CN105584768B - 物品搬送车 - Google Patents

Abstract

本发明提供了在行驶体行驶时和升降部升降时能够降低传递至搬送物的振动同时搬送物支撑部难以与搬送物的被支撑部干涉的物品搬送车。在相对于行驶体升降的支撑体(23)，具备：引导支撑部(35)，在支撑用位置和退避用位置移动自由地引导支撑搬送物支撑部(32)，该搬送物支撑部(32)支撑搬送物(6)的被支撑部(9)；和缓冲体(36)，位于升降部(31)与引导支撑部(35)之间，承受引导支撑部(35)的负荷，沿上下方向弹性变形自由。

Description

物品搬送车

技术领域

本发明涉及由支撑体悬挂支撑并搬送搬送物的物品搬送车。

背景技术

在日本公开专利公报特开2006-298535号(专利文献1)中记载了悬挂支撑并搬送搬送物的物品搬送车的一个示例。该物品搬送车具备：行驶体，沿着行驶路径行驶；支撑体，悬挂支撑搬送物；以及升降用驱动部，使支撑体相对于行驶体而升降。支撑体具备：升降部，由升降用驱动部升降；搬送物支撑部，支撑搬送物的被支撑部；以及支撑用驱动部，使搬送物支撑部在位于被支撑部的正下方的支撑用位置和从被支撑部的正下方的位置退避的退避用位置移动。另外，在支撑体，具备将搬送物支撑部在支撑用位置和退避用位置移动自由地引导支撑的引导支撑体，在搬送物支撑部的上面，具备沿上下方向弹性变形自由的缓冲体。

配备于搬送物支撑部的上面的缓冲体挡住支撑对象的搬送物的负荷。即，在专利文献1的物品搬送车中，使缓冲体介于搬送物支撑部与搬送物的被支撑部之间，由此，在行驶体行驶时和升降部升降时，使传递至搬送物的振动降低。可是，在搬送物支撑部的上面，具备这样的缓冲体，由此搬送物支撑部沿上下方向变厚。因此，在为了由搬送物支撑部支撑搬送物的被支撑部而使搬送物支撑部从退避用位置移动至支撑用位置时，搬送物支撑部容易与搬送物的被支撑部干涉。

在先技术文献

专利文献1：日本特开2006-298535号公报。

发明内容

发明要解决的课题

于是，寻求能够在行驶体行驶时和升降部升降时降低传递至搬送物的振动且同时搬送物支撑部难以与搬送物的被支撑部干涉的物品搬送车。

用于解决课题的方案

鉴于上述的物品搬送车，作为一个方式，具备：

行驶体，沿着行驶路径行驶；

支撑体，悬挂支撑搬送物；以及

升降用驱动部，使所述支撑体相对于所述行驶体升降，

在此，所述支撑体具备：

升降部，由所述升降用驱动部升降；

搬送物支撑部，支撑所述搬送物的被支撑部；以及

支撑用驱动部，使所述搬送物支撑部在支撑用位置与退避用位置之间移动，

所述支撑用位置是所述搬送物支撑部存在于所述被支撑部的正下方的位置，

所述退避用位置是使所述搬送物支撑部从所述被支撑部的正下方退避的位置，

所述支撑体还具备：

引导支撑部，支撑所述搬送物支撑部，并且在所述支撑用位置和所述退避用位置移动自由地引导所述搬送物支撑部；和

缓冲体，配置于所述升降部与所述引导支撑部之间，承受包括所述搬送物支撑部的负荷的所述引导支撑部的负荷，并且沿上下方向弹性变形自由。

依据该构成，由于缓冲体位于支撑搬送物支撑部的引导支撑部与升降部之间，因而通过由缓冲体来吸收行驶体行驶时的升降部的振动和升降部升降时的升降部的振动，从而能够抑制传递至由搬送物支撑部支撑的搬送物的振动。另外，例如像专利文献1那样，缓冲体不是配备于搬送物支撑部的上面，而是配备于升降部与引导支撑部之间。结果，与在搬送物支撑部的上面具备缓冲体的情况相比，能够使搬送物支撑部沿上下方向较薄地形成。因此，在为了由搬送物支撑部支撑搬送物的被支撑部而使搬送物支撑部从退避用位置移动至支撑用位置时，能够使搬送物支撑部难以与搬送物的被支撑部干涉。即，通过在升降部与引导支撑部之间以承受引导支撑部的负荷的状态配备缓冲体，从而能够抑制在行驶体行驶时和升降部升降时传递至搬送物的振动，同时能够使搬送物支撑部难以与搬送物的被支撑部干涉。

根据对参照附图而说明的实施方式的以下记载，物品搬送设备的进一步的特征和优点变得明白。

附图说明

图1是物品搬送设备的侧面图。

图2是顶棚搬送车的侧面图。

图3是一对搬送物支撑部位于支撑用位置的支撑机构的纵截侧面图。

图4是一对搬送物支撑部位于退避用位置的支撑机构的纵截侧面图。

图5是支撑机构的俯视图。

符号说明：

1 顶棚搬送车(物品搬送车)

6 搬送物

9 被支撑部

16 行驶移动部(行驶体)

23 支撑机构(支撑体)

29 升降用电动机(升降用驱动部)

31 升降体(升降部)

32 搬送物支撑部

33 支撑用电动机(支撑用驱动部)

35 引导支撑部

36 缓冲体

37 水平限制体

44 承载部分

45 被承载部分。

具体实施方式

以下，基于附图而说明将物品搬送车适用于物品搬送设备的情况的实施方式。如图1所示，在物品搬送设备，设置有：顶棚搬送车1，由沿着移动路径配设于顶棚侧的行驶轨道2引导支撑，作为沿着移动路径行驶自由的物品搬送车；处理装置3，对容纳于搬送物6的基板进行处理；以及支撑台4，以与该处理装置3邻接的状态设置于地面上。由顶棚搬送车1搬送的搬送物6是将容纳物容纳的搬送容器，具体而言，是作为容纳物而容纳多个半导体基板的FOUP(Front Opening Unified Pod，前开式统集盒)。

[搬送物]

如图3所示，在搬送物6，具备容纳多块基板的本体部7、比该本体部7更位于上方并配备于搬送物6的上端部的被支撑部9(凸缘部)、将本体部7和被支撑部9联接的联接部8、以及将形成于本体部7的前面的基板出入用的开口关闭的装卸自由的盖体(未图示)。被支撑部9以从联接部8沿容器前后方向和容器左右方向突出的形状形成。而且，在本体部7的上面与被支撑部9的下面之间，形成有插入用空间12(搬送物支撑部插入用空间)。插入用空间12形成于搬送物6中的被支撑部9的下方。该插入用空间12是后述的一对搬送物支撑部32沿容器左右方向插入的空间。

[顶棚搬送车]

以下，说明顶棚搬送车1。在此，将沿着顶棚搬送车1的行驶方向的方向称为前后方向X，并将在俯视时与该前后方向X正交的方向(与水平方向正交的方向)称为左右方向Y而说明。另外，在升降支撑部17，搬送物6以其容器左右方向沿着顶棚搬送车1的前后方向X的状态被支撑。因此，以下，假设搬送物6由升降支撑部17支撑的状态，以搬送物6的容器左右方向作为前后方向X且以搬送物6的容器前后方向作为左右方向Y而说明。

如图1和图2所示，顶棚搬送车1具备如下部件而构成：行驶移动部16，在行驶轨道2上沿着移动路径行驶；和升降支撑部17，以位于行驶轨道2的下方的方式悬挂支撑于行驶移动部16，而且升降移动自由地对支撑搬送物6的支撑机构23进行支撑。此外，行驶移动部16相当于沿着移动路径移动的行驶体，支撑机构23相当于悬挂支撑搬送物6的支撑体。

如图2所示，在行驶移动部16，设置有由行驶用电动机19旋转驱动而在行驶轨道2的上面转动的驱动轮20和抵接在行驶轨道2的侧面的旋转自由的引导轮21。由行驶用电动机19旋转驱动驱动轮20，由行驶轨道2接触引导引导轮21，由此，行驶移动部16沿着移动路径行驶。

升降支撑部17具备：上述的支撑机构23，悬挂支撑搬送物6；升降操作机构24，使支撑机构23升降；罩部25，覆盖由支撑机构23支撑并位于支撑用高度的搬送物6(参照图2和图3)的上方侧和前后方向X的两侧；以及防落下体26，防止由支撑机构23支撑在支撑用高度处的搬送物6的落下。

升降操作机构24具备：卷绕体28，将联接支撑支撑机构23的缠绕带24a卷绕于前端部；和升降用电动机29，旋转驱动卷绕体28。通过升降用电动机29沿正方向或反方向旋转驱动卷绕体28，将缠绕带24a缠绕或陆续放出，由此，支撑机构23相对于行驶移动部16而升降移动。此外，升降用电动机29相当于升降用驱动部。

升降操作机构24具备从下方支撑搬送物6的被支撑部9中的前后方向X的两端部的一对搬送物支撑部32。如上所述，通过升降用电动机29使卷绕体28沿正方向和反方向旋转驱动并使支撑机构23升降移动，由此，一对搬送物支撑部32在上升高度和比该支撑用高度更低的下降高度升降移动。如果一对搬送物支撑部32是上升高度，则由该一对搬送物支撑部32支撑的搬送物6如图1中实线所示地位于支撑用高度。另外，如果一对搬送物支撑部32是下降高度，则搬送物6如图1中假想线所示地在支撑台4上位于移载用高度。

即，升降操作机构24将缠绕带24a缠绕而使一对搬送物支撑部32上升至上升高度，由此，由支撑机构23支撑的搬送物6上升至支撑用高度(参照图1、图2)。另一方面，升降操作机构24将缠绕带24a陆续放出而使一对搬送物支撑部32下降至下降高度，由此，由支撑机构23支撑的搬送物6下降至移载用高度(未图示)。

如图1、图2所示，以沿前后方向X并排的状态设置一对防落下体26。一对防落下体26的间隔构成为在宽度比搬送物6的前后方向X的宽度更窄的挡住用间隔(参照图1、图2)和宽度比搬送物6的前后方向X的宽度更宽的退避用间隔(未参照图示)位置变更自由。通过防落下用电动机30的驱动而变更一对防落下体26的间隔。通过使一对防落下体26的间隔为挡住用间隔，从而即使在顶棚搬送车1的行驶中，支撑机构23对搬送物6的支撑脱离，也能够由防落下体26挡住搬送物6而防止搬送物6落下至地面上。另外，通过使一对防落下体26的间隔为退避用间隔，从而能够使支撑机构23升降移动而将搬送物6交接至支撑台4或从支撑台4接收搬送物6。

[支撑机构]

如图3至图5所示，顶棚搬送车1的支撑机构23具备：作为升降部的升降体31，联接至缠绕带24a的前端部，由升降操作机构24升降；搬送物支撑部32，支撑搬送物6中的被支撑部9；以及支撑用电动机33，使搬送物支撑部32水平地移动。在搬送物支撑部32为下降高度且物品位于支撑台4上的状态下，通过支撑用电动机33的驱动而水平地移动搬送物支撑部32。由此，搬送物支撑部32在位于被支撑部9的正下方的支撑用位置(参照图3)与从被支撑部9的正下方的位置退避的退避用位置(参照图4)之间移动。即，支撑用电动机33相当于支撑用驱动部。升降体31以箱状形成，联接至搬送物支撑部32的引导支撑部35和支撑用电动机33设置于升降体31的内部。如图3和图4所示，搬送物支撑部32以从设置于箱状的升降体31的底面部31a的孔31h突出至下方的方式联接至引导支撑部35。

一对搬送物支撑部32沿前后方向X互相远近离开移动自由地配备。通过支撑用电动机33的驱动而使一对搬送物支撑部32沿前后方向X互相远近离开移动，由此，一对搬送物支撑部32的间隔在支撑用间隔和退避用间隔切换。支撑用间隔是一对搬送物支撑部32的前后方向X上的间隔比搬送物6的被支撑部9的前后方向X上的宽度更窄的间隔。退避用间隔是一对搬送物支撑部32的前后方向X上的间隔比搬送物6的被支撑部9的前后方向X上的宽度更宽的间隔。

因此，在使一对搬送物支撑部32下降至移载用高度的状态下，如图3所示，将一对搬送物支撑部32切换成支撑用间隔，由此，一对搬送物支撑部32的各个插入位于移载部位的搬送物6中的插入用空间12且移动至被支撑部9的正下方的支撑用位置。另外，在使一对搬送物支撑部32下降至移载用高度的状态下，如图4所示，将一对搬送物支撑部32切换成退避用间隔，由此，一对搬送物支撑部32的各个从位于移载部位的搬送物6中的插入用空间12拔出而移动至从被支撑部9的正下方退避的退避用位置。

如图3至图5所示，在支撑机构23，具备：引导支撑部35，在支撑用位置和退避用位置移动自由地引导支撑搬送物支撑部32；缓冲体36，位于升降体31与引导支撑部35之间，承受引导支撑部35的负荷，沿上下方向弹性变形自由；以及水平限制体37，限制引导支撑部35相对于升降体31沿着水平方向移动。缓冲体36由橡胶材料等弹性部件构成，引导支撑部35和缓冲体36设置于升降体31的内部。

在引导支撑部35，具备：基框39；直线轨道40，在基框39上沿着前后方向X设置；引导部件41，在直线轨道40上沿着前后方向X被引导支撑；以及联接部件42，联接搬送物支撑部32和引导部件41。与一对搬送物支撑部32对应地以沿前后方向X并排的状态设置一对联接部件42，在一对联接部件42的各个，支撑用于引导对应的搬送物支撑部32的引导部件41。各联接部件42具有：肩部42a，联接至各引导部件41，并且沿着水平方向；和上臂部42b，从肩部42a弯曲至下方，并且联接至搬送物支撑部32。换言之，以将对置的上臂部42b切口的方式，成为抓住搬送物6的臂的搬送物支撑部32从上臂部42b连续地形成。

如上所述，升降体31以箱状形成，将引导支撑部35的至少一部分包括在内。在本实施方式中，基框39、直线轨道40、引导部件41、肩部42a以及上臂部42b的至少一部分被包括在箱状的升降体31内。在升降体31的底面部31a，形成有孔31h，上臂部42b的一部分和搬送物支撑部32从该孔31h突出至下方。因此，在箱状的升降体31的下方，搬送物6由搬送物支撑部32支撑。

另外，如图5所示，引导支撑部35具备螺纹接合于联接部件42的滚珠丝杠34和使该滚珠丝杠34旋转驱动的支撑用电动机33。由支撑用电动机33使滚珠丝杠34旋转驱动，从而引导部件41被直线轨道40引导，同时一对搬送物支撑部32沿前后方向X互相远近离开移动。由此，一对搬送物支撑部32的间隔在支撑用间隔和退避用间隔切换。

水平限制体37由联接至基框39的直线轴37a和联接至升降体31的底面部31a的直线衬套37b构成。直线轴37a相对于直线衬套37b沿上下方向移动自由地嵌合。另外，直线轴37a的下端部分与直线衬套37b接触，从而进行向上方的防脱。水平限制体37将基框39和升降体31的底面部31a联接。由该水平限制体37限制基框39相对于底面部31a向上方离开设定距离以上以及基框39相对于底面部31a沿水平方向移动。

在升降体31的底面部31a，具备承载支撑缓冲体36的承载部分44，在引导支撑部35的基框39，具备比承载部分44更位于上方并由缓冲体36承载支撑的被承载部分45。缓冲体36设置于底面部31a的承载部分44与基框39的被承载部分45之间，承受引导支撑部35等的负荷，由此以压缩状态设置。

缓冲体36仅联接至承载部分44和被承载部分45中的承载部分44。另外，升降体31装卸自由地配备承载部分44，能够通过使承载部分44从支撑机构23脱离而将缓冲体36与该承载部分44一起从支撑机构23拆卸。

这样，在升降体31与引导支撑部35之间，配备沿上下方向弹性变形自由的缓冲体36，由此，能够抑制行驶移动部16行驶时的振动和在升降体31升降时传递至搬送物6的振动，同时使搬送物支撑部32沿上下方向较薄地形成，搬送物支撑部32难以与搬送物6的被支撑部9干涉。

[其他实施方式]

(1)在上述实施方式中，设置有缓冲体36和水平限制体37，抑制对搬送物支撑部32施加上下方向的振动，但也可以仅设置有缓冲体36，抑制对搬送物支撑部32施加上下方向和水平方向的振动。

(2)另外，由直线轴37a和直线衬套37b构成水平限制体37，但能够适当变更水平限制体37的构成。例如，也可以由以位于基框39的横侧方的方式从底面部31a竖立设置的限制部件构成水平限制体37，基框39与限制部件接触，由此，限制引导支撑部35相对于升降体31沿着水平方向移动。

(3)在上述实施方式中，以压缩状态配备缓冲体36，但也可以拉伸状态配备缓冲体36。例如，也可以在升降体31配备联接至缓冲体36的上部的上侧联接部分，在引导支撑部35配备比上侧联接部分更位于下方并联接至缓冲体36的下部的下部联接部分，以拉伸状态配备缓冲体36。

(4)另外，在上述实施方式中，由橡胶材料构成缓冲体36，但也可以由螺旋弹簧等其他弹性部件构成缓冲体36。另外，作为缓冲体36，也可以设置减震器等衰减装置。

(5)在上述实施方式中，在升降体31装卸自由地构成有承载部分44，可通过使承载部分44脱离而从开口的开口部对缓冲体36进行维护作业。可是，也可以在升降体31的侧面部分设置开闭自由的盖体，通过打开操作盖体而从开口的开口部对缓冲体36进行维护作业。

(6)在上述实施方式中，使物品搬送车为在行驶轨道2的下方具备升降支撑部的顶棚搬送车1。可是，也可以使物品搬送车为在行驶轨道2的上方具备升降支撑部的顶棚搬送车1。另外，作为物品搬送车，也可以为在地面上或铺设于地面的行驶轨道2上行驶的地面搬送车。

以下，简单地说明上述中说明的物品搬送设备的概要。

鉴于上述的物品搬送车，作为一个方式，具备：

行驶体，沿着行驶路径行驶；

支撑体，悬挂支撑搬送物；以及

升降用驱动部，使所述支撑体相对于所述行驶体而升降，

所述支撑体具备：

升降部，由所述升降用驱动部升降；

搬送物支撑部，支撑所述搬送物的被支撑部；以及

支撑用驱动部，使所述搬送物支撑部在支撑用位置与退避用位置之间移动，

所述支撑用位置是所述搬送物支撑部存在于所述被支撑部的正下方的位置，

所述退避用位置是使所述搬送物支撑部从所述被支撑部的正下方退避的位置，

所述支撑体还具备：

引导支撑部，支撑所述搬送物支撑部，并且将所述搬送物支撑部在所述支撑用位置和所述退避用位置移动自由地引导；和

缓冲体，配置于所述升降部与所述引导支撑部之间，承受包括所述搬送物支撑部的负荷的所述引导支撑部的负荷，并且沿上下方向弹性变形自由。

依据该构成，由于缓冲体位于支撑搬送物支撑部的引导支撑部与升降部之间，因而通过由缓冲体吸收行驶体行驶时的升降部的振动和升降部升降时的升降部的振动，从而能够抑制传递至由搬送物支撑部支撑的搬送物的振动。另外，例如像专利文献1那样，缓冲体不是配备于搬送物支撑部的上面，而是配备于升降部与引导支撑部之间。结果，与在搬送物支撑部的上面具备缓冲体的情况相比，能够使搬送物支撑部沿上下方向较薄地形成。因此，在为了由搬送物支撑部支撑搬送物的被支撑部而使搬送物支撑部从退避用位置移动至支撑用位置时，能够使搬送物支撑部难以与搬送物的被支撑部干涉。即，在升降部与引导支撑部之间以承受引导支撑部的负荷的状态配备缓冲体，由此，能够抑制在行驶体行驶时和升降部升降时传递至搬送物的振动，同时能够使搬送物支撑部难以与搬送物的被支撑部干涉。

在此，优选地，设置有限制所述引导支撑部相对于所述升降部沿着水平方向移动的水平限制体。

依据该构成，由于由水平限制体限制引导支撑部相对于升降部沿水平方向移动，因而在使升降部升降而移载物品时，引导支撑部和搬送物支撑部以及由搬送物支撑部支撑的物品难以沿水平方向移动，因此，容易将升降部的升降导致的物品的移载移载至适当的位置。

另外，优选地，所述升降部具备承载支撑所述缓冲体的承载部分，所述引导支撑部具备比所述承载部分更位于上方并由所述缓冲体承载支撑的被承载部分，所述搬送物支撑部比所述升降部更位于下方。例如，作为一个方式，优选地，所述引导支撑部具备沿着水平方向的板状的基框、沿水平方向沿着所述基框上设置的直线轨道、沿着所述直线轨道被引导支撑的引导部件、以及将水平部所述搬送物支撑部与所述引导部件联接的联接部件，所述联接部件具有联接至所述引导部件且沿着水平方向的肩部、和从所述肩部弯曲至下方并联接至所述搬送物支撑部的上臂部，所述升降体以将所述引导支撑部的至少一部分包括在内的箱状形成，所述搬送物支撑部从设置于箱状的所述升降体的底面部的孔突出至下方，所述承载部分设置于所述升降体的所述底面部，所述被承载部分设置于所述基框。

依据该构成，缓冲体以压缩状态配备于升降部的承载部分与引导支撑部的被承载部分之间。因此，与将缓冲体以拉伸状态设置于升降部的承载部分与引导支撑部的被承载部分之间的情况相比，相对于承载部分和被承载部分的安装强度较小即可，因而缓冲体的设置变得容易。

另外，优选地，所述升降部装卸自由地配备所述承载部分。

依据该构成，通过使承载部分从升降部脱离，从而能够将缓冲体与使缓冲体的下方开放或脱离的承载部分一起一体地拆卸，因而可容易地进行缓冲体的更换等对于缓冲体的维护作业。

Claims (6)

1.一种物品搬送车，具备以下的部件：

行驶体，沿着行驶路径行驶；

支撑体，悬挂支撑搬送物；以及

升降用驱动部，使所述支撑体相对于所述行驶体升降，

在此，所述支撑体具备：

升降部，由所述升降用驱动部升降；

搬送物支撑部，支撑所述搬送物的被支撑部；以及

支撑用驱动部，使所述搬送物支撑部在支撑用位置与退避用位置之间移动，

所述支撑用位置是所述搬送物支撑部存在于所述被支撑部的正下方的位置，

所述退避用位置是使所述搬送物支撑部从所述被支撑部的正下方退避的位置，

其特征在于，所述支撑体还具备：

引导支撑部，支撑所述搬送物支撑部，并且在所述支撑用位置和所述退避用位置移动自由地引导所述搬送物支撑部；和

缓冲体，配置于所述升降部与所述引导支撑部之间，承受包括所述搬送物支撑部的负荷的所述引导支撑部的负荷，并且沿上下方向弹性变形自由。

2.根据权利要求1所述的物品搬送车，其特征在于，设置有限制所述引导支撑部相对于所述升降部沿着水平方向移动的水平限制体。

3.根据权利要求1或2所述的物品搬送车，其特征在于，

所述升降部具备承载支撑所述缓冲体的承载部分，

所述引导支撑部具备比所述承载部分更位于上方并由所述缓冲体承载支撑的被承载部分，

所述搬送物支撑部比所述升降部更位于下方。

4.根据权利要求3所述的物品搬送车，其特征在于，

所述引导支撑部具备沿着水平方向的板状的基框、沿水平方向沿着所述基框上设置的直线轨道、沿着所述直线轨道被引导支撑的引导部件、以及将所述搬送物支撑部与所述引导部件联接的联接部件，

所述联接部件具有联接至所述引导部件且沿着水平方向的肩部、和从所述肩部弯曲至下方并联接至所述搬送物支撑部的上臂部，

所述升降部以将所述引导支撑部的至少一部分包括在内的箱状形成，

所述搬送物支撑部从设置于箱状的所述升降部的底面部的孔突出至下方，

所述承载部分设置于所述升降部的所述底面部，

所述被承载部分设置于所述基框。

5.根据权利要求3所述的物品搬送车，其特征在于，所述升降部装卸自由地配备所述承载部分。

6.根据权利要求4所述的物品搬送车，其特征在于，所述升降部装卸自由地配备所述承载部分。