KR20130126692A

KR20130126692A - 천정 반송차

Info

Publication number: KR20130126692A
Application number: KR1020137022677A
Authority: KR
Inventors: 마코토 코바야시
Original assignee: 무라다기카이가부시끼가이샤
Priority date: 2011-02-15
Filing date: 2011-12-08
Publication date: 2013-11-20
Also published as: EP2676916A1; WO2012111221A1; EP2676916A4; CN103370272B; SG192035A1; US8726811B2; JP2012166911A; JP5750926B2; TW201236961A; EP2676916B1; KR101532993B1; CN103370272A; TWI543924B; US20140047995A1

Abstract

본 발명의 천정 반송차는, 주행부(210)와 반송부(220)와 요동 억제 부재(270)를 구비한다. 주행부(210)는 궤도(100)를 주행한다. 반송부(220)는 피반송물(400)을 수용하여 반송한다. 요동 억제 부재(270)는 가압 위치와 퇴피 위치를 왕복 이동할 수 있다. 요동 억제 부재는, 가압부(273)와 레버부(271, 272)와 가압 부재(274)를 구비하고 있다. 가압부는 피반송물의 측면을 가압한다. 레버부는, 일단부측이 가압부를 지지하며, 타단부측이 반송부에 축 지지된다. 가압 부재는 가압부를 피반송물측으로 가압한다. 가압부는, 본체부(750)와 슬라이드부(731, 732)와 탄성체(761, 762)를 구비하고 있다. 본체부는 레버부에 회동할 수 있도록 축 지지된다. 슬라이드부는, 슬라이딩이 가능하도록 본체부에 지지된다. 탄성체는, 본체부와 슬라이드부의 사이에 배치되어, 슬라이드부를 탄성적으로 슬라이딩시킨다.

Description

천정 반송차{OVERHEAD TRANSPORT VEHICLE}

본 발명은, 천정 반송차, 특히, 반도체 장치 제조용의 각종 기판 등이 수용된 용기 등의 피반송물을 궤도상에서 반송하는 천정 반송차에 관한 것이다.

종래의 반송차로서, 현수형(懸垂型)의 반송차(소위 OHT：Overhead Hoist Transport)가 알려져 있다. 현수형의 반송차는, 천정에 부설(敷設)된 궤도를 주행함으로써, FOUP(Front Opening Unified Pod) 등의 피반송물을 반송한다. 이러한 반송차에는, 낙하 방지 부재와 요동 억제 부재가 구비되는 경우가 있다. 낙하 방지 부재는, 이재(移載)된 피반송물의 하측으로 돌출함으로써 피반송물의 낙하를 방지한다. 요동 억제 부재는, 상기 낙하 방지 부재와 연동하여 회동(回動)할 수 있게 되어 있으며, 피반송물을 가압함으로써 요동을 억제한다. 예컨대, 특허 문헌 1에서는, 낙하 방지 부재와 연동하는 직동(直動)기구에 의해, 겔 등의 탄성체를 가압하는 기구가 개시되어 있다. 한편, 특허 문헌 2에서는, 낙하 방지 부재에 가압부재를 직접 부착한 기구가 개시되어 있다.

일본 특허공개 공보 제2009－040563호 일본 특허공개 공보 제2003－165687호

그러나 상술한 특허 문헌 1에 관한 기술에서는, 직동기구를 설치하기 위해 비교적 큰 공간이 필요하게 된다. 이 때문에, 장치가 대형화되거나 다른 부재를 배치하는 공간이 감소하거나 할 우려가 있다. 또, 롤러의 압출(押出) 부위와 직동(直動)으로 슬라이딩하는 부분이 서로 떨어져 있기 때문에, 요동 억제 부재에 뒤틀림이 발생할 우려가 있다.

더욱이, 특허 문헌 1 및 특허 문헌 2에 관한 기술에서는, 가압부재의 탄성력에 의해 피반송물을 누르고 있다. 이 경우, 가압부재의 신축량이 적기 때문에, 반송차의 진행 방향 및 이것과 교차하는 폭 방향으로의 피반송물의 요동에 대한 허용량이 적어진다. 이 때문에, 특허 문헌 1 및 특허 문헌 2에 관한 기술에서는, 반송차에서 발생하는 진동을 피반송물에 전달하기 쉽다는 기술적 문제점이 있다.

본 발명은, 상술한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 피반송물의 요동 및 진동의 전달을 효과적으로 억제할 수 있는 반송차 및 반송 시스템을 제공하는 것을 과제로 한다.

본 발명의 반송차는, 주행부와 반송부와 요동 억제 부재를 구비하고 있다. 주행부는, 천정 또는 천정 근방에 부설된 궤도를 주행한다. 반송부는, 주행부에 부착되며 피반송물을 수용 공간에 수용하여 반송한다. 요동 억제 부재는, 반송부에 의해 회동할 수 있도록 축 지지되어 있다. 요동 억제 부재는, 가압 위치와 퇴피 위치의 사이를 왕복 이동할 수 있다. 여기서, 가압 위치는, 피반송물의 측면을 가압하는 위치이다. 퇴피 위치는, 피반송물을 수용 공간에 수용할 수 있도록 가압 위치로부터 퇴피한 위치이다.

요동 억제 부재는, 가압부와 레버부와 가압 부재를 구비하고 있다. 가압부는, 피반송물의 측면을 가압한다. 레버부는, 일단부측이 가압부를 지지하고, 타단부측이 반송부에 의해 축 지지된다. 가압 부재는, 레버부에 설치되어 있으며, 가압부를 피반송물측으로 가압한다.

가압부는, 본체부와 슬라이드부와 탄성체를 구비하고 있다. 본체부는, 레버부에 의해 회동할 수 있도록 축 지지된다. 슬라이드부는, 피반송물에 맞닿는 가압면을 포함하고 있다. 슬라이드부는, 주행 방향과 교차하는 방향(슬라이드 방향)으로 슬라이딩할 수 있도록 본체부에 지지된다. 탄성체는, 슬라이드부를 탄성적으로 슬라이딩시키기 위한 것이다. 탄성체는, 본체부와 슬라이드부의 사이에 배치된다.

본 발명의 반송차는, 천정 또는 천정 근방에 부설된 궤도를 주행하는 주행부와, 상기 주행부에 부착된 반송부를 구비하고 있다. 본 반송차에서는, 반송부가 피반송물을 수용 공간에 수용하는 동시에, 주행부가 궤도를 주행함으로써, 피반송물이 반송된다. 반송부는 전형적으로는, 주행부에 매달린 형태로 부착되어 있다. 반송부는, 예컨대, 피반송물을 파지(把持)하는 파지부를 구비하고 있다. 반송부는, 피반송물의 적재시에는, 파지부에 의해 파지된 피반송물이, 반송부의 수용 공간에 수용된다. 수용 공간은, 예컨대 하방측을 향해 개구된 역 ㄷ자 형상의 내부 공간으로서 규정된다.

본 발명의 반송차에는 요동 억제 부재가 설치되어 있다. 요동 억제 부재는, 반송부에 의해 회동할 수 있도록 축 지지되어 있다. 구체적으로는 요동 억제 부재는, 수평을 따른 방향으로 회동할 수 있도록 반송부의 하단측에 축 지지되어 있다. 또한, 여기에서 「하단측」이란, 수용 공간에 적재된 피반송물을 측방으로부터 가압할 수 있을 정도로 낮은 위치임을 의미한다. 또, 「수평을 따른 방향」이란, 완전한 수평 방향만을 의미하는 것은 아니고, 수평 방향으로 비스듬하게 교차하는 방향도 포함하는 넓은 개념이다.

요동 억제 부재는, 가압 위치와 퇴피 위치의 사이를 왕복 이동할 수 있다. 구체적으로는 본 요동 억제 부재는, 가압 위치와 퇴피 위치의 사이를 수평 방향을 따라 회동함으로써 왕복 이동할 수 있다. 보다 구체적으로는 요동 억제 부재는, 피반송물을 적재하고자 할 때에는, 수용 공간의 입구 부근에 있어서 피반송물이 통과할 수 있는 공간을 확보할 수 있도록, 적어도 부분적으로 수납된 상태가 된다. 한편, 요동 억제 부재는, 피반송물이 적재된 후에는 수용 공간측(즉, 수용된 피반송물측)으로 돌출함으로써, 피반송물의 측면을 가압하여 피반송물의 요동을 방지한다. 또한, 여기에서 「요동」이란, 반송차에 이재된 피반송물이 커브 주행할 때의 원심력 등에 의해 생기는 비교적 큰 요동을 의미한다.

특히, 본 발명에 관한 요동 억제 부재는, 가압부와 레버부와 가압 부재를 구비하고 있다. 가압부는 피반송물의 측면을 가압한다. 구체적으로는 가압부는, 가압 위치에서 피반송물의 측면을 평면적으로 가압한다. 레버부는, 일단부측이 가압부를 지지하고, 타단부측이 반송부에 의해 축 지지된다. 가압 부재는, 레버부에 설치되어 있으며, 가압부를 피반송물측으로 가압한다. 요동 억제 부재가 퇴피 위치로부터 가압 위치로 이동할 때에는, 반송부에 의해 축 지지된 레버부가 회동하여 가압부가 피반송물의 측면에 맞닿는다.

본 발명에 관한 요동 억제 부재는, 상술한 바와 같이 레버부의 회동에 의해, 가압부가 피반송부의 측면에 맞닿는다. 여기서, 만일 요동 억제 부재가 직선적으로 이동함으로써, 가압부가 피반송부의 측면에 맞닿는 구성인 경우에는, 직동기구를 설치하기 위해 진행 방향으로 큰 공간이 필요하게 된다. 이 때문에, 이러한 구성으로는, 장치가 대형화되거나 다른 부재를 배치하는 공간이 감소될 우려가 있다. 한편, 본 발명에 관한 요동 억제 부재는, 레버부의 회동에 의해 가압부를 피반송부의 측면에 맞닿게 할 수 있기 때문에, 요동 억제 부재를 매우 작은 공간에서 적합하게 퇴피시킬 수가 있다. 따라서, 장치의 공간절약화를 실현할 수가 있다.

또, 본 발명에 관한 가압부는, 피반송물의 측면을 가압하기 때문에, 가압 방향과 교차하는 방향으로 피반송물이 흔들리는 경우에도, 요동을 확실하게 억제할 수가 있다. 예컨대, 가압부가 피반송물의 측면을 평면적으로 가압하는 구성으로 하였을 경우, 가압 방향과 교차하는 방향으로 피반송물이 흔들리는 경우에, 요동을 더욱 확실하게 억제할 수가 있다. 또, 가압부는, 레버부에 부여되는 회동력뿐만 아니라, 가압 부재의 가압력에 의해 피반송물을 가압한다. 이러한 구성에 의하면, 가압부가 피반송물의 요동을 추종하면서 피반송물을 가압할 수 있기 때문에, 매우 적합하게 피반송물의 요동을 억제할 수 있게 된다.

또한, 본 발명에서는 상술한 가압부가, 상술한 본체부와 슬라이드부와 탄성체를 포함하고 있다. 슬라이드부는, 슬라이드 방향으로 슬라이드할 수 있도록 본체부에 지지되어 있다.

본체부가 레버부에 회동할 수 있도록 축 지지됨으로써, 가압면의 각도를, 수용 공간 내의 피반송물의 각도에 따라 변화시킬 수 있게 된다. 따라서, 피반송물의 측면을 가압면에 의해 확실하게 가압할 수 있게 된다. 또, 슬라이드부가 슬라이드할 수 있도록 본체부에 지지됨으로써, 반송차측으로부터 전달되는 진동을 흡수하여, 피반송물에 전해지기 어렵게 할 수가 있다. 또한, 여기에서 「진동」이란, 반송차의 주행계 등에서 발생하는 비교적 미세한 요동을 의미한다. 또한, 슬라이드부는, 탄성체에 의해 탄성적으로 슬라이드할 수 있게 되어 있다. 이 때문에, 피반송물에 대한 진동의 전달을 더욱 확실하게 억제할 수가 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 천정 반송차에 따르면, 피반송물의 요동 및 진동의 전달을 효과적으로 억제할 수가 있다.

본 발명의 반송차의 일 양태에서는, 가압부에 있어서 본체부가 블록형상으로 형성되어 있다. 본체부는, 가압면으로부터 멀어지는 방향으로 돌출하는 평판 형상의 돌출판부를 구비하고 있다. 슬라이드부는, 제 1 및 제 2 종(縱) 부재와, 횡(橫) 부재와 샤프트 부재를 구비하고 있다. 제 1 및 제 2 종 부재는, 본체부의 양측에 소정의 틈새를 두고 가압면에 설치된다. 횡 부재는, 제 1 및 제 2 종 부재를 서로 연결하고, 돌출판부를 슬라이드 방향으로 슬라이드할 수 있으며, 또한 상하 방향으로 이동할 수 없도록 지지한다. 샤프트 부재는, 본체부에 대하여 슬라이드할 수 있도록, 본체부에 형성된 관통 구멍 내에 관통 삽입되며, 가압면 및 횡 부재의 사이에서 제 1 및 제 2 종 부재를 서로 연결한다. 탄성체는, 본체부와 제 1 종 부재 사이의 소정의 틈새와, 본체부와 제 2 종 부재 사이의 소정의 틈새에 배치되어 있다.

본 양태에 따르면, 가압부에 있어서 본체부는, 블록형상으로 형성되며 평판 형상의 돌출판부를 갖도록 구성된다. 돌출판부는, 슬라이드부에 있어서의 횡 부재에 의해, 슬라이드 방향으로 슬라이드할 수 있으면서 또한 상하 방향으로 이동할 수 없도록 지지되어 있다. 슬라이드부에서는 예컨대, 제 1 및 제 2 종 부재가, 가압면의 폭 방향 양측(즉, 측방의 양단부)으로부터 본체부측으로 돌출하도록, 본체부의 양측에 소정의 틈새를 두고 배치된다. 또, 이들 제 1 및 제 2 종 부재를 선단부측에서 서로 연결하도록 횡 부재가 배치되어 있다. 이러한 구성에 의하면, 가압부를 용이하게 소형화할 수 있는 동시에, 본체부의 상하 방향(즉, 슬라이드 방향과는 다른 방향)의 이동을 방지할 수 있다. 이로써, 반송차를 뒤틀림에 강한 구조로 할 수가 있다.

또, 본체부 및 제 1 종 부재 사이의 소정의 틈새와, 본체부 및 제 2 종 부재 사이의 소정의 틈새에는, 한 쌍의 탄성체가 배치되어 있다. 바꾸어 말하면, 본 양태에 관한 소정의 틈새는, 한 쌍의 탄성체를 배치할 수 있는 크기의 틈새로서 형성된다. 한 쌍의 탄성체는, 본체부의 제 1 종 부재측으로의 슬라이드 및 제 2 종 부재측으로의 슬라이드 모두를, 적합하게 탄성적인 슬라이드 동작으로 할 수가 있다. 따라서, 피반송물에 대한 진동의 전달을 효과적으로 억제할 수가 있다.

본 발명의 반송차의 다른 양태에서는, 레버부는 제 1 레버 부재와 제 2 레버 부재를 구비하고 있다. 제 1 레버 부재의 일단부측은 반송차에 축 지지된다. 제 2 레버 부재의 일단부측은 제 1 레버 부재의 타단부측에 축 지지되며, 제 2 레버 부재의 타단부측은 가압부를 축 지지한다. 가압 부재는, 제 1 레버부와 제 2 레버부가 서로 연결되는 부분에 배치된다. 가압 부재는, 제 1 레버 부재 및 제 2 레버 부재가 서로 직선상으로 나란하도록 제 2 레버 부재를 가압한다. 또, 레버부는, 제 1 레버 부재를 피반송물측으로 회동시키기 위한 회동력을 전달하는 동력 전달 수단을 더 구비하고 있다.

본 양태에 따르면, 반송부에는 제 1 레버부의 기단(基端)측(일단부측)이 축 지지되어 있다. 또, 제 1 레버부의 선단측(타단부측)에는 제 2 레버부의 기단측(일단부측)이 축 지지되어 있다. 또한, 제 2 레버부의 선단측(타단부측)에는 가압부가 부착되어 있다. 제 1 레버부와 제 2 레버부가 서로 연결되는 부분에는, 가압 부재가 설치되어 있다. 가압 부재는 예컨대, 토션 스프링으로서 구성된다. 상기 가압 부재는, 제 1 레버 부재 및 제 2 레버 부재가 서로 직선상으로 나란하도록 제 2 레버 부재를 가압한다.

요동 억제 부재가 퇴피 위치에 있는 경우, 제 1 레버 부재 및 제 2 레버 부재는 서로 직선상으로 나란한 자세를 취한다. 따라서, 요동 억제 부재를 컴팩트하게 수납할 수 있어, 요동 억제 부재의 공간절약화를 적합하게 실현할 수가 있다. 한편, 요동 억제 부재가 가압 위치로 돌출할 때에는, 우선 제 1 레버부에 대해 동력 전달 수단이 회동력을 전달하여, 제 1 레버부 및 제 2 레버부가 반송부에 대해 회동한다. 이로써, 가압부가 피반송물에 맞닿는다. 가압부가 피반송물에 맞닿은 후에는 제 1 레버부는 마찬가지로 계속해서 회동한다. 이 상태에서는, 제 2 레버부가 제 1 레버부에 대하여 「< 형상」으로 구부러져, 가압 부재에 의한 가압력이 제 1 레버부 및 제 2 레버부에 작용한다. 이러한 구성에 의하면, 설령 피반송물이 가압부의 가압 방향으로 크게 요동했을 경우에도, 가압부가 피반송물을 추종하여 피반송물의 측면을 계속해서 가압한다. 따라서, 피반송물의 요동을 매우 효과적으로 방지할 수가 있다.

상술한 동력 전달 수단을 구비하는 양태에서는, 본 반송차를 다음과 같이 구성하여도 무방하다. 본 반송차는 낙하 방지 부재를 더 구비하고 있다. 낙하 방지 부재는, 요동 억제 부재보다 하방에 있어서, 반송부에 회동할 수 있도록 축 지지되어 있다. 낙하 방지 부재는, 요동 억제 부재의 퇴피 위치로부터 가압 위치로의 이동에 연동하여, 피반송물의 하측으로 돌출하며, 피반송물이 수용 공간으로부터 낙하하는 것을 방지한다. 동력 전달 수단은, 돌기부와 수동 가이드를 가지고 있다. 돌기부는 낙하 방지 부재에 설치되어 있다. 수동 가이드는, 제 1 레버 부재에 설치되어, 돌기부로부터의 힘을 받는다.

이 경우, 반송부에 있어서의 요동 억제 부재보다 하단측에 설치된 낙하 방지 부재에 의해, 수용 공간에 수용된 피반송물의 낙하를 방지할 수가 있다. 구체적으로는, 낙하 방지 부재는, 요동 억제 부재의 퇴피 위치로부터 가압 위치로의 이동에 맞추어, 수용된 피반송물의 하방으로 돌출하도록 이동한다. 이로써, 예컨대, 반송차의 요동 등에 의해 수용 공간으로부터 낙하하려고 하는 피반송물을, 수용 공간의 하방측으로부터 받아낼 수 있게 된다.

특히, 상술한 낙하 방지 부재에는, 동력 전달 수단으로서의 돌기부가 설치되어 있다. 한편, 요동 억제 부재의 제 1 레버 부재에는, 동력 전달 수단으로서의 수동 가이드가 설치되어 있다. 수동 가이드는, 돌기부로부터의 힘을 받아 제 1 레버부의 회동력으로 변환할 수가 있다. 따라서, 매우 간단한 구성에 의해, 낙하 방지 부재 및 요동 억제 부재를 서로 연동시켜, 낙하 방지 부재 및 요동 억제 부재를 이동시킬 수 있게 된다.

상술한 레버부가 제 1 레버 부재 및 제 2 레버 부재를 갖는 양태에서는, 가압 부재는 토션 스프링으로 구성되어도 무방하다. 토션 스프링은, 일단부측이 제 1 레버 부재에 부착되며 타단부측이 제 2 레버 부재에 부착된다.

이 경우, 토션 스프링의 일단부측이 제 1 레버 부재에 부착되고, 타단부측이 제 2 레버 부재에 부착되어 있기 때문에, 제 1 레버 부재 및 제 2 레버 부재가 서로 직선상으로 나란하게 되는 가압력을 확실하게 실현할 수가 있다. 또, 토션 스프링은 비용이 저렴하고 구성이 간이하기 때문에, 제조 비용의 증대나 장치 구성의 복잡화를 억제할 수가 있다.

상술한 가압 부재가 토션 스프링인 양태에서는, 토션 스프링의 일단부측은, 완충 부재를 통해 제 1 레버 부재에 맞닿으며, 토션 스프링의 타단부측은, 완충 부재를 통해 제 2 레버 부재에 맞닿도록 구성되어도 무방하다.

이 경우, 가압 부재인 토션 스프링과, 제 1 레버 부재 및 제 2 레버 부재의 사이에는, 완충 부재가 설치된다. 이러한 완충 부재에 의하면, 요동 억제 부재에 의해 가압하고 있는 피반송물의 스프링 가압 방향으로의 요동을, 매우 신속하게 감쇠시킬 수가 있다.

상술한 레버부가 제 1 레버 부재 및 제 2 레버 부재를 갖는 양태에서는, 가압 부재는 판 스프링으로 구성되어도 무방하다. 판 스프링은, 일단부측이 제 1 레버 부재에 맞닿도록 구성되며, 타단부측이 제 2 레버 부재에 맞닿도록 구성되어 있다.

이 경우, 판 스프링의 일단부측이 제 1 레버 부재에 맞닿고, 타단부측이 제 2 레버 부재에 맞닿아 있기 때문에, 제 1 레버 부재 및 제 2 레버 부재가 서로 직선상으로 나란하게 되는 가압력을 확실하게 실현할 수가 있다. 또, 판 스프링은 비용이 저렴하고 구성이 간이하기 때문에, 제조 비용의 증대나 장치 구성의 복잡화를 억제할 수가 있다.

상술한 가압 부재가 판 스프링인 양태에서는, 판 스프링의 일단부측은 완충 부재를 통해 제 1 레버 부재에 맞닿으며, 판 스프링의 타단부측은 완충 부재를 통해 제 2 레버 부재에 맞닿도록 구성되어도 무방하다.

이 경우, 가압 부재인 판 스프링과, 제 1 레버 부재 및 제 2 레버 부재의 사이에는 완충 부재가 설치된다. 이러한 완충 부재에 의하면, 요동 억제 부재에 의해 가압하고 있는 피반송물의 스프링 가압 방향으로의 요동을 매우 신속하게 감쇠시킬 수가 있다.

본 발명의 반송차의 다른 양태에서는 가압부는, 가압면의 적어도 일부에 장착되는 탄성체를 포함하고 있다.

이 양태에 따르면, 피반송물과 맞닿는 가압면의 적어도 일부에는 탄성체가 설치된다. 이 탄성체는, 슬라이드부의 탄성적인 슬라이드를 가능하게 하는 탄성체와는 다른 탄성체이다. 이 탄성체에 의하면, 피반송물을 탄성적으로 가압할 수 있게 되기 때문에, 피반송물에 대한 손상이나 파손을 방지할 수가 있다. 또, 피반송물의 요동의 감쇠, 피반송물에 대한 진동 전달의 억제를 더욱 적확하게 수행할 수가 있다.

또한, 다른 탄성체는, 가압면의 전체를 덮도록 설치되는 것이 바람직하다. 또, 가압면 이외의 부위에 대해서도 다른 탄성체가 설치되어 있어도 무방하다.

본 발명의 작용 및 다른 이득은, 다음에 설명하는 발명을 실시하기 위한 형태를 통해 명백해질 것이다.

본 발명에 따르면, 피반송물의 요동 및 진동의 전달을 효과적으로 억제할 수 있는 반송차 및 반송 시스템을 제공할 수가 있다.

도 1은 반송 시스템의 전체 구성을 나타내는 상면도이다.
도 2는 대차(臺車)의 구성을 나타내는 측면도이다.
도 3은 대차의 이재(移載) 동작을 나타내는 사시도이다.
도 4는 대차의 횡(橫) 이재 동작을 나타내는 사시도이다.
도 5는 낙하 방지 부재 및 요동 억제 부재의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 6은 낙하 방지 부재 및 요동 억제 부재의 돌출시의 동작을 나타내는 하면도(그 1)이다.
도 7은 낙하 방지 부재 및 요동 억제 부재의 돌출시의 동작을 나타내는 하면도(그 2)이다.
도 8은 낙하 방지 부재 및 요동 억제 부재의 돌출시의 동작을 나타내는 하면도(그 3)이다.
도 9는 낙하 방지 부재 및 요동 억제 부재의 돌출시의 동작을 나타내는 하면도(그 4)이다.
도 10은 가압 부재의 구체적인 구성을 나타내는 평면도이다.
도 11은 요동 억제 부재에 있어서의 가압부의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 12는 요동 억제 부재에 있어서의 가압부의 구성을 나타내는 평면도이다.

이하에서는, 본 발명의 실시 형태에 대해 도면을 참조하면서 설명한다.

먼저, 본 발명의 반송 시스템의 전체 구성에 대해, 도 1을 참조하여 설명한다. 본 발명의 반송 시스템은, 「천정 반송차」의 일례인 대차(臺車)를 구비하고 있다. 도 1은 반송 시스템의 전체 구성을 나타내는 상면도이다.

도 1에 있어서, 본 실시 형태에 관한 반송 시스템은, 궤도(100)와 대차(200)와 컨트롤러(300)를 구비하여 구성되어 있다.

궤도(100)는, 예컨대 천정에 부설(敷設)되어 있으며, 알루미늄이나 스테인리스 등의 금속으로 구성된다.

복수의 대차(200)가 궤도(100) 상에 배치되어 있다. 각 대차(200)는 궤도(100)를 따라 주행함으로써, 피반송물인 FOUP를 반송할 수 있다.

또, 각 대차(200)는 차상(車上) 컨트롤러(205)를 구비하고 있다. 차상 컨트롤러(205)는, 컨트롤러(300)로부터 반송 지령을 받아 대차(200)의 주행을 제어한다. 또한, 차상 컨트롤러(205)는, 대차(200)의 주행을 제어할 뿐만 아니라, 대차(200)에 구비된 각 기기를 총괄적으로 제어하는 기능도 가지고 있다.

컨트롤러(300)는, 예컨대 연산 회로나 메모리 등을 포함하여 구성되어 있다. 컨트롤러(300)는, 차상 컨트롤러(205)를 통해, 대차(200)에 반송 지령을 부여할 수 있게 구성되어 있다.

또한, 여기에서 도시는 생략되어 있지만, 궤도(100)를 따른 위치에는, FOUP를 일시적으로 보관하는 선반(예컨대, 버퍼나 포트 등) 및 반도체 제조장치가 설치되어 있다.

다음으로, 대차(200)의 보다 구체적인 구성에 대해 도 2를 참조하여 설명한다. 도 2는 대차의 구성을 나타내는 측면도이다.

도 2에 있어서 대차(200)는, 주행부(210), 본체부(220), 이동부(230), 승강부(235), 승강 벨트(240), 파지부(把持部; 250), 낙하 방지 부재(260) 및 요동 억제 부재(270)를 구비하여 구성되어 있다.

주행부(210)가 예컨대 리니어 모터 등에 의해 추진력을 부여받으면, 주행 롤러(215)가 전동(轉動)하여, 대차(200)가 궤도(100)를 따라 주행한다. 주행부(210)의 하면에는, 본 발명의 「반송부」의 일례인 본체부(220)가 매달리듯이 부착되어 있다.

본체부(220)에는 이동부(230)가 부착되어 있다. 이동부(230)는, 궤도(100)의 측방(즉, 도 2에 있어서의 지면과 수직인 방향)으로 이동할 수 있다. 이동부(230)의 하면에는 승강부(235)가 부착되어 있다.

승강부(235)의 하면에는, FOUP를 파지하는 파지부(250)가 승강 벨트(240)에 의해 부착되어 있다. 파지부(250)는 승강 벨트(240)를 권출(券出) 혹은 권취(券取)함으로써, 본체부(220)에 대해 승강할 수 있다.

낙하 방지 부재(260)는 본체부(220)의 하단 주변에 설치되어 있다. 낙하 방지 부재(260)는 적재된 FOUP를, FOUP의 하측에서 지지하도록 돌출함으로써, FOUP의 낙하를 방지한다.

요동 억제 부재(270)는, 본체부(220)에 있어서의 상술한 낙하 방지 부재(260)의 상측에 설치되어 있다. 요동 억제 부재(270)는, 적재된 FOUP의 측면을 가압함으로써 요동을 억제한다.

낙하 방지 부재(260) 및 요동 억제 부재(270)의 보다 구체적인 구성이나 동작에 대해서는, 이후에 상세히 기술하도록 한다.

다음으로, 대차에 의한 FOUP의 이재 방법에 대해, 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한다. 도 3 및 도 4는, 실시 형태에 관한 대차의 FOUP의 이재 방법을 나타내는 사시도이다.

도 3에서는 FOUP(400)가, 궤도(100)의 바로 아래에 위치하는 포트(510) 상에 설치되어 있다. 이 경우, 대차(200)는, 먼저 궤도(100) 상을 주행하여 포트(510) 상에 설치된 FOUP(400)의 상방에 정지한다.

계속해서, 도 3에 나타내는 바와 같이, 승강부(235)에 의해 승강 벨트(240)가 권출되어, 파지부(250)가 FOUP(400)의 위치까지 하강한다. 그리고 파지부(250)와 FOUP(400)의 위치에 대한 미세 조정이 이루어져, FOUP(400)가 파지된다.

FOUP(400)가 파지되면, 승강 벨트(240)가 권취되어, 파지부(250) 및 파지부(250)에 의해 파지된 FOUP(400)가, 본체부(220)의 위치까지 상승한다. 그리고 대차(200)는 다시 궤도(100) 상을 주행하여, FOUP(400)를 반송한다.

도 4에서는 FOUP(400)가, 궤도(100)의 측방 위치에 있는 사이드 버퍼(520)에 설치되어 있다. 이 경우에는, 먼저, 이동부(230)가 궤도(100)의 측방으로 이동한다. 그리고, 승강부(235)에 의해 승강 벨트(240)가 권출되어, 파지부(250)가 FOUP(400)의 위치까지 하강한다. 이와 같이 동작함으로써, 궤도부(100)로부터 FOUP(400)를 횡 방향으로 이재(移載)할 수 있게 된다.

다음으로, 낙하 방지부(260) 및 요동 억제 부재(270)의 구체적 구성 및 동작에 대해, 도 5 내지 도 10을 참조하여 상세하게 설명한다. 도 5는 낙하 방지 부재 및 요동 억제 부재의 구성을 나타내는 사시도이다. 또한, 도 6 내지 도 9는 낙하 방지 부재 및 요동 억제 부재의 돌출시의 동작을 나타내는 하면도이다. 도 10은 가압 부재의 구체적인 구성을 나타내는 평면도이다.

도 5에 있어서, 본 실시 형태에 관한 낙하 방지부(260) 및 요동 억제 부재(270)는, 반송부(220)의 하단측에 설치되어 있다. 낙하 방지부(260)는, FOUP(400)의 적재시에, 적재된 FOUP(400)를 하측으로부터 받아내는 위치로 돌출된다. 요동 억제 부재(270)는, FOUP(400)의 적재시에, 적재된 FOUP(400)의 측면을 가압할 수 있는 위치로 돌출된다. 또한, 낙하 방지부(260) 및 요동 억제 부재(270)는, 도시되지 않은 모터 등으로부터 공급되는 동력에 의해 회동된다.

도 6에 있어서 낙하 방지 부재(260)는, 회전축(610)을 축으로 하여 수평 방향으로 회동할 수 있도록, 반송부(220)에 부착되어 있다. 한편, 요동 억제 부재(270)는, 회전축(620)을 축으로 하여 수평 방향으로 회동할 수 있도록, 반송부(220)에 부착되어 있다. 요동 억제 부재(270)는, 제 1 레버부(271), 제 2 레버부(272), 가압부(273), 가압 부재(274)를 구비하여 구성된다.

보다 구체적으로는, 제 1 레버부(271)의 기단측이, 반송부(220)에 대하여 회동할 수 있도록 축 지지되어 있다. 제 1 레버부(271)의 선단측에는, 제 2 레버부(272)의 기단측이 회동할 수 있도록 축 지지되어 있다. 제 2 레버부(272)의 선단측에는, 가압부(273)가 회동할 수 있도록 축 지지되어 있다. 제 1 레버부(272) 및 제 2 레버부(272)가 접속되는 부분, 예컨대 축 지지되는 부분의 축심에는, 가압 부재(274)가 부착되어 있다. 가압 부재(274)는 예컨대, 토션 스프링이나 판 스프링 등으로 구성된다. 또한, 가압 부재(274)는, 제 1 레버부(271) 및 제 2 레버부(272)가 서로 직선상으로 나란하도록, 제 1 레버부(271) 및 제 2 레버부(272)에 대하여 가압력을 작용시킨다.

낙하 방지 부재(260)에는, 본 발명의 「돌기부」의 일례인 롤러(265)가 부착되어 있다. 요동 억제 부재(270)에 있어서의 제 1 레버부(271)에는, 본 발명의 「수동 가이드」의 일례인 롤러 가이드(275)가 부착되어 있다. 롤러 가이드(275)는, 예컨대 금속판으로서 구성되어 있다. 롤러 가이드(275)는, 낙하 방지 부재(260)의 돌출시에 있어서, 롤러(265)가 맞닿는 위치에 설치되어 있다. 바꾸어 말하면, 롤러 가이드(275)는, 낙하 방지 부재(260)의 돌출시에 있어서, 롤러(265)에 맞닿을 수 있도록 제 1 레버부(271)에 설치되어 있다. 낙하 방지부(260) 및 요동 억제 부재(270)는, FOUP(400)를 대차(200)에 이재할 때에는, 대차(200)에 대한 FOUP(400)의 이재에 방해가 되지 않도록, FOUP(400)측으로 돌출되지 않고 수납된 상태로 되어 있다(도 6 참조).

도 7에 나타내는 바와 같이, FOUP(400)가 이재되면, 낙하 방지 부재(260)가 회동한다. 낙하 방지 부재(260)가 FOUP(400)측으로 회동해 가면, 롤러(265)가 롤러 가이드(275)에 맞닿는다. 롤러(265)가 롤러 가이드(275)에 맞닿은 후에는, 롤러(265)가 롤러 가이드(275)를 가압하여, 요동 억제 부재(270)에 있어서의 제 1 레버부(271)가 회동한다. 이와 같이, 낙하 방지부(260) 및 요동 억제 부재(270)는 서로 연동하여 돌출한다.

도 8에 나타내는 바와 같이, 요동 억제 부재(270)에서는, 제 1 레버부(271)가 회동함으로써, 가압부(273)의 가압면이 FOUP(400)의 측면에 맞닿는 위치까지 돌출한다. 도 8의 단계에서는, 제 1 레버부(271) 및 제 2 레버부(272)는 서로 직선상으로 나란한 위치 관계이며, 가압 부재(274)에 의한 가압력은 발생하지 않는다.

도 9에 나타내는 바와 같이, 가압부(273)의 가압면이 FOUP(400)의 측면에 맞닿은 후에도, 제 1 레버부(271)가 더욱 회동하면, 제 2 레버부(272)가 제 1 레버부(271)에 대하여 구부러진다. 이 상태에서는, 가압 부재(274)에는, 제 1 레버부(271) 및 제 2 레버부(272)를 서로 직선상으로 나란하도록 하는 가압력이 발생한다. 즉, 제 2 레버부(272)를 FOUP 측으로 가압하는 힘이, 제 2 레버부(272)에 대하여 작용한다. 이로써, 가압부(273)가 FOUP(400)를 추종하면서 FOUP(400)를 가압한다. 따라서, 상기 요동 억제 부재(270)에서는, 제 1 레버부(271)의 회동력만으로 FOUP(400)를 가압하는 경우에 비해, 보다 효과적으로 FOUP(400)의 요동을 억제할 수 있게 된다.

또한, 가압부(273)의 가압면이 FOUP(400)의 측면에 맞닿으면, 가압부(273)는, FOUP(400)의 측면으로부터 도면 중의 화살표 P1로 나타내는 힘을 받는다. 그러면, 낙하 방지 부재(260)는, 회전축(610)을 축으로 하여 도면 중의 화살표 P2 방향으로 회동할 우려가 있다. 그러나, 회동 롤러(265)가 롤러 가이드(275)에 있어서의 스토퍼(275s)에 맞닿아 있기 때문에, 낙하 방지 부재(260)는 도면 중의 화살표 P2 방향으로는 회동하지 않는다. 즉, 낙하 방지 부재(260)는, 가압부(273)가 FOUP(400)로부터 눌리어도 움직이지 않는 상기한 기구에 의해, 적절한 위치를 유지할 수가 있다. 구체적으로는, 낙하 방지 부재(260)는, 외력(外力)으로는 움직일 수 없고 모터의 회동력으로만 움직일 수 있으며, 또한 브레이크 등을 이용하지 않고 적절한 위치를 유지할 수가 있다.

도 10에 있어서, 토션 스프링인 가압 부재(274)의 일단부는, 완충재(276a)를 통해 제 1 레버부(271)에 부착되어 있다. 가압 부재(274)의 타단부는, 완충재(276b)를 통해 제 2 레버부(272)에 부착되어 있다. 이들 완충재(276a 및 276b)에 의해, FOUP(400)로부터 전달되는 요동을 신속하게 감쇠시킬 수가 있다. 또한, 가압 부재(274)를, 판 스프링 등의 다른 부재를 이용해 구성하는 경우에 대해서도 같은 효과를 기대할 수가 있다. 또, 여기에서는 완충재(276a, 276b)가 제 1 레버부(271) 및 제 2 레버부(272) 각각에 직접적으로 장착되어 있는 경우의 예를 나타내었다. 그 대신에, 제 1 레버부(271) 및 제 2 레버부(272) 각각에 받이 부재나 연결 부재 등을 설치하여, 상기 받이 부재나 연결 부재 등에 완충재(276a, 276b)를 부착하여도 무방하다.

다음으로, 상술한 요동 억제 부재(270)에 있어서의 가압부(273)의 구체적인 구성에 대해, 도 11 및 도 12를 참조하여 설명한다. 도 11은, 요동 억제 부재에 있어서의 가압부의 구성을 나타내는 사시도이다. 도 12는 요동 억제 부재에 있어서의 가압부의 구성을 나타내는 평면도이다.

도 11에 있어서, 가압부(273)에 있어서의 가압면부(710)에는, FOUP와 맞닿는 가압면측에 탄성체(도시 생략)가 부착되어 있다. 이로써, 가압면부(710)는 FOUP(400)를 탄성적으로 가압할 수가 있다. 가압면부(710)의 가압면과 반대측에는, 제 1 종(縱) 부재(721) 및 제 2 종 부재(722)가 부착되어 있다. 제 1 종 부재(721) 및 제 2 종 부재(722)에 있어서, 가압면부(710)에 부착되는 부분을 기단부라 할 때, 제 1 종 부재(721) 및 제 2 종 부재(722)는, 기단부에 있어서 가압면부(710)에 부착되어 있다. 한편, 제 1 종 부재(721) 및 제 2 종 부재(722)에 있어서, 기단부의 반대측을 선단부라 할 때, 제 1 횡 부재(731) 및 제 2 횡 부재(732)가, 제 1 종 부재(721)의 선단부와 제 2 종 부재(722)의 선단부에 부착되어 있다. 바꾸어 말하면, 제 1 횡 부재(731) 및 제 2 횡 부재(732)가, 제 1 종 부재(721)의 선단부와 제 2 종 부재(722)의 선단부를 서로 연결하고 있다. 또, 샤프트(740)가 제 1 종 부재(721)와 제 2 종 부재(722)의 사이에 배치되어 있다. 샤프트(740)는 제 1 횡 부재(731)와 제 2 횡 부재(732)에 부착되어 있다.

샤프트(740)는, 제 1 종 부재(721) 및 제 2 종 부재(722)간의 틈새에 배치된 블록 부재(750)에 삽입되어 관통하고 있다. 상세하게는, 블록 부재(750)에는 관통 구멍(도시 생략)이 형성되어 있으며, 상기 관통 구멍에 샤프트(740)가 삽입 관통된다. 이로써, 블록 부재(750)는, 샤프트가 연장되는 방향으로 슬라이딩할 수 있게 된다. 또, 블록 부재(750)에는, 가압면(710)으로부터 멀어지는 방향으로 돌출된 돌출판부(751)가 형성되어 있다. 돌출판부(751)는, 제 1 횡 부재(731) 및 제 2 횡 부재(732) 사이에 형성된 틈새를 따라 슬라이딩할 수 있도록 배치되어 있다. 이와 같이, 샤프트(740)와, 제 1 횡 부재(731) 및 제 2 횡 부재(732)에 의해 구성되는 슬라이드 기구에 의해, 블록 부재(750)가 슬라이딩해야 할 방향 이외의 방향으로의 동작을 제한할 수 있다. 이 때문에, 블록 부재(750)에 있어서의 뒤틀림의 발생을 억제할 수가 있다. 또한, 블록 부재(750)는, 본 발명의 「본체부」의 일례이며, 접속부(752)를 통해, 제 2 레버부(272)의 선단측에 부착되어 있다(도 6 내지 도 9 참조). 블록 부재(750)는 전형적으로는 금속 등으로 구성된다. 또한, 블록 부재(750)는, 직접 마찰 계수가 낮은 수지 등을 이용하여도 무방하다. 이 경우, 부시 등을 생략할 수 있게 된다.

도 11 및 도 12에 나타내는 바와 같이, 블록 부재(750)와 제 1 종 부재(721) 사이의 틈새에는 제 1 탄성체(761)가 배치되어 있다. 제 1 탄성체(761)는, 제 1 종 부재(721)에 부착되어 있고, 블록 부재(750)측에는 부착되어 있지 않다. 한편, 블록 부재(750)와 제 2 종 부재(722) 사이의 틈새에는 제 2 탄성체(762)가 배치되어 있다. 제 2 탄성체(762)는, 제 2 종 부재(722)에 부착되어 있고, 블록 부재(750)측에는 부착되어 있지 않다. 제 1 탄성체(761) 및 제 2 탄성체(762)는, 예컨대 고무, 스펀지, 겔 재료 등으로 구성된다. 단, 제 1 탄성체(761) 및 제 2 탄성체(762)를 구성하는 재료는, 상기한 것으로 한정되지 않으며, 예컨대 코일 스프링 등의 금속성의 탄성체를 이용하여도 무방하다. 이러한 한 쌍의 탄성체(761, 762)를 이용하여도, 블록 부재(750)를 탄성적으로 슬라이딩시킬 수가 있다.

상술한 가압부(273)를 이용함으로써, 제 2 레버부(272)로부터 전달되는 진동이, 가압면부(710)에 전달되지 않도록 억제할 수가 있다. 보다 구체적으로는, 가압부(273)를 이용함으로써, 주행부(210) 등에서 발생하여 반송부(220)측으로부터 전달되는 진동이, 가압면부(710)에 전달되지 않도록 억제할 수 있다. 따라서, FOUP(400)에 대한 진동의 전달을 억제할 수가 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시 형태에 관한 천정 반송차에 따르면, 요동 억제 부재(270)가 구비되어 있기 때문에, FOUP(400)의 요동 및 진동의 전달을 효과적으로 억제할 수가 있다.

본 발명은, 상술한 실시 형태에 의해 한정되는 것은 아니며, 특허 청구의 범위 및 명세서 전체로부터 판독되는 발명의 요지 혹은 사상에 반하지 않는 범위에서 적절히 변경할 수 있고, 그러한 변경을 수반하는 반송 시스템도 또한 본 발명의 기술적 범위에 포함되는 것이다.

[산업상의 이용 가능성]

본 발명은 천정 반송차에 널리 적용할 수 있다.

100: 궤도
200: 대차(臺車)
210: 주행부
215: 주행 롤러
220: 본체부
230: 이동부
240: 승강 벨트
250: 파지부(把持部)
260: 낙하 방지 부재
265: 롤러
270: 요동 억제 부재
271: 제 1 레버부
272: 제 2 레버부
273: 가압부
274: 가압 부재
275: 롤러 가이드
300: 컨트롤러
400: FOUP
510: 포트
520: 사이드 버퍼
710: 가압면부
721: 제 1 종(縱) 부재
722: 제 2 종 부재
731: 제 1 횡(橫) 부재
732: 제 2 횡 부재
740: 샤프트
750: 블록 부재
751: 돌출판부
761, 762: 탄성체

Claims

천정 또는 천정 근방에 부설(敷設)된 궤도를 주행하는 주행부와,
상기 주행부에 부착되며, 피반송물을 수용 공간에 수용하여 반송하는 반송부와,
상기 반송부에 의해 회동할 수 있도록 축 지지되어 있으며, 상기 피반송물의 측면을 가압하는 가압 위치와, 상기 피반송물을 상기 수용 공간에 수용할 수 있도록 상기 가압 위치로부터 퇴피한 퇴피 위치의 사이를 왕복 이동할 수 있는 요동 억제 부재
를 구비하며,
상기 요동 억제 부재는,
상기 피반송물의 측면을 가압하는 가압부와,
일단부측이 상기 가압부를 지지하고, 타단부측이 상기 반송부에 의해 축 지지된 레버부와,
상기 레버부에 설치되어 있으며, 상기 가압부를 상기 피반송물측으로 가압하는 가압 부재
를 가지고,
상기 가압부는,
상기 레버부에 회동할 수 있도록 축 지지되는 본체부와,
상기 피반송물에 맞닿는 가압면을 포함하며, 상기 반송차의 주행 방향과 교차하는 슬라이딩 방향으로 슬라이딩할 수 있도록 상기 본체부에 지지되는 슬라이드부와,
상기 본체부와 상기 슬라이드부의 사이에 배치되어, 상기 슬라이드부를 탄성적으로 슬라이딩시키기 위한 탄성체
를 갖는
천정 반송차.
제 1항에 있어서,
상기 본체부는, 블록형상으로 형성되어 있고, 상기 가압면으로부터 멀어지는 방향으로 돌출하는 평판형상의 돌출판부를 가지고 있으며,
상기 슬라이드부는, 상기 본체부의 양측에 소정의 틈새를 두고 상기 가압면에 설치되는 제 1 및 제 2 종(縱) 부재와, 상기 제 1 및 제 2 종 부재를 서로 연결하고, 상기 돌출판부를 상기 슬라이드 방향으로 슬라이딩할 수 있으며 또한 상하 방향으로 이동할 수 없도록 지지하는 횡(橫) 부재와, 상기 본체부에 대하여 슬라이딩할 수 있도록, 상기 본체부에 형성된 관통 구멍 내에 관통 삽입되며, 상기 가압면 및 상기 횡 부재의 사이에 있어서 상기 제 1 및 제 2 종 부재를 서로 연결하는 샤프트 부재를 가지고 있으며,
상기 탄성체는, 상기 본체부와 상기 제 1 종 부재 사이의 상기 소정의 틈새와, 상기 본체부와 상기 제 2 종 부재 사이의 상기 소정의 틈새에 배치되어 있는
천정 반송차.
제 1항에 있어서,
상기 레버부는, 제 1 레버 부재와 제 2 레버 부재를 가지며, 상기 제 1 레버 부재의 일단부측은 상기 반송차에 축 지지되고, 상기 제 2 레버 부재의 일단부측은 상기 제 1 레버 부재의 타단부측에 축 지지되며, 상기 제 2 레버 부재의 타단부측은 상기 가압부를 축 지지하고,
상기 가압 부재는, 상기 제 1 레버부와 상기 제 2 레버부가 서로 연결되는 부분에 배치되며, 상기 제 1 레버 부재 및 상기 제 2 레버 부재가 서로 직선상으로 나란하도록, 상기 제 2 레버 부재를 가압하고,
상기 레버부는, 상기 제 1 레버 부재를 상기 피반송물측으로 회동시키기 위한 회동력을 전달하는 동력 전달 수단을 더 구비하는
천정 반송차.
제 3항에 있어서,
상기 요동 억제 부재보다 하방에 있어서 회동이 가능하도록 상기 반송부에 의해 축 지지되어 있으며, 상기 요동 억제 부재의 상기 퇴피 위치로부터 상기 가압 위치로의 이동에 연동하여 상기 피반송물의 하측으로 돌출하여 상기 피반송물이 상기 수용 공간으로부터 낙하하는 것을 방지하는 낙하 방지 부재
를 더 구비하고,
상기 동력 전달 수단은, 상기 낙하 방지 부재에 설치된 돌기부와, 상기 제 1 레버 부재에 설치되어 상기 돌기부로부터의 힘을 받는 수동 가이드를 구비하고 있는
천정 반송차.
제 3항에 있어서,
상기 가압 부재는 토션 스프링이며, 상기 토션 스프링은, 일단부측이 상기 제 1 레버 부재에 부착되고, 타단부측이 상기 제 2 레버 부재에 부착되어 있는
천정 반송차.
제 5항에 있어서,
상기 토션 스프링의 상기 일단부측은, 완충 부재를 통해 상기 제 1 레버 부재에 맞닿으며, 상기 토션 스프링의 상기 타단부측은, 완충 부재를 통해 상기 제 2 레버 부재에 맞닿는
천정 반송차.
제 3항에 있어서,
상기 가압 부재는 판 스프링이며, 상기 판 스프링은, 일단부측이 상기 제 1 레버 부재에 맞닿도록 구성되고, 타단부측이 상기 제 2 레버 부재에 맞닿도록 구성되어 있는
천정 반송차.
제 7항에 있어서,
상기 판 스프링의 상기 일단부측은, 완충 부재를 통해 상기 제 1 레버 부재에 맞닿으며, 상기 판 스프링의 상기 타단부측은, 완충 부재를 통해 상기 제 2 레버 부재에 맞닿는
천정 반송차.
제 1항에 있어서,
상기 가압부는, 상기 가압면의 적어도 일부에 장착되는 탄성체를 포함하고 있는
천정 반송차.