CN102398850A - 桥式输送车的夹持装置以及桥式输送车 - Google Patents

桥式输送车的夹持装置以及桥式输送车 Download PDF

Info

Publication number
CN102398850A
CN102398850A CN2011101910176A CN201110191017A CN102398850A CN 102398850 A CN102398850 A CN 102398850A CN 2011101910176 A CN2011101910176 A CN 2011101910176A CN 201110191017 A CN201110191017 A CN 201110191017A CN 102398850 A CN102398850 A CN 102398850A
Authority
CN
China
Prior art keywords
mentioned
pair
guide rail
base plate
conveying car
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN2011101910176A
Other languages
English (en)
Inventor
川端正康
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Machinery Ltd
Original Assignee
ASYST TECHNOLOGIES
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2010152415A external-priority patent/JP5668340B2/ja
Priority claimed from JP2010152414A external-priority patent/JP5585249B2/ja
Application filed by ASYST TECHNOLOGIES filed Critical ASYST TECHNOLOGIES
Publication of CN102398850A publication Critical patent/CN102398850A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66CCRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C1/00Load-engaging elements or devices attached to lifting or lowering gear of cranes or adapted for connection therewith for transmitting lifting forces to articles or groups of articles
    • B66C1/10Load-engaging elements or devices attached to lifting or lowering gear of cranes or adapted for connection therewith for transmitting lifting forces to articles or groups of articles by mechanical means
    • B66C1/22Rigid members, e.g. L-shaped members, with parts engaging the under surface of the loads; Crane hooks
    • B66C1/28Duplicate, e.g. pivoted, members engaging the loads from two sides
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66CCRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C1/00Load-engaging elements or devices attached to lifting or lowering gear of cranes or adapted for connection therewith for transmitting lifting forces to articles or groups of articles
    • B66C1/10Load-engaging elements or devices attached to lifting or lowering gear of cranes or adapted for connection therewith for transmitting lifting forces to articles or groups of articles by mechanical means
    • B66C1/42Gripping members engaging only the external or internal surfaces of the articles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/08Gripping heads and other end effectors having finger members
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66CCRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C1/00Load-engaging elements or devices attached to lifting or lowering gear of cranes or adapted for connection therewith for transmitting lifting forces to articles or groups of articles
    • B66C1/10Load-engaging elements or devices attached to lifting or lowering gear of cranes or adapted for connection therewith for transmitting lifting forces to articles or groups of articles by mechanical means
    • B66C1/42Gripping members engaging only the external or internal surfaces of the articles
    • B66C1/58Gripping members engaging only the external or internal surfaces of the articles and deforming the articles, e.g. by using gripping members such as tongs or grapples
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733Overhead conveying
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance

Abstract

一种桥式输送车的夹持装置以及桥式输送车,能够减少用于防止被输送物的落下的修理或维护的需要。桥式输送车的夹持装置具有底板;导轨,设于该底板的上表面;一对导块,以沿该导轨相互接近以及离开的方式在大致水平方向上可移动地设置;以及一对把持部,分别具有水平部分、垂直部分以及爪部,上述水平部分固定于导块的上表面,沿底板的上表面延伸,上述垂直部分从水平部分延伸到比底板靠下方,上述爪部设于垂直部分的下端侧,用于把持被输送物。

Description

桥式输送车的夹持装置以及桥式输送车
技术领域
本发明涉及设置在以悬吊状态输送例如FOUP(Front OpeningUnified Pod:前开式晶圆盒)等被输送物的例如OHT(Overhead HoistTransport:桥式行走式无人输送车)等输送车上的、用于把持被输送物的桥式输送车的夹持装置,以及桥式输送车的技术领域。
背景技术
作为桥式输送车的夹持装置,已知有通过可开闭地构成的一对把持部把持例如FOUP等被输送物的上部(例如凸缘)的装置(参照例如专利文献1)。例如在专利文献1中公开有具有如下结构的夹持装置:导轨固定在顶板部的底面(或下表面),从下侧将由支承板、机械手支承板以及机械手构成的把持部安装在被装配于该导轨的一对导块的各导块上。
而且,作为桥式输送车,已知有由把持部的一对卡具部把持例如FOUP等被输送物的上部(例如凸缘)的装置(参照例如专利文献2以及3),该把持部设置在通过升降驱动部而升降的升降台。在这样的桥式输送车中,提出有用于防止行走中的被输送物的振动的各种技术。例如在专利文献2中提出有通过在升降驱动部和升降台之间设置弹性体来防止桥式输送车的振动传递给被输送物的技术。例如,在专利文件3中公开有如下技术:通过在升降台设置从上方向下推压被输送物的推压机构,根据升降台的高度位置调节该推压机构的推压力,由此防止桥式输送车的行走中的被输送物的振动。
[专利文献1]日本特开2001-294390号公报
[专利文献2]日本特开2006-298535号公报
[专利文献3]日本特开2006-8354号公报
例如在上述专利文献1中公开的现有的结构中,一般为,导轨设置在顶板部的下侧,在构造上,导轨通过从下侧拧入的螺钉被固定在顶板部。但是,在这样的现有的结构中,存在由于被输送物的重量或输送中的振动等可能产生螺钉破损或松动的技术问题。因此,需要适当进行防止被输送物的落下的检查、修理等,要求降低这样的维护作业所需要的时间或劳力。
而且,在上述那样以往的桥式输送车中,在把持被输送物进行输送时,以降低消耗电力等为目的,一般停止向用于驱动把持部的一对卡具部的例如马达等驱动部的供电。在如此停止向驱动部的供电的状态下,因为一对卡具部的把持力减弱,所以存在被输送物落下的可能。因此,存在除把持部外,必须额外设置防止一对卡具部打开的防打开装置等、用于防止被输送物落下的装置的技术问题。结果,存在导致把持部的加重化或结构的复杂化、甚至成本增加的可能。
发明内容
本发明正是鉴于例如上述的问题而完成的,其课题在于提供一种较少需要用于防止被输送物的落下的修理或维护的桥式输送车的夹持装置以及具备这样的夹持装置的桥式输送车。
另外,本发明是鉴于例如上述的问题点而完成的,其课题在于提供一种凭借简单的结构即可防止一对卡具部在被输送物的输送中打开的桥式输送车。
本发明所涉及的桥式输送车的夹持装置是设于将被输送物以悬吊状态输送的桥式输送车上、用于把持被输送物的桥式输送车的夹持装置。为了解决上述课题,桥式输送车的夹持装置具有底板、导轨、一对导块以及一对把持部。导轨设于底板的上表面。一对导块以沿导轨相互接近以及离开的方式在大致水平方向上可移动地设于导轨。一对把持部分别具有水平部分、垂直部分以及爪部,上述水平部分固定于导块的上表面,且沿底板的上表面延伸,上述垂直部分从水平部分延伸到比底板靠下方的位置,上述爪部设于垂直部分的下端侧,且用于把持被输送物。
而且,本发明涉及的桥式输送车是沿铺设于顶棚的轨道行走、用于输送被输送物的桥式输送车。为了解决上述课题,桥式输送车具有把持被输送物的手部以及升降部。手部包括:底板;导轨,设于底板;一对卡具部,以沿导轨相互接近以及离开的方式被设为能够在大致水平方向上移动,且具有用于把持被输送物的爪部;以及缓冲部件,设于卡具部,包含弹性体。升降部将手部升起以及落下,在升起手部时,升降部与缓冲部件抵接进而推压缓冲部件,通过在与缓冲部件之间产生的摩擦力来限制卡具部的移动。
可从以下说明的用于实施发明的实施方式中清楚本发明的作用以及其他优点。
附图说明
图1是示出具备第1实施方式所涉及的夹持装置的桥式输送车的整体结构的侧视图。
图2是示出第1实施方式所涉及的夹持装置的结构的剖视图(把持状态)。
图3是示出第1实施方式所涉及的夹持装置的结构的剖视图(释放状态)。
图4是示出第1实施方式所涉及的夹持装置的结构的立体图。
图5是示出第2实施方式所涉及的桥式输送车的整体结构的侧视图。
图6是示出第2实施方式所涉及的桥式输送车的手部的结构的剖视图(把持状态)。
图7是示出第2实施方式所涉及的桥式输送车的手部的结构的剖视图(释放状态)。
图8是示出第2实施方式所涉及的桥式输送车的手部的结构的立体图。
图9是示出由一对卡具把持并输送FOUP时的第2实施方式所涉及的夹持装置的状态的剖视图。
具体实施方式
以下,参照附图对本发明的实施方式进行说明。
<第1实施方式>
参照图1至图4对第1实施方式所涉及的夹持装置进行说明。
首先,参照图1说明具备第1实施方式所涉及的夹持装置的桥式输送车的整体结构。
图1是示出具备第1实施方式所涉及的夹持装置的桥式输送车的整体结构的侧视图。
图1中,桥式输送车10是沿铺设于半导体制造工场等设施中的顶棚上的轨道1行走、在悬吊状态下输送收容有半导体晶片等的FOUP900的桥式行走式无人输送车(OHT)。其中,FOUP900是“被输送物”的一例。
桥式输送车10具有行走部11、设于行走部11内的升降部12、带13以及夹持装置100。
另外,夹持装置100是“桥式输送车的夹持装置”的一例。夹持装置100设于桥式输送车10上,通过例如作为卡具或机械手等的一对把持部把持例如FOUP900等被输送物的上部(例如凸缘),该桥式输送车10沿铺设于半导体制造工场等设施中的顶棚上的轨道1行走。通过一对把持部把持被输送物,桥式输送车10能够在悬吊状态下输送被输送物。
升降部12是“升降装置”的一例。
行走部11以悬吊的形式安装于轨道1,通过由线性马达驱动而沿轨道1行走。
升降部12将夹持装置100升起以及落下。升降部12设于行走部11内,构成为能够使经由带13连接的夹持装置100升降。具体而言,升降部12具有固定在带13的一端的卷绕轴和使该卷绕轴旋转的马达。升降部12通过由马达使卷绕轴旋转,将带13从一端起卷绕或开卷,由此使固定于带13的另一端的夹持装置100(更具体而言,为参照图2在后叙述的底板110)升降。
夹持装置100是用于把持FOUP900的夹持装置,具有作为“一对把持部”的一例的一对卡具140。夹持装置100构成为能够通过一对卡具140把持FOUP900的上部的凸缘910。
接着,参照图2至图4对第1实施方式所涉及的夹持装置的结构进行说明。
图2以及图3是示出第1实施方式所涉及的夹持装置的结构的剖视图。图4是示出第1实施方式所涉及的夹持装置的结构的立体图。另外,图2以及图3是以包含导轨120、一对导块130以及一对卡具140的方式通过沿着导轨120所延伸的方向的直线剖切夹持装置100的情况下的剖视图。图2示出一对卡具140处于把持状态下的情况。图3示出一对卡具140处于释放状态下的情况。图4是从斜上方观察夹持装置100的情况下的立体图。在图4中省略了图2以及图3中示出的壳体190的图示。
从图2到图4中,夹持装置100具有:底板110;设于底板110的上表面110u的导轨120;可移动地卡合于导轨120的一对导块130;固定于一对导块130的一对卡具140;以及对包含上述部件的该夹持装置100的各种构成部件进行收容的壳体190。
底板110是平板状的部件,经由带13与升降部12连接,通过由升降部12将带13卷绕或开卷,来使该底板110沿垂直方向(即、铅垂方向,图中的Z方向)升降。此外,如后所述那样,在第1实施方式中,在底板110上,在导轨120的两侧形成有一对贯通槽111(参照图4)。
导轨120是以沿一个方向(图中的X方向)延伸的方式设于底板110的上表面110u的例如由金属构成的轨道,后述的一对导块130可移动地卡合于该导轨120。导轨120具有与一对导块130的一方卡合的部分和与一对导块130的另一方卡合的部分这两个部分。
一对导块130是可移动地卡合于导轨120的例如由金属构成的块状的部件。一对导块130可移动地设于导轨120上,该导轨120设在底板110上。导块130由驱动部150(参照图4)驱动而能够在导轨120上移动,上述驱动部150被设于底板110的上表面110u且含有例如马达而构成。
一对卡具140分别固定于一对导块130,通过一对导块130沿导轨120以相互靠近的方式移动,成为把持FOUP900的凸缘910的把持状态(即、图2所示的状态)。而且,通过一对导块130沿导轨120以相互离开的方式移动,成为释FOUP900的凸缘910的释放状态(即、图3所示的状态)。
一对卡具140分别具有:水平部分141,其固定于导块130的上表面130u,且沿底板110的上表面110u延伸;垂直部分142,其从水平部分141延伸到比底板110靠下方;以及爪部143,其从垂直部分142的下端侧向底板110的中央延伸。这样,一对卡具140分别通过具有水平部分141、垂直部分142以及爪部143,具有大致C字状或大致U字状的截面形状。如图4所示,垂直部分142由被设置为能够在一对贯通槽111内移动的一对板状体构成,上述一对贯通槽111形成于底板110上的导轨120的两侧。
如上所述,在夹持装置100中,导轨120以及一对导块130设于底板110的上表面110u。而且,一对卡具140分别具有:固定于导块130的上表面且沿底板110的上表面110u延伸的水平部分141;从水平部分141延伸到比底板110靠下方的垂直部分142;以及设于垂直部分142的下端侧、用于把持FOUP900的爪部143。
根据如此构成的夹持装置100,由于导轨120以及一对导块130设于底板110的上表面110u,所以与例如将导轨120以及一对导块130通过螺钉紧固固定于底板110的下表面110d的情况相比,能够减少用于防止FOUP900的落下的修理或维护的需要。
而且,根据如此构成的夹持装置100,在由一对卡具140把持FOUP900的凸缘910、使FOUP900处于悬吊的状态的情况下,能够可靠地防止由于FOUP900的重量或输送中的振动引起的FOUP900的落下。例如,能够可靠地防止导轨120从底板110脱离、导块130从导轨120脱离、或卡具140从导块130脱离而造成的FOUP900落下。因此,能够实现失效保护。
即,在第1实施方式中,特意将导轨120以及一对导块130设于底板110的上表面110u。而且,一对卡具140分别被固定于导块130的上表面130u。因此,在由一对卡具140把持FOUP900的凸缘910、使FOUP900处于悬吊状态的情况下,对应于FOUP900的重量的力经由卡具140以及导块130从导轨120的上表面侧朝向底板110作用于导轨120上。而且,对应于FOUP900的重量的力经由卡具140从导块130的上表面130u侧朝向导轨120作用于导块130上。因而,能够可靠地降低或防止由于FOUP900的重量引起的导轨120从底板110的脱离或导块130从导轨120的脱离。在此,假设不实施任何对策,而将导轨120固定于底板110的下表面110d、将一对卡具140固定于可移动地卡合于导轨120的一对导块130的下表面上的情况下,对应于FOUP900的重量的力以欲使导轨120离开底板110的方式作用于导轨120,而且,对应于FOUP900的重量的力以欲使导块130离开导轨120的方式作用于导块130。由此,FOUP900有可能落下。这样的FOUP900的落下尤其容易在如下情况下发生:FOUP900趋于大重量的情况或例如将导轨120固定于底板110的螺钉松动的情况下等各部件之间的固定变弱的情况。
另外,在第1实施方式中,尤其一对卡具140分别具有被固定于导块130的上表面130u的水平部分141,所以在由一对卡具140把持FOUP900的凸缘910、使FOUP900处于悬吊状态的情况下,对应于FOUP900的重量的力经由爪部143以及垂直部分142以欲使水平部分141压接导块130的方式作用于水平部分141。因而,能够降低或防止由于FOUP900的重量引起的卡具140从导块130的脱离。
如以上说明那样,根据第1实施方式所涉及的夹持装置100,能够减少用于防止FOUP900的落下的修理或维护的需要。而且,能够实现失效保护。
而且,在第1实施方式中,尤其是底板110在导轨120的两侧具有沿着导轨120所延伸的方向形成的一对贯通槽111。一对卡具140的垂直部分142由被设置为能够在一对贯通槽111内沿着导轨120所延伸的方向移动的一对板状体构成。这样,因为卡具140的垂直部分142由一对板状体构成,所以能够实现卡具140的小型化或轻量化,并能使卡具140的强度提高。
另外,加之在第1实施方式中,尤其是如上所述,用于驱动导块130的驱动部150与导轨120以及一对导块130同样设置于底板110的上表面110u,所以能够实现该夹持装置100的小型化。
<第2实施方式>
参照图5至图9对第2实施方式所涉及的桥式输送车进行说明。
首先,参照图5说明第2实施方式所涉及的桥式输送车的整体结构。
图5是示出第2实施方式所涉及的桥式输送车的整体结构的侧视图。
图5中,桥式输送车10是沿铺设于半导体制造工场等设施中的顶棚上的轨道1行走、在悬吊状态下输送收容有半导体晶片等的FOUP900的桥式行走式无人输送车(OHT)。桥式输送车10通过手部把持例如FOUP900等被输送物的上部(例如凸缘)。如后所述,桥式输送车10具有将手部升起以及落下的升降部,在输送被输送物时,在由升降部将把持被输送物的手部升起的状态下行走。另外,FOUP900是“被输送物”的一例。
桥式输送车10具有行走部11以及一部分固定于行走部11的夹持装置100。
行走部11以悬吊的形式安装于轨道1,通过由线性马达驱动而沿轨道1行走。
夹持装置100是用于把持FOUP900的夹持装置,具有升降部12以及经由带13与该升降部12连接的手部101。
升降部12设于行走部11内,构成为能够使经由带13连接的手部101升降(即,升起以及落下)。具体而言,升降部12具有固定在带13的一端的卷绕轴和使该卷绕轴旋转的马达。升降部12通过由马达使卷绕轴旋转,将带13从一端起卷绕或开卷,由此使固定于带13的另一端的手部101(更具体而言,为参照图6在后叙述的底板110)升降。
手部101具有作为“一对卡具部”的一例的一对卡具140。手部101能够构成为由一对卡具140把持FOUP900的上部的凸缘910。手部101具有底板110、导轨120以及一对卡具140。在第2实施方式中,手部101还具有如后所述的一对导块130以及包含弹性体的缓冲部件160。
下面,参照图6到图8说明第2实施方式所涉及的桥式输送车的手部101的结构。
图6以及图7是示出第2实施方式所涉及的桥式输送车的手部的结构的剖视图。图8是示出第2实施方式所涉及的桥式输送车的手部的结构的立体图。另外,图6以及图7是以包含导轨120、一对导块130以及一对卡具140的方式通过沿着导轨120所延伸的方向的直线剖切手部101的情况下的剖视图。图6示出一对卡具140处于把持状态下的情况。图7示出一对卡具140处于释放状态下的情况。图8是从斜上方观察手部101的情况下的立体图。在图8中省略了图6以及图7中示出的壳体190的图示。
从图6到图8中,手部101具有:底板110;设于底板110的上表面110u的导轨120;可移动地卡合于导轨120的一对导块130;固定于一对导块130的一对卡具140;以及对包含上述部件的该手部101的各种构成部件进行收容的壳体190。
底板110是平板状的部件,由升降部12升起或落下而进行升降。例如,底板110经由带13与升降部12连接,通过由升降部12将带13卷绕或开卷,来使底板110沿垂直方向(即、铅垂方向,图中的Z方向)升降。另外,如后所述那样,在第2实施方式中,在底板110上,在导轨120的两侧形成有一对贯通槽111(参照图8)。
导轨120设于底板110的上表面110u。导轨120是以沿一个方向(图中的X方向)延伸的方式设于底板110的上表面110u的例如由金属构成的轨道,后述的一对导块130可移动地卡合于该导轨120。导轨120具有与一对导块130的一方卡合的部分和与一对导块130的另一方卡合的部分这两个部分。
一对导块130是可移动地卡合于导轨120的例如由金属构成的块状的部件。导块130通过由驱动部150(参照图8)驱动,能够在导轨120上移动,上述驱动部150被设于底板110的上表面110u且包含例如马达而构成。
一对卡具140分别固定于一对导块130。一对卡具140能够在大致水平方向上移动,使得一对导块130沿着导轨120相互靠近以及分离。具体而言,一对卡具140通过一对导块130沿导轨120以相互靠近的方式移动,成为把持FOUP900的凸缘910的把持状态(即、图6所示的状态)。而且,一对卡具140通过一对导块130沿导轨120以相互离开的方式移动,成为释放FOUP900的凸缘910的释放状态(即、图7所示的状态)。即,一对卡具140通过相互接近而成为“关闭状态”来把持FOUP900的凸缘910,通过相互离开而成为“打开状态”来释放FOUP900的凸缘910。
一对卡具140分别具有:水平部分141,其固定于导块130的上表面130u,且沿底板110的上表面110u延伸;以及垂直部分142,其从水平部分141延伸到比底板110靠下方。在垂直部分142的下端侧设有向底板110的中央延伸的爪部143。一对卡具140能够以沿着导轨120相互接近以及离开的方式在大致水平方向移动,从而由爪部143把持FOUP900。这样,一对卡具140分别通过具有水平部分141、垂直部分142以及爪部143,具有大致C字状或大致U字状的截面形状。如图8所示,垂直部分142由被设置为能够在一对贯通槽111内移动的一对板状体构成,上述一对贯通槽111形成于底板110上的导轨120的两侧。
根据如此构成的手部101,在由一对卡具140把持FOUP900的凸缘910、使FOUP900处于悬吊的状态的情况下,能够可靠地防止由于FOUP900的重量引起的FOUP900的落下。例如,能够可靠地防止导轨120从底板110脱离、导块130从导轨120脱离、或卡具140从导块130脱离而造成的FOUP900落下。因此,能够实现失效保护。
即,在第2实施方式中,将导轨120以及一对导块130设于底板110的上表面110u。而且,一对卡具140分别被固定于导块130的上表面130u。因此,在由一对卡具140把持FOUP900的凸缘910、使FOUP900处于悬吊状态的情况下,对应于FOUP900的重量的力经由卡具140以及导块130从导轨120的上表面侧朝向底板110作用于导轨120上。而且,对应于FOUP900的重量的力经由卡具140从导块130的上表面130u侧朝向导轨120作用于导块130上。因而,能够可靠地降低或防止由于FOUP900的重量引起的导轨120从底板110的脱离或导块130从导轨120的脱离。在此,假设在不实施任何对策,而将导轨120固定于底板110的下表面110d、将一对卡具140固定于可移动地卡合于导轨120的一对导块130的下表面上的情况下,对应于FOUP900的重量的力以欲使导轨120离开底板110的方式作用于导轨120。而且,对应于FOUP900的重量的力以欲使导块130离开导轨120的方式作用于导块130。由此,FOUP900有可能落下。这样的FOUP900的落下尤其容易在如下情况下发生:FOUP900趋于大重量的情况或例如将导轨120固定于底板110的螺钉松动的情况下等各部件之间的固定变弱的情况。
另外,在第2实施方式中,一对卡具140分别具有被固定于导块130的上表面130u的水平部分141。因此,在由一对卡具140把持FOUP900的凸缘910、使FOUP900处于悬吊状态的情况下,对应于FOUP900的重量的力经由爪部143以及垂直部分142以使水平部分141压接导块130的方式作用于水平部分141。因而,能够降低或防止由于FOUP900的重量引起的卡具140从导块130的脱离。
手部101还具有包含弹性体的缓冲部件160。如图6到图8所示那样,在第2实施方式中,特意将包含硅系的胶状材料而构成的缓冲部件160设于一对卡具140的各自的水平部分141的上表面141u上。
图9是示出由一对卡具140把持并输送FOUP900时的夹持装置100的状态的剖视图。
如图9所示,在第2实施方式中,特意地,在升降部12将手部101升起时,缓冲部件160与升降部12抵接而被推压,通过缓冲部件160与升降部12之间产生的摩擦力来限制一对卡具140的移动。
即,在桥式输送车10输送FOUP900时,通过升降部12使底板110向上方移动,以使缓冲部件160被一对卡具140的水平部分141和升降部12的底面部分夹入,换言之,通过升降部12使底板110向上方移动,以使缓冲部件160被一对卡具140的水平部分141和升降部12的底面部分压缩。
因而,能够通过缓冲部件160与升降部12之间产生的摩擦力可靠地防止在FOUP900的输送中一对卡具140离开(即,一对卡具140打开)。因此,能够抑制由于一对卡具140离开而导致FOUP900从一对卡具140(更具体而言,是爪部143(参照图6))脱离、进FOUP900落下的可能。而且,根据第2实施方式,由于具有缓冲部件160设置于卡具140这种简单的结构,不需要设置防打开装置等特殊的装置,所以不会导致手部101的加重化或构造的复杂化。另外,因为由含有胶状材料而构成的缓冲部件160夹在手部101和升降部12之间,所以也能够有效地抑制输送中的振动传递给手部101以及FOUP900。
另外,在第2实施方式中,底板110在导轨120的两侧具有沿着导轨120所延伸的方向形成的一对贯通槽111。垂直部分142由被设置为能够在一对贯通槽111内沿着导轨120所延伸的方向移动的一对板状体构成。
这样,因为卡具140的垂直部分142由一对板状体构成,所以能够实现卡具140的小型化或轻量化,并能尤其提高卡具140的强度。
另外,加之在第2实施方式中,尤其是如上所述,用于驱动导块130的驱动部150与导轨120以及一对导块130同样设置于底板110的上表面110u,所以能够实现手部101的小型化。
如上述说明那样,根据第2实施方式所涉及的桥式输送车100,能够凭借简单的结构防止在FOUP900的输送中一对卡具140打开。
而且,在桥式输送车100中,导轨120设于底板110的上表面110u。一对卡具140具有:可移动地卡合于导轨120的一对导块130;固定于导块130的上表面130u且沿大致水平方向延伸的水平部分141;以及从水平部分141延伸到比底板110靠下方且在下侧具有爪部143的垂直部分142。缓冲部件160设于水平部分141的上表面。
因此,一对卡具140在通过升降部12升起时,因为缓冲部件160被夹持在升降部12和一对卡具140之间并被推压,所以能够可靠地防止一对卡具140打开。
而且,缓冲部件160包含弹性体,弹性体包含硅系的胶状材料。
硅系的胶状材料因为非常柔软并具有高的防振性以及缓冲性能,所以能够更加提高在桥式输送车10行走中的一对卡具的防打开效果、把持部的防振效果。
本发明不限于上述实施方式,在不违反从权利要求以及说明书整体读取的发明的主旨或思想的范围内能够进行适当变更,伴随如此变更的桥式输送车的夹持装置以及具有该夹持装置的桥式输送车也还包含在本发明的技术范围中。

Claims (23)

1.一种桥式输送车的夹持装置,其被设于将被输送物以悬吊状态进行输送的桥式输送车上,且用于把持上述被输送物,该桥式输送车的夹持装置的特征在于,具有:
底板;
导轨,其设于上述底板的上表面;
一对导块,该对导块以沿上述导轨相互接近以及离开的方式在大致水平方向上可移动地设于上述导轨;以及
一对把持部,该对把持部分别具有水平部分、垂直部分以及爪部,上述水平部分固定于上述导块的上表面,且沿上述底板的上表面延伸,上述垂直部分从上述水平部分延伸到比上述底板靠下方的位置,上述爪部设于上述垂直部分的下端侧,且用于把持上述被输送物。
2.根据权利要求1所述的桥式输送车的夹持装置,其特征在于,
上述底板在上述导轨的两侧具有沿上述导轨所延伸的方向形成的一对贯通槽,
上述垂直部分由一对板状体构成,该对板状体被设置为能够在上述一对贯通槽内沿上述导轨所延伸的方向移动。
3.根据权利要求1所述的桥式输送车的夹持装置,其特征在于,
还具有驱动部,该驱动部设于上述底板的上表面,且用于驱动上述导块。
4.根据权利要求2所述的桥式输送车的夹持装置,其特征在于,
还具有驱动部,该驱动部设于上述底板的上表面,且用于驱动上述导块。
5.一种桥式输送车,其沿铺设于顶棚的轨道行走,该桥式输送车的特征在于,具有:
权利要求1所述的夹持装置;以及
升降装置,其将上述夹持装置升起以及落下。
6.一种桥式输送车,其沿铺设于顶棚的轨道行走,该桥式输送车的特征在于,具有:
权利要求2所述的夹持装置;以及
升降装置,其将上述夹持装置升起以及落下。
7.一种桥式输送车,其沿铺设于顶棚的轨道行走,该桥式输送车的特征在于,具有:
权利要求3所述的夹持装置;以及
升降装置,其将上述夹持装置升起以及落下。
8.一种桥式输送车,其沿铺设于顶棚的轨道行走,该桥式输送车的特征在于,具有:
权利要求4所述的夹持装置;以及
升降装置,其将上述夹持装置升起以及落下。
9.一种桥式输送车,其沿铺设于顶棚的轨道行走,且用于输送被输送物,该桥式输送车的特征在于,具有:
手部,其用于把持上述被输送物,该手部包括:底板;导轨,该导轨设于上述底板;一对卡具部,该对卡具部以沿上述导轨相互接近以及离开的方式被设置为能够在大致水平方向上移动,且具有用于把持上述被输送物的爪部;以及缓冲部件,该缓冲部件设于上述卡具部,且包含弹性体;以及
升降部,其将上述手部升起以及落下,在升起上述手部时,升降部与上述缓冲部件抵接进而推压上述缓冲部件,通过在与上述缓冲部件之间产生的摩擦力来限制上述卡具部的移动。
10.根据权利要求9所述的桥式输送车,其特征在于,
上述手部还包含可移动地设于上述导轨的一对导块,
上述导轨设于上述底板的上表面,
上述一对卡具部还具有:水平部分,该水平部分固定于上述导块的上表面,且在大致水平方向上延伸;以及垂直部分,该垂直部分从上述水平部分延伸到比上述底板靠下方的位置,且在下侧具有上述爪部,
上述缓冲部件设于上述水平部分的上表面。
11.根据权利要求9所述的桥式输送车,其特征在于,
上述弹性体包含硅系的胶状材料。
12.根据权利要求10所述的桥式输送车,其特征在于,
上述弹性体包含硅系的胶状材料。
13.根据权利要求9所述的桥式输送车,其特征在于,
上述底板在上述导轨的两侧具有沿上述导轨所延伸的方向形成的一对贯通槽,
上述垂直部分由一对板状体构成,该对板状体被设置为能够在上述一对贯通槽内沿上述导轨所延伸的方向移动。
14.根据权利要求10所述的桥式输送车,其特征在于,
上述底板在上述导轨的两侧具有沿上述导轨所延伸的方向形成的一对贯通槽,
上述垂直部分由一对板状体构成,该对板状体被设置为能够在上述一对贯通槽内沿上述导轨所延伸的方向移动。
15.根据权利要求11所述的桥式输送车,其特征在于,
上述底板在上述导轨的两侧具有沿上述导轨所延伸的方向形成的一对贯通槽,
上述垂直部分由一对板状体构成,该对板状体被设置为能够在上述一对贯通槽内沿上述导轨所延伸的方向移动。
16.根据权利要求12所述的桥式输送车,其特征在于,
上述底板在上述导轨的两侧具有沿上述导轨所延伸的方向形成的一对贯通槽,
上述垂直部分由一对板状体构成,该对板状体被设置为能够在上述一对贯通槽内沿上述导轨所延伸的方向移动。
17.根据权利要求10所述的桥式输送车,其特征在于,
还具有驱动部,该驱动部设于上述底板的上表面,且用于驱动上述导块。
18.根据权利要求11所述的桥式输送车,其特征在于,
还具有驱动部,该驱动部设于上述底板的上表面,且用于驱动上述导块。
19.根据权利要求12所述的桥式输送车,其特征在于,
还具有驱动部,该驱动部设于上述底板的上表面,且用于驱动上述导块。
20.根据权利要求13所述的桥式输送车,其特征在于,
还具有驱动部,该驱动部设于上述底板的上表面,且用于驱动上述导块。
21.根据权利要求14所述的桥式输送车,其特征在于,
还具有驱动部,该驱动部设于上述底板的上表面,且用于驱动上述导块。
22.根据权利要求15所述的桥式输送车,其特征在于,
还具有驱动部,该驱动部设于上述底板的上表面,且用于驱动上述导块。
23.根据权利要求16所述的桥式输送车,其特征在于,
还具有驱动部,该驱动部设于上述底板的上表面,且用于驱动上述导块。
CN2011101910176A 2010-07-02 2011-07-01 桥式输送车的夹持装置以及桥式输送车 Pending CN102398850A (zh)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010-152414 2010-07-02
JP2010152415A JP5668340B2 (ja) 2010-07-02 2010-07-02 天井搬送車
JP2010-152415 2010-07-02
JP2010152414A JP5585249B2 (ja) 2010-07-02 2010-07-02 搬送車のグリッパ装置、及び搬送車

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN102398850A true CN102398850A (zh) 2012-04-04

Family

ID=45398900

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2011101910176A Pending CN102398850A (zh) 2010-07-02 2011-07-01 桥式输送车的夹持装置以及桥式输送车

Country Status (4)

Country Link
US (1) US8579128B2 (zh)
KR (1) KR20120003368A (zh)
CN (1) CN102398850A (zh)
TW (1) TW201208957A (zh)

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103151288A (zh) * 2013-03-05 2013-06-12 铜陵三佳山田科技有限公司 一种变步距塑封产品拨爪机构
CN103802118A (zh) * 2012-11-08 2014-05-21 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 夹持式平板搬运机械手
CN104555307A (zh) * 2014-11-27 2015-04-29 南京熊猫电子股份有限公司 一种高空搬运系统
CN104627835A (zh) * 2013-11-14 2015-05-20 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 用于oht平台的防掉落卡爪系统
CN104891081A (zh) * 2014-03-07 2015-09-09 株式会社大福 物品支撑装置
CN105500398A (zh) * 2016-01-25 2016-04-20 浙江瑞丰机械设备有限公司 卡爪式带封闭盖机械手装置
CN105584768A (zh) * 2014-11-12 2016-05-18 株式会社大福 物品搬送车
CN106956901A (zh) * 2017-04-28 2017-07-18 佛山市南海聚腾环保设备有限公司 一种天桥转运结构
CN107097799A (zh) * 2016-02-19 2017-08-29 村田机械株式会社 桥式输送车
CN109890730A (zh) * 2016-10-25 2019-06-14 村田机械株式会社 空中搬送车
CN109962033A (zh) * 2017-12-22 2019-07-02 由田新技股份有限公司 夹持机构
CN112027542A (zh) * 2020-08-21 2020-12-04 上海新创达半导体设备技术有限公司 一种轨道小车的物料夹持装置

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI520258B (zh) * 2013-09-27 2016-02-01 華亞科技股份有限公司 起吊裝置及自動化搬運系統
JP6179406B2 (ja) * 2014-01-10 2017-08-16 株式会社ダイフク 搬送装置
JP6819224B2 (ja) * 2016-10-31 2021-01-27 株式会社ダイフク 搬送車
KR101869460B1 (ko) * 2017-01-16 2018-06-20 크린팩토메이션 주식회사 웨이퍼 카세트에 탑 플랜지를 장착하기 위한 장치의 제어 방법
KR102307849B1 (ko) 2017-04-26 2021-10-01 세메스 주식회사 호이스트 모듈의 티칭 방법 및 이를 수행하기 위한 장치
KR102220336B1 (ko) 2017-07-26 2021-02-25 세메스 주식회사 호이스트 모듈의 티칭 방법 및 이를 수행하기 위한 장치
JP7099245B2 (ja) * 2018-10-19 2022-07-12 株式会社ダイフク 物品搬送車
CN109483579A (zh) * 2018-12-26 2019-03-19 中国科学院沈阳计算技术研究所有限公司 一种智能装配柔性抓取装置
JP7226518B2 (ja) * 2019-02-25 2023-02-21 村田機械株式会社 天井搬送車
CN113727918B (zh) * 2019-05-13 2023-04-07 村田机械株式会社 高架输送车
KR102159553B1 (ko) * 2019-05-14 2020-09-24 주식회사 에스에프에이 스트립 매거진 이송 시스템
KR102239000B1 (ko) 2019-08-22 2021-04-12 세메스 주식회사 호이스트 모듈의 구동 방법 및 이를 수행하기 위한 호이스트 구동 모듈
CN115280483A (zh) * 2020-03-13 2022-11-01 村田机械株式会社 夹持器装置、输送车以及输送方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06135685A (ja) * 1992-10-28 1994-05-17 Murata Mach Ltd 天井走行車
CN2573464Y (zh) * 2002-06-18 2003-09-17 宗胜琪 25吨横梁式双l型卷钢吊具
CN2576693Y (zh) * 2002-09-29 2003-10-01 新乡起重机器有限责任公司 一种卧式钢卷提升机
JP2005067773A (ja) * 2003-08-21 2005-03-17 Murata Mach Ltd 天井走行車
US20050173446A1 (en) * 2004-02-09 2005-08-11 Mirae Corporation Tray transferring apparatus
JP2007314331A (ja) * 2006-05-29 2007-12-06 Murata Mach Ltd ホイストとこれを用いた天井走行車
US7464823B2 (en) * 2004-06-28 2008-12-16 Murata Kikai Kabushiki Kaisha Overhead travelling carriage

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0625483Y2 (ja) 1990-03-06 1994-07-06 株式会社西電工機製作所 天井クレーンの荷物係合装置の振れ止め機構
JPH0423284U (zh) 1990-06-15 1992-02-26
JPH068381U (ja) 1991-11-29 1994-02-01 株式会社西電工機製作所 天井クレーンの荷物係合装置の振れ止め機構
JP3140118B2 (ja) 1991-12-09 2001-03-05 株式会社日立製作所 ロボット
JPH06127888A (ja) 1992-10-19 1994-05-10 Shinwa Giken:Kk 溶湯搬送装置
JPH0760680A (ja) 1993-08-31 1995-03-07 Toshiba Corp ハンド
JP2000012644A (ja) 1998-06-25 2000-01-14 Kokusai Electric Co Ltd カセット移載システム
JP2001163447A (ja) 1999-12-10 2001-06-19 Murata Mach Ltd 移載装置とこれを用いた無人搬送車
JP4465795B2 (ja) 2000-04-13 2010-05-19 ムラテックオートメーション株式会社 天井搬送車におけるグリッパ装置
US6889813B1 (en) * 2000-06-22 2005-05-10 Amkor Technology, Inc. Material transport method
JP2002283270A (ja) 2001-03-26 2002-10-03 Murata Mach Ltd 移載装置及びその移載装置を備えた搬送装置
JP4250353B2 (ja) * 2001-06-22 2009-04-08 エドワーズ株式会社 真空ポンプ
JP2003025999A (ja) 2001-07-13 2003-01-29 Nec Kansai Ltd 無振動台車
JP2003165687A (ja) 2001-11-30 2003-06-10 Murata Mach Ltd 天井搬送車
US7904198B2 (en) * 2003-10-28 2011-03-08 Aew Delford Systems Limited Pick and place gripper
JP2005194009A (ja) 2004-01-05 2005-07-21 Asyst Shinko Inc 懸垂型搬送台車
JP4075002B2 (ja) 2004-06-28 2008-04-16 村田機械株式会社 天井走行車
JP4481741B2 (ja) 2004-06-29 2010-06-16 ルネサスエレクトロニクス株式会社 搬送台車
JP4618542B2 (ja) 2004-09-10 2011-01-26 ムラテックオートメーション株式会社 懸垂式昇降搬送装置用台車におけるグリッパ装置
JP2006103879A (ja) 2004-10-05 2006-04-20 Asyst Shinko Inc 搬送台車
JP2006298535A (ja) 2005-04-19 2006-11-02 Murata Mach Ltd 天井走行車
JP4911045B2 (ja) 2008-01-21 2012-04-04 ムラテックオートメーション株式会社 被搬送物及び防振機構
DE102009012331A1 (de) * 2009-03-09 2010-09-16 Weber Maschinenbau Gmbh Breidenbach Produktgreifer

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06135685A (ja) * 1992-10-28 1994-05-17 Murata Mach Ltd 天井走行車
CN2573464Y (zh) * 2002-06-18 2003-09-17 宗胜琪 25吨横梁式双l型卷钢吊具
CN2576693Y (zh) * 2002-09-29 2003-10-01 新乡起重机器有限责任公司 一种卧式钢卷提升机
JP2005067773A (ja) * 2003-08-21 2005-03-17 Murata Mach Ltd 天井走行車
US20050173446A1 (en) * 2004-02-09 2005-08-11 Mirae Corporation Tray transferring apparatus
US7464823B2 (en) * 2004-06-28 2008-12-16 Murata Kikai Kabushiki Kaisha Overhead travelling carriage
JP2007314331A (ja) * 2006-05-29 2007-12-06 Murata Mach Ltd ホイストとこれを用いた天井走行車

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103802118A (zh) * 2012-11-08 2014-05-21 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 夹持式平板搬运机械手
CN103802118B (zh) * 2012-11-08 2016-01-20 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 夹持式平板搬运机械手
CN103151288A (zh) * 2013-03-05 2013-06-12 铜陵三佳山田科技有限公司 一种变步距塑封产品拨爪机构
CN103151288B (zh) * 2013-03-05 2016-05-18 铜陵三佳山田科技有限公司 一种变步距塑封产品拨爪机构
CN104627835B (zh) * 2013-11-14 2017-01-04 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 用于oht平台的防掉落卡爪系统
CN104627835A (zh) * 2013-11-14 2015-05-20 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 用于oht平台的防掉落卡爪系统
CN104891081A (zh) * 2014-03-07 2015-09-09 株式会社大福 物品支撑装置
CN104891081B (zh) * 2014-03-07 2019-01-08 株式会社大福 物品支撑装置
CN105584768A (zh) * 2014-11-12 2016-05-18 株式会社大福 物品搬送车
TWI670223B (zh) * 2014-11-12 2019-09-01 日商大福股份有限公司 物品搬送車
CN105584768B (zh) * 2014-11-12 2019-05-21 株式会社大福 物品搬送车
CN104555307A (zh) * 2014-11-27 2015-04-29 南京熊猫电子股份有限公司 一种高空搬运系统
CN105500398B (zh) * 2016-01-25 2018-01-16 浙江瑞丰机械设备有限公司 卡爪式带封闭盖机械手装置
CN105500398A (zh) * 2016-01-25 2016-04-20 浙江瑞丰机械设备有限公司 卡爪式带封闭盖机械手装置
CN107097799B (zh) * 2016-02-19 2020-04-21 村田机械株式会社 桥式输送车
CN107097799A (zh) * 2016-02-19 2017-08-29 村田机械株式会社 桥式输送车
CN109890730A (zh) * 2016-10-25 2019-06-14 村田机械株式会社 空中搬送车
CN109890730B (zh) * 2016-10-25 2020-12-08 村田机械株式会社 空中搬送车
CN106956901A (zh) * 2017-04-28 2017-07-18 佛山市南海聚腾环保设备有限公司 一种天桥转运结构
CN109962033A (zh) * 2017-12-22 2019-07-02 由田新技股份有限公司 夹持机构
CN112027542A (zh) * 2020-08-21 2020-12-04 上海新创达半导体设备技术有限公司 一种轨道小车的物料夹持装置

Also Published As

Publication number Publication date
TW201208957A (en) 2012-03-01
US20120000875A1 (en) 2012-01-05
KR20120003368A (ko) 2012-01-10
US8579128B2 (en) 2013-11-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102398850A (zh) 桥式输送车的夹持装置以及桥式输送车
US8430229B2 (en) Lifting device for a conveyor system a conveyor system and a method
US8726811B2 (en) Overhead transport vehicle
US9969551B2 (en) Article transport facility
TW200521051A (en) Overhead traveling crane system
JP6269535B2 (ja) 物品搬送設備
JP7099245B2 (ja) 物品搬送車
KR101281453B1 (ko) 싱글암 카세트 리프트 로봇
CN106463441A (zh) 载具的临时保管装置和临时保管方法
CN201330862Y (zh) 水泥工业用电动平板闸门
CN112299288B (zh) 升降限位装置
CN103241623A (zh) 电梯门装置
US20180290832A1 (en) Travelling vehicle system
US8939698B2 (en) Ceiling traveling vehicle and method for preventing protrusion from ceiling traveling vehicle
CN110606452B (zh) 封闭式厂房内设备及管道安装施工方法
CN214828184U (zh) 电梯副导轨锁紧装置
CN1076709C (zh) 用于电梯门的操纵系统
CN211768700U (zh) 一种盖子自动摆放机构
CN210594915U (zh) 一种机械设备安装吊装结构
JP3163721U (ja) 自動昇降操作装置
JP2010073444A (ja) バッテリ搬入装置及びバッテリユニット
KR20020007484A (ko) 운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치
CN212607899U (zh) 提升机通轨防尘对接装置
CN218139081U (zh) 一种自动切片上下棒装置
CN218371328U (zh) 一种用于地铁施工的吊装装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
ASS Succession or assignment of patent right

Owner name: MURATA MACHINERY CO., LTD.

Free format text: FORMER OWNER: ASYST TECHNOLOGIES

Effective date: 20130516

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
TA01 Transfer of patent application right

Effective date of registration: 20130516

Address after: Kyoto Japan

Applicant after: Murata Machinery Co., Ltd.

Address before: Kyoto Japan

Applicant before: Asyst Technologies

C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20120404