TWI519465B - Transport vehicles and transport systems - Google Patents

Description

搬送車及搬送系統

本發明係關於一種在軌道上搬送例如收容半導體裝置製造用之各種基板等之容器等被搬送物的搬送車、及包含該搬送車之搬送系統之技術領域。

作為此種搬送車，習知存在一種懸吊式升降運送車(所謂OHT，Overhead Hoist Transport)，其例如藉由在鋪設於高架之軌道上移行而搬送FOUP(Front Opening Unified Pod，前端開口式通用容器；晶圓搬運盒)等被搬送物。此種搬送車有時會包含防止落下構件及抑制搖晃構件(例如參照專利文獻1)。防止落下構件係向傳送之被搬送物之下側突出，藉此而防止被搬送物落下。抑制搖晃構件係與該防止落下構件連動且可轉動，以藉由按壓被搬送物而抑制搖晃。抑制搖晃構件藉由滾輪等所構成，該滾輪可調整因開始抵接於被搬送物之位置與防止落下構件突出終了時之位置彼此不同而導致的偏移(例如參照專利文獻2)。

[先前技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1：日本專利特開2005-187175號公報

專利文獻2：日本專利特開2006-298535號公報

然而，如上所述由滾輪所構成之抑制搖晃構件因可旋轉，故對按壓方向相交差之方向的搖晃之抑制效果並不充分。例如，若搬送車在彎道移行時若被施加離心力，則迎合被搬送物之橫向搖晃作用會導致滾輪旋轉。因此，被搬送物會有較大幅度搖晃之虞。

近年來，被搬送物之重量例如隨著半導體基板之大口徑化而迅速地增大。被施加至搬送車上之離心力隨著被搬送物之重量的增加而一起增大，因此如上所述之離心力對被搬送物之影響並無法予以忽視。即，由滾輪構成之抑制搖晃構件有對於越來越大型化之被搬送物無法將其搖晃有效地抑制之技術性問題。

本發明之課題係鑒於例如上述問題點，其目的在於提供一種可有效地抑制被搬送物之搖晃的搬送車及搬送系統。

本發明之搬送車包含移行部、搬送部、防止落下構件及抑制搖晃構件。移行部在鋪設於高架之軌道上移行。搬送部安裝於移行部，將被搬送物收容於收容空間內而進行搬送。防止落下構件設置於搬送部之下端側。防止落下構件於退避位置與防止落下位置之間可轉動地被樞軸支承。防止落下構件於防止落下位置處當中配置於被搬送物之下側。此處，退避位置為可將被搬送物收容於收容空間之位置。防止落下位置為防止被搬送物自收容空間落下之位置。抑制搖晃構件設置於防止落下構件之上方。抑制搖晃構件包含按壓部與連桿部。按壓部與防止落下構件從退避位置至防止落下位置之轉動相連動，以按壓面按壓被搬送物之側面。連桿部於一端側支持按壓部，且於另一端側可與防止落下構件同軸轉動地被樞軸支承。

本發明之搬送車中，移行部在鋪設於高架之軌道部上移行，並且由安裝於移行部之搬送部搬送所裝載之被搬送物。搬送部典型地係以懸吊於移行部之形態被安裝。搬送部包含例如握持被搬送物之握持部，裝載被搬送物時，由握持部握持之被搬送物收容於搬送部之收容空間。收容空間被規制成例如朝向下方側開口之字狀的搬送部之內部空間。

於本發明之搬送車中，防止落下構件係設置於搬送部之下端側。防止落下構件於退避位置與防止落下位置之間可轉動地被樞軸支承。再者，此處所謂「下端側」，係指可自下側支撐裝載於收容空間內之被搬送物之程度的較低之位置。防止落下構件為被握持之被搬送物例如因搬送車之搖晃等而有使之落下之情形時可藉由自下側進行支撐而防止其落下者。

防止落下構件於可將被搬送物收容於收容空間之退避位置與防止被搬送物自收容空間落下之防止落下位置之間可轉動地被樞軸支承。更具體而言，防止落下構件在被搬送物被裝載使用時可確保於收容空間之入口附近處被搬送物有可通過之空間，至少局部被收納之狀態。另一方面，被搬送物被裝載之後，防止落下構件自下方側以局部塞住收容空間之入口而突出可防止被搬送物自收容空間落下。

於本發明之搬送車中，抑制搖晃構件設置於搬送部中之比防止落下構件更上方側。抑制搖晃構件尤其係與上述防止落下構件同軸可轉動地被樞軸支承。再者，此處所謂「同軸」，係指一種較廣泛之概念，即，除了包含防止落下構件及抑制搖晃構件例如藉由同一軸等而被樞軸支承之情形外，亦包含可發揮後述本發明效果程度之防止落下構件及抑制搖晃構件之軸芯相互接近之情形。抑制搖晃構件藉由按壓所裝載之被搬送物之側面來抑制搖晃。再者，此處所謂「搖晃」，係指被搬送車傳送之被搬送物因曲線移行時之離心力等而搖晃時之位移量。抑制搖晃構件包含按壓部與連桿部。按壓部以按壓面按壓被搬送物之側面。連桿部於一端側支持按壓部，且於另一端側與防止落下構件同軸可轉動地被樞軸支承。例如，按壓部可由彈性體等構成。若藉由此種按壓部按壓被搬送物，則可抑制振動向被搬送物傳遞。再者，此處所謂「振動」，係指上述搖晃之加速度。

抑制搖晃構件與自防止落下構件之退避位置向防止落下位置之轉動相連動，而構成按壓被搬送物之側面而可突出。更具體而言，防止落下構件位於退避位置之情形時，抑制搖晃構件收納於不與被裝載之被搬送物接觸之位置處。而且，防止落下構件自退避位置向防止落下位置移動之情形時，其連動與防止落下構件之動作而轉動連桿部，且按壓部之按壓面按壓於所裝載之被搬送物之側面。

此處，本發明中，特別是設置於搬送部之防止落下構件及抑制搖晃構件為相互以同軸支撐。因此，其可防止抑制搖晃構件中之按壓部開始抵接於被搬送物之位置與將防止落下構件配置於被搬送物之下側時位置之不同。因此，抑制搖晃構件中之按壓部不由上述可調整偏移之滾輪般之構件所構成，而是構成為可以按壓面平面地按壓被搬送物之構件。藉由將被搬送物平面地按壓，則可對應與按壓方向上相交叉之方向之搖晃。

如以上說明所述，根據本發明之搬送車，因包含以相互成為同一軸芯而支持的防止落下構件及抑制搖晃構件，故而可合適地防止被搬送物落下，並且可合適地抑制被搬送物之搖晃。

本發明之搬送車之一態樣中，以連桿部之長邊方向之軸線對被搬送物之側面成為傾斜，將按壓部抵接於被搬送物。換言之，抑制搖晃構件按壓被搬送物時，以連桿部之長邊方向之軸線對被搬送物之側面成為傾斜之狀態，按壓部之按壓面抵接於被搬送物之側面。據此，即便因搬送車之加速或減速而使得被搬送物於抑制搖晃構件之按壓方向(即，搬送車之移行方向)搖晃之情形時，抑制搖晃構件亦可追隨被搬送物，而可有效地抑制搖晃。

本發明之搬送車之一態樣中，抑制搖晃構件係更包含突出控制手段。於防止落下構件位於退避位置之情形時，突出控制手段按壓抑制搖晃構件來防止抑制搖晃構件向被搬送物側突出。又，於防止落下構件位於防止落下位置之情形時，突出控制手段解除對抑制搖晃構件之按壓，並允許抑制搖晃構件向被搬送物側突出。

根據該態樣，於防止落下構件位於退避位置之情形時，可防止抑制搖晃構件誤突出。因此，可確實地使防止落下構件及抑制搖晃構件相連動。若使防止落下構件及抑制搖晃構件連動，則可例如以一個致動器控制防止落下構件及抑制搖晃構件雙方之動作。因此，其可防止裝置構成之高度複雜化或製造成本之增大。

本發明之搬送車之另一態樣中，抑制搖晃構件更包含使連桿部之一端側向被搬送物之側面施壓之施壓手段。

根據該態樣，抑制搖晃構件例如藉由扭力彈簧等施壓手段而按壓被搬送物。根據施壓手段，其並非剛硬地固定被搬送物，而係可保持某種程度之自由度來按壓。因此，其可防止所裝載之被搬送物之振動增大。

本發明之搬送車之另一態樣中，按壓部由連桿部可轉動地被樞軸支承。

根據該態樣，因按壓部可轉動地被樞軸支承，故將被搬送物所按壓之按壓面的角度，可配合被搬送物之側面之位置或角度而調整。例如，被搬送物之外形尺寸會因製作誤差或組裝誤差等而產生不均。即便於此種情形時，根據本態樣之按壓部，亦可確實地平面地按壓被搬送物之側面。因此，其可更確實地抑制被搬送物之搖晃。

本發明之搬送車之另一態樣中，連桿部係更包含將按壓部之轉動限制在既定量以下之轉動限制手段。

根據該態樣，因藉由轉動限制手段限制按壓部之轉動，故而可防止按壓部無限度地轉動。藉此，可防止因按壓部過度轉動而使按壓面無法抵接於被搬送物之側面的情況。因此，按壓部可確實地平面按壓被搬送物之側面。因此，可更確實地抑制被搬送物之搖晃。

本發明之搬送系統，為了解決上述課題，係包含上述本發明之搬送車(其中亦包含其各種態樣)而所成。

根據本發明之搬送系統，因包含上述本發明之搬送車，故其可合適地防止被搬送物落下，並且可合適地抑制被搬送物之搖晃。再者，本發明之效果於例如彎道較多之軌道等具有容易產生搬送車搖晃之要素的系統中可更顯著地發揮其效果。

本發明可提供一種可有效地抑制被搬送物之搖晃之搬送車及搬送系統。再者，本發明之作用及其他優點可根據如下所說明之實施方式而明白。

以下，參照圖式對本發明之實施形態進行說明。

首先，參照圖1對本實施形態之搬送系統之整體構成進行說明。此處，圖1係表示實施形態之搬送系統之整體構成之俯視圖。

圖1中，本實施形態之搬送系統包含軌道100、搬送車200及控制器300。

軌道100例如鋪設於高架，由鋁或不鏽鋼等金屬構成。

於軌道100上配置有複數個搬送車200。搬送車200可藉由在軌道100上移行而搬送作為被搬送物之FOUP或光罩等。

控制器300例如包含運算電路或記憶體等所構成，並可向搬送車200送出搬送指令而構成。於搬送車200上設置有移行控制部(未圖示)。移行控制部接收來自控制器300之搬送指令，使搬送車200移行至既定位置。

再者，此處雖省略圖示，但於沿著軌道100之既定位置上設置有臨時保管FOUP之複數個緩衝區。緩衝區之構成於下文詳細闡述。

其次，參照圖2，對在軌道100上移行之搬送車200之構成進行說明。圖2係表示實施形態之搬送車之構成之側視圖。

圖2中，搬送車200包含移行部210、主體部220、移動部230、升降帶240、握持部250、防止落下構件260及抑制搖晃構件270。

移行部210為產生推進力之部分。移行部210例如藉由線性馬達等而產生推進力。若移行部210產生推進力，則移行滾輪215滾動。藉此，搬送車200沿著軌道100移行。於移行部210之下面以懸吊之狀態安裝主體部220。主體部220為本發明之「搬送部」之一例。

移動部230安裝於主體部220。具體而言，移動部230可於軌道100之側方(即，圖2中之左右方向)移動而安裝於主體部220。於移動部230之下部設置升降帶240。又，於升降帶240安裝握持FOUP之握持部250。即，於移動部230介由升降帶240而安裝握持FOUP之握持部250。握持部250藉由將升降帶240捲出或者捲取而可對於主體部220升降。

防止落下構件260係用以防止FOUP落下。防止落下構件260自下側支持所裝載之FOUP。防止落下構件260設置於主體部220之下端周邊。具體而言，防止落下構件260設置成可自主體部220之周邊朝向內側突出。

抑制搖晃構件270係用以抑制FOUP之搖晃。抑制搖晃構件270藉由按壓所裝載之FOUP之側面來抑制搖晃。抑制搖晃構件270設置於防止落下構件260之上方。抑制搖晃構件270設置成可抵接於所裝載之FOUP。抑制搖晃構件270與上述防止落下構件260由同軸支持。

防止落下構件260及抑制搖晃構件270之具體構成及動作於下文詳細闡述。

其次，參照圖3及圖4對利用搬送車傳送FOUP之方法進行說明。圖3係表示實施形態之搬送車之傳送動作的立體圖，圖4係表示實施形態之搬送車之橫向傳送動作的立體圖。

圖3中，臨時保管架510(即，底部緩衝區)配置於軌道100之正下方。搬送車200於傳送臨時保管架510上之FOUP400時，首先搬送車200在軌道100上移行，在設置於臨時保管架510上之FOUP400之上方停止。

繼而，如圖3所示，升降帶240捲出，握持部250下降至FOUP400之位置。接下來，對握持部250與FOUP400之位置進行微調整，握持FOUP400。

繼而，升降帶240捲取，握持部250及被握持之FOUP400上升至主體部220之位置處。接下來，搬送車200再次在軌道100上移行，並搬送FOUP400。

圖4中，臨時保管架520(即，側部緩衝區)配置於自軌道100之正下方，向側方偏離之位置上。於此情形時，移動部230向軌道100之側方移動之後，升降帶240捲出，握持部250下降至FOUP400之位置處。藉由該動作可自軌道部100進行FOUP400之橫向傳送。

其次，參照圖5至圖10，對設置於本實施形態之搬送車之防止落下構件及抑制搖晃構件之具體構成進行更詳細的說明。

圖5係表示防止落下構件及抑制搖晃構件之構成之側視圖。

如圖5所示，防止落下構件260及抑制搖晃構件270與軸280連接。防止落下構件260及抑制搖晃構件270相互隔開既定間隔而裝設於軸280上。換言之，防止落下構件260裝設於軸280之一端部，抑制搖晃構件270裝設於軸270之另一端部。軸280係可自由轉動地安裝於主體部220。此種防止落下構件260及抑制搖晃構件270相互連動地繞同一軸芯(軸280之軸芯)轉動。更具體而言，若藉由自動力傳遞部290傳遞之動力使由軸承托板285所支持之軸280旋轉，則裝設於軸280之防止落下構件260及抑制搖晃構件270即沿著水平之方向(圖之近前方向或縱深方向)轉動。更具體而言，防止落下構件260及抑制搖晃構件270在垂直於軸270之面上(水平面上)轉動。再者，所謂「沿著水平之方向」及「垂直之面上(水平面)」，並非指完全之水平方向及水平面，而係指包含水平方向及傾斜地與水平面相交叉之方向及面之廣泛的概念。

繼而，參照圖6及圖7對防止落下構件260及抑制搖晃構件270之轉動動作進行說明。圖6係表示處於防止落下位置時之防止落下構件及抑制搖晃構件之配置之仰視圖，圖7係表示處於退避位置時之防止落下構件及抑制搖晃構件之配置之仰視圖。圖8係表示搬送車上之防止落下構件之配置位置之仰視圖。

如圖6及圖7所示，防止落下構件260及抑制搖晃構件270介由曲柄621及622而與旋轉手段610連接。藉此，可藉由旋轉手段610之旋轉來控制防止落下構件260及抑制搖晃構件270之轉動動作。再者，旋轉手段610例如藉由未圖示之致動器等而旋轉。

如圖6所示，於防止落下構件260處於防止落下位置之狀態下，旋轉手段610向圖中之箭頭A之方向旋轉之情形時，曲柄621、622使動力傳遞部290向圖中之箭頭B之方向旋轉。藉此，防止落下構件260向圖7所示之退避位置移動。又，抑制搖晃構件270亦與防止落下構件260之動作相連動，向退避位置移動。

傳送FOUP400時，防止落下構件260及抑制搖晃構件270位於圖7所示之退避位置。即，防止落下構件260及抑制搖晃構件270係為了於FOUP400之收容空間不突出而被收納。藉此，其可防止與被傳送之FOUP400之衝突。又，傳送FOUP400之後，防止落下構件260及抑制搖晃構件270位於圖6所示之防止落下位置。防止落下構件260藉由向所裝載之FOUP400之下側突出而可防止FOUP落下。抑制搖晃構件270藉由按壓所裝載之FOUP400之側面而抑制FOUP400搖晃。

如圖8所示，四個防止落下構件260配置於搬送車200中之主體部220下端周邊。藉由如此設置防止落下構件260，即便所裝載之FOUP400自握持部250落下，其亦可藉由防止落下構件260而支持FOUP400。即，其可確實地防止FOUP400自搬送車200落下。

再者，防止落下構件260未必需要四個，只要可支持FOUP400，亦可未達四個。又，為了進一步提高耐負荷性能，亦可設置超過四個之防止落下構件260。

其次，參照圖9及圖10對抑制搖晃構件之更具體構成進行說明。圖9係表示抑制搖晃構件之具體構成之俯視圖。圖10係表示搬送車中之抑制搖晃構件配置位置自下側觀察之局部剖面圖。

圖9中，抑制搖晃構件270包含連桿部271、按壓部272、轉動限制部273、扭力彈簧274及止動部275所構成。

連桿部271之一端部安裝於軸280上。於連桿部271之另一端部安裝按壓部272。若連桿部271與軸280之旋轉所連動而轉動，則按壓部272抵接於FOUP400之側面。

按壓部272包含例如樹脂等具有彈性之材料所構成。按壓部272可轉動地安裝於連桿部271之一端部。按壓部272以按壓面平面地按壓FOUP400之側面。藉此，可合適地抑制FOUP400之搖晃。

轉動限制部273可防止按壓部272無限制地轉動。轉動限制部273為本發明之「轉動限制手段」之一例。轉動限制部273與按壓部272之切口部分相對向而設置於連桿部271。換言之，轉動限制部273在按壓部272於既定範圍內可轉動地而被設置於連桿部271。

藉由轉動限制部273限制按壓部272之轉動，按壓部272可確實地平面按壓FOUP400之側面。按壓部272可轉動之既定量係可根據按壓部272及轉動限制部273間之間隙C(clearance)之大小而適當地設定。具體而言，增大間隙C之情形時，按壓部272可轉動之範圍變大，而減小間隙C之情形時，按壓部272可轉動之範圍變小。

扭力彈簧274設置於軸280之周圍。扭力彈簧274為本發明之「施壓手段」之一例。扭力彈簧274之一端部安裝於連桿部271。扭力彈簧274之另一端部安裝於止動部275(參照圖5)。扭力彈簧274藉由施壓力將按壓部272按壓於FOUP400。藉由使用扭力彈簧274，按壓部272並非剛硬地按壓於FOUP400，而係可保持某種程度之自由度來按壓FOUP400。藉此，其可防止所裝載之FOUP400振動之增大。

止動部275構成為可藉由軸280之旋轉而與連桿部271一起轉動。止動部275為本發明之「突出控制手段」之一例。在防止落下構件260位於退避位置之情形時，止動部275按壓抑制搖晃構件270，而防止抑制搖晃構件270向被搬送物側突出。具體而言，止動部275與連桿部271之凸部701抵接，藉此限制連桿部271之轉動。又，在防止落下構件260位於防止落下位置之情形時，止動部275解除對抑制搖晃構件270之按壓，而允許抑制搖晃構件270向被搬送物側突出。具體而言，若按壓部272抵接於FOUP400，則僅按壓部272被擠入之量，產生止動部275與連桿部271之凸部701之間的間隙。

如圖10所示，對應於設置在搬送車200之防止落下構件260(參照圖8)而將四個抑制搖晃構件270設置於主體部220。藉由如此設置抑制搖晃構件270則可在沿著搬送車200行進方向的方向上保持所裝載之FOUP400，因此可抑制按壓方向上之搖晃。又，抑制搖晃構件270平面按壓FOUP400，因此其亦可有效地抑制與搬送車200行進方向相交叉之方向上之搖晃(即，橫向搖晃)。

又，本實施形態之抑制搖晃構件270中，連桿部271被形成為在一個方向上較長之構件。此處，以連桿部271之長軸方向之軸線對FOUP400之側面成為傾斜，將按壓部272抵接於FOUP400之側面。更具體而言，傾斜角度係以連桿部271之長軸方向之軸線與正交於行進方向的水平方向之軸線使其成為銳角，而使按壓部272抵接於FOUP400之側面。藉此，即使係無法如滾輪般旋轉之按壓面，亦可極為合適地按壓FOUP400。因此，其可有效地抑制FOUP400搖晃。再者，連桿部271之長軸方向之軸線係對應於將軸280之軸芯與按壓部272之轉動軸芯連結的線。

尤其是本實施形態中，以同軸、即軸280支持上述防止落下構件260及抑制搖晃構件270(參照圖5)。因此，其可防止抑制搖晃構件270中之按壓部272開始抵接於FOUP400之位置與防止落下構件260突出終了時之位置的不同。因此，抑制搖晃構件270中之按壓部272，例如不由滾輪般之構件所構成，而構成為可平面按壓FOUP400之構件亦可。

如以上之說明所述，根據本實施形態之搬送系統，因於搬送車200設置由同軸支持之防止落下構件260及抑制搖晃構件270，故而可合適地防止FOUP400落下，且可合適地抑制FOUP400搖晃。

本發明並不限定於上述實施形態，其可在不違反自申請專利範圍及說明書整體所讀取之要旨或思想之範圍內適當地進行變更，而隨著此種變更之搬送車及搬送系統亦被包含於本發明之技術性範圍中。

(產業上之可利用性)

本發明可廣泛應用於搬送車、及包含搬送車之搬送系統。

100．．．軌道

200．．．搬送車

210．．．移行部

215．．．移行滾輪

220．．．主體部

230．．．移動部

240．．．升降帶

250．．．握持部

260．．．防止落下構件

270．．．抑制搖晃構件

271．．．連桿部

272．．．按壓部

273．．．轉動限制部

274．．．扭力彈簧

275．．．止動部

280．．．軸

285．．．軸承托板

290．．．動力傳遞部

300．．．控制器

400．．．FOUP

510、520．．．臨時保管架

610．．．旋轉手段

621、622．．．曲柄

701．．．凸部

A、B．．．箭頭

C．．．間隙

圖1係表示實施形態之搬送系統之整體構成之俯視圖。

圖2係表示實施形態之搬送車之構成之側視圖。

圖3係表示實施形態之搬送車之傳送動作之立體圖。

圖4係表示實施形態之搬送車之橫向傳送動作之立體圖。

圖5係表示防止落下構件及抑制搖晃構件之構成之側視圖。

圖6係表示防止落下位置處之防止落下構件及抑制搖晃構件之配置之仰視圖。

圖7係表示退避位置處之防止落下構件及抑制搖晃構件之配置之仰視圖。

圖8係表示搬送車中之防止落下構件之配置位置之仰視圖。

圖9係表示抑制搖晃構件之具體構成之俯視圖。

圖10係表示搬送車中之抑制搖晃構件之配置位置的自下側觀察之局部剖面圖。

100．．．軌道

200．．．搬送車

300．．．控制器

Claims (7)

1. 一種搬送車，其包含：移行部，其在鋪設於高架之軌道上移行；搬送部，其安裝於上述移行部，將被搬送物收容於收容空間內並進行搬送；防止落下構件，其設置於上述搬送部之下端側，且於可將上述被搬送物收容於上述收容空間之退避位置、與自上述收容空間防止上述被搬送物落下之防止落下位置之間可轉動地被樞軸支承，於上述防止落下位置處被配置於上述被搬送物之下側；及抑制搖晃構件，其設置於上述防止落下構件之上方，且包含與上述防止落下構件之自上述退避位置至上述防止落下位置的轉動所連動而以按壓面按壓上述被搬送物之側面之按壓部、及於一端側支持上述按壓部且於另一端側可與上述防止落下構件同軸可轉動地被樞軸支承之連桿部。
2. 如申請專利範圍第1項之搬送車，其中，於上述連桿部，以長邊方向之軸線對上述被搬送物之側面成為傾斜，將上述按壓部抵接於上述被搬送物。
3. 如申請專利範圍第1項之搬送車，其中，上述抑制搖晃構件更包含突出控制手段，其於上述防止落下構件位於上述退避位置之情形時按壓上述抑制搖晃構件而防止上述抑制搖晃構件向上述被搬送物側突出，且於上述防止落下構件位於上述防止落下位置之情形時解除對上述抑制搖晃構件之按壓並允許上述抑制搖晃構件向上述被搬送物側突出。
4. 如申請專利範圍第1項之搬送車，其中，上述抑制搖晃構件更包含施壓手段，該施壓手段使上述連桿部之上述一端側向上述被搬送物之側面施壓。
5. 如申請專利範圍第1項之搬送車，其中，上述按壓部由上述連桿部可轉動地被樞軸支承。
6. 如申請專利範圍第5項之搬送車，其中，上述連桿部更包含轉動限制手段，該轉動限制手段將上述按壓部之轉動限制在既定量以下。
7. 一種搬送系統，其包含記載申請專利範圍第1至6項中任一項之搬送車。