CN107097799A - 桥式输送车 - Google Patents

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Abstract

提供一种桥式输送车，能够降低传递至物品的振动、且能够抑制悬吊物品时的物品的倾斜。桥式输送车(1)具备配置在带(9)和升降装置(10)之间的防振部。防振部具有：在与行驶方向和升降装置的升降方向双方正交的宽度方向上配置在第一载荷所作用的一侧的第一连接机构(50)；以及在宽度方向上配置在比第一载荷大的第二载荷所作用的一侧、且具有比第一连接机构(50)大的斥力的第二连接机构(40)。

Description

桥式输送车
技术领域
本发明涉及桥式输送车。
背景技术
作为现有的桥式输送车，例如公知有专利文献1所记载的输送车。专利文献1所记载的桥式输送车具备：沿着设置在顶棚附近的轨道行驶的行驶车主体；以及从行驶车主体由多个带(吊持部件)悬吊、且能够把持物品的升降台，上述升降台由对带下端进行固定的部件和对该部件朝下方施力的部件构成。在该结构的桥式输送车中，能够防止以多个带间的安装位置的误差或者带的伸长等作为原因的升降台的倾斜。
专利文献1：日本实开平3－28073号公报
近年来，由于所输送的物品多样化，因此谋求降低传递至物品的振动、并且减小悬吊重心偏于一方的物品时的物品的倾斜。
发明内容
因此，本发明的目的在于提供一种能够降低传递至物品的振动、并且能够抑制悬吊物品时的物品的倾斜的桥式输送车。
本发明的桥式输送车具备：能够沿着轨道行驶的主体部；以及借助多个吊持部件相对于主体部能够升降地设置的、能够把持物品的把持部，其中，具备配置在吊持部件与把持部之间的防振部，防振部具备：第一防振部，在主体部的行驶方向或者与行驶方向和把持部的升降方向双方正交的宽度方向上，配置在第一载荷所作用的一侧；以及第二防振部，在行驶方向或者宽度方向上，配置在比第一载荷大的第二载荷所作用的一侧，且具有比第一防振部大的斥力。
对于该结构的桥式输送车，由于在吊持部件与把持部之间配置有防振部，因此能够降低从把持部传递至物品的振动。并且，配置在来自物品的载荷相对大的作用的一侧的第二防振部的斥力大于配置在来自物品的载荷相对小地作用的一侧的第一防振部的斥力。因而，即便在物品作用于把持部的载荷中存在偏置的情况下，也能够利用上述斥力之差吸收该偏置，因此能够抑制悬吊物品时的物品的倾斜。
也可以形成为：本发明的桥式输送车中的第一防振部以及第二防振部具有由一个或者多个弹簧部件形成的弹簧部。
根据该结构的桥式输送车，由于使用相对于载荷的斥力或者伸长呈现线性特性的弹簧部件，因此作为第一防振部以及第二防振部的调整变得容易。
在本发明的桥式输送车中，也可以形成为：物品是用于收容被收容物的容器或者收容有被收容物的容器，第一防振部的弹簧部和第二防振部的弹簧部彼此的弹簧常数相等，形成弹簧部的一个或者多个弹簧部件被预加载，以便消除因在由把持部把持的空状态的容器的重心位置与把持部的重心位置之间存在偏移而产生的、将容器抬起时的把持部的倾斜。
根据该结构的桥式输送车，形成弹簧部的一个或者多个弹簧部件被预加载，以便消除因在由把持部把持的空状态(未收容被收容物的状态)的容器的重心位置与把持部的重心位置之间存在偏移而产生的、将容器抬起时的把持部的倾斜，因此，能够抑制将作用有相对于把持部的重心位置存在偏置的载荷那样的容器抬起时的容器的倾斜，并且能够降低传递至容器的振动。此外，第一防振部以及第二防振部由彼此弹簧常数相等的弹簧部形成，因此，由不断收容在与把持部的重心位置没有偏移的位置的被收容物的载荷产生的压缩量彼此相等。由此，即便在把持收容有被收容物的容器的情况下，也能够降低传递至容器的振动，并且能够抑制将上述容器抬起时的容器的倾斜。
也可以形成为：本发明的桥式输送车的把持部相对于主体部由四根吊持部件悬吊，上述四根中的两根吊持部件连接于相对于把持部可摆动地固定的一个摆动部。
根据该结构的桥式输送车，把持部即便由四根吊持部件悬吊，也形成为在并未连接于摆动部的两根吊持部件与把持部之间的二处连接部分、以及在上述把持部上可摆动地固定的一处摆动部分这三处被悬吊的状态。由此，能够获得与利用三根吊持部件悬吊的情况下同样的效果，能够以更稳定的状态悬吊把持部。此外，即便在一根吊持部件因某种原因而被切断的情况下，也能够维持吊持状态，与实际上由三根吊持部件悬吊的情况相比能够提高安全性。
发明效果
能够降低传递至物品的振动，并且能够抑制悬吊物品时的物品的倾斜。
附图说明
图1是示出一个实施方式所涉及的桥式输送车的主视图。
图2是示出作为物品的一个形态的FOUP的结构的剖视图。
图3是从前方观察图1的输送装置的侧视图。
图4是示出第二连接机构的简要结构的主视图。
图5是示出第一连接机构的简要结构的主视图。
图6中，(A)是示出空状态的FOUP被抬起时的载荷的状态的图，(B)是示出收容有半导体晶片或者中间掩模等的状态的FOUP被抬起时的载荷的状态的图。
标记说明
1：桥式输送车；5：水平驱动部(主体部)；6：旋转驱动部(主体部)；7：升降驱动部(主体部)；9：带(吊持部件)；10：升降装置(把持部)；10A：基体部件；10B：壳体部件；11：保持装置(把持部)；13：手；40：第二连接机构；43：摆动部件(摆动部)；48：第二弹簧部件(防振部、弹簧部件)；50：第一连接机构；53：摆动部件；58：第一弹簧部件(防振部、弹簧部件)；90：FOUP(容器、物品)；91：容器主体；94：盖体；95：凸缘。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的优选的一个实施方式详细地进行说明。另外，在附图的说明中，对同一要素标注同一标记并省略重复的说明。附图的尺寸比率未必与所说明的结构一致。
图1所持的桥式输送车1沿着设置在洁净室的顶棚等比地面高的位置的行驶轨道2行驶。桥式输送车1例如在保管设备和预定的装载港之间输送物品即FOUP(Front-OpeningUnified Pod：正面开口标准箱)90。在FOUP90中例如收容有多片半导体晶片或者中间掩模等(被收容物)。FOUP90具有由桥式输送车1保持的凸缘95。在以下的说明中，为了便于说明，将图1中的左右方向(X轴方向)设为桥式输送车1的前后方向。将图1中的上下方向设为桥式输送车1的上下方向(Z轴方向)。将图1中的进深方向设为桥式输送车1的左右方向(宽度方向)(Y轴方向)。X轴、Y轴以及Z轴相互正交。
首先，对由桥式输送车1进行输送的FOUP90进行说明。如图2所示，FOUP90具备：在前面侧形成有开口部91A的容器主体91；以及装配在容器主体91的开口部91A的盖体94。在容器主体91的上表面92的大致中央部，朝上方突出地设置有用于将FOUP90抬起的凸缘95。在容器主体91的内侧设置有未图示的多个半导体晶片保持单元，以使得能够在FOUP90内收容多片半导体晶片。并且，通过在开口部91A装配盖体94，FOUP90内被保持气密。
在本实施方式中的FOUP90中，盖体94固定有未图示的锁止机构等零部件，因此质量比较大。因此，在盖体94装配于容器主体91的状态下，如图2所示，FOUP90的左右方向上的重心位置G1在左右方向上相比凸缘95的中心位置C而朝左侧(盖体94侧)偏移。另一方面，半导体晶片以其重心位置与FOUP90的凸缘95的中心位置C大致一致的方式被收容于FOUP90。因而，这种FOUP90的重心位置的偏置当在FOUP90内完全未收纳半导体晶片的空状态下最大，收容于FOUP90的半导体晶片的数量越是增加，则盖体94的质量占该质量的比例越小，因此包含半导体晶片在内的FOUP90整体的重心位置逐渐接近凸缘95的中心位置C。
其次，对输送这种FOUP90的桥式输送车1进行说明。如图1所示，桥式输送车1具有行驶驱动部3、水平驱动部(主体部)5、旋转驱动部(主体部)6、升降驱动部(主体部)7、升降装置(把持部)10、保持装置(把持部)11。在桥式输送车1中，以覆盖水平驱动部5、旋转驱动部6、升降驱动部7、升降装置10以及保持装置11的方式在前后方向设置有一对罩8、8。一对罩8、8在升降装置10上升至上升端的状态下在保持装置11的下方形成供FOUP90收容的空间S。防止落下机构8A在升降装置10上升至上升端的状态下防止由保持装置11保持的FOUP90的落下。并且，摆动抑制机构8B抑制由保持装置11保持的FOUP90的在桥式输送车1的前后方向(行驶方向)以及左右方向的摆动。
行驶驱动部3使桥式输送车1沿着行驶轨道2移动。行驶驱动部3配置在行驶轨道2内。行驶驱动部3对在行驶轨道2上行驶的辊(未图示)进行驱动。在行驶驱动部3的下部，经由轴3a连接有水平驱动部5。水平驱动部5使旋转驱动部6、升降驱动部7以及升降装置10在水平面内沿与行驶轨道2的延伸方向正交的方向(左右方向)移动。旋转驱动部6在水平面内使升降驱动部7以及升降装置10旋转。升降驱动部7通过四根带(吊持部件)的卷收以及送出而使升降装置10升降。另外，升降驱动部7中的带也可以使用钢丝绳以及缆绳等适当的吊持部件。
本实施方式中的升降装置10设置成能够借助升降驱动部7升降，作为桥式输送车1中的升降台发挥功能。升降装置10具有基体部件10A和壳体部件10B。保持装置11保持FOUP90。保持装置11具备：呈L字状的一对臂12、12；固定于各臂12、12的手13、13；以及使一对臂12、12开闭的开闭机构15。
一对臂12、12与开闭机构15连接。开闭机构15使一对臂12、12沿相互接近的方向以及相互离开的方向移动。借助开闭机构15的动作，一对臂12、12沿前后方向进退。由此，固定于臂12、12的一对手13、13开闭。在本实施方式中，对保持装置11(升降装置10)的高度位置进行调整，以使得当一对手13、13处于打开状态时手13的保持面相比凸缘95的下表面的高度靠下方。进而，通过在该状态下一对手13、13成为关闭状态，从而使手13、13的保持面进入凸缘95的下表面的下方，通过在该状态下使升降装置10上升，凸缘95由一对手13、13保持(把持)，从而进行FOUP90的支承。
如图3以及图4所示，第一连接机构(第一防振部)50以及第二连接机构(第二防振部)40是将带9与保持装置11连接的机构。在本实施方式中，第一连接机构50以及第二连接机构40配置在带9与供保持装置11配置的基体部件10A之间。换言之，带9经由第一连接机构50或者第二连接机构40而连接于供保持装置11配置的基体部件10A。
如图3所示，第一连接机构50在左右方向上设置在升降装置10的右侧。并且，第一连接机构50如图4所示在前后方向上配置在两个部位。第一连接机构50具有连接部件51、摆动部件53、第一主体部件54、第二主体部件56、第一轴部57、57、以及第一弹簧部件(防振部、弹簧部件)58、58。
连接部件51是与带9连接的部件。摆动部件53是沿前后方向延伸、并且与连接部件51连接的部件。连接部件51与摆动部件53经由第一销部件52而可转动地连接。第一主体部件54是上端开口的大致U字状的部件，其底部形成为在水平方向(前后左右方向)上平坦。第一主体部件54的上端借助螺栓55连接于摆动部件53的两端。第二主体部件56是将前后方向上的摆动部件53以及第一主体部件54的大致中心部彼此连接的部件。
一对第一轴部57、57是从第一主体部件54朝上方延伸的棒状的部件，且夹着第二主体部件56而配置。一对第一弹簧部件58、58是具有预定的弹簧常数的压缩螺旋弹簧，且分别由一对第一轴部57、57插通。在一对第一弹簧部件58、58的上端以接触状态配置有基体部件10A。即、第一连接机构50的四个第一弹簧部件58配置在基体部件10A与带9之间。第一弹簧部件58将基体部件10A朝与FOUP90的把持方向(铅垂方向下方)相反侧的上方推压。另外，预定的弹簧常数将在后面详细叙述。
第二连接机构40如图3所示在左右方向上设置在升降装置10的左侧。第二连接机构40如图5所示在前后方向上配置在中央部附近。第二连接机构40具有连接部件41、41、摆动部件(摆动部)43、第三主体部件45、第四主体部件46、第二轴部47、47、以及第二弹簧部件(防振部、弹簧部件)48、48。
连接部件41、41是与带9、9连接的部件。摆动部件43是将一对连接部件41、41与第三主体部件45连接的部件。一对连接部件41、41和摆动部件43可转动地连接，且经由一对第三销部件42、42连接。摆动部件43和第三主体部件45经由第四销部件44连接。第四主体部件46连接在第三主体部件45的下端，是沿水平方向(前后左右方向)延伸的板状件。
一对第二轴部47、47是从第四主体部件46朝上方延伸的棒状的部件，且夹着第三主体部件45而配置。一对第二弹簧部件48、48是具有与一对第一弹簧部件58、58相同的弹簧常数即预定弹簧常数的压缩螺旋弹簧，且供一对第二轴部47、47分别插通。在一对第二轴部47、47的上端，以接触状态配置有基体部件10A。即、第二连接机构40的两个第二弹簧部件48配置在基体部件10A与带9之间。第二弹簧部件48将基体部件10A朝与FOUP90的把持方向(铅垂方向下方)相反侧的上方推压。另外，预定的弹簧常数将在后面详细叙述。
桥式输送车1如图1以及图3所示以使FOUP90的盖体94朝向与行驶方向正交的左右方向之一即左方的状态进行输送。此时，如图6的(A)所示，在处于由手13、13把持的状态的FOUP90的重心位置G1与升降装置10的重心位置G2(四根带9的与升降装置10的四个部位的连接部的重心位置)之间存在“偏移”。因这种状态，手13、13把持FOUP90并抬起时升降装置10所承受的载荷F在升降装置10的左右方向上的左侧和右侧不同。具体地说，在左右方向(与行驶方向和把持部的升降方向双方正交的宽度方向)上，左侧(第二载荷所作用的一侧)所承受的载荷(第二载荷)比右侧(第一载荷所作用的一侧)所承受的载荷(第一载荷)大。因而，通常，在手13、13把持FOUP90并抬起的情况下，由带9悬吊的升降装置10在左右方向上倾斜。
因此，在本实施方式的桥式输送车1中调整成使得配置在左右方向左侧的第二连接机构40的斥力F11大于配置在左右方向右侧的第一连接机构50的斥力F12。具体地说，使得在不把持FOUP90的状态下由第二弹簧部件48生成的作为第二连接机构40的斥力大于由第一弹簧部件58生成的作为第一连接机构50的斥力。即、形成为利用该斥力之差来吸收上述的载荷差。
上述斥力不仅能够通过第一弹簧部件58以及第二弹簧部件48的弹簧自身所具有的材料等特性调整，而且能够通过作用于第一弹簧部件58以及第二弹簧部件48的预加载调整。在本实施方式中，分别选择第一弹簧部件58以及第二弹簧部件48的特性以使得作为第一连接机构50整体的弹簧常数和作为第二连接机构40整体的弹簧常数相互相等，并且，在第一弹簧部件58以及第二弹簧部件48中的至少一方被预加载(压缩)，以便消除因由手13、13把持的状态下的FOUP90的重心位置G1与升降装置10的重心位置G2之间存在偏移而产生的FOUP90的倾斜。
在本实施方式中，第一弹簧部件58以及第二弹簧部件48被预加载，以便消除因由手13、13把持的FOUP90的重心位置G1与升降装置10的重心位置G2之间存在偏移而产生的FOUP90的倾斜。具体地说，第一弹簧部件58以及第二弹簧部件48被预加载，以使得在将空状态的FOUP90抬起时产生的升降装置10的倾斜成为水平状态(FOUP90的底面的倾斜消除)。通过第一弹簧部件58以及第二弹簧部件48被预加载成这种状态，在手13、13将空的FOUP90抬起时，能够防止升降装置10倾斜。
另一方面，半导体晶片在与升降装置10的重心位置G2并无大的偏移的位置被收容于FOUP90。即、在收容于FOUP90的一片以上的半导体晶片的重心位置G3与升降装置10的重心位置G2之间几乎没有偏移。因而，如图6的(B)所示，由收容于FOUP90的半导体晶片产生的载荷F2与所收容的片数几乎无关，相对于第一弹簧部件58以及第二弹簧部件48均等地进行作用。如上所述，在本实施方式中，分别选择第一弹簧部件58以及第二弹簧部件48的特性，以使得作为第一连接机构50整体的弹簧常数与作为第二连接机构40整体的弹簧常数相互相等，因此，在将FOUP90抬起的状态下，被赋予相同大小的斥力F21、F22。即、第一弹簧部件58以及第二弹簧部件48均等地被压缩(压缩量d)。因而，即便在悬吊收容有半导体晶片的FOUP90时，升降装置10也不会倾斜，水平状态得以维持。
上述实施方式的桥式输送车1在带9与升降装置10之间配置有作为防振部的第一连接机构50以及第二连接机构40，因此能够降低从带9传递至FOUP90的振动。并且，配置在来自FOUP90的载荷相对大地作用的一侧的第二连接机构40的斥力大于配置在来自FOUP90的载荷相对小地作用的一侧的第一连接机构50的斥力。因而，即便当在FOUP90作用于升降装置10的载荷中存在偏置的情况下，也能够利用上述斥力之差来吸收该偏置，因此能够抑制悬吊FOUP90时的倾斜。
上述实施方式的桥式输送车1中的第一连接机构50以及第二连接机构40由一个或者多个弹簧部件(第一弹簧部件58以及第二弹簧部件48)形成。弹簧部件相对于载荷的斥力或伸长呈线性特性，因此容易进行用于消除左右方向上的载荷的偏置的第一弹簧部件58以及第二弹簧部件48的预加载的调整以及/或者特性的选择等。
在上述实施方式的桥式输送车1中，一个或者多个第一弹簧部件58或者第二弹簧部件48被预加载，以便消除因在由升降装置10抬起的空状态的FOUP90的重心位置G1与升降装置10的重心位置G2之间存在偏移而产生的、将FOUP90抬起时的升降装置10的倾斜。因此，能够抑制将作用相对于升降装置10的重心位置G2存在偏置的载荷的FOUP90抬起时的FOUP90的倾斜。此外，作为第一连接机构50的弹簧常数以及作为第二连接机构40的弹簧常数形成为相互相等。因此，即便在把持收容有半导体晶片的FOUP90的情况下，也能够降低传递至FOUP90的振动、并且抑制将FOUP90抬起时的FOUP90的倾斜。
在上述实施方式的桥式输送车1中，升降装置10由四根带9悬吊，并且处于在连接于第一连接机构50(并未与第二连接机构40的摆动部件43连接)的两根带9和升降装置10之间的二处连接部分、以及可摆动地固定于第二连接机构40的一处第四销部件44这三处被悬吊的状态。由此，能够获得与由三根带9悬吊的情况下同样的效果，能够以更稳定的状态悬吊升降装置10。此外，即便在一根带9因某种原因而被切断的情况下，也能够维持吊持状态，与实际上由三根带9悬吊的情况相比能够提高安全性。
以上，对一个实施方式进行了说明，但本发明并不限于上述实施方式，能够在不脱离发明的主旨的范围进行各种变更。
在上述实施方式中，举出第一弹簧部件58以及第二弹簧部件48被预加载以使得在将空状态的FOUP90抬起时产生的升降装置10的倾斜成为水平状态(FOUP90的倾斜消除)的例子进行了说明，但本发明并不限定于此。例如，也可以形成为：对第一弹簧部件58以及第二弹簧部件48进行预加载，以使得将满载半导体晶片的状态的FOUP90抬起时产生的升降装置10的倾斜成为水平状态(FOUP90的倾斜消除)。并且，也可以形成为：对第一弹簧部件58以及第二弹簧部件48进行预加载，以使得将满载有预定重量的半导体晶片的状态的FOUP90抬起时产生的升降装置10的倾斜成为水平状态(FOUP90的倾斜消除)。
在上述实施方式中，举出在第一连接机构50的连接部件51以及第二连接机构40的连接部件41上分别连接有带9的例子、即利用四根带9悬吊升降装置10的例子进行了说明，但本发明并不限定于此。例如、如图5所示，也可以构成为：在第二连接机构40中，并非将带9连接于连接部件41，而是通过将带9连接于第四销部件44，由此利用三根带9悬吊升降装置10。根据该结构，能够以更稳定的状态悬吊升降装置10。
在上述实施方式或者变形例中，举出将由两个第二弹簧部件48构成的第二连接机构40配置在升降装置10的左右方向左侧、将由两个第一弹簧部件58构成的两个第一连接机构50配置在升降装置10的左右方向右侧的例子进行了说明，但本发明并不限定于此。例如，也可以将第二连接机构40配置在升降装置10的左右方向右侧、将两个第一连接机构50配置在升降装置10的左右方向左侧。并且，也可以将第二连接机构40配置在升降装置10的左右方向两侧、或者将两个第一连接机构50配置在升降装置10的左右方向两侧。只要形成为在左右方向上的较大的载荷所作用的一侧配置具有较大的斥力的部件的结构即可，弹簧部件的根数、弹簧的特性等可以是任意状态。
在桥式输送车1以使FOUP90的盖体94朝向前后方向(行驶方向)的一侧的状态进行输送的结构中，只要形成为并非在左右方向、而是在前后方向上在较大的载荷所作用的一侧配置具有较大的斥力的部件的结构即可。
也可以代替上述实施方式或者变形例的第一弹簧部件58或者第二弹簧部件48，在除了上述实施方式或者变形例的第一弹簧部件58或者第二弹簧部件48之外还配置例如由硅树脂等形成的凝胶状的弹性体。即便在该情况下，也能够与配置第一弹簧部件58或者第二弹簧部件48的情况同样地吸收振动以及冲击。

Claims (4)

1.一种桥式输送车，具备：能够沿着轨道行驶的主体部；以及借助多个吊持部件相对于上述主体部能够升降地设置的、能够把持物品的把持部，其中，
上述桥式输送车具备配置在上述吊持部件与上述把持部之间的防振部，
上述防振部具有：
第一防振部，在上述主体部的行驶方向或者与上述行驶方向和上述把持部的升降方向双方正交的宽度方向上，配置在第一载荷所作用的一侧；以及
第二防振部，在上述行驶方向或者上述宽度方向上，配置在比上述第一载荷大的第二载荷所作用的一侧，且具有比上述第一防振部大的斥力。
2.根据权利要求1所述的桥式输送车，其中，
上述第一防振部以及上述第二防振部具有由一个或者多个弹簧部件形成的弹簧部。
3.根据权利要求2所述的桥式输送车，其中，
上述物品是用于收容被收容物的容器或者收容有上述被收容物的上述容器，
上述第一防振部的上述弹簧部和上述第二防振部的上述弹簧部彼此的弹簧常数相等，
形成上述弹簧部的一个或者多个弹簧部件被预加载，以便消除因在由上述把持部把持的空状态的上述容器的重心位置与上述把持部的重心位置之间存在偏移而产生的、将上述容器抬起时的上述把持部的倾斜。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的桥式输送车，其中，
上述把持部相对于上述主体部由四根上述吊持部件悬吊，
上述四根中的两根上述吊持部件连接于相对于上述把持部可摆动地固定的一个摆动部。
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