KR101023729B1 - 대형 기판을 반송하는 셔틀 및 반송 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정표시장치 제조 장비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 대형 기판을 반송할 때 대형 기판이 휘는 것을 방지하는 장비 및 방법에 관한 것이다.
본 발명은, 대형 기판의 양 측 하면을 지지하는 복수개의 지지핀; 상기 복수개의 지지핀이 결합되며, 축 방향으로 회전 가능하게 구비되는 셔틀 암; 상기 대형 기판의 다른 양 측 하면을 지지하는 센터 지지부; 상기 센터 지지부가 전/후 이동 가능하게 결합되는 메인 프레임; 양 단부에는 상기 셔틀 암이 구비되어 상기 셔틀 암을 좌/우로 이동시키거나 회전시키며, 중앙에는 상기 메인 프레임이 구비되며, 상기 메인 프레임을 이용하여 상기 센터 지지부를 전/후로 이동시키는 구동부; 상기 대형 기판을 진공을 이용하여 고정시켜, 상기 대형 기판이 휘는 것을 방지하는 진공 장비 어셈블리를 포함하여 이루어지는 대형 기판을 반송하는 셔틀(shuttle)을 제공한다.
또한, 본 발명은, (a) 진공 장비 어셈블리를 가지는 셔틀이 LCD 제조를 위한 대형 기판을 수취하는 단계; (b) 상기 진공 장비 어셈블리가 진공을 형성하여 상기 대형 기판을 상기 셔틀에 고정시키는 단계; (c) 상기 셔틀이 상기 대형 기판을 임의의 LCD 제조 공정을 수행하는 장비로 운송하는 단계; (d) 상기 진공 장비 어셈블리가 진공을 해제하여 상기 대형 기판을 상기 셔틀에서 분리하는 단계를 포함하여 이루어지는 대형 기판을 반송하는 방법을 제공한다.
Figure R1020040049968
액정표시장치, LCD, 셔틀, 대형 기판

Description

대형 기판을 반송하는 셔틀 및 반송 방법{Shuttle and Transferring Method to transfer Large size plate for LCD manufacturing}
도 1은 종래 기술에 따른 대형 기판 제조 공정 및 셔틀을 설명하는 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 대형 기판을 반송하는 셔틀을 설명하는 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 대형 기판을 반송하는 셔틀을 설명하는 도면이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100: 셔틀 200: 대형기판
110: 셔틀 암 120: 구동부
130: 메인 프레임 140: 센터 지지부
150: 지지핀 160: 진공 장비 어셈블리
본 발명은 액정표시장치(LCD) 제조 장비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 대형 기판을 반송 할 때, 상기 대형 기판이 휘는 것을 방지하는 셔틀에 대한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하 고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.
그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전, 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.
이와 같이 액정표시장치는 여러 분야에서 화면 표시장치로서의 역할을 하기 위해 여러 가지 기술적인 발전이 이루어 졌음에도 불구하고 화면 표시장치로서 화상의 품질을 높이는 작업은 상기 특징 및 장점과 배치되는 면이 많이 있다.
한편, 상기와 같은 액정표시장치는 근래에 들어 사용자에게 대형화가 요구되어 지고 있다.
대형 액정표시장치를 제조하기 위하여, 대형 유리 기판을 한다. 상기 대형 유리 기판을 액정표시장치로 만들기 위하여 여러 가지 공정이 진행된다. 그리고, 대형 유리 기판을 공정장비에서 다른 공정장비로 반송하기 위하여 셔틀이 구비된다.
상기 셔틀(1)은 도 1에 도시된 것과 같이 각 공정장비 사이에 구비되며, 대형 유리 기판의 측면을 지지하여 반송한다.
상기 셔틀(1)은 셔틀 암, 구동부, 센터 지지부, 메인 프레임 그리고 지지핀을 포함하여 이루어진다.
상기 셔틀 암은 상기 구동부의 양 측면에 구비되며, 상기 구동부로부터 동력을 전달 받아 좌/우 이동 및 회전을 한다. 그리고, 상기 셔틀 암은 상기 복수개의 지지핀이 결합되며, 상기 복수개의 지지핀을 회전시킨다. 상기 복수개의 지지핀은 일반적으로 하나의 셔틀 암에 7개가 결합되며, 대형 유리 기판의 양 측면을 지지한다.
그리고, 상기 메인 프레임은 상기 구동부로부터 동력을 전달 받아 상기 대형 유리 기판의 또 다른 양 측면을 지지하는 상기 메인 프레임을 전/후 이동시킨다.
상기와 같은 구조를 가지는 셔틀(1)은 공정장비에 안착된 상기 대형 유리 기판의 위로 이동한 후, 상기 대형 유리 기판을 수취할 수 있는 높이로 이동한다. 그리고, 상기 구동부는 상기 복수개의 지지핀이 상기 대형 유리 기판의 양 측면을 지지하기 위하여, 상기 셔틀 암과 상기 셔틀 암에 결합된 상기 복수개의 지지핀을 회전시킨다. 상기 복수개의 지지핀은 회전되어 상기 대형 유리 기판의 양 측면을 지지한다. 또한, 상기 구동부는 메인 프레임에 동력을 전달하여 상기 센터 지지부를 상기 대형 유리 기판의 다른 양 측면을 지지하도록 한다.
상기와 같이 셔틀은 상기 대형 유리 기판을 수취한 후 다른 공정장비로 상기 대형 유리 기판을 반송한다.
그러나, 상기와 같은 셔틀은 대형 유리 기판을 수취할 때, 대형 유리 기판의 무게 때문에 휘거나 상기 셔틀에서 미끄러지는 문제점을 가진다.
본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 대형 기판이 휘거나 미끄러지는 것을 방지하는 셔틀(shuttle)과 반송방법을 제안한다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 대형 기판의 양 측 하면을 지지하는 복수개의 지지핀; 상기 복수개의 지지핀이 결합되며, 축 방향으로 회전 가능하게 구비되는 셔틀 암; 상기 대형 기판의 다른 양 측 하면을 지지하는 센터 지지부; 상기 센터 지지부가 전/후 이동 가능하게 결합되는 메인 프레임; 양 단부에는 상기 셔틀 암이 구비되어 상기 셔틀 암을 좌/우로 이동시키거나 회전시키며, 중앙에는 상기 메인 프레임이 구비되며, 상기 메인 프레임을 이용하여 상기 센터 지지부를 전/후로 이동시키는 구동부; 상기 대형 기판을 진공을 이용하여 고정시켜, 상기 대형 기판이 휘는 것을 방지하는 진공 장비 어셈블리를 포함하여 이루어지는 대형 기판을 반송하는 셔틀(shuttle)을 제공한다.
또한, 상기 진공 장비 어셈블리는, 상기 복수개의 지지핀과 상기 대형 기판 사이에 구비되어 진공을 이용하여 상기 대형 기판을 흡착하는 진공 패드; 상기 진공 패드를 진공 상태로 만들거나 진공을 해제하는 진공 장치; 일측은 상기 진공 패드와 연결되고 타측은 상기 진공 장치와 연결되어 공기가 유동하는 진공 라인을 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, 상기 복수개의 지지핀은, 셔틀 암이 관통하여 결합되는 결합부; 상기 결합부에서 길게 연장되어 형성되는 연장부; 그리고, 상기 연장부에서 직각으로 꺾 여 형성되는 지지부를 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, 상기 진공 장치 어셈블리는, 상기 연장부 상면에 위치하여 상기 대형기판을 흡착하는 진공 패드; 상기 진공 패드를 진공 상태로 만들거나 진공을 해제하는 진공 장치; 상기 셔틀 암과 상기 복수개의 지지핀의 연장부에 위치하며, 일측은 상기 진공 패드와 연결되고, 타측은 상기 진공 장치와 연결되어, 공기가 유동하는 진공 라인을 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명의 다른 일 형태는 (a) 진공 장비 어셈블리를 가지는 셔틀이 LCD 제조를 위한 대형 기판을 수취하는 단계; (b) 상기 진공 장비 어셈블리가 진공을 형성하여 상기 대형 기판을 상기 셔틀에 고정시키는 단계; (c) 상기 셔틀이 상기 대형 기판을 임의의 LCD 제조 공정을 수행하는 장비로 운송하는 단계; (d) 상기 진공 장비 어셈블리가 진공을 해제하여 상기 대형 기판을 상기 셔틀에서 분리하는 단계를 포함하여 이루어지는 대형 기판을 반송하는 방법으로 이루어지는 것이 바람직하다.
이하, 상기 목적을 구체적으로 실현할 수 있는 본 고안의 바람직한 실시예가 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.
도 2에는 본 발명에 따른 대형 기판을 반송하는 셔틀(shuttle)이 도시되어 있다.
도 2를 참조하면, 상기 대형 기판은 측 하면이 복수개의 지지핀(150)에 의해 지지되고, 다른 양 측 하면은 센터 지지부(140)에 의해 지지된다. 상기 복수개의 지지핀(150)은 셔틀 암(110)이 관통하여 결합되는 결합부(151), 상기 결합부(151)에서 길게 연장되어 형성되는 연장부(152) 그리고 상기 연장부(152)에서 직각으로 꺾여 형성되어 상기 대형 기판을 지지하는 지지부(153)로 이루어진다.
상기 복수개의 지지핀(150)이 결합되는 상기 셔틀 암(110)은 상기 복수개의 지지핀(150)이 상기 대형 기판의 양 측 하부를 지지하기 위하여, 축 회전을 하며 상기 대형 기판의 양 측면 근처에 각각 제공된다. 또한, 상기 셔틀 암(110)은 결합된 상기 복수개의 지지핀(150)이 상기 대형 기판을 지지하는 위치를 조절하기 위하여 좌/우로 움직인다. 상기 셔틀 암(110)은 상기 복수개의 지지핀(150)이 상기 대형 기판을 지지하기 위하여 회전하거나, 또는 좌/우로 움직이기 위하여 일부가 구동부(120)에 결합된다.
한편, 상기 대형 기판의 다른 측 하면은 센터 지지부(140)에 의하여 지지된다. 상기 센터 지지부(140)는 메인 프레임(130)의 하면에 상기 대형 기판을 지지하기 위하여 전/후 이동 가능하게 구비된다. 그리고 메인 프레임(130)은 일부가 상기 구동부(120)의 중앙 부분에 결합된다.
그리고, 상기 대형 기판이 휘거나 상기 셔틀(100) 내에서 이동하는 것을 방지하기 위하여 상기 셔틀(100)에는 진공을 이용하여 상기 대형 기판을 고정시키는 진공 장비 어셈블리(160)가 제공된다.
상기 진공 장비 어셈블리(160)는 진공 패드(161), 진공 장치(미도시), 진공 라인(163)을 포함하여 이루어진다. 상기 진공 패드(161)는 각 복수개의 지지핀(150)에 구비되어 대형 기판을 흡착한다. 그리고, 상기 셔틀(100)의 일측에는 상기 진공 패드(161)에 진공을 형성시키는 진공 장치가 구비되며, 상기 진공 패드(161)와 진공 장치는 상기 셔틀 암(110)에 구비되는 진공 라인(163)에 의하여 연결된다.
상기 진공 장비 어셈블리(160)에 대해 보다 상세히 설명하면, 상기 진공 패드(161)는 상기 각 복수개의 지지핀(150)의 연장부(152) 상면에 구비되어 상기 대형 기판의 양 측 하부를 진공을 이용하여 흡착시킨다. 그리고, 상기 셔틀(100)의 일측에는 상기 진공 패드(161)를 진공 상태로 만들거나 진공을 해제하는 진공 장치가 구비된다. 또한, 진공 라인(163)은 셔틀 암(110)의 측면에 구비되어 각 연장부(152)의 측면으로 분지되어 상기 각 진공 패드(161)를 상기 진공 장치에 연결한다.
다음에서는, 상기와 같이 구비되는 본 발명에 따른 셔틀(100)의 동작을 첨부된 도 3를 참조하여 설명한다.
상기 대형 기판은 공정이 진행되기 위하여, 또는 공정이 끝난 후 각 공정 장비에 안착 되어있다. 상기 셔틀(100)은 안착된 상기 대형 기판을 수취하기 위하여 상기 대형 기판 상부로 이동한다. 이 때, 상기 센터 지지부(140)와 상기 복수개의 지지핀(150)은 상기 대형 기판과 간섭되지 않기 위하여, 상기 센터 지지부(140)는 상기 대형 기판의 길이보다 크게 구비되고, 상기 복수개의 지지핀(150)은 상방으로 회전되어 구비되어 이동한다.
그리고, 상기 구동부(120)는 상기 복수개의 지지핀(150)을 상기 대형 기판의 양 옆으로 이동시키기 위하여 상기 복수개의 지지핀(150)이 결합된 상기 셔틀 암(110)을 좌/우로 이동시킨다.
그리고, 상기 구동부(120)는 상기 복수개의 지지핀(150)이 상기 대형 기판을 지지하기 위하여, 상기 셔틀 암(110)을 회전시켜 상기 복수개의 지지핀(150)의 지지부(153)를 상기 대형 기판의 양 측 하부로 위치시킨다. 이 때, 상기 진공 장비 어셈블리(160)는 대형 기판을 흡착하여 고정시켜, 상기 대형 기판이 휘거나 상기 셔틀(100) 내부에서 이동하는 것을 방지한다.
또한, 상기 구동부(120)는 상기 센터 지지부(140)가 상기 대형 기판의 다른 양 측 하부를 지지하기 위하여, 상기 센터 지지부(140)를 전/후로 이동시킨다.
상기 셔틀(100)은 상기와 같이 대형 기판을 수취한 후 다음 공정장비로 반송한다. 그리고, 상기 진공장비 어셈블리는 진공을 해제하여 상기 대형 기판을 상기 셔틀(100)에서 분리시켜, 다음 공정이 이루어지도록 한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 대형 기판을 반송하는 셔틀(shuttle) 및 반송 방법은 대형 기판이 휘거나 이동하는 것을 방지하여 대형 기판을 액정표시장치로 제조 시 불량을 줄일 수 있다.
본 명세서에서 여러 가지의 실시예가 설명되었음에도 불구하고, 그 취지와 범주에서 벗어남 없이 다른 특정 형태로 구체화될 수도 있다는 사실은 당업자들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예들은 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 본 발명은 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경된 모든 특정 형 태를 포함한다.

Claims (5)

  1. 대형 기판의 양 측 하면을 지지하는 복수개의 지지핀;
    상기 복수개의 지지핀이 결합되며, 축 방향으로 회전 가능하게 구비되는 셔틀 암;
    상기 대형 기판의 다른 양 측 하면을 지지하는 센터 지지부;
    상기 센터 지지부가 전/후 이동 가능하게 결합되는 메인 프레임;
    양 단부에는 상기 셔틀 암이 구비되어 상기 셔틀 암을 좌/우로 이동시키거나 회전시키며, 중앙에는 상기 메인 프레임이 구비되며, 상기 메인 프레임을 이용하여 상기 센터 지지부를 전/후로 이동시키는 구동부;
    상기 대형 기판을 진공을 이용하여 고정시켜, 상기 대형 기판이 휘는 것을 방지하는 진공 장비 어셈블리를 포함하여 이루어지는 대형 기판을 반송하는 셔틀(shuttle).
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 진공 장비 어셈블리는,
    상기 복수개의 지지핀과 상기 대형 기판 사이에 구비되어 진공을 이용하여 상기 대형 기판을 흡착하는 진공 패드;
    상기 진공 패드를 진공 상태로 만들거나 진공을 해제하는 진공 장치;
    일측은 상기 진공 패드와 연결되고 타측은 상기 진공 장치와 연결되어 공기 가 유동하는 진공 라인을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 대형 기판을 반송하는 셔틀(shuttle).
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수개의 지지핀은,
    셔틀 암이 관통하여 결합되는 결합부;
    상기 결합부에서 길게 연장되어 형성되는 연장부; 그리고,
    상기 연장부에서 직각으로 꺾여 형성되는 지지부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 대형 기판을 반송하는 셔틀(shuttle).
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 진공 장치 어셈블리는,
    상기 연장부 상면에 위치하여 상기 대형기판을 흡착하는 진공 패드;
    상기 진공 패드를 진공 상태로 만들거나 진공을 해제하는 진공 장치;
    상기 셔틀 암과 상기 복수개의 지지핀의 연장부에 위치하며, 일측은 상기 진공 패드와 연결되고, 타측은 상기 진공 장치와 연결되어, 공기가 유동하는 진공 라인을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 대형 기판을 반송하는 셔틀(shuttle).
  5. (a) 진공 장비 어셈블리를 가지는 셔틀이 LCD 제조를 위한 대형 기판을 수취 하는 단계;
    (b) 상기 진공 장비 어셈블리가 진공을 형성하여 상기 대형 기판을 상기 셔틀에 고정시키는 단계;
    (c) 상기 셔틀이 상기 대형 기판을 임의의 LCD 제조 공정을 수행하는 장비로 운송하는 단계;
    (d) 상기 진공 장비 어셈블리가 진공을 해제하여 상기 대형 기판을 상기 셔틀에서 분리하는 단계를 포함하여 이루어지는 대형 기판을 반송하는 방법.
KR1020040049968A 2004-06-30 2004-06-30 대형 기판을 반송하는 셔틀 및 반송 방법 KR101023729B1 (ko)

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