CN100401151C - 梭动件及其基板传送方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种阻止大型基板在重力作用下下陷或者滑动的梭动件。该梭动件包括主体；支撑基板侧部的支承销；设置在主体的侧部，可在轴向旋转且在左右方向上移动的梭臂。支承销分别与梭臂连接。一对中心支架支撑基板侧的没有被支承销支撑的中心部分。中心支架在前后方向上可移动地结合到主框架上。驱动单元使梭臂在左右方向上移动和旋转。该驱动单元利用主框架在前后方向上移动中心支架。将真空装置组件提供给各支承销以通过真空力安全地固定基板。

Description

梭动件及其基板传送方法

本申请要求于2004年6月30日提交的韩国专利申请P2004-49968的优先权，因此以参考的方式并入该申请的全部内容。

发明领域

本发明涉及制造液晶显示器(LCD)的装置，尤其是梭动件及其基板传送方法。尽管本发明适用的范围很宽，但其特别适合于传送宽基板以阻止宽基板弯曲或者变形。

背景技术

随着信息社会的发展，对先进的显示装置的需求也随之增加。对各种平板显示装置如LCD(液晶显示器)、PDP(等离子体显示板)、ELD(电致发光显示器)、VFD(真空荧光显示器)等进行了大量的研究和开发。这些平板显示器的一部分已经在各种装置中用作显示器。

在平板显示器中，LCD已经取代CRT(阴极射线管)被广泛地用于可移动的图像显示器。LCD轻、细并且能耗低。此外，正在研究将LCD应用到TV监视器、电脑监视器等各种领域中，以接收并显示广播信号。

尽管对将LCD作为图像显示装置进行了各种技术开发，但是作为图像显示装置，在改善图像质量方面，LCD的上述优点却变成了障碍。

液晶显示装置由第一基板、与第一基板结合以在二者之间留下预定间隙的第二基板、和注入到第一和第二玻璃基板之间的液晶层构成。

第一基板由在第一方向彼此均匀地隔开设置的多条栅线，在垂直于栅线的方向上彼此均匀地隔开设置的多条数据线，在由栅线和数据线之间的多个交点限定的多个像素区上分别以矩阵形式排列的多个像素电极，和设置在像素区，将数据线的信号通过栅线的信号开关分别传送给像素电极的多个薄膜晶体管构成像素。

第二基板由挡住来自像素区之外区域的光线的黑矩阵层，显示颜色的R/G/B滤色片层，和实现图像的公共电极构成。

最近，液晶显示器件的尺寸在增大，而且变得很大以满足大屏幕显示器的需求。在生产大型液晶显示装置时使用大型玻璃基板。在生产具有大型玻璃基板的大型液晶显示装置时，执行包括阵列工序、单元工序等的各种工序。

在阵列工序中，在第一大型玻璃基板上限定多个LCD面板区域，然后在各LCD面板上形成包括栅线、数据线、像素电极和薄膜晶体管的TFT阵列。在第二大型玻璃基板的各面板区域上形成包括黑矩阵、滤色片层、公共电极等的滤色片阵列。

在单元工序中，在各TFT阵列基板和滤色片阵列基板上涂覆定向材料，然后在每一种定向材料上执行定向处理(研磨)以使液晶具有均匀的定向性。为了维持均匀的单元间隙，散布定位架，然后形成密封层以将两个基板粘结在一起。在两个基板粘结到一起之后，在粘结的基板之间形成液晶层。将其间具有液晶层的被粘结的基板分割成单元LCD面板。

利用液晶注入法和液晶滴落法在两个基板之间形成液晶层。在液晶注入法中，液晶被注入到单元LCD面板的被粘结的两块基板之间，单元LCD面板是通过将粘结的第一和第二母玻璃基板分割为单元LCD面板而形成的。相反，在液晶滴落法中，将液晶适当地滴落在第一和第二母玻璃基板的各LCD面板区域上，将第一和第二母基板粘结在一起，并且将粘结的基板分割为单元LCD面板。

这样，阵列工序使用沉积、曝光和蚀刻装置在玻璃基板上形成各种图案。将大型玻璃基板从一个装置传送到另一装置中。因此，为各装置设置梭动件，以传送大型玻璃基板。

下面对梭动件进行详细的解释。

图1是现有技术中用于制造液晶显示装置的非旋转涂料器的设计图。参考图1，非旋转涂料器由装载器单元(LDR)、涂料器单元(SPL)、真空干燥单元(VCD)、和卸载器单元(ULD)构成。在这些单元之间设置梭动件1，以在这些装置之间传送基板。

如图1所示，为各处理装置设置梭动件1，并支撑待传送的大型玻璃基板的一侧。梭动件1由梭臂、驱动单元、中心支架、从驱动单元接收能量的主框架和支承销构成。

驱动单元的两个侧部设有梭臂。梭臂从驱动单元接收能量并且左右移动和旋转。梭臂中的多个支承销允许梭臂的旋转。通常情况下，在一个梭臂上设置七个支承销以支撑大型玻璃基板的相反侧。主框架支撑大型玻璃基板的其它侧部并且在左右方向上移动。

上述结构的梭动件1在装载在对应的处理装置上的大型玻璃基板上移动，然后被定位到一个高度上以接收大型玻璃基板。驱动单元使梭臂和装配到梭臂上的多个支承销旋转，使得多个支承销能够支撑大型玻璃基板的侧部。旋转多个支承销以支撑大型玻璃基板的两个侧部。此外，驱动单元将能量传送给主框架，使得中心支架能够支撑大型玻璃基板的另外两个侧部。

梭动件以上述方式接收大型玻璃基板，然后将大型玻璃基板传送给另外一个处理装置。然而，当现有技术的梭动件接收大型玻璃基板时，大型玻璃基板由于其重量而下陷或者滑到梭动件上。

发明内容

仅仅作为介绍，一方面，梭动件包括主体；多个用于支撑基板的相对侧的第一和第二支承销；设置在主体的相对侧可轴向旋转和左右移动的第一和第二梭臂，第一和第二支承销分别与第一和第二梭臂连接；一对中心支架，用于支撑基板侧没有被第一个第二支承销支撑的中心部分；可与中心支架在前后方向上移动结合的主框架；使第一和第二梭臂在左右方向上移动和旋转的驱动单元，该驱动单元利用主框架在前后方向上移动中心支架；和设置到各第一和第二支承销，通过真空力固定基板的真空装置组件。

真空装置组件优选包括设置于各第一和第二支承销，通过真空吸力固定基板的真空垫，和将真空力传送给各真空垫的真空管。

各支承销优选包含与第一和第二梭臂接合的接合部，从接合部延伸的延伸部，和从延伸部垂直地弯曲以支撑基板的支撑部。

另一方面，梭动件包括主体和主体侧部上的支架，该支架用于支撑基板的多个侧部。至少一组可调节的支架是可旋转的。至少一些支架与支撑杆接合。支撑杆可移动以调节主体的宽度。驱动单元用于移动支撑杆。支架利用真空装置组件将真空力施加到基板上。

另一方面，传送基板的方法包括：将基板提供给具有真空垫的梭动件，通过向真空垫提供真空力将基板固定到梭动件上，将由梭动件传送的基板传送给处理装置，停止真空力且在真空力停止之后使基板从梭动件上分离。

提供基板优选包括使中心支架以大于基板长度的距离互相隔开，使梭臂以大于基板宽度的距离互相隔开，并且向上旋转支承销，将梭动件放置在基板上方，使梭臂之间的空间变窄，且使中心支架之间的间隙变窄，从而通过支撑部支撑基板的边缘。

可以理解的是，上面对本发明的概述和下面的详细解释都是示例性和解释性的，目的是提供对要求保护的本发明的进一步解释。

附图说明

附图提供对本发明的进一步的理解，其包含在说明书中并构成说明书的一部分，说明本发明的实施例并且和说明书一起用于解释本发明的原理。在附图中：

图1是现有技术中用于生产液晶显示装置的非旋转涂料器的布置图；

图2是本发明的传送大型基板的梭动件的透视图；

图3是图2中的梭动件沿切割线I-I’的横截面图。

具体实施方式

下面详细参考本发明的优选实施方式，其例子在附图中示出。在附图中尽可能地使用相同的附图标记来表示相同或者相似的部件。

图2是本发明的运送大型基板的梭动件的透视图，图3是图2中的梭动件沿切割线I-I’的横截面图。

参考图2和图3，梭动件100包括第一和第二梭臂110和110a，多个第一和第二支承销150和150a，中心支架140，驱动单元120，以及真空装置组件161和163。

将多个第一和第二支承销150和150a设置到梭动件100的主体的两个侧面上，以支撑大型基板200的两个侧面。将第一和第二支承销150和150a分别设置于第一和第二梭臂110和110a。

将第一和第二梭臂110和110a设置在梭动件100的主体的各侧面。各第一和第二梭臂110和110a在轴向上可以旋转，在左右方向上可以移动。

中心支架140支撑大型基板没有被多个第一和第二支承销150和150a支撑的的其它侧部的中心部分。中心支架140在前后方向上可移动地与主框架130接合。

驱动单元120使第一和第二梭臂110和110a旋转，或者使第一和第二梭臂110和110a在左右方向上移动。驱动单元120利用主框架130使中心支架在前后方向上移动。

将真空装置组件161和163设置到第一和第二支承销150和150a，以利用真空力安全地固定大型基板。

各第一或第二支承销150或150a包括以被第一或第二梭臂110或110a穿过的方式与第一或第二梭臂110或110a接合的接合部151，从接合部151延伸的延伸部152，和从延伸部152垂直地弯曲以支撑大型基板的支撑部153。

真空装置组件161和163包括真空垫161，真空装置(图中未示出)，和真空管163。

将真空垫161设置于第一或第二支承销150或150a的支撑部153的上表面，并且通过真空吸力安全地固定大型基板的侧部的每一边缘。可以将真空装置设置在梭动件100的内侧或者外侧，并且为真空垫161产生真空力以固定基板。真空管163叉开到梭臂110或110a的侧面上和各支承销150或150a的延伸部152的侧面上，以将由真空装置产生的真空力传送给对应的真空垫161。

与多个第一和第二支承销150和150a接合的第一和第二梭臂110和110a执行轴向旋转，使得多个第一和第二支承销150和150a能够分别支撑大型基板的侧面的较低的部分。分别在大型基板的两个侧面的附近设置第一和第二梭臂110和110a。多个第一和第二支承销150和150a适当地与各种尺寸的大型基板对应。因此，将第一和第二梭臂110和110a构造为在左右方向上移动，以分别调节多个第一和第二支承销150和150a的位置。即，为了支撑大型基板，第一和第二梭臂110和110a可以旋转并且可以左右移动。驱动单元120使第一和第二梭臂110和110a旋转或者左右移动。

大型基板的其它侧部由中心支架140支撑。中心支架140可在主框架130下方左右移动，以支撑大型基板。主框架130与驱动单元120接合，使得中心支架140可以前后移动。

下面参考图3解释本发明的上述结构的梭动件100的操作。

首先，在发生特定处理之前或者在处理结束之后，将大型基板装载到对应的处理装置中。然后，在大型基板上方移动梭动件100，以接收装载在处理装置中的大型基板。

为了使中心支架140和多个支承销150和150a不对大型基板造成干扰，中心支架140以大于大型基板长度的距离互相隔开，多个第一和第二支承销150和150a以大于大型基板宽度的距离互相隔开，并且向上旋转各支承销150和150a。

因此，为了在多个第一和第二支承销150和150a之间留下大于大型基板宽度的空间，驱动单元120在左右方向上移动与多个第一和第二支承销150和150a接合的第一和第二梭臂110和110a。驱动单元120也旋转第一和第二梭臂110和110a以维持支承销150和150a向上旋转的状态。驱动单元120驱动中心支架140，使其以大于大型基板长度的距离互相隔开。

以上述状态，将梭动件100定位到大型基板上方。

随后，为了支撑大型基板，驱动单元120分别使与多个第一和第二支承销150和150a接合的第一和第二梭臂110和110a旋转，从而多个第一和第二支承销150和150a的支撑部153被放置在大型基板下方。然后驱动单元将第一和第二梭臂110和110a驱动到几乎接近基板边缘的状态，以使第一和第二梭臂110和110a之间的间隔变窄。

此后，驱动单元120在前后方向上移动中心支架140，使中心支架140之间的间隙变窄，从而中心支架140能够分别支撑大型基板的其它两个侧面。

一旦将多个第一和第二支承销150和150a以及中心支架140放置到支撑大型基板的位置，真空装置组件161和163就将真空力提供给真空垫161，以通过真空吸力安全地固定大型基板。因此，真空垫161将大型基板固定于其上，借此能够阻止大型基板下陷或者随着梭动件100移动。

当保持上述状态时，梭动件100抓取大型基板，然后将它传送给下一个处理装置。此后，真空装置组件释放真空力，将大型基板从梭动件100分离，为下一个处理的进行作准备。

因此，本发明提供下述的效果或者优点。首先，梭动件以利用真空垫安全地固定大型基板的侧部的方式来传送大型基板，以阻止大型基板的在梭动件内下陷或者移动。因此，在传送大型基板时，使得液晶显示装置的基板破损和生产故障最小化。

显然在不脱离本发明的精神和范围的情况下，本领域的普通技术人员可以对本发明作出各种修改和变化。因此，本发明意欲覆盖这些对本发明作出的在权利要求及其同等含义范围内的修改和变化。

Claims (14)

1.一种梭动件，包括：

主体；

多个第一和第二支承销，用于支撑基板的相对侧；

第一和第二梭臂，设置于第一和第二梭臂主体的相对侧，可在轴向旋转并在左右方向上移动，所述第一和第二支承销分别与所述第一和第二梭臂接合；

一对中心支架，用于支撑没有被第一个第二支承销支撑的基板侧部的中心部分；

主框架，与中心支架在前后方向上移动接合；

驱动单元，在左右方向上使第一和第二梭臂移动和旋转，并且利用主框架在前后方向上移动中心支架；和

真空装置组件，设置于各第一和第二支承销，通过真空力固定基板。

2.按照权利要求1所述的梭动件，真空装置组件包括：

多个真空垫，设置于第一和第二支承销，通过真空吸力固定基板；和

真空管，将真空力传送给各真空垫。

3.按照权利要求1所述的梭动件，各支承销包括：

与第一或第二梭臂接合的接合部；

从接合部延伸的延伸部；和

从延伸部垂直地弯曲以支撑基板的支撑部。

4.按照权利要求3所述的梭动件，真空装置组件包括：

真空垫，置于支撑部的上表面以将基板固定于其上；和

真空管，置于梭臂和支承销的延伸部上以将真空力传送给真空垫。

5.一种梭动件，包括：

主体；

主体侧部上的支架，用于支撑基板的多个侧部，至少一组可调节的支架是可旋转的；

支撑杆，其上接合有至少一些支架，该支撑杆可移动以调节主体的宽度；

驱动单元，用于移动支撑杆；和

真空装置组件，支架通过所述真空装置组件将真空力施加到基板上。

6.按照权利要求5所述的梭动件，其特征在于，所述可旋转的支架与支撑杆接合。

7.按照权利要求5所述的梭动件，其特征在于，所述可旋转的支架沿着支撑杆均匀地设置。

8.按照权利要求7所述的梭动件，其特征在于，所述支撑杆包括置于主体相对侧的多个支撑臂。

9.按照权利要求8所述的梭动件，其特征在于，仅仅所述可旋转的支架接合到支撑臂上。

10.按照权利要求8所述的梭动件，其特征在于，所述可旋转的支架沿着各支撑臂均匀地分布。

11.按照权利要求5所述的梭动件，其特征在于，仅仅所述可旋转的支架将真空力施加到基板上。

12.按照权利要求5所述的梭动件，其特征在于，所述真空装置组件包括：

提供给支架的多个真空垫，和

将真空力传送给真空垫的真空管。

13.按照权利要求5所述的梭动件，其特征在于，所述各可旋转的支架包括：

与支撑杆接合的接合部；

从接合部延伸的延伸部，和

从延伸部垂直地弯曲以支撑基板的支撑部。

14.一种传送基板的方法，包括：

将基板提供给具有真空垫的梭动件；

通过将真空力提供给真空垫来将基板固定到梭动件上；

将由梭动件传送的基板传送给处理装置；

停止真空力；和

在真空力停止之后使基板从梭动件上分离，

其中，提供基板的步骤包括：

使中心支架以大于基板长度的距离互相隔开，使梭臂以大于基板宽度的距离互相隔开，并且向上旋转支承销；

将梭动件放置在基板上方；

旋转梭臂，将支承销的支承部放置在基板的下方，以对基板进行支撑；

使梭臂之间的空间变窄，且使中心支架之间的间隙变窄，从而由支撑部对基板的边缘进行支撑。

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