一施力部58收缩且第二施力部91A与基部10A接触，则第二施力部91A产生回弹力。该回弹力可能使基部10A产生振动。配置于基部10A与夹持部件95之间的第三施力部92A吸收因该回弹力产生的朝向上方向的冲击。
接着，使用图4来说明第二支承部40的动作的一例。对作为压缩弹簧的第一施力部48以在保持装置11保持着空的FOUP90时第一施力部48不会收缩的方式预先施加有压力。具体而言，与第一支承部50同样地，以能够获得与基部10A、保持装置11及空的FOUP90的重量之和相同的回弹力的方式进行压缩。因此，当保持装置11把持容纳有某些被容纳物的FOUP90、且比第一规定值大的载荷作用于第一施力部48时，第一施力部48被压缩。此外，在容纳有比较轻的被容纳物的情况下(在第一施力部48的收缩量为规定值以下的情况下)，基部10A不与第二施力部91B的端部接触。即，基部10A仅经由第一施力部48支承于第四主体部件46。
当比第一规定值更大的第二规定值的载荷作用于第一施力部48时，第一施力部48被进一步压缩，基部10A与第二施力部91B的端部接触。即，基部10A经由第一施力部48及第二施力部91B支承于第四主体部件46。与仅经由第一施力部48支承于第四主体部件46的情况相比，基部10A在经由第一施力部48及第二施力部91B支承于第四主体部件46的情况下，针对相同重量的下沉量(基部10A与第四主体部件46的接近量)变小。即，防振部40A的回弹系数以第二规定值的载荷作用于第一施力部48时为界转变。
另外，若第一施力部48收缩且第二施力部91B与基部10A接触，则第二施力部91B产生回弹力。该回弹力可能使基部10A产生振动。配置于基部10A与夹持部件94之间的第三施力部92B吸收因该回弹力产生的朝向上方向的冲击。
接着，使用图5～图7来说明将在左右方向上排列的第二支承部40与第一支承部50连结的连杆机构70的动作的一例。例如，设为由于行进时的离心力而使得力作用于左侧的第二支承部40的第一施力部48、48。当力作用于第二支承部40的第一施力部48、48时，第一施力部48、48收缩，第四主体部件46向上方(箭头D1)移动。即，第四主体部件46与基部10A的距离缩短。当第四主体部件46向上方移动时，经由第一衬套81固定于第四主体部件46的第一杆71的第一衬套81侧的端部以与第二杆72连结的一侧的端部为基点向上方(箭头D2)移动。
当第一杆71的第一衬套81侧的端部向上方移动时，第二杆72在从左侧观察时顺时针(箭头D3)旋转。当第二杆72顺时针旋转时，与其连结的第三杆73的连结部88侧的端部以与第二杆72连结的一侧的端部为基点向上方(箭头D4)移动。另外，当第二杆72顺时针旋转时，与其连结的第四杆74的与第二杆72连结的一侧的相反侧的端部以与第二杆72连结的一侧的端部为基点向上方(箭头D4)移动。由此，经由第二衬套84固定于第三杆73并经由第三衬套85固定于第四杆74的第一主体部件54被向上方(箭头D5)推顶。当第一主体部件54被向上方推顶时，一对第一施力部58、58收缩。即，第一主体部件54与基部10A的距离缩短。
另一方面，当第一施力部48、48伸长且第四主体部件46向下方(与箭头D1为相反方向)移动时，第一杆71的第一衬套81侧的端部以与第二杆72连结的一侧的端部为基点向下方(与箭头D2为相反方向)移动。当第一杆71的第一衬套81侧的端部向下方移动时，第二杆72在从左侧观察时逆时针(与箭头D3为相反方向)旋转。当第二杆72逆时针旋转时，第三杆73的连结部88侧的端部以与第二杆72连结的一侧的端部为基点向下方(与箭头D4为相反方向)移动，第四杆74的与第二杆72连结的一侧的相反侧的端部以与第二杆72连结的一侧的端部为基点向下方(与箭头D4为相反方向)移动。由此，第一主体部件54被向下方(与箭头D5为相反方向)按压，一对第一施力部58、58伸长。
这样，关于将在左右方向上排列的第二支承部40与第一支承部50连结的连杆机构70，若第二支承部40及第一支承部50中的一方的弹簧部件缩短或伸长，则第二杆72以固定于基部10A的底面的第一块体82及第二块体83为支点跟随着旋转运动，从而使第二支承部40及第一支承部50中的另一方的弹簧部件缩短或伸长。即，连杆机构70在互相连结的第二支承部40及第一支承部50中的基部10A与第四主体部件46的距离、和基部10A与第一主体部件54的距离之间产生了差时，以使互相连结的第二支承部40及第一支承部50中的基部10A与第四主体部件46的距离、和基部10A与第一主体部件54的距离互相接近的方式动作。
连杆机构70具有第二杆72，该第二杆72在互相连结的第二支承部40及第一支承部50中的基部10A与第四主体部件46的距离和基部10A与第一主体部件54的距离之间产生了差时产生应力(扭转应力)。针对第二杆72所产生的应力的反作用力作为使互相连结的第二支承部40及第一支承部50中的基部10A与第四主体部件46的距离和基部10A与第一主体部件54的距离互相接近的力发挥作用。
接着，对将在前后方向上排列的第一支承部50彼此连结的连杆机构70的动作的一例进行说明。例如，设为由于行进时的加速或减速而使得力作用于后侧的第一支承部50的第一施力部58、58。当力作用于第一支承部50的第一施力部58、58时，第一施力部58、58收缩，第一主体部件54向上方(箭头D5)移动。即，第一主体部件54与基部10A的距离缩短。当第一主体部件54向上方(箭头D5)移动时，经由第二衬套84固定于第一主体部件54上的第三杆73的连结部88侧的端部以与第二杆72连结的一侧的端部为基点向上方(箭头D6)移动。
当连结部88向上方(箭头D6)移动时，与连结部88连结的另一个第三杆73(在图5中配置于左方的第三杆73)也是，连结部88侧的端部以与第二杆72连结的一侧的端部为基点向上方(箭头D6)移动。由此，经由第二衬套84固定于第三杆73上的前侧的第一支承部50的第一主体部件54被向上方(箭头D7)推顶。当第一主体部件54被向上方推顶时，一对第一施力部58、58收缩。即，第一主体部件54与基部10A的距离缩短。
另一方面，当前侧的第一支承部50的第一施力部58、58伸长且第一主体部件54向下方(与箭头D5为相反方向)移动时，第三杆73的连结部88侧的端部以与第二杆72连结的一侧的端部为基点向下方(与箭头D6为相反方向)移动。当连结部88向下方移动时，与连结部88连结的另一个第三杆73也是，连结部88侧的端部以与第二杆72连结的一侧的端部为基点向下方(与箭头D6为相反方向)移动。由此，前侧的第一支承部50的第一主体部件54被向下方(与箭头D7为相反方向)按压。当第一主体部件54被向下方按压时，一对第一施力部58、58伸长。
这样，关于将在前后方向上排列的第一支承部50彼此连结的连杆机构70，若一方的第一支承部50的一方的第一施力部58、58缩短或伸长，则另一方的第三杆73的移动以连结部88为支点跟随一方的第三杆73的移动，从而使另一方的第一支承部50的第一施力部58、58缩短或伸长。即，连杆机构70以使互相连结的第一支承部50中的基部10A与各第一主体部件54、54之间的距离彼此互相接近的方式动作。
连杆机构70具有第三杆73，该第三杆73在互相连结的第一支承部50彼此中的基部10A与第一主体部件54的各距离之间产生了差时产生应力。针对第三杆73所产生的应力的反作用力作为使互相连结的第一支承部50彼此中的基部10A与第一主体部件54的各距离互相接近的力发挥作用。
对上述实施方式的空中搬送车1的作用效果进行说明。在上述空中搬送车1的第一支承部50中，在把持相对较轻的FOUP90的情况下，仅第一施力部58的回弹力(作用力)作用于基部10A与第一主体部件54(连结部件96)之间；在把持比第二规定值重而相对较重的FOUP90的情况下，第一施力部58和第二施力部91A这两者的回弹力(作用力)作用于基部10A与第一主体部件54(连结部件96)之间。同样地，在上述空中搬送车1的第二支承部40中，在把持相对较轻的FOUP90的情况下，仅第一施力部48的回弹力作用于基部10A与第四主体部件46之间；在把持比第二规定值重而相对较重的FOUP90的情况下，第一施力部48和第二施力部91B这两者的回弹力单独作用于基部10A与第四主体部件46之间。由此，在把持相对较轻的FOUP90的情况下，能够通过第一施力部58(第一施力部48)的作用来减少传递至FOUP90的振动；在把持相对较重的FOUP90的情况下，能够通过第一施力部58(第一施力部48)和第二施力部91A(第二施力部91B)的相互作用来减少传递至FOUP90的振动。其结果是，即使在搬送的FOUP90的重量有差距的情况下也能够减少传递至FOUP90的振动。
在上述空中搬送车1中，第二施力部91A、91B由具有粘弹性的部件形成。由此，能够使FOUP90的晃动衰减，能够有效地抑制FOUP90的晃动。
在上述空中搬送车1中，第一施力部48、58以在把持着空的FOUP90时不被压缩的方式被预加压。由此，即使把持着空的FOUP90，第一施力部48、58也不会收缩，因此能够容易地防止在把持着空的FOUP90的阶段第二施力部91A、91B与第一主体部件54(第四主体部件46)和基部10A这两者接触。
在上述空中搬送车1中，在第一主体部件54(第四主体部件46)与基部10A之间配置有第三施力部92A、92B。由此，能够减少第二施力部91A、91B收缩时的弹回之际的振动。
在上述空中搬送车1中，第三施力部92A、92B由具有粘弹性的部件形成。由此，能够使弹回时的振动的晃动减弱，从而能够有效地抑制FOUP90的晃动。
在上述空中搬送车1中，基部10A经由第一施力部58及第一施力部48而相对于第一主体部件54及第四主体部件46能够沿上下方向移动地设置，因此能够抑制行进驱动部3行进时或升降装置10升降时的振动传递至物品。另外，在上述空中搬送车1中，连杆机构70在互相连结的第二支承部40及第一支承部50中的基部10A与第四主体部件46的距离、和基部10A与第一主体部件54的距离之间产生了差时，使互相连结的第二支承部40及第一支承部50中的基部10A与第四主体部件46的距离和基部10A与第一主体部件54的距离互相接近，因此能够抑制基部10A发生侧倾运动。因此，能够减小基部10A的倾斜，能够抑制FOUP90的晃动。其结果是，能够减少传递至FOUP90的振动并抑制FOUP90的晃动。
连杆机构70将在与行进驱动部3行进的前后方向及上下方向这两者正交的左右方向(宽度方向)上排列的两个第一支承部50及第二支承部40彼此连结，因此能够抑制在转弯行进时或将FOUP90向横向移载时发生的向宽度方向的侧倾运动。另外，连杆机构70将在行进驱动部3的行进方向上排列的两个第一支承部50彼此连结，因此能够抑制因行进时的加速或减速而发生的向前后方向的侧倾运动。
以上对一个实施方式进行了说明，但本发明的一个方面并不限于上述实施方式，在不脱离发明主旨的范围内能够进行各种变更。
在上述实施方式中，列举设有将在左右方向上排列的两个第一支承部50及第二支承部40连结、并将在前后方向上排列的两个第一支承部50、50彼此连结的连杆机构70的例子进行了说明，但也可以是未设置连杆机构70的结构的空中搬送车1。在该情况下，即使在搬送的FOUP90的重量有差距的情况下也能够减少传递至FOUP90的振动。
在上述实施方式及变形例中，列举第一支承部50在左右方向上设于升降装置10的右侧、且第二支承部40在左右方向上设于升降装置10的左侧的例子进行了说明，但并不限定于此。例如，也可以在左右方向上互换第一支承部50与第二支承部40的位置，还可以在左右方向的两侧配置第一支承部50或第二支承部40。
在上述实施方式及变形例中，列举第二施力部91A、91A固定于第一支承部件54A的例子进行了说明，但也可以固定于基部10A的下表面。同样地，列举第二施力部91B、91B固定于第三支承部件46A的例子进行了说明，但也可以固定于基部10A的下表面。
代替上述实施方式及变形例的第一施力部58或第一施力部48、或者在其基础上，例如也可以配置由硅树脂等形成的胶状弹性体。即使在该情况下，也能够与配置第一施力部58或第一施力部48的情况同样地吸收振动及冲击。
在上述实施方式及变形例中，列举在左右方向上排列的第一支承部50及第二支承部40由连杆机构70连结、并且在前后方向上排列的第一支承部50彼此由连杆机构70连结的例子进行了说明，但并不限定于此。例如，也可以是仅在左右方向上排列的第一支承部50及第二支承部40由连杆机构70连结的结构的空中搬送车。即使在该情况下，也能够抑制在转弯行进时或将FOUP向横向移载时发生的向宽度方向的侧倾运动。另外，也可以是仅在前后方向上排列的第一支承部50彼此由连杆机构70连结的结构的空中搬送车。即使在该情况下，也能够抑制因行进时的加速或减速而发生的向前后方向的侧倾运动。
在上述实施方式及变形例中，列举第二施力部91A、91A配置于第一支承部件54A与基部10A之间、且第二施力部91B、91B配置于第三支承部件46A与基部10A之间的例子进行了说明，但并不限定于此。例如，第二施力部91A、91A例如也可以设于基部10A的下表面，并设于当第一施力部58收缩了规定量时第三杆73移动的位置。即，第二施力部91A、91A也可以设置为与把持有比第二规定值重的FOUP90时的第三杆73接触。同样地，第二施力部91B、91B也可以设置为与把持有比第二规定值重的FOUP90时的第一杆71接触。
附图标记说明
1：空中搬送车，10：升降装置(升降部)，10A：基部，11：保持装置(把持部)，40：第二支承部(支承部)，40A：防振部，47：第二轴部(轴部)，48：第一施力部，50：第一支承部(支承部)，50A：防振部，57：第一轴部(轴部)，58：第一施力部，70：连杆机构，91A、91B：第二施力部，92A、92B：第三施力部，94：夹持部件，95：夹持部件，96：连结部件。

Claims (6)

1.一种空中搬送车，具备能够沿着轨道行进的主体部、和具有把持物品的把持部并通过吊持部件而相对于所述主体部升降的升降部，该空中搬送车的特征在于，
所述升降部具备：
设有所述把持部的基部；和
支承部，该支承部经由防振部从铅垂方向下方将所述基部以能够沿铅垂方向移动的方式支承，
所述防振部具有：
第一施力部，该第一施力部以与所述支承部和所述基部这两者接触的状态设置，并对所述支承部及所述基部向使所述支承部与所述基部互相远离的方向施力；和
第二施力部，该第二施力部设于所述支承部及所述基部中的一方，当向所述第一施力部施加了规定值以上的载荷时，该第二施力部与所述支承部及所述基部这两者接触并对所述支承部及所述基部向使所述支承部与所述基部互相远离的方向施力。
2.根据权利要求1所述的空中搬送车，其特征在于，
所述支承部设有多个并由连杆机构互相连结，
所述连杆机构以使互相连结的所述支承部与所述基部之间的各距离彼此互相接近的方式动作。
3.根据权利要求1或2所述的空中搬送车，其特征在于，
所述第二施力部由具有粘弹性的部件形成。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的空中搬送车，其特征在于，
所述物品是未容纳被容纳物的空的容器或容纳有所述被容纳物的容器，
所述第一施力部以在把持着所述空的容器时不被压缩的方式被预加压。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的空中搬送车，其特征在于，
所述升降部还具有一端设于所述支承部并穿插在设于所述基部的穿插孔内的轴部，
所述第一施力部被所述轴部穿插其中，
在所述轴部的另一端设有在与所述基部之间夹持第三施力部的夹持部件，
所述第三施力部与所述基部及所述夹持部件这两者接触，并对所述基部及所述夹持部件向使所述基部与所述夹持部件互相远离的方向施力。
6.根据权利要求5所述的空中搬送车，其特征在于，
所述第三施力部由具有粘弹性的部件形成。
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