JP4004239B2 - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4004239B2 JP4004239B2 JP2001103202A JP2001103202A JP4004239B2 JP 4004239 B2 JP4004239 B2 JP 4004239B2 JP 2001103202 A JP2001103202 A JP 2001103202A JP 2001103202 A JP2001103202 A JP 2001103202A JP 4004239 B2 JP4004239 B2 JP 4004239B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- holding
- suction
- glass substrate
- substrate transfer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
- B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S414/00—Material or article handling
- Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
- Y10S414/14—Wafer cassette transporting
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は例えば液晶表示装置用のガラス基板等の角基板を搬送する装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
液晶表示装置用のガラス基板は1枚の大寸法のガラス基板にホトレジストを塗布・乾燥し、更に露光、現像等の処理を施し、最終的に製品寸法のガラス基板を切り出している。
【0003】
大寸法のガラス基板に各種処理を施すには、1つの処理ステーションでの処理が終了した後、搬送装置で他の処理ステーションへ大寸法のガラス基板を搬送するようにしている。
【0004】
しかしながら、液晶表示装置用のガラス基板は、厚みが0.7mm程度と薄く大面積となるので、搬送中に自重によって基板周縁部や中央部が撓んで大きく垂れ下がり、支持治具に干渉して搬送できなくなったり、ガラス基板に割れが発生する。
【0005】
そこで、本出願人は先に特開2000−208587号公報として、基板の撓みが少なくなる搬送装置を提案している。この搬送装置は図5に示すように、水平方向に開閉動するとともに水平方向にスライド移動可能な一対の搬送アーム100,200のそれぞれに、搬送方向と平行な第1の保持部101,201と第2の保持部102,202を設け、ステージS1での処理が終了したらピン103でガラス基板Wを上昇させ、この状態で一対の搬送アーム100,200を接近せしめるとともにガラス基板Wの下に潜りこませ、ガラス基板Wを下降させて第1の保持部101,201と第2の保持部102,202でガラス基板Wの四隅を支持し、このままの状態で搬送装置によってガラス基板WをステージS2のピン103上方まで移動し、ピン103を上昇せしめてガラス基板Wを受け取る。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上述した搬送装置によれば、ガラス基板中央部の撓み量を抑えることができ、他の部材との干渉や基板の割れが防止できるが、更にガラス基板が大型化(一辺が1m以上)した場合には、基板中央部の撓みが大きくなってしまう。更にガラス基板の搬送装置から食み出る寸法が大きくなると、中央部だけでなく周縁部の撓みも無視できなくなる。
【0007】
また、上述した搬送装置にあっては、ガラス基板が大型化した場合だけでなく、基板の形状が変更されると充分に対応できない。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決すべく本発明に係る基板搬送装置は、少なくとも3本の保持部が平行に配置され、各保持部には少なくとも2つの吸着部が長手方向に沿って位置調整可能に設けられ、また中央の保持部の長手方向の中間部には吸着部が固定された構成とした。
斯かる構成とすることで、基板中央部の撓み量を抑えることができ、他の部材との干渉や基板の割れが防止できる。
【0009】
上記の基板搬送装置において、保持部を平行に伸びる一対の棒で構成することで、保持部の軽量化と剛性アップの両方を同時に図ることができ、しかも吸着部を移動可能に取り付けやすい。
【0010】
また、前記保持部を上下に2段とし、上段の保持部と下段の保持部とを独立して駆動可能とすることで、例えば同一のステーションにおいて処理済ガラス基板の受け取りと、未処理ガラス基板の受け渡しを連続して行うことが可能になる。
【0011】
また、前記吸着部は真空ポンプなどの減圧源につながるフレキシブルチュ−ブとこのフレキシブルチュ−ブを覆うパッドから構成することで、ガラス基板を傷つけることなく確実に吸着することができる。なお、パッドの材質としてはPPS(ポリフェニレンスルフィド)などが好ましい。
【0012】
更に、長手方向に位置調整可能な吸着部に隣接してスケールを設けることで、微調整が容易になる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。ここで、図1は本発明に係る基板搬送装置の待機状態を示す斜視図、図2は同基板搬送装置の平面図、図3は同基板搬送装置の側面図、図4は吸着部の分解斜視図である。
【0014】
実施例の搬送装置の構成は、処理ステーションS1,S2に沿ってガイドレール1が設けられ、このガイドレール1に搬送方向と直交する方向に搬送アーム2、2が取り付けられている。なお、実施例の搬送装置は同一構成の機構が上下2段に設けられているので、上段について詳述し下段については説明を省略する。
【0015】
搬送アーム2には搬送方向と平行に伸びる3つの保持部3,4,5が等間隔で設けられている。各保持部3,4,5はそれぞれ一対の棒材6,6にて構成され、また保持部3,4,5の先端部と基端部には保持部の長手方向に沿って位置調整可能な吸着部7…が設けられている。
【0016】
前記吸着部7は、図4に示すように、棒材6,6間にスライド可能に架設されたプレート8に開口9が形成され、この開口9に真空ポンプなどにつながるフレキシブルチューブ10の先端部が止着され、更にこの先端部をPPS製のパッド11で覆う構成としている。
【0017】
プレート8の棒材6に対する移動機構は任意であるが、図示例のようにプレート8のスプリング作用によって棒材6に取り付けるようにすれば、構造が簡単になる。
【0018】
また、吸着部7の側方にはスケール12を取り付け、吸着部7の微調整の目安にし、更に保持部4の中間部には固定の吸着部13を設けている。
【0019】
以上の搬送装置を用いた搬送方法について説明すると、先ず処理ステーションS1のピン14が上昇している図1の待機状態から、搬送アーム2が図中左方へ移動し、ガラス基板Wの下側に保持部3,4,5が潜り込む。
【0020】
次いで、ピン14が下降しガラス基板Wを保持部3,4,5上に移載する。すると、ガラス基板Wの四隅と中央部は吸着部7、13によって吸引保持される。なお、吸着部7の位置はガラス基板Wの寸法に合わせて予め位置が微調整されている。
【0021】
次いで、搬送装置はガラス基板Wを吸着保持したまま処理ステーションS2のピン15上方まで移動して停止する。そしてピン15が上昇し、保持部3,4,5からガラス基板Wを受け取る。なお、このとき吸着部7,13による吸引状態は解除しておく。
【0022】
また、図示例の搬送装置は上下2段になっているので各段にガラス基板Wを保持し、処理ステーションS2へのガラス基板の受け渡しが終了した後、図示しない他の処理ステーションに残りのガラス基板を搬送することもできる。
【0023】
【発明の効果】
以上に説明したように本発明に係る角基板を搬送する基板搬送装置によれば、3本の保持部を平行に配置し、各保持部の先端と基端に吸着部を長手方向に沿って位置調整可能に設け、また中央の保持部の長手方向の中間部に吸着部を固定した構成にしたので、基板の大きさ及び形状に関わりなく、搬送中の基板中央部及び周縁部の撓み量を抑え、他の部材との干渉や基板の割れが防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る基板搬送装置の待機状態を示す斜視図
【図2】同基板搬送装置の平面図
【図3】同基板搬送装置の側面図
【図4】吸着部の分解斜視図
【図5】従来の搬送装置の斜視図
【符号の説明】
1…ガイドレール、2…搬送アーム、3,4,5…保持部、6…棒材、7…位置調整可能な吸着部、8…プレート、9…開口、10…フレキシブルチューブ、11…パッド、12…スケール、13…固定された吸着部、14,15…ピン、S1,S2…処理ステーション、W…ガラス基板。
Claims (5)
- 2つの処理ステーション間で角基板を搬送する基板搬送装置において、この搬送装置は2つの処理ステーションに沿ってガイドレールが設けられ、このガイドレールに搬送方向と直交する搬送アームが取り付けられ、この搬送アームに少なくとも3本の保持部が搬送方向と平行に配置され、各保持部には少なくとも2つの吸着部が長手方向に沿って位置調整可能に設けられ、また中央の保持部の長手方向の中間部には吸着部が固定されていることを特徴とする基板搬送装置。
- 請求項1に記載の基板搬送装置において、前記保持部は平行に伸びる一対の棒から構成されることを特徴とする基板搬送装置。
- 請求項1に記載の基板搬送装置において、前記保持部は上下に2段設けられ、上段の保持部と下段の保持部とは独立して駆動可能とされていることを特徴とする基板搬送装置。
- 請求項1に記載の基板搬送装置において、前記吸着部は減圧源につながるフレキシブルチュ−ブとこのフレキシブルチュ−ブを覆うパッドからなることを特徴とする基板搬送装置。
- 請求項1に記載の基板搬送装置において、前記長手方向に位置調整可能な吸着部に隣接してスケールを設けたことを特徴とする基板搬送装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001103202A JP4004239B2 (ja) | 2001-04-02 | 2001-04-02 | 基板搬送装置 |
TW091105647A TWI260062B (en) | 2001-04-02 | 2002-03-22 | Substrate carrier device |
KR1020020016936A KR100786233B1 (ko) | 2001-04-02 | 2002-03-28 | 기판반송장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001103202A JP4004239B2 (ja) | 2001-04-02 | 2001-04-02 | 基板搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002299416A JP2002299416A (ja) | 2002-10-11 |
JP4004239B2 true JP4004239B2 (ja) | 2007-11-07 |
Family
ID=18956290
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001103202A Expired - Fee Related JP4004239B2 (ja) | 2001-04-02 | 2001-04-02 | 基板搬送装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4004239B2 (ja) |
KR (1) | KR100786233B1 (ja) |
TW (1) | TWI260062B (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101023729B1 (ko) * | 2004-06-30 | 2011-03-25 | 엘지디스플레이 주식회사 | 대형 기판을 반송하는 셔틀 및 반송 방법 |
KR100780718B1 (ko) | 2004-12-28 | 2007-12-26 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 도포액 공급장치를 구비한 슬릿코터 |
KR100675643B1 (ko) | 2004-12-31 | 2007-02-02 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 슬릿코터 |
KR100700180B1 (ko) | 2004-12-31 | 2007-03-27 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 예비토출부를 구비한 슬릿코터 및 이를 이용한 코팅방법 |
KR100700181B1 (ko) | 2004-12-31 | 2007-03-27 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 노즐대기부를 구비한 슬릿코터 및 이를 이용한 코팅방법 |
JP4765365B2 (ja) * | 2005-03-25 | 2011-09-07 | 凸版印刷株式会社 | 基板移送装置 |
KR100971288B1 (ko) * | 2008-08-22 | 2010-07-20 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 어레이 테스트 장비 |
JP6186124B2 (ja) | 2012-12-14 | 2017-08-23 | 東京応化工業株式会社 | 搬送アーム、搬送装置および搬送方法 |
TWI602257B (zh) * | 2015-11-03 | 2017-10-11 | 亞智科技股份有限公司 | 吸附式移載設備與移載基板的方法 |
CN107883773A (zh) * | 2017-11-06 | 2018-04-06 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 基板承载装置及烘烤设备 |
CN111791255B (zh) * | 2020-08-14 | 2022-01-25 | 维信诺科技股份有限公司 | 机械手 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5593515U (ja) * | 1978-09-08 | 1980-06-28 | ||
JPH0644155Y2 (ja) * | 1988-09-12 | 1994-11-14 | 新電元工業株式会社 | プリント基板の部品挿入装置 |
JPH0466129U (ja) * | 1990-10-08 | 1992-06-10 | ||
JP3095512B2 (ja) * | 1992-01-21 | 2000-10-03 | シチズン時計株式会社 | 電子部品自動装着装置 |
JPH0677244U (ja) * | 1993-04-06 | 1994-10-28 | 神鋼電機株式会社 | ウエハ移載用ペンシルの交換治具 |
JPH08139153A (ja) * | 1994-11-10 | 1996-05-31 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 枚葉式基板処理装置、基板搬送装置及びカセット |
JPH08297279A (ja) * | 1995-04-25 | 1996-11-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送装置及び基板搬送方法 |
JP3563851B2 (ja) * | 1995-12-05 | 2004-09-08 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板搬送装置 |
JPH09167750A (ja) * | 1995-12-14 | 1997-06-24 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 基板端縁部の洗浄装置及び洗浄方法 |
JPH10146784A (ja) * | 1996-11-19 | 1998-06-02 | Dainippon Printing Co Ltd | 基板搬送用ロボットハンド |
JP4087925B2 (ja) * | 1997-06-12 | 2008-05-21 | 大日本印刷株式会社 | 基板搬送システム |
JPH11188681A (ja) * | 1997-12-24 | 1999-07-13 | Canon Inc | 基板搬送用ハンド及びその吸着機構 |
-
2001
- 2001-04-02 JP JP2001103202A patent/JP4004239B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-03-22 TW TW091105647A patent/TWI260062B/zh not_active IP Right Cessation
- 2002-03-28 KR KR1020020016936A patent/KR100786233B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20020077814A (ko) | 2002-10-14 |
TWI260062B (en) | 2006-08-11 |
JP2002299416A (ja) | 2002-10-11 |
KR100786233B1 (ko) | 2007-12-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4004239B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
JP4204128B2 (ja) | 基板搬送装置及び基板搬送方法 | |
JPH08241918A (ja) | 基板処理装置 | |
JP3828808B2 (ja) | 部品実装装置および部品実装方法 | |
JP3711189B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
KR100572724B1 (ko) | 기판반송장치 | |
JPH05190414A (ja) | 基板吸着装置 | |
JPH08244909A (ja) | カセット内のガラス基板整列方法 | |
JP3943481B2 (ja) | 電子部品搬送ヘッド、及び電子部品実装装置 | |
JPH0138733B2 (ja) | ||
JPH0826475A (ja) | ガラス基板の搬送装置 | |
JP2004273755A (ja) | 基板固定装置および基板固定方法 | |
JP3173918B2 (ja) | 基板搬送ハンドおよびこれを備えた基板搬送装置 | |
JP3162577B2 (ja) | 基板姿勢転換装置及び基板受渡し装置並びにそれを用いた基板湿式処理装置 | |
JP3619314B2 (ja) | 露光装置 | |
JP3664589B2 (ja) | 基板搬送装置および基板搬送方法 | |
KR100968315B1 (ko) | 기판반송장치 및 기판처리장치 | |
US7761977B2 (en) | Component placement device | |
JPH04293300A (ja) | プリント基板支持装置 | |
JP2003170105A (ja) | 塗布膜形成装置及びその方法 | |
JPH0628278B2 (ja) | 基板搬送用エレベータ | |
JPH0638445B2 (ja) | 基板移載装置 | |
JP3075982B2 (ja) | シャドウマスク装着装置 | |
KR200357165Y1 (ko) | 기판을 수직상태로 이송시킬 수 있는 기판 반송장치 | |
JP2786090B2 (ja) | ガラス板の位置決め装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040622 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060922 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060926 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061124 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070109 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070821 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070821 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4004239 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100831 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100831 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110831 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120831 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120831 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130831 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140831 Year of fee payment: 7 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |