CN111565993B - 搬送车 - Google Patents

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Abstract

具备：移动机构(60)，其通过驱动部(51)的驱动，使摆动抑制部(70)在与FOUP(90)接触的进入位置(P5)和远离FOUP的退避位置(P6)之间沿行驶方向移动；和缓冲机构(80)，其容许通过驱动部的驱动而移动到进入位置的摆动抑制部的、在驱动部的驱动停止后向行驶方向的移动。缓冲机构具有：第一连接部(81)及棒状部(82)，其与摆动抑制部连接，并且进行与摆动抑制部向第二位置方向的移动量相应的动作量的动作；第一施力部(84)，其对第一连接部及棒状部施力以使摆动抑制部推压FOUP；和第二施力部(85)，其在第一连接部及棒状部的动作量为规定量以上时作用于第一连接部及棒状部，并对第一连接部及棒状部施力以使摆动抑制部推压FOUP。

Description

搬送车
技术领域
本发明的一个方面涉及搬送车。
背景技术
已知一种空中搬送车，该空中搬送车在清洁室等的天花板附近或比地面高的位置行驶，搬送收容有半导体晶片、标线片(reticle)或液晶基板等的容器。作为这种空中搬送车，例如，在专利文献1中公开了一种具备与作为被搬送物的容器的侧面(空中搬送车的行驶方向上的前表面或后表面)接触的摆动抑制装置的空中搬送车。在专利文献1所记载的空中搬送车中，能够抑制在行驶时发生的被搬送物的摆动。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2012-166911号公报
发明内容
包括这种空中搬送车在内的搬送被搬送物的搬送车被要求搬送重量更大的被搬送物、或以更快的速度搬送被搬送物。因此，对被搬送物的摆动进行抑制的摆动抑制装置也被要求更有效地抑制被搬送物的摆动。
因此，本发明的一个方面的目的在于，提供一种能够有效抑制被搬送物在行驶方向上的摆动的搬送车。
本发明的一个方面的搬送车具备从行驶方向的前后与被搬送物接触的一对摆动抑制部，该搬送车具备：移动机构，该移动机构通过驱动部的驱动，使摆动抑制部在与被搬送物接触的第一位置和远离被搬送物的第二位置之间沿行驶方向移动；和缓冲机构，该缓冲机构容许通过驱动部的驱动而移动到第一位置的摆动抑制部的、在驱动部的驱动停止后向行驶方向的移动，缓冲机构具有：工作部，该工作部与摆动抑制部连接，并且进行与摆动抑制部向第二位置方向的移动量相应的动作量的动作；第一施力部，该第一施力部对工作部施力以使摆动抑制部推压被搬送物；和第二施力部，该第二施力部在工作部的动作量成为规定量以上时作用于工作部，并对工作部施力以使摆动抑制部推压被搬送物。
在该结构的搬送车中，关于第一施力部，在驱动部停止后，当被搬送物发生摆动且摆动抑制部沿行驶方向移动了时，若被搬送物的摆动在规定范围内，则仅第一施力部对工作部施力以推压被搬送物。另一方面，若被搬送物的摆动超过规定范围，则第二施力部作用于工作部，并对工作部施力以使摆动抑制部推压被搬送物。由此，当被搬送物的摆动超过规定范围时，作用于被搬送物的作用力瞬间切换。其结果是，在摆动量超过规定范围的情况下，对由被搬送物推出的一个摆动抑制部施加相对较大的作用力，并对另一个摆动抑制部施加相对较小的作用力。其结果是，能够抑制由于两个摆动抑制部以大小相同的作用力彼此推挤而导致被搬送物继续摆动的状态。即，与被从行驶方向以大小相同的作用力支承的情况相比，能够有效抑制被搬送物在行驶方向上的摆动。
在本发明的一个方面的搬送车中，也可以是，移动机构具有：支承部，该支承部以旋转轴为中心双向旋转自由地设置并且支承摆动抑制部；驱动轴，该驱动轴通过驱动部的驱动而旋转；曲柄部，该曲柄部通过驱动轴的旋转而双向旋转；和连接部，该连接部的一端能够双向旋转地与曲柄部的相对于驱动轴偏心的位置连接，另一端能够双向旋转地与支承部的相对于旋转轴偏心的位置连接。在该结构中，由于能够在连接部上设置缓冲机构，所以能够紧凑地安装缓冲机构。
在本发明的一个方面的搬送车中，也可以是，当摆动抑制部位于第一位置时，驱动轴、曲柄部与连接部的连接位置、和连接部与支承部的连接位置沿连接部的延伸方向位于一条直线上。在该结构中，当摆动抑制部位于第一位置时，成为曲柄部与连接部位于所谓的死点的状态，在驱动部停止后作用于摆动抑制部的外力难以被传递至驱动部。其结果是，即使不采用大输出的驱动部，也能抵抗被传递至摆动抑制部的力。
在本发明的一个方面的搬送车中，也可以是，缓冲机构设于连接部，工作部具有与支承部连接的第一连接部、和一端与第一连接部连接的棒状的棒状部，缓冲机构还具有第二连接部，该第二连接部包括与曲柄部连接的第一主体部、和具有供棒状部穿插的穿插孔并且与第一主体部隔开间隔地配置的第二主体部，第一施力部以与第一连接部和第二主体部接触的方式配置，第二施力部配置于第一主体部或固定于棒状部的另一端，当工作部的动作量成为规定量以上时，棒状部与第一主体部经由第二施力部而接触。在该结构中，能够容易地在连接部上设置缓冲机构。
在本发明的一个方面的搬送车中，也可以是，移动机构具有固定于驱动轴的第一连杆部、以旋转轴为中心能够双向旋转地设置的第二连杆部、和能够双向旋转地与第一连杆部及第二连杆部两者连接的第三连杆部，第三连杆部设置为能够在配置于被搬送物的下方的进入位置、和配置于从被搬送物的下方退避的位置上的退避位置之间移动，第三连杆部向进入位置的移动与摆动抑制部向第一位置的移动联动，第三连杆部向退避位置的移动与摆动抑制部向第二位置的移动联动。在该结构中，由于能够利用作为摆动抑制部的驱动源的驱动部的动力，驱动作为防止被搬送物落下的落下防止部的第三连杆部，所以与分别设置驱动部的情况相比能够使装置整体的尺寸紧凑化。
在本发明的一个方面的搬送车中，也可以是，第二施力部的弹性模量比第一施力部的弹性模量大。在该结构中，能够有效抑制被搬送物在行驶方向上的摆动。
在本发明的一个方面的搬送车中，也可以是，第二施力部具有粘弹性。在该结构中，由于第二作用力具有粘弹性，所以能够使被搬送物的摆动衰减。
在本发明的一个方面的搬送车中，也可以是，第一施力部是弹簧部件，第二施力部是橡胶部件。在该结构中，能够容易地构成能够有效抑制被搬送物在行驶方向上的摆动的第一施力部及第二施力部。
发明效果
根据本发明的一个方面，能够有效抑制被搬送物在行驶方向上的摆动。
附图说明
[图1]图1是表示一个实施方式的空中搬送车的主视图。
[图2]图2是表示图1的第一落下防止部、第二落下防止部及摆动抑制部位于进入位置时的各机构的状态的立体图。
[图3]图3是表示图1的第一落下防止部、第二落下防止部及摆动抑制部位于退避位置时的各机构的状态的立体图。
[图4]图4是表示图1的第二落下防止部及摆动抑制部位于进入位置时的移动机构及缓冲机构的状态的立体图。
[图5]图5是表示图1的第二落下防止部及摆动抑制部位于退避位置时的移动机构及缓冲机构的状态的立体图。
[图6]图6的(a)～图6的(d)分别是表示图1的缓冲机构的动作转变的侧视图。
[图7]图7的(a)及图7的(b)分别是表示图1的移动机构及缓冲机构的动作转变的俯视图。
[图8]图8的(a)及图8的(b)分别是表示图1的移动机构及缓冲机构的动作转变的俯视图。
[图9]图9是表示稳定时的移动机构及缓冲机构的状态的图，(b)是表示摆动发生时的移动机构及缓冲机构的状态的图。
[图10]图10是表示摆动发生时的移动机构及缓冲机构的状态的图。
[图11]图11是表示变形例的摆动抑制部位于进入位置时的移动机构及缓冲机构的状态的立体图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的一个方面的优选的一个实施方式进行详细说明。此外，在附图的说明中，对相同要素标注相同的附图标记并省略重复说明。
图1所示的空中搬送车(搬送车)1沿着设于清洁室的天花板等比地面高的位置上的行驶轨道2行驶。空中搬送车1例如在保管设备与规定的装载口之间搬送作为物品的FOUP(Front-Opening Unified Pod：正面开口标准箱)(被搬送物)90。FOUP90具备具有开口部的箱状的壳体91和覆盖开口部的盖93。盖93相对于壳体91能够拆卸地设置。在FOUP90中例如收容多枚半导体晶片等。FOUP90具有保持于空中搬送车1的凸缘95。
在以下说明中，为了便于说明而将图1中的左右方向(X轴方向)作为空中搬送车1的前后方向(行驶方向)。将图1中的上下方向作为空中搬送车1的铅垂方向(Z轴方向)。将图1中的进深方向作为空中搬送车1的宽度方向(Y轴方向)。X轴、Y轴及Z轴互相正交。
如图1所示，空中搬送车1具备行驶驱动部3、水平驱动部5、旋转驱动部6、升降驱动部7、升降装置10、保持装置11、第一落下防止部20、第二落下防止部(第三连杆部)40、摆动抑制部70、第一落下防止部20的转动机构50(参照图2及图3)、第二落下防止部40及摆动抑制部70的移动机构60(参照图4及图5)、和缓冲机构80。在空中搬送车1上，以从行驶方向上的前后覆盖水平驱动部5、旋转驱动部6、升降驱动部7、升降装置10及保持装置11的方式设有一对框架8、8。一对框架8、8在升降装置10上升至上升端的状态下在保持装置11的下方形成收容FOUP90的空间。
行驶驱动部3使空中搬送车1沿着行驶轨道2移动。行驶驱动部3配置于行驶轨道2内。行驶驱动部3驱动在行驶轨道2上行驶的滚轮(未图示)。在行驶驱动部3的下部经由轴3A连接有水平驱动部5。水平驱动部5使旋转驱动部6、升降驱动部7及升降装置10在水平面内沿与行驶轨道2的延伸方向正交的方向(宽度方向)移动。旋转驱动部6使升降驱动部7及升降装置10在水平面内旋转。升降驱动部7通过卷绕及放出四条带9来使升降装置10升降。此外，行驶驱动部3也可以由使空中搬送车1产生推动力的线性马达等构成。另外，升降驱动部7中的带9也可以使用线材及绳索等适当的吊持部件。
本实施方式中的升降装置10通过升降驱动部7而能够升降地设置，并作为空中搬送车1中的升降台发挥功能。保持装置11保持FOUP90。保持装置11具备：L字形的一对臂12、12；固定于各臂12、12的柄(hand)13、13；和使一对臂12、12开闭的开闭机构15。
一对臂12、12与开闭机构15连接。开闭机构15使一对臂12、12向互相靠近的方向及互相远离的方向移动。通过开闭机构15的动作，一对臂12、12沿着X轴方向进退。由此，固定于臂12、12的一对柄13、13开闭。在本实施方式中，当一对柄13、13为开状态时，以使柄13的保持面与凸缘95的下表面的高度相比位于下方的方式调整保持装置11(升降装置10)的高度位置。而且，通过在该状态下使一对柄13、13成为闭状态，柄13、13的保持面进入凸缘95的下表面的下方，通过在该状态下使升降装置10上升，由一对柄13、13保持凸缘95，进行FOUP90的支承。
如图2及图3所示，第一落下防止部20通过配置于盖93的正面来防止盖93从保持于保持装置11(参照图1)的FOUP90落下。第一落下防止部20设置为，能够以Z轴方向为转动轴在配置于盖93的正面的进入位置P1、和配置于从盖93的正面退避的位置上的退避位置P2之间，沿着FOUP90的正面90a及侧面90b转动。第一落下防止部20是以转动轴20a为基点延伸到前端部20b的板状部件。第一落下防止部20由不锈钢等材料形成。第一落下防止部20的一部分形成为当第一落下防止部20位于进入位置P1时与盖93平行。
第一落下防止部20的转动机构50分别收容于一对框架8、8内。转动机构50具有驱动部51、驱动轴52、第一齿轮部53、第二齿轮部54、连杆部55、连杆部56、第三齿轮部57、和臂部58。转动机构50将基于驱动部51的转动运动转换成第一落下防止部20的直线运动(进入位置与退避位置之间的往复运动)。
第二落下防止部40通过配置于FOUP90的下表面，来防止保持于保持装置11(参照图1)的FOUP90自身落下以及盖93从该FOUP90落下。第二落下防止部40是沿Y轴方向延伸的板状部件，由不锈钢等材料形成。如图2～图5所示，第二落下防止部40设置为，能够在配置于盖93的下方的进入位置P3和配置于从盖93的下方退避的位置、即在从Z轴方向上方观察的情况下配置于收纳在框架8的区域内的位置上的退避位置P4之间移动。
第二落下防止部40向进入位置P3及退避位置P4的移动与第一落下防止部20向进入位置P1及退避位置P2的移动联动。即，若第一落下防止部20进入到进入位置P1，则第二落下防止部40也进入到进入位置P3，若第一落下防止部20退避到退避位置P2，则第二落下防止部40也退避到退避位置P4。
摆动抑制部70与FOUP90的侧面90b接触支承，从而抑制行驶时保持于保持装置11的FOUP90在空中搬送车1的X轴方向上的摆动。如图4及图5所示，摆动抑制部70构成为包括与FOUP90(参照图1)接触支承的两个滚轮70A、70A。摆动抑制部70设置为能够在接触配置于FOUP90的侧面90b的进入位置(第一位置)P5、和配置于远离FOUP90的侧面90b的位置上的退避位置(第二位置)P6之间移动。
摆动抑制部70向进入位置P5及退避位置P6的移动与第一落下防止部20向进入位置P1及退避位置P2的移动联动。即，若第一落下防止部20进入到进入位置P1，则摆动抑制部70也进入到进入位置P5，若第一落下防止部20退避到退避位置P2，则摆动抑制部70也退避到退避位置P6。另外，摆动抑制部70向进入位置P5及退避位置P6的移动与第二落下防止部40向进入位置P3及退避位置P4的移动联动。即，若第二落下防止部40进入到进入位置P3，则摆动抑制部70也进入到进入位置P5，若第二落下防止部40退避到退避位置P4，则摆动抑制部70也退避到退避位置P6。以下，对第二落下防止部40及摆动抑制部70与第二落下防止部40的联动动作进行说明。
如图2～图5所示，第二落下防止部40及摆动抑制部70的移动机构60分别收容于一对框架8、8(参照图1)，具有旋转轴(驱动轴)59、曲柄部61、支承部63、连接部65、第一连杆部62、和第二连杆部66。
旋转轴59与在第一落下防止部20(参照图2及图4)的一系列进入动作中转动的第三齿轮部57一体地旋转。即，旋转轴59通过驱动部51的驱动而旋转。驱动部51例如为步进马达。曲柄部61固定于旋转轴59，并通过旋转轴59的旋转而双向旋转。支承部63以旋转轴63a为中心双向旋转自由地设置，并支承摆动抑制部70。连接部65的一端在相对于旋转轴59偏心的位置(连接部65a)上能够双向旋转地与曲柄部61连接，另一端能够双向旋转地与支承部63的相对于旋转轴63a偏心的位置(连接部65b)连接。第一连杆部62固定于旋转轴59，并通过旋转轴59的旋转而双向旋转。第二连杆部66设置为能够以旋转轴63a为中心双向旋转。第二连杆部66通过与旋转轴59的旋转同时工作的连接部65的动作而以旋转轴63a为中心双向旋转。第二落下防止部40能够双向旋转地固定于第一连杆部62及第二连杆部66双方。
如图4～图6的(a)所示，在连接部65设有缓冲机构80。缓冲机构80容许通过驱动部51的驱动而移动到进入位置P5的摆动抑制部70的、在驱动部51停止后向X轴方向的移动。缓冲机构80具有第一连接部(工作部)81、棒状部(工作部)82、第二连接部83、第一施力部84、和第二施力部85。
第一连接部81及棒状部82是进行与摆动抑制部70向退避位置P6方向的移动量相应的动作量的动作的部件。具体而言，第一连接部81及棒状部82根据摆动抑制部70向退避位置P6方向的移动量，沿着棒状部82的延伸方向向第二连接部83侧移动(动作)。更详细地说，摆动抑制部70向退避位置P6方向的移动量越大，第一连接部81及棒状部82沿着棒状部82的延伸方向越大地向第二连接部83侧移动。第一连接部81是与支承部63能够旋转地连接的棒状部件。棒状部82是沿一个方向D延伸的棒状的部件。棒状部82的一端82a与第一连接部81连接，在棒状部82的另一端82b安装有第二施力部85。第二连接部83具有：第一主体部83a，该第一主体部83a与曲柄部61连接；第二主体部83b，该第二主体部83b形成有供棒状部82穿插的穿插孔83c，并且与第一主体部83a隔开间隔地配置；和连接部83d，该连接部83d将第一主体部83a与第二主体部83b连接。
第一施力部84以与第一连接部81和第二连接部83的第二主体部83b两者接触的方式配置。第一施力部84对第一连接部81施力以使摆动抑制部70推压FOUP90。更详细地说，第一施力部84对第一连接部81施力以使摆动抑制部70向推压FOUP90的方向移动。第一施力部84是弹簧部件。
第二施力部85在第一连接部81及棒状部82的动作量(棒状部82的延伸方向上的第一连接部81及棒状部82向第二连接部83侧的移动量)成为规定量以上时接触(作用)于棒状部82，并对第一连接部81及棒状部82施力以使摆动抑制部70推压FOUP90。更详细地说，在第一连接部81及棒状部82的动作量成为规定量以上时才与棒状部82接触，并对第一连接部81及棒状部82施力以使摆动抑制部70向推压FOUP90的方向移动。第二施力部85具有粘弹性，且比第一施力部84的弹性模量大。第二施力部85例如由聚氨酯橡胶等的橡胶部件形成。
第二施力部85固定于棒状部82的另一端82b，第二施力部85与第一连接部81及棒状部82向第二连接部83侧的移动同时地，在第一主体部83a与第二主体部83b之间向第一主体部83a方向移动。当棒状部82的动作量成为规定量时，配置为棒状部82与第一主体部83a经由第二施力部85而接触(参照图6的(b)及图6的(c))。而且，第二施力部85在棒状部82的动作量与规定量相比变大时，通过棒状部82和第一主体部83a而被压缩。即，第二施力部85在棒状部82的动作量与规定量相比变大时作用于棒状部82，并对棒状部82施力以使摆动抑制部70推压FOUP90。
接着，对第二落下防止部40及摆动抑制部70的进入及退避动作进行说明。当通过使驱动部51(参照图2及图3)驱动而使第三齿轮部57(参照图2及图3)旋转时，如图4及图5所示，曲柄部61与该旋转联动地沿箭头方向a11旋转。当曲柄部61旋转时，通过连接部65的作用，支承部63以旋转轴63a为基点沿箭头方向a12旋转。由此，摆动抑制部70进入到进入位置P5。当摆动抑制部70位于进入位置P5时，旋转轴59、曲柄部61与连接部65的连接部65a、和连接部65与支承部63的连接部65b沿一个方向(连接部65的延伸方向)D位于一条直线上(曲柄部61和连接部65位于所谓的死点的状态)。此外，当曲柄部61和连接部65位于所谓的死点的状态时，如图3所示，第二齿轮部54的旋转轴54a、处于相对于旋转轴54a偏心的位置且是第二齿轮部54与连杆部55的连接部55a、和连杆部55与连杆部56的连接部55b沿一个方向(连杆部55的延伸方向)位于一条直线上。
在上述的曲柄部61旋转的同时，第一连杆部62以旋转轴59为基点沿箭头方向a21旋转。同样地，在支承部63旋转的同时，第二连杆部66以旋转轴63a为基点沿箭头方向a22旋转。由此，与第一连杆部62及第二连杆部66连接的第二落下防止部40进入到进入位置P3。
通过以上所说明的一系列动作，与第一连杆部62及第二连杆部66能够转动地连接的第二落下防止部40从退避位置P4进入到进入位置P3，与支承部63能够转动地连接的摆动抑制部70从退避位置P6进入到进入位置P5。此外，第二落下防止部40从进入位置P3向退避位置P4的移动及摆动抑制部70从进入位置P5向退避位置P6的移动通过向与上述一系列动作相反的方向的动作来进行。
接着，对缓冲机构80的动作进行说明。如图7的(a)所示，当第二落下防止部40及摆动抑制部70分别位于退避位置P4及退避位置P6时，如图6的(a)所示，第二施力部85不与第一主体部83a接触而是与其相隔距离G0。而且，如图7的(b)所示，从摆动抑制部70与FOUP90接触的时间点起开始第一施力部84的压缩。如图8的(a)所示，当第二落下防止部40及摆动抑制部70分别进入到进入位置P3及进入位置P5时，如图6的(b)所示，第二施力部85不与第一主体部83a接触而是与其相隔距离G1。在该状态下，摆动抑制部70从X轴方向上的前后与FOUP90的侧面90b接触来抑制FOUP90向X轴方向摆动。此时，第一施力部84对第一连接部81施力以使摆动抑制部70推压FOUP90，第二施力部85未对棒状部82施力。
在通过驱动部51的驱动而移动到进入位置P5且驱动部51的驱动停止后，若由于空中搬送车1的行驶等而如图8的(b)所示FOUP90在X轴方向上以摆动量M1摆动，则如图6的(c)所示，第二施力部85与第一主体部83a接触。此时，也与图6的(b)的状态同样地，第一施力部84对第一连接部81施力以使摆动抑制部70推压FOUP90，第二施力部85未对棒状部82施力。
进一步地，若FOUP90在X轴方向上以摆动量M2(M2＞M1)摆动，则如图6的(d)所示，第二施力部85通过棒状部82和第一主体部83a而被压缩。由此，第二施力部85作用于棒状部82，并对棒状部82施力以使摆动抑制部70推压FOUP90。第一施力部84此时也对第一连接部81施力以使摆动抑制部70推压FOUP90。即，在上述实施方式的缓冲机构80中，若FOUP90发生了比规定的摆动量M1大的摆动、且摆动抑制部70被从进入位置P5向退避位置P6方向压低，则与所压低的量相应地，棒状部82被沿一个方向D向第一主体部83a侧压低。于是，通过棒状部82和第一主体部83a而被压缩的第二施力部85对棒状部82发挥作用，并对棒状部82施力以使摆动抑制部70推压FOUP90。换言之，第二施力部85具有抵抗棒状部82欲向第一主体部83a移动的力的弹性力。
在上述实施方式的空中搬送车1中，如图9所示，在驱动部51停止后，当FOUP90发生摆动且摆动抑制部70沿X轴方向移动了时，若FOUP90的摆动量在规定范围(摆动量M1)内，则仅第一施力部84经由第一连接部81对摆动抑制部70施加力F1以推压FOUP90。另一方面，如图10所示，若FOUP90的摆动超过规定范围(摆动量M1)，则第二施力部85被压缩而作用于棒状部82，并经由棒状部82对摆动抑制部70施加力F1与力F2合计的力以推压FOUP90。由此，当FOUP90的摆动超过规定范围时，作用于FOUP90的作用力从力F1瞬间切换成力F1与力F2合计的力。在摆动量超过规定范围的情况下，对被FOUP90推出的一个摆动抑制部70施加相对较大的作用力，并对另一个摆动抑制部70施加相对较小的作用力。其结果是，能够抑制由于两个摆动抑制部70、70以相同的作用力彼此推挤而导致FOUP90继续摆动的状态。即，与在X轴方向上被从前后以大小相同的作用力支承的情况相比，能够有效抑制FOUP90在X轴方向上的摆动。
另外，在本实施方式中，在由摆动抑制部从X轴方向上的前后按住FOUP90的情况下，与只是增大作用力(弹性力)的情况相比具有以下优点。即，在增大了作用力的情况下，与FOUP90接触时的力变大，另外，从摆动的FOUP90受到的力也变大，因此，为了抵抗该力而需要使驱动部的容量增大。当驱动部的容量变大时，空中搬送车1的重量增加，尺寸也变大。在本实施方式的空中搬送车1中，与FOUP90接触时的力相对较小即可，另外，在摆动量为M1的范围内从FOUP90受到的力也小，因此能够抑制空中搬送车1的重量增加、尺寸变大。
如图4及图5所示，在上述实施方式的空中搬送车1中，由于在连接部65上设有缓冲机构80，所以能够紧凑地安装缓冲机构80。另外，如图5所示，在上述实施方式的空中搬送车1中，当摆动抑制部70位于进入位置P5时，成为曲柄部61和连接部65位于所谓的死点的状态(旋转轴59、曲柄部61与连接部65的连接部65a、和连接部65与支承部63的连接部65b沿一个方向(连接部65的延伸方向)D位于一条直线上的状态)，在驱动部51停止后作用于摆动抑制部70的外力难以被传递至驱动部51。其结果是，即使不采用大输出的驱动部51，也能抵抗被传递至摆动抑制部70的力。
在上述实施方式的空中搬送车1中，由于能够利用作为摆动抑制部70的驱动源的驱动部51的动力，来驱动防止FOUP90落下的第二落下防止部40，所以与在各个驱动机构上设置驱动部的情况相比能够使装置整体的尺寸紧凑化。
在上述实施方式的空中搬送车1中，由于第二施力部85的弹性模量比第一施力部84的弹性模量大，所以能够有效消除FOUP90在X轴方向上的摆动。另外，在上述实施方式的空中搬送车1中，第二施力部85是具有粘弹性的橡胶部件，因此能够使FOUP90的摆动衰减，能够更有效地消除FOUP90在X轴方向上的摆动。
以上，对一个实施方式进行了说明，但本发明的一个方面并不限于上述实施方式，在不脱离发明的一个方面的主旨的范围内能够进行各种变更。
在上述实施方式中，列举第一落下防止部20、第二落下防止部40和摆动抑制部70互相联动的例子进行了说明，但也可以分别单独动作，还可以任意两个要素联动。
在上述实施方式及变形例中，列举第二施力部85设于连接部65的例子进行了说明，但并不限定于此。如图11所示，例如也可以是，以在FOUP90发生了比规定的摆动量M1大的摆动、且摆动抑制部70被从进入位置P5向退避位置P6方向压低时与支承部63的一部分接触的方式，设置第二施力部85。在该情况下，第二施力部85能够设于可移动的施力部支承部件86，也可以是，第二施力部85在通过驱动部51的驱动使摆动抑制部70移动到进入位置P5之后，进入到能够与支承部63的一部分接触的位置。根据该结构，即使在摆动抑制部70的从退避位置P6向进入位置P5的移动路径上也能配置第二施力部85。
在上述实施方式及变形例中，列举以下例子进行了说明：如图8的(a)所示，当第二落下防止部40及摆动抑制部70分别进入到进入位置P3及进入位置P5时，如图6的(b)所示，第二施力部85不与第一主体部83a接触而是与其相隔距离G1，但并不限定于此。例如，在图8的(a)所示的第二落下防止部40及摆动抑制部70的状态下，既可以如图6的(c)所示第二施力部85与第一主体部83a接触，也可以如图6的(d)所示是第二施力部85已被压缩的状态，另外，还可以以比图7的(b)所示的距离G1长的方式使第二施力部85与第一主体部83a远离。
通过如上述实施方式那样相隔距离G1，能够抑制空中搬送车1发生的振动被传递至FOUP90，并且若如上述变形例那样增加该距离，则能够进一步减少上述振动的影响。另外，若构成为在图8的(a)所示的摆动抑制部70的状态下，第二施力部85成为已被压缩的状态，则能够以更强的力按住FOUP90。
在上述实施方式及变形例中，列举第一施力部84是弹簧部件且第二施力部85是橡胶部件的例子进行了说明，但也可以从橡胶部件、弹簧部件、例如由硅树脂等形成的凝胶状的弹性体等中适当选择。另外，关于第一施力部84及第二施力部85的弹性模量，也可以是两者相同，还可以是第一施力部84比第二施力部85的弹性模量大。
在上述实施方式及变形例中，作为由空中搬送车1搬送的被搬送物的例子而列举FOUP进行了说明，但也可以是承载盒(castle)、料盒(magazine)、托盘或容器等。
在上述实施方式及变形例中，列举摆动抑制部70由两个滚轮70A、70A形成的例子进行了说明，但例如也可以通过由树脂制材料构成的块状部件形成。
在上述实施方式及变形例中，列举将被搬送物以悬挂的状态搬送的例子进行了说明，但也可以构成为从X轴方向的前后支承由载置部载置的被搬送物。
在上述实施方式及变形例中，列举将本案发明的一个方面适用于在铺设于天花板的行驶轨道2上行驶的空中搬送车1的例子进行了说明，但也可以适用于在设置于地板部的轨道上行驶的搬送车，还可以适用于无轨搬送车。另外，也能适用于能够使移载部沿着地面上的轨道在水平方向上移动、且能够使移载部沿着杆在上下方向上移动(升降)的如堆垛起重机那样的搬送装置、和能够仅在水平方向或上下方向中的某一方向上移动的搬送装置等。
附图标记说明
1：空中搬送车(搬送车)，20：第一落下防止部，40：第二落下防止部(第三连杆部)，59：旋转轴(驱动轴)，60：移动机构，61：曲柄部，62：第一连杆部，63：支承部，63a：旋转轴，65：连接部，66：第二连杆部，70：摆动抑制部，80：缓冲机构，81：第一连接部(工作部)，82：棒状部(工作部)，83：第二连接部，83a：第一主体部，83b：第二主体部，83c：穿插孔，83d：连接部，84：第一施力部，85：第二施力部，90：FOUP(被搬送物)，P5：进入位置(第一位置)，P6：退避位置(第二位置)。

Claims (7)

1.一种搬送车，具备从行驶方向的前后与被搬送物接触的一对摆动抑制部，该搬送车的特征在于，具备：
移动机构，该移动机构通过驱动部的驱动，使所述摆动抑制部在与所述被搬送物接触的第一位置和远离所述被搬送物的第二位置之间沿所述行驶方向移动；和
缓冲机构，该缓冲机构容许通过所述驱动部的驱动而移动到所述第一位置的所述摆动抑制部的、在所述驱动部的驱动停止后向所述行驶方向的移动，
所述缓冲机构具有：
工作部，该工作部与所述摆动抑制部连接，并且进行与所述摆动抑制部向所述第二位置的方向的移动量相应的动作量的动作；
第一施力部，该第一施力部对所述工作部施力以使所述摆动抑制部推压所述被搬送物；和
第二施力部，该第二施力部在所述工作部的动作量成为规定量以上时作用于所述工作部，并对所述工作部施力以使所述摆动抑制部推压所述被搬送物，
所述移动机构具有：
支承部，该支承部以旋转轴为中心双向旋转自由地设置，并且支承所述摆动抑制部；
驱动轴，该驱动轴通过所述驱动部的驱动而旋转；
曲柄部，该曲柄部通过所述驱动轴的旋转而双向旋转；和
连接部，该连接部的一端能够双向旋转地与所述曲柄部的相对于所述驱动轴偏心的位置连接，另一端能够双向旋转地与所述支承部的相对于所述旋转轴偏心的位置连接。
2.根据权利要求1所述的搬送车，其特征在于，
当所述摆动抑制部位于所述第一位置时，所述驱动轴、所述曲柄部与所述连接部的连接位置、和所述连接部与所述支承部的连接位置沿所述连接部的延伸方向位于一条直线上。
3.根据权利要求1或2所述的搬送车，其特征在于，
所述缓冲机构设于所述连接部，
所述工作部具有与所述支承部连接的第一连接部、和一端与所述第一连接部连接的棒状的棒状部，
所述缓冲机构还具有第二连接部，该第二连接部包括与所述曲柄部连接的第一主体部、和具有供所述棒状部穿插的穿插孔并且与所述第一主体部隔开间隔地配置的第二主体部，
所述第一施力部以与所述第一连接部和所述第二主体部接触的方式配置，所述第二施力部配置于所述第一主体部或固定于所述棒状部的另一端，
当所述工作部的动作量成为规定量以上时，所述棒状部与所述第一主体部经由所述第二施力部而接触。
4.根据权利要求1或2所述的搬送车，其特征在于，
所述移动机构具有固定于所述驱动轴的第一连杆部、以所述旋转轴为中心能够双向旋转地设置的第二连杆部、和能够双向旋转地与所述第一连杆部及所述第二连杆部两者连接的第三连杆部，
所述第三连杆部设置为能够在配置于所述被搬送物的下方的进入位置、和配置于从所述被搬送物的下方退避的位置上的退避位置之间移动，
所述第三连杆部向所述进入位置的移动与所述摆动抑制部向所述第一位置的移动联动，所述第三连杆部向所述退避位置的移动与所述摆动抑制部向所述第二位置的移动联动。
5.根据权利要求1或2所述的搬送车，其特征在于，
所述第二施力部的弹性模量比所述第一施力部的弹性模量大。
6.根据权利要求1或2所述的搬送车，其特征在于，
所述第二施力部具有粘弹性。
7.根据权利要求1或2所述的搬送车，其特征在于，
所述第一施力部是弹簧部件，所述第二施力部是橡胶部件。
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