CN103370272B - 天车 - Google Patents

Abstract

本发明的天车具备行驶部(210)、搬运部(220)及摆动抑制部件(270)。行驶部(210)在轨道(100)行驶。搬运部(220)收纳并搬运被搬运物(400)。摆动抑制部件(270)能在按压位置与退避位置间往复移动。摆动抑制部件具有按压部(273)、杆部(271、272)及施力部件(274)。按压部按压被搬运物的侧面。杆部的一端部侧支承按压部，另一端部侧被轴支承于搬运部。施力部件对按压部向被搬运物侧施力。按压部具有主体部(750)、滑动部(731、732)及弹性体(761、762)。主体部被杆部以轴支承的方式支承为能够转动。滑动部由主体部支承为能够滑动。弹性体配置于主体部与滑动部之间，并使滑动部弹性地滑动。

Description

天车

技术领域

本发明涉及天车，特别是涉及在轨道上搬运收纳有半导体装置制造用的各种基板等的容器等被搬运物的天车。

背景技术

作为现有的输送车，公知有悬挂型的输送车(所谓OHT：OverheadHoist Transport：高架提升传输)。悬挂型的输送车通过在铺设于天花板的轨道上行驶来搬运FOUP(Front Opening Unified Pod：前开式晶圆移载盒)等被搬运物。这种输送车有时具备落下防止部件和摆动抑制部件。落下防止部件通过突出至所移载的被搬运物的下侧而防止被搬运物的落下。摆动抑制部件形成为能够与该落下防止部件联动地转动，通过按压被搬运物来抑制摆动。例如，在专利文献1中公开有利用与落下防止部件联动的直动机构按压凝胶等弹性体的机构。另一方面，在专利文献2中公开有将推压部件直接安装于落下防止部件的机构。

专利文献1：日本特开2009-040563号公报

专利文献2：日本特开2003-165687号公报

然而，在上述专利文献1所涉及的技术中，为了设置直动机构，需要较大的空间。因此，可能会导致装置大型化、配置其他的部件的空间减少。并且，由于滚轮的推出位置与直动地滑动的部分相互分离，因此可能在摆动抑制部件产生扭曲。

而且，在专利文献1以及专利文献2所涉及的技术中，利用推压部件的弹力抑制被搬运物。在该情况下，由于推压部件的伸缩量小，因此相对于被搬运物在输送车的行进方向以及与行进方向交叉的宽度方向上的摆动的允许量变小。因此，在专利文献1以及专利文献2所涉及的技术中，存在容易将在输送车产生的振动传递到被搬运物的技术问题。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而完成的，本发明的课题在于提供一种能够有效地抑制被搬运物的摆动以及振动的传递的输送车以及搬运系统。

本发明的输送车具备行驶部、搬运部、以及摆动抑制部件。行驶部在铺设于天花板或者天花板附近的轨道上行驶。搬运部安装于行驶部，并将被搬运物收纳于收纳空间进行搬运。摆动抑制部件被搬运部以轴支承的方式支承为能够转动。摆动抑制部件能够在按压位置与退避位置之间往复移动。此处，按压位置是按压被搬运物的侧面的位置。退避位置是从按压位置退避以便能够将被搬运物收纳于收纳空间的位置。

摆动抑制部件具有按压部、杆部、以及施力部件。按压部按压被搬运物的侧面。杆部的一端部侧支承按压部，另一端部侧被轴支承于搬运部。施力部件设置于杆部，并对按压部向被搬运物侧施力。

按压部具有主体部、滑动部、以及弹性体。主体部被杆部以轴支承的方式支承为能够转动。滑动部包含与被搬运物抵接的按压面。滑动部由主体部支承为能够沿与行驶方向交叉的方向(滑动方向)滑动。弹性体是用于使滑动部弹性地滑动的部件。弹性体配置于主体部与滑动部之间。

本发明的输送车具备：行驶部，该行驶部在铺设于天花板或者天花板附近的轨道上行驶；和搬运部，该搬运部安装于上述行驶部。在该输送车中，搬运部将被搬运物收纳于收纳空间，并且通过行驶部在轨道上行驶来搬运被搬运物。搬运部典型地以悬吊于行驶部的形式安装。搬运部例如具备把持被搬运物的把持部。在装载被搬运物时，搬运部将把持部所把持的被搬运物收纳于搬运部的收纳空间。收纳空间被规定为例如朝下侧开口的コ字状的内部空间。

在本发明的输送车设置有摆动抑制部件。摆动抑制部件被搬运部以轴支承的方式支承为能够转动。具体而言，摆动抑制部件以能够在沿着水平方向的方向上转动的方式被轴支承于搬运部的下端侧。另外，此处的“下端侧”意味着：低至能够从侧方按压装载于收纳空间的被搬运物的程度的高度的位置。并且，“沿着水平方向的方向”不仅意味着完全的水平方向、是也包含与水平方向倾斜地交叉的方向的广义的概念。

摆动抑制部件能够在按压位置与退避位置之间往复移动。具体而言，该摆动抑制部件能够通过在按压位置与退避位置之间沿着水平方向转动而往复移动。更具体而言，在欲装载被搬运物时，摆动抑制部件成为至少部分地被收纳的状态，以便能够在收纳空间的入口附近确保被搬运物能够通过的空间。另一方面，在装载被搬运物之后，摆动抑制部件向收纳空间侧(即所被收纳的被搬运物侧)突出，从而按压被搬运物的侧面，防止被搬运物的摆动。另外，此处的“摆动”意味着被移载至输送车的被搬运物由于曲线行驶时的离心力等而产生的比较大的摆动。

特别地，本发明所涉及的摆动抑制部件具有按压部、杆部、以及施力部件。按压部按压被搬运物的侧面。具体而言，按压部在按压位置平面地按压被搬运物的侧面。杆部的一端部侧支承按压部，另一端部侧被轴支承于搬运部。施力部件设置于杆部，并对按压部向被搬运物侧施力。在摆动抑制部件从退避位置向按压位置移动时，轴支承于搬运部的杆部转动，从而按压部与被搬运物的侧面抵接。

在本发明所涉及的摆动抑制部件中，通过如上所述那样杆部转动，按压部与被搬运部的侧面抵接。此处，假设在通过摆动抑制部件直线地移动而按压部与被搬运部的侧面抵接的结构的情况下，为了设置直动机构，在行进方向上需要较大的空间。因此，在这种结构中，可能会导致装置大型化、配置其他的部件的空间减少的情况。另一方面，本发明所涉及的摆动抑制部件能够通过杆部的转动来使按压部与被搬运部的侧面抵接，因此，能够使摆动抑制部件在极小的空间适当地退避。因而，能够实现装置的省空间化。

并且，由于本发明所涉及的按压部按压被搬运物的侧面，因此，即便在被搬运物沿与按压方向交叉的方向摆动的情况下，也能够可靠地抑制摆动。例如，在形成为按压部平面地按压被搬运物的侧面的结构的情况下，在被搬运物沿与按压方向交叉的方向摆动时，能够更加可靠地抑制摆动。并且，按压部不仅借助施加于杆部的转动力、还借助施力部件的作用力按压被搬运物。根据这种结构，由于按压部能够追随被搬运物的摆动来按压被搬运物，因此能够极其适当地抑制被搬运物的摆动。

此外，在本发明中，上述按压部包含上述的主体部、滑动部、以及弹性体。滑动部由主体部支承为能够沿滑动方向滑动。

主体部被杆部以轴支承的方式支承为能够转动，由此，能够使按压面的角度根据收纳空间内的被搬运物的角度变化。由此，能够利用按压面可靠地按压被搬运物的侧面。并且，由于滑动部由主体部支承为能够滑动，因此能够吸收从输送车侧传递来的振动，能够使该振动难以传递到被搬运物。另外，此处的“振动”意味着在输送车的行驶系统等中产生的比较轻微的摆动。此外，滑动部能够借助弹性体弹性地滑动。因此，能够更可靠地抑制振动向被搬运物的传递。

如以上说明的那样，根据本发明的天车，能够有效地抑制被搬运物摆动以及振动的传递。

在本发明的输送车的一个实施方式中，按压部的主体部形成为块状。主体部具有向从按压面离开的方向突出的平板状的突出板部。滑动部具有第一纵部件以及第二纵部件、横部件、以及轴部件。第一纵部件以及第二纵部件在主体部的两侧相对于所述主体部隔开规定的间隙设置于按压面。横部件将第一纵部件以及第二纵部件相互连结，并将突出板部支承为能够沿滑动方向滑动、且不能够沿上下方向移动。轴部件以能够相对于主体部滑动的方式插通在形成于主体部的贯通孔内，并在按压面以及横部件之间将第一纵部件以及第二纵部件相互连结。弹性体配置于主体部与第一纵部件之间的规定的间隙、以及主体部与第二纵部件之间的规定的间隙。

根据该实施方式，在按压部中，主体部形成为块状，且构成为具有平板状的突出板部。突出板部由滑动部的横部件支承为能够沿滑动方向滑动且不能够沿上下方向移动。在滑动部中，例如第一纵部件以及第二纵部件以从按压面的宽度方向两侧(即侧方的两端部)向主体部侧突出的方式相对于主体部隔开规定的间隙配置于主体部的两侧。并且，横部件配置成将上述第一纵部件以及第二纵部件在前端部侧相互连结。根据这种结构，能够容易地使按压部小型化，并且能够防止主体部在上下方向(即与滑动方向不同的方向)移动。由此，能够将输送车形成为耐扭曲的构造。

并且，在主体部与第一纵部件之间的规定的间隙、以及主体部与第二纵部件之间的规定的间隙配置有一对弹性体。换言之，本实施方式的规定的间隙设定为能够配置一对弹性体的大小的间隙。一对弹性体能够使主体部向第一纵部件侧的滑动以及向第二纵部件侧的滑动双方适当地形成为弹性的滑动动作。因而，能够有效地抑制振动向被搬运物的传递。

在本发明的输送车的其他实施方式中，杆部具有第一杆部件和第二杆部件。第一杆部件的一端部侧被轴支承于输送车。第二杆部件的一端部侧被轴支承于第一杆部件的另一端部侧，第二杆部件的另一端部侧以轴支承的方式支承按压部。施力部件配置于第一杆部件与第二杆部件相互连结的部分。施力部件对第二杆部件施力以便第一杆部件以及第二杆部件相互排列在直线上。并且，杆部还具备动力传递部，该动力传递部传递用于使第一杆部件向被搬运物侧转动的转动力。

根据该实施方式，第一杆部件的基端侧(一端部侧)被轴支承于搬运部。并且，第二杆部件的基端侧(一端部侧)被轴支承于第一杆部件的前端侧(另一端部侧)。此外，按压部安装于第二杆部件的前端侧(另一端部侧)。施力部件设置于第一杆部件与第二杆部件相互连结的部分。施力部件例如构成为扭簧。该施力部件对第二杆部件施力以便第一杆部件以及第二杆部件相互排列在直线上。

在摆动抑制部件位于退避位置的情况下，第一杆部件以及第二杆部件形成相互排列在直线上的姿态。因此，能够紧凑地收纳摆动抑制部件，并能够适当地实现摆动抑制部件的省空间化。另一方面，在摆动抑制部件向按压位置突出时，首先，动力传递部对第一杆部件传递转动力，第一杆部件以及第二杆部件相对于搬运部转动。由此，按压部与被搬运物抵接。在按压部与被搬运物抵接后，第一杆部件同样地继续转动。在该状态下，第二杆部件相对于第一杆部件折弯为“く”字状，施力部件所产生的作用力作用于第一杆部件以及第二杆部件。根据这种结构，即便假设在被搬运物向按压部的按压方向大幅摆动的情况下，按压部也追随被搬运物而继续按压被搬运物的侧面。因此，能够极其有效地防止被搬运物的摆动。

在具备上述动力传递部的实施方式中，该输送车也可以按照下述方式构成。该输送车还具备落下防止部件。落下防止部件在比摆动抑制部件靠下方的位置被搬运部以轴支承的方式支承为能够转动。落下防止部件与摆动抑制部件从退避位置向按压位置的移动联动而朝被搬运物的下侧突出，从而防止被搬运物从收纳空间落下。动力传递部具有突起部和被动引导件。突起部设置于落下防止部件。被动引导件设置于第一杆部件，并承受来自突起部的力。

在该情况下，能够利用搬运部的设置于比摆动抑制部件靠下端侧的位置的落下防止部件防止收纳于收纳空间的被搬运物落下。具体而言，落下防止部件对应于摆动抑制部件从退避位置向按压位置的移动而移动，突出至所被收纳的被搬运物的下方。由此，例如能够从收纳空间的下侧阻挡由于输送车的摆动等而欲从收纳空间落下的被搬运物。

特别地，在上述落下防止部件设置有作为动力传递部的突起部。另一方面，在摆动抑制部件的第一杆部件设置有作为动力传递部的被动引导件。被动引导件能够承受来自突起部的力并将其转换为第一杆部件的转动力。因此，能够利用极其简单的结构使落下防止部件以及摆动抑制部件相互联动，并使落下防止部件以及摆动抑制部件移动。

在上述杆部具有第一杆部件以及第二杆部件的实施方式中，施力部件可以构成为扭簧。将扭簧的一端部侧被安装于第一杆部件，另一端部侧被安装于第二杆部件。

在该情况下，由于扭簧的一端部侧被安装于第一杆部件，另一端部侧被安装于第二杆部件，因此能够可靠地实现使第一杆部件以及第二杆部件相互排列在直线上的作用力。并且，由于扭簧成本低且结构简单，因此能够抑制制造成本的增加、装置结构的复杂化。

在上述施力部件为扭簧的实施方式中，也可以构成为，扭簧的一端部侧经由缓冲部件与第一杆部件抵接，扭簧的另一端部侧经由缓冲部件与第二杆部件抵接。

在该情况下，在作为施力部件的扭簧与第一杆部件之间以及扭簧与第二杆部件之间设置有缓冲部件。根据这种缓冲部件，能够使由摆动抑制部件按压的被搬运物的向弹簧施力方向的摆动极其迅速地衰减。

在上述杆部具有第一杆部件以及第二杆部件的实施方式中，施力部件也可以构成为板簧。板簧构成为：一端部侧与第一杆部件抵接，且另一端部侧与第二杆部件抵接。

在该情况下，由于板簧的一端部侧与第一杆部件抵接，另一端部侧与第二杆部件抵接，因此能够可靠地实现使第一杆部件以及第二杆部件相互排列在直线上的作用力。并且，由于板簧成本低且结构简单，因此能够抑制制造成本的增加、装置结构的复杂化。

在上述施力部件是板簧的实施方式中，也可以构成为：板簧的一端部侧经由缓冲部件与第一杆部件抵接，板簧的另一端部侧经由缓冲部件与第二杆部件抵接。

在该情况下，在作为施力部件的板簧与第一杆部件之间以及板簧与第二杆部件之间设置有缓冲部件。根据这种缓冲部件，能够使由摆动抑制部件按压的被搬运物的向弹簧施力方向的摆动极其迅速地衰减。

在本发明的输送车的其他实施方式中，按压部包含弹性体，该弹性体装配于按压面的至少一部分。

根据该实施方式，在与被搬运物抵接的按压面的至少一部分设置有弹性体。该弹性体是与使滑动部的能够弹性地滑动的弹性体不同的弹性体。根据该弹性体，能够弹性地按压被搬运物，因此能够防止对被搬运物的损伤、破损。并且，能够更可靠地使被搬运物的摆动衰减、更可靠地抑制振动向被搬运物的传递。

另外，优选以覆盖按压面的全部的方式设置其他的弹性体。并且，也可以在按压面以外的部位设置有其他的弹性体。

根据以下说明的用于实施发明的实施方式能够清楚地了解本发明的作用以及其他的益处。

在本发明中，能够提供一种能够有效地抑制被搬运物的摆动以及振动的传递的输送车以及搬运系统。

附图说明

图1是示出搬运系统的整体结构的俯视图。

图2是示出台车的结构的侧视图。

图3是示出台车的移载动作的立体图。

图4是示出台车的横向移载动作的立体图。

图5是示出落下防止部件以及摆动抑制部件的结构的立体图。

图6是示出落下防止部件以及摆动抑制部件突出时的动作的仰视图(其一)。

图7是示出落下防止部件以及摆动抑制部件突出时的动作的仰视图(其二)。

图8是示出落下防止部件以及摆动抑制部件突出时的动作的仰视图(其三)。

图9是示出落下防止部件以及摆动抑制部件突出时的动作的仰视图(其四)。

图10是示出施力部件的具体结构的俯视图。

图11是示出摆动抑制部件的按压部的结构的立体图。

图12是示出摆动抑制部件的按压部的结构的俯视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

首先，参照图1对本发明的搬运系统的整体结构进行说明。本发明的搬运系统具备作为“天车”的一例的台车。图1是示出搬运系统的整体结构的俯视图。

在图1中，本实施方式所涉及的搬运系统构成为具备轨道100、台车200、以及控制器300。

轨道100例如铺设于天花板，由铝、不锈钢等金属构成。

多个台车200配置在轨道100上。各台车200沿着轨道100行驶，由此能够搬运作为被搬运物的FOUP。

并且，各台车200具有车载控制器205。车载控制器205从控制器300接受搬运指令，控制台车200的行驶。另外，车载控制器205具有不仅控制台车200的行驶、还总括地控制台车200具备的各设备的功能。

控制器300构成为例如包含运算电路、存储器等。控制器300构成为能够经由车载控制器205向台车200发送搬运指令。

另外，虽然此处省略了图示，但在沿着轨道100的位置设置有临时保管FOUP的架子(例如缓存区、港等)以及半导体制造装置。

其次，参照图2对台车200的更具体的结构进行说明。图2是示出台车的结构的侧视图。

在图2中，台车200构成为具备行驶部210、主体部220、移动部230、升降部235、升降带240、把持部250、落下防止部件260以及摆动抑制部件270。

当通过例如线性电动机等对行驶部210施加推进力时，行驶滚轮215滚动，台车200沿着轨道100行驶。在行驶部210的下表面以悬吊的方式安装有作为本发明的“搬运部”的一例的主体部220。

在主体部220安装有移动部230。移动部230能够向轨道100的侧方(即图2中的与纸面垂直的方向)移动。在移动部230的下表面安装有升降部235。

在升降部235的下表面，借助升降带240安装有把持FOUP的把持部250。通过退绕或者卷绕升降带240，把持部250能够相对于主体部220升降。

落下防止部件260设置于主体部220的下端周边。落下防止部件260以在所装载的FOUP的下侧支承FOUP的方式突出，由此来防止FOUP落下。

摆动抑制部件270设置于主体部220中的上述落下防止部件260的上侧。摆动抑制部件270通过按压所装载的FOUP的侧面来抑制摆动。

落下防止部件260以及摆动抑制部件270的更具体的结构、动作将在后面详细叙述。

其次，参照图3以及图4对利用台车移载FOUP的移载方法进行说明。图3以及图4是示出实施方式所涉及的台车移载FOUP的移载方法的立体图。

在图3中，FOUP 400设置在位于轨道100的正下方的港510上。在该情况下，台车200首先在轨道100上行驶，并停止于设置在港510上的FOUP 400的上方。

接着，如图3所示，利用升降部235使升降带240退绕，把持部250下降至FOUP 400的位置。进而，对把持部250与FOUP 400的位置进行微调，把持FOUP 400。

在把持FOUP 400后，卷绕升降带240，由把持部250把持的FOUP400上升到主体部220的位置。进而，台车200再次在轨道100上行驶，搬运FOUP 400。

在图4中，FOUP 400被设置在位于轨道100的侧方位置的侧面缓存区520。在该情况下，首先，移动部230向轨道100的侧方移动。进而，利用升降部235使升降带240退绕，把持部250下降到FOUP 400的位置。通过以这种方式动作，能够从轨道100进行FOUP 400的横向移载。

其次，参照图5～图10对落下防止部件260以及摆动抑制部件270的具体结构以及动作详细地进行说明。图5是示出落下防止部件以及摆动抑制部件的结构的立体图。并且，图6～图9是示出落下防止部件以及摆动抑制部件突出时的动作的仰视图。图10是示出施力部件的具体结构的俯视图。

在图5中，本实施方式所涉及的落下防止部件260以及摆动抑制部件270设置于主体部220的下端侧。落下防止部件260突出至在装载有FOUP 400时从下侧阻挡所装载的FOUP 400的位置。摆动抑制部件270突出至在装载有FOUP 400时能够按压所装载的FOUP 400的侧面的位置。另外，落下防止部件260以及摆动抑制部件270借助从未图示的马达等供给的动力而转动。

在图6中，落下防止部件260以能够以旋转轴610为轴在水平方向转动的方式安装于主体部220。另一方面，摆动抑制部件270以能够以旋转轴620为轴在水平方向转动的方式安装于主体部220。摆动抑制部件270构成为具备第一杆部件271、第二杆部件272、按压部273、以及施力部件274。

更具体而言，第一杆部件271的基端侧被轴支承为能够相对于主体部220转动。第二杆部件272的基端侧以能够转动的方式被轴支承于第一杆部件271的前端侧。按压部273以能够转动的方式被轴支承于第二杆部件272的前端侧。在第一杆部件271与第二杆部件272连接的部分、如被轴支承的部分的轴心安装有施力部件274。施力部件274例如由扭簧、板簧等构成。另外，施力部件274对第一杆部件271以及第二杆部件272作用有作用力，以便第一杆部件271以及第二杆部件272相互排列在直线上。

在落下防止部件260安装有作为本发明的“突起部”的一例的滚轮265。在摆动抑制部件270的第一杆部件271安装有作为本发明的“被动引导件”的一例的滚轮引导件275。滚轮引导件275例如由金属板构成。滚轮引导件275设置于落下防止部件260突出时滚轮265抵接的位置。换言之，滚轮引导件275以在落下防止部件260突出时能够与滚轮265抵接的方式设置于第一杆部件271。在向台车200移载FOUP 400时，落下防止部260以及摆动抑制部件270形成为不向FOUP 400侧突出而是被收纳的状态，以免妨碍向台车200移载FOUP 400(参照图6)。

如图7所示，在FOUP 400被移载后，则落下防止部件260转动。随着落下防止部件260向FOUP 400侧转动，滚轮265与滚轮引导件275抵接。在滚轮265与滚轮引导件275抵接后，滚轮265按压滚轮引导件275，摆动抑制部件270的第一杆部件271转动。这样，落下防止部件260以及摆动抑制部件270相互联动地突出。

如图8所示，在摆动抑制部件270中，通过第一杆部件271转动，该摆动抑制部件270突出至按压部273的按压面与FOUP 400的侧面抵接的位置。在图8的阶段，第一杆部件271以及第二杆部件272处于相互排列在直线上的位置关系，施力部件274不产生作用力。

如图9所示，若在按压部273的按压面与FOUP 400的侧面抵接后第一杆部件271进一步转动，则第二杆部件272相对于第一杆部件271折弯。在该状态下，施力部件274产生欲使第一杆部件271以及第二杆部件272相互排列在直线上的作用力。即，对第二杆部件272向FOUP侧施力的力作用于第二杆部件272。由此，按压部273追随FOUP 400并按压FOUP 400。因而，在该摆动抑制部件270中，与仅借助第一杆部件271的转动力按压FOUP 400的情况相比，能够更有效地抑制FOUP400的摆动。

另外，若按压部273的按压面与FOUP 400的侧面抵接，则按压部273从FOUP 400的侧面承受图9的箭头P1所示的力。于是，落下防止部件260可能会以旋转轴610为轴向图9的箭头P2方向转动。但是，由于转动滚轮265与滚轮引导件275的止挡部275s抵接，因此落下防止部件260不会向图中的箭头P2方向转动。即，落下防止部件260能够借助即便按压部273被FOUP 400推压也不移动的上述机构保持适当的位置。具体而言，落下防止部件260无法借助外力移动、仅能借助马达的转动力移动，且无需使用制动器等就能够保持适当的位置。

在图10中，扭簧亦即施力部件274的一端部经由缓冲件276a安装于第一杆部件271。施力部件274的另一端部经由缓冲件276b安装于第二杆部件272。能够利用这些缓冲件276a以及276b使从FOUP 400传递来的摆动迅速地衰减。另外，即便在使用板簧等其他的部件构成施力部件274的情况下，也能够期待得到相同的效果。另外，此处示出了缓冲件276a、276b分别直接安装于第一杆部件271以及第二杆部件272的情况下的例子。取而代之，也可以在第一杆部件271以及第二杆部件272分别设置承接部件、连结部件等，并将缓冲件276a、276b安装于该承接部件、连结部件等。

其次，参照图11以及图12对上述摆动抑制部件270的按压部273的具体结构进行说明。图11是示出摆动抑制部件的按压部的结构的立体图。图12是示出摆动抑制部件的按压部的结构的俯视图。

在图11中，在按压部273的按压面部710上、在与FOUP 400抵接的按压面侧安装有弹性体(未图示)。由此，按压面部710能够弹性地按压FOUP 400。在按压面部710的与按压面相反侧安装有第一纵部件721以及第二纵部件722。若将第一纵部件721以及第二纵部件722的安装于按压面部710的部分称为基端部，则第一纵部件721以及第二纵部件722在基端部安装于按压面部710。另一方面，若将第一纵部件721以及第二纵部件722的与基端部的相反侧称为前端部，则在第一纵部件721的前端部与第二纵部件722的前端部安装有第一横部件731以及第二横部件732。换言之，第一横部件731以及第二横部件732将第一纵部件721的前端部与第二纵部件722的前端部相互连结。并且，轴740配置于第一纵部件721与第二纵部件722之间。轴740安装于第一纵部件721与第二纵部件722。

轴740插通于配置在第一纵部件721以及第二纵部件722之间的间隙的块部件750。详细而言，在块部件750形成有贯通孔(未图示)，轴740插通于该贯通孔。由此，块部件750能够沿轴的延伸方向滑动。并且，在块部件750形成有向从按压面部710离开的方向突出的突出板部751。突出板部751配置为：能够沿着形成于第一横部件731以及第二横部件732之间的间隙滑动。这样，能够利用由轴740、第一横部件731及第二横部件732构成的滑动机构限制块部件750向应滑动的方向以外的方向的动作。因此，能够抑制在块部件750产生扭曲的情况。另外，块部件750是本发明的“主体部”的一例，且经由连接部752安装于第二杆部件272的前端侧(参照图6～图9)。块部件750典型地由金属等构成。另外，块部件750也可以使用摩擦系数低的树脂等。在该情况下，能够省略衬套等。

如图11以及图12所示，在块部件750与第一纵部件721之间的间隙配置有第一弹性体761。第一弹性体761粘贴于第一纵部件721而不粘贴于块部件750侧。另一方面，在块部件750与第二纵部件722之间的间隙配置有第二弹性体762。第二弹性体762粘贴于第二纵部件722而并不粘贴于块部件750侧。第一弹性体761以及第二弹性体762例如由橡胶、海绵、凝胶材料等构成。但是，构成第一弹性体761以及第二弹性体762的材料不限定于上述材料，例如也可以使用螺旋弹簧等金属性的弹性体。即便使用上述一对弹性体761、762，也能够使块部件750弹性地滑动。

通过使用上述按压部273，能够对从第二杆部件272传递来的振动进行抑制以免其传递到按压面部710。更具体而言，通过使用按压部273，能够对在行驶部210等产生并从主体部220侧传递来的振动进行抑制以免其传递到按压面部710。因而，能够抑制振动向FOUP 400的传递。

如以上说明那样，根据本实施方式所涉及的天车，由于具备摆动抑制部件270，因此能够有效地抑制FOUP 400的摆动以及振动的传递。

本发明不限定于上述实施方式，能够在不违背权利要求的范围以及从说明书整体读取的发明的主旨或者思想的范围内适当地变更，伴随这些变更的搬运系统也包含于本发明的技术范围。

工业上的可利用性

本发明能够广泛应用于天车。

标号说明：

100：轨道；200：台车；210：行驶部；215：行驶滚轮；220：主体部；230：移动部；240：升降带；250：把持部；260：落下防止部件；265：滚轮；270：摆动抑制部件；271：第一杆部件；272：第二杆部件；273：按压部；274：施力部件；275：滚轮引导件；300：控制器；400：FOUP；510：港；520：侧面缓存区；710：按压面部；721：第一纵部件；722：第二纵部件；731：第一横部件；732：第二横部件；740：轴；750：块部件；751：突出板部；761、762：弹性体。

Claims (9)

1.一种天车，其特征在于，具备：

行驶部，该行驶部在铺设于天花板或者天花板附近的轨道上行驶；

搬运部，该搬运部安装于所述行驶部，并将被搬运物收纳于收纳空间而进行搬运；以及

摆动抑制部件，该摆动抑制部件被所述搬运部以轴支承的方式支承为能够转动，能够在按压位置与退避位置之间往复移动，此处，按压位置是按压所述被搬运物的侧面的位置，退避位置是从所述按压位置退避以便能够将所述被搬运物收纳于所述收纳空间的位置，

所述摆动抑制部件具有：

按压部，该按压部按压所述被搬运物的侧面；

杆部，该杆部具有第一杆部件和第二杆部件，所述第一杆部件的一端部侧被轴支承于所述搬运部，所述第二杆部件的一端部侧被轴支承于所述第一杆部件的另一端部侧，所述第二杆部件的另一端部侧以轴支承的方式支承所述按压部；以及

施力部件，所述施力部件配置于所述第一杆部件与所述第二杆部件相互连结的部分，并对所述第二杆部件施力以便所述第一杆部件以及所述第二杆部件相互排列在直线上，从而对所述按压部向所述被搬运物侧施力；

所述按压部具有：

主体部，该主体部被所述杆部以轴支承的方式支承为能够转动；

滑动部，该滑动部包含与所述被搬运物抵接的按压面，且由所述主体部支承为能够沿与行驶方向交叉的滑动方向滑动；以及

弹性体，该弹性体配置在滑动部的滑动方向上的所述主体部与所述滑动部之间，用于使所述滑动部弹性地滑动。

2.根据权利要求1所述的天车，其特征在于，

所述主体部形成为块状，且具有向从所述按压面离开的方向突出的平板状的突出板部，

所述滑动部具有：第一纵部件以及第二纵部件，所述第一纵部件以及所述第二纵部件在所述主体部的两侧相对于所述主体部隔开规定的间隙设置于所述按压面；横部件，该横部件将所述第一纵部件以及第二纵部件相互连结，并将所述突出板部支承为能够沿所述滑动方向滑动、且不能够沿上下方向移动；以及轴部件，该轴部件以能够相对于所述主体部滑动的方式插通在形成于所述主体部的贯通孔内，并在所述按压面以及所述横部件之间将所述第一纵部件以及第二纵部件相互连结，

所述弹性体配置于所述主体部与所述第一纵部件之间的所述规定的间隙、以及所述主体部与所述第二纵部件之间的所述规定的间隙。

3.根据权利要求1所述的天车，其特征在于，

所述杆部还具备动力传递部，该动力传递部传递用于使所述第一杆部件向所述被搬运物侧转动的转动力。

4.根据权利要求3所述的天车，其特征在于，

所述天车还具备落下防止部件，该落下防止部件在比所述摆动抑制部件靠下方的位置被所述搬运部以轴支承的方式支承为能够转动，所述落下防止部件对应于摆动抑制部件从所述退避位置向所述按压位置的移动，而以朝所述被搬运物的下侧突出的方式移动，从而防止所述被搬运物从所述收纳空间落下，

所述动力传递部具有：突起部，该突起部设置于所述落下防止部件；以及被动引导件，该被动引导件设置于所述第一杆部件，并承受来自所述突起部的力。

5.根据权利要求3所述的天车，其特征在于，

所述施力部件是扭簧，所述扭簧的一端部侧被安装于所述第一杆部件，另一端部侧被安装于所述第二杆部件。

6.根据权利要求5所述的天车，其特征在于，

所述扭簧的所述一端部侧经由缓冲部件与所述第一杆部件抵接，所述扭簧的所述另一端部侧经由缓冲部件与所述第二杆部件抵接。

7.据权利要求3所述的天车，其特征在于，

所述施力部件是板簧，所述板簧构成为：一端部侧与所述第一杆部件抵接，且另一端部侧与所述第二杆部件抵接。

8.权利要求7所述的天车，其特征在于，

所述板簧的所述一端部侧经由缓冲部件与所述第一杆部件抵接，所述板簧的所述另一端部侧经由缓冲部件与所述第二杆部件抵接。

9.权利要求1所述的天车，其特征在于，

所述按压部包含弹性体，所述弹性体装配于所述按压面的至少一部分。