KR100786233B1 - 기판반송장치 - Google Patents

Abstract

대형의 사각형 기판을 반송할 때의 휘어지는 양을 작게 한다.

반송 암(arm)(2)에는 반송방향과 평행으로 뻗어 있는 3개의 보유부(3, 4, 5)가 동일한 간격으로 설치되고, 각 보유부(3, 4, 5)는 각각 한쌍의 막대 부재(6, 6)로 구성되며, 또 보유부(3, 4, 5)의 선단부와 기단부에는 보유부의 길이방향에 따라 위치조정이 가능한 흡착부(7…)가 설치되고, 또한 보유부(4)의 중간부에는 고정 흡착부(13)가 설치되어 있다.

Description

기판반송장치{A substrate carrying apparatus}

도 1은 본 발명에 따른 기판반송장치의 대기상태를 나타내는 사시도.

도 2는 상기 기판반송장치의 평면도.

도 3은 상기 기판반송장치의 측면도.

도 4는 흡착부의 분해 사시도.

도 5는 종래의 반송장치의 사시도.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

1 : 가이드 레일 2 : 반송 암

3, 4, 5 : 보유부 6 : 막대 부재

7 : 위치조정이 가능한 흡착부 8 : 플레이트

9 : 개구 10 : 플렉시블 튜브(flexible tube)

11 : 패드 12 : 스케일

13 : 고정 흡착부 14, 15 : 핀

S1, S2 : 처리 스테이션 W : 유리 기판

본 발명은 예를 들어 액정표시장치용 유리 기판 등의 사각형 기판을 반송하는 장치에 관한 것이다.

액정표시장치용 유리 기판은 1장의 치수가 큰 유리 기판에 포토레지스트를 도포, 건조하고, 또한 노광, 현상 등의 처리를 수행하여, 최종적으로 제품 치수의 유리 기판을 잘라내고 있다.

치수가 큰 유리 기판에 각종 처리를 수행하려면, 1개의 처리 스테이션에서의 처리가 종료한 후, 반송장치에 의해 다른 처리 스테이션으로 치수가 큰 유리 기판을 반송하도록 하고 있다.

그러나, 액정표시장치용 유리 기판은 두께가 0.7㎜ 정도로 얇고 면적이 크므로, 반송중에 자체의 무게에 의해 기판 둘레부나 중앙부가 휘어서 밑으로 크게 늘어지고, 지지치구(支持治具)에 간섭하여 반송될 수 없거나, 유리 기판이 깨지는 현상이 발생하게 된다.

그래서, 본 출원인은 먼저 일본 공개특허공고 특개평2000-208587호 공보에서 기판의 휘어짐이 작아지는 반송장치를 제안하고 있다. 이 반송장치는 도 5에 도시하는 바와 같이, 수평방향으로 열고 닫음과 동시에, 수평방향으로 슬라이드 이동이 가능한 한쌍의 반송 암(100, 200) 각각에 반송방향과 평행한 제 1 보유부(101, 201)와 제 2 보유부(102, 202)를 설치하여, 스테이지(S1)에서의 처리가 종료하면 핀(103)으로 유리 기판(W)을 상승시키고, 이 상태에서 한쌍의 반송 암(100, 200)을 접근시킴과 동시에 유리 기판(W) 밑으로 들어가게 하고, 유리 기판(W)을 하강시켜서 제 1 보유부(101, 201)와 제 2 보유부(102, 202)로 유리 기판(W)의 네 귀퉁이를 지지하고, 그대로의 상태에서 반송장치에 의해 유리 기판(W)을 스테이지(S2)의 핀(103) 위쪽까지 이동시키고, 핀(103)을 상승시켜서 유리 기판(W)을 받는다.

상술한 반송장치에 의하면, 유리 기판 중앙부의 휘어지는 양을 억제할 수 있어, 다른 부재와의 간섭이나 기판이 깨지는 것을 방지할 수 있으나, 유리 기판이 더욱 대형화(1변이 1m 이상)한 경우에는, 기판 중앙부의 휘어짐이 커지게 된다. 또한, 유리 기판의 반송장치로부터 돌출하는 치수가 커지면, 중앙부뿐 아니라 둘레부의 휘어짐도 무시할 수 없게 된다.

또, 상술한 반송장치에 있어서는, 유리 기판이 대형화한 경우뿐 아니라, 기판의 형상이 변경되는 경우에 충분히 대응할 수 없다.

상기 과제를 해결하기 위해 본 발명에 따른 기판반송장치는 적어도 3개의 보유부가 평행으로 배치되고, 각 보유부에는 적어도 2개의 흡착부가 길이방향을 따라 위치조정이 가능하게 설치되며, 또 중앙의 보유부의 길이방향의 중간부에는 흡착부가 고정된 구성으로 하였다.

그러한 구성으로 하여, 기판 중앙부의 휘어지는 양을 억제할 수 있어, 다른 부재와의 간섭이나 기판이 깨지는 것을 방지할 수 있다.

상기 기판반송장치에 있어서, 보유부를 평행하게 뻗어 있는 한쌍의 막대로 구성함으로써, 보유부의 경량화와 강성(剛性)의 증가 양쪽을 동시에 도모할 수 있고, 또한 흡착부를 이동가능하게 부착하기 쉬워진다.

또, 상기 보유부를 상하 2단으로 하고, 상단의 보유부와 하단의 보유부를 독립적으로 구동가능하게 함으로써, 예를 들어 동일한 스테이션에서 처리가 끝난 유리 기판을 받고, 미처리 유리 기판을 연속적으로 주고받을 수 있게 된다.

또, 상기 흡착부는 진공 펌프 등의 감압원에 연결되는 플렉시블 튜브와 이 플렉시블 튜브를 덮는 패드로 구성함으로써, 유리 기판을 손상시키지 않고 확실하게 흡착할 수 있다. 또한, 패드의 재질로서는 폴리페닐렌술피드(polyphenylene sulfide) 등이 바람직하다.

또한, 길이방향으로 위치조정이 가능한 흡착부에 인접하여 스케일을 설치함으로써 미세한 조정이 용이해진다.

[실시예]

이하에 본 발명의 실시형태를 첨부 도면에 기초하여 설명한다. 여기서 도 1은 본 발명에 따른 기판반송장치의 대기상태를 도시하는 사시도이고, 도 2는 상기 기판반송장치의 평면도이고, 도 3은 상기 기판반송장치의 측면도이고, 도 4는 흡착부의 분해 사시도이다.

실시예의 반송장치의 구성은 처리 스테이션(S1, S2)을 따라 가이드 레일(1)이 설치되고, 이 가이드 레일(1)에 반송방향과 직교하는 방향으로 반송 암(2, 2)이 부착되어 있다. 또한, 실시예의 반송장치는 동일한 구성의 기구가 상하 2단으로 설치되어 있으므로, 상단에 대해서 상세하게 기술하고 하단에 대해서는 설명을 생략한다.

반송 암(2)에는 반송방향에 평행하게 뻗어 있는 3개의 보유부(3, 4, 5)가 동 일한 간격으로 설치되어 있다. 각 보유부(3, 4, 5)는 각각 한쌍의 막대 부재(6, 6)로 구성되고, 또 보유부(3, 4, 5)의 선단부와 기단부에는 보유부의 길이방향을 따라 위치조정이 가능한 흡착부(7…)가 설치되어 있다.

상기 흡착부(7)는 도 4에 도시하는 바와 같이, 막대 부재(6, 6) 사이에 슬라이드 가능하게 설치된 플레이트(8)에 개구(9)가 형성되고, 이 개구(9)에 진공 펌프 등에 연결된 플렉시블 튜브(10)의 선단부가 고정되고, 또한 이 선단부를 폴리페닐렌술피드제 패드(11)로 덮는 구성으로 하고 있다.

막대 부재(6)에 대한 플레이트(8)의 이동기구는 임의이지만, 도시된 예와 같이, 플레이트(8)의 스프링 작용에 의해 막대 부재(6)에 부착하도록 하면 구조가 간단해진다.

또, 흡착부(7)의 옆쪽에는 스케일(12)을 부착하여, 흡착부(7)의 미세 조정의 기준으로 하고 있으며, 또한 보유부(4)의 중간부에는 고정 흡착부(13)를 설치하고 있다.

이상의 반송장치를 사용한 반송방법에 대해 설명하면, 우선 처리 스테이션(S1)의 핀(14)이 상승하고 있는 도 1의 대기상태로부터, 반송 암(2)이 도면의 왼쪽으로 이동하여, 유리 기판(W)의 아래쪽에 보유부(3, 4, 5)가 들어간다.

이어서, 핀(14)이 하강하여 유리 기판(W)을 보유부(3, 4, 5) 상에 얹는다. 그러면, 유리 기판(W)의 네 귀퉁이와 중앙부는 흡착부(7, 13)에 의해 흡인 보유된다. 또한, 흡착부(7)의 위치는 유리 기판(W)의 치수에 맞추어 미리 위치가 미세하게 조정되어 있다.

이어서, 반송장치는 유리 기판(W)을 흡착 보유한 채 처리 스테이션(S2)의 핀(15) 위쪽까지 이동하여 정지한다. 그리고, 핀(15)이 상승하고, 보유부(3, 4, 5)로부터 유리 기판(W)을 받는다. 또한, 이때 흡착부(7, 13)에 의한 흡인 상태는 해제해 둔다.

또, 도시한 예의 반송장치는 상하 2단으로 되어 있으므로, 각 단에 유리 기판(W)을 보유하고, 처리 스테이션(S2)으로의 유리 기판의 주고 받음이 종료한 후, 도시하지 않은 다른 처리 스테이션으로 나머지 유리 기판을 반송할 수도 있다.

이상에 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 사각형 기판을 반송하는 기판반송장치에 의하면, 3개의 보유부를 평행으로 배치하고, 각 보유부의 선단과 기단에 흡착부를 길이방향을 따라 위치조정이 가능하게 설치하고, 또 중앙의 보유부의 길이방향의 중간부에 흡착부를 고정한 구성으로 했으므로, 기판의 크기 및 형상에 관계없이, 반송중의 기판 중앙부 및 둘레부의 휘어지는 양을 억제하고, 다른 부재와의 간섭이나 기판이 깨지는 것을 방지할 수 있다.

Claims (5)

1. 사각형 기판을 반송하는 기판반송장치에 있어서, 이 반송장치는 적어도 3개의 보유부가 평행으로 배치되고, 각 보유부에는 적어도 2개의 흡착부가 길이방향을 따라 위치조정이 가능하게 설치되며, 또 중앙의 보유부의 길이방향의 중간부에는 흡착부가 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
2. 제 1항에 있어서, 상기 보유부는 평행하게 연장하는 한쌍의 막대로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
3. 제 1항에 있어서, 상기 보유부는 상하 2단으로 설치되고, 상단의 보유부와 하단의 보유부는 독립적으로 구동이 가능하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
4. 제 1항에 있어서, 상기 흡착부는 감압원에 연결되는 플렉시블 튜브와 이 플렉시블 튜브를 덮는 패드로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
5. 제 1항에 있어서, 상기 길이방향으로 위치조정이 가능한 흡착부에 인접하여 스케일을 설치한 것을 특징으로 하는 기판반송장치.

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