KR200357165Y1 - 기판을 수직상태로 이송시킬 수 있는 기판 반송장치 - Google Patents

Abstract

기판을 수직상태로 이송시키는 기판 이송장치가 개시된다. 그러한 기판 이송장치는 기판을 수직상태로 적치하는 적치대(Cassette)와, 상기 적치대로부터 기판을 수직상태로 인출하는 이송부와, 그리고 상기 이송부로부터 기판을 수직상태로 인수하여 기판처리라인으로 공급하는 수직반송부를 포함한다. 이러한 기판 반송장치는 기판을 수직상태로 이송시킴으로써 기판처리를 위한 공간을 최소화함으로써 설치비 및 설치면적으로 줄일 수 있는 장점이 있다.

Description

기판을 수직상태로 이송시킬 수 있는 기판 반송장치{APPARATUS FOR TRANSPORTING WORKS IN A VERTICAL STATE}

본 고안은 기판 반송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판을 수직상태로 이송하여 처리함으로써 기판의 반송공간을 최소화할 수 있는 기판 반송장치에 관한 것이다.

일반적으로 평판 디스플레이(FPD;Flat Panel Display), 반도체 웨이퍼, LCD, 포토 마스크용 글라스 등에 사용되는 기판은 일련의 처리라인을 거치면서 에칭, 스트립, 린스 등의 과정을 거친 후 세정을 하게 된다.

이러한 기판의 처리라인에 있어서는 라인간에 기판을 이송하기 위한 이송장치들이 필수적으로 적용되며, 상기 기판 이송장치들에 관한 다양한 기술들이 개발되고 있다.

이러한 기판 이송장치들은 여러 형태가 가능하며 통상적으로 수평방식에 의하여 기판을 인수/인계하는 방식이다. 즉, 기판을 처리하기 위하여 이송장치들이 기판을 수평상태로 이송하여 라인 입측의 로더에 공급하거나 혹은 처리된 기판을 언로더로부터 인수하여 다른 처리라인으로 이송하는 방식이다.

그러나, 이러한 기판 반송장치는 기판을 수평상태로 이송시키는 구조를 가지므로 기판의 폭만큼의 공간이 추가로 필요하므로 설치면적 및 설치비가 증가하는 문제점이 있다.

따라서, 본 고안의 목적은 전술한 문제점을 해결하기 위하여 안출 된 것으로서, 본 고안의 목적은 최소한의 공간으로 기판을 반송하면서 공정을 안정적으로 진행시킬 수 있는 기판 반송장치를 제공하는데 있다.

도1 은 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 기판 반송장치의 구조를 개략적으로 도시한 블럭도.

도2 는 도1 에 도시된 적치대 및 이송부를 개략적으로 도시하는 사시도.

도3 은 도1 에 도시된 수직 반송부를 도시한 사시도.

본 고안의 목적을 실현하기 위하여, 본 고안은 기판을 수직상태로 적치하는 적치대(Cassette)와; X,Y,Z 방향으로 이동 가능한 아암과, 진공으로 기판을 흡착하는 흡착패드를 구비하는 로봇을 포함하여, 상기 적치대로부터 기판을 수직상태로 인출하는 이송부와; 그리고 상기 이송부로부터 기판을 수직상태로 인수하여 기판처리라인으로 공급하는 수직반송부를 포함하는 기판 반송장치를 제공한다.

본 고안의 바람직한 실시예에 따르면, 상기 수직 반송부는 LM모터가 구비되어 LM가이드를 따라 이송 가능한 상부 지지대와, 상기 상부 지지대에 활주가능하게 장착되어 상부 지지대를 따라 이송 가능한 하부 지지대와, 상기 하부 지지대의 양측에 장착되어 상하로 이송하는 구동부재와, 상기 구동부재에 연결되어 기판을 집는 클램프(Clamp)를 포함한다. 또한, 상기 구동부재는 실린더 및 피스톤을 포함한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 기판 반송장치를 상세하게 설명한다.

도1 에 도시된 바와 같이, 본 고안이 제안하는 기판 반송장치는 기판을 수직상태로 적치하는 적치대(Cassette;10)와, 상기 적치대(10)로부터 기판(G)을 수직상태로 인출하는 이송부(12)와, 상기 이송부(12)로부터 기판을 수직상태로 인수하여 기판처리라인으로 공급하는 수직반송부(14)를 포함한다.

이러한 구조를 갖는 기판 반송장치에 있어서, 상기 적치대(10)는 기판(G)을 수직상태로 적치할 수 있는 구조를 갖는다. 즉, 그 내부에 일정 공간이 형성되고 기판(G)을 수직상태로 적치할 수 있는 받침대(11)를 구비함으로써 기판(G)을 수직상태로 적치하게 된다.

그리고, 상기 이송부(12)는 이러한 적치대(10)로부터 기판을 외부로 인출하게 되는 통상적인 구조의 로봇을 포함한다. 즉, 상기 이송부(12)는 몸체(13)와, 상기 몸체(13)에 구비되어 X,Y,Z 방향으로 이동 가능한 아암(15)과, 진공으로 기판을 흡착하는 흡착패드(17)를 구비한다.

이러한 구조를 갖는 이송부(12)는 화살표 방향으로 진행하여 적치대(10)의 내부에 수직상태로 적치된 기판(G)을 흡착패드(17)에 의하여 흡착하고, 이 상태에서 적치대(10)의 외부로 이동함으로써 기판(G)을 인출할 수 있다.

상기 수직 반송부(14)는 LM모터(25)가 구비되어 LM가이드(Linear motor guide;21)를 따라 이송가능한 상부 지지대(23)와, 상기 상부 지지대(23)에 활주가능하게 장착되어 상부 지지대(23)를 따라 이송 가능한 하부 지지대(27)와, 상기 하부 지지대(27)의 양측에 장착되어 기판(G)을 집어 이송시키는 클램프(Clamp;31)를 포함한다.

이러한 구조를 갖는 수직 반송부(14)에 있어서, 상기 상부 지지대(23)는 LM 가이드(21)를 따라 왕복이송한다.

따라서, 상기 이송부 방향으로 이동하여 기판(G)을 인수하고, 기판처리라인(16) 방향으로 이동하여 기판(G)을 기판처리라인(16)에 공급한다.

또한, 상기 하부 지지대(27)도 상부 지지대(27)를 따라 LM 가이드의 폭방향으로 이동함으로써, 기판(G)을 적절한 위치에 이송할 수 있다.

그리고, 상기 클램프(31)는 하부 지지대(27)의 양단에 구비된 구동부재(29)에 연결됨으로써 상하로 이동가능하다. 즉, 상기 구동부재(29)는 피스톤과 실린더로 이루어지는 공압유닛 혹은 유압유닛으로 이루어질 수도 있고, 또는 모터 및 와이어을 하나의 유닛으로 구성하여 이루어질 수도 있다.

따라서, 상기 클램프(31)는 이러한 구동부재(29)에 의하여 상하로 이동하거나, 기판(G)을 집을 수 있으며, 이때, 기판(G)은 수직상태를 유지하게 된다.

이와 같이, 기판(G)은 수직반송부(14)에 의하여 수직상태로 기판처리라인(16)으로 이송됨으로써 적절하게 처리된다.

이와 같이, 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 기판 반송장치는 기판을 수직상태로 이송시킴으로써 기판처리를 위한 공간을 최소화함으로써 설치비 및 설치면적으로 줄일 수 있는 장점이 있다.

이상을 통해 본 고안의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 고안은 이에 한정되는 것은 아니고 실용신안등록청구의 범위와 고안의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고, 이 또한 본 고안의 범위에 속하는 것은 당연하다.

Claims (4)

1. (정정)기판을 수직상태로 적치하는 적치대(Cassette)와;

   X,Y,Z 방향으로 이동 가능한 아암과, 진공으로 기판을 흡착하는 흡착패드를 구비하는 로봇을 포함하여, 상기 적치대로부터 기판을 수직상태로 인출하는 이송부와; 그리고

   상기 이송부로부터 기판을 수직상태로 인수하여 기판처리라인으로 공급하는 수직반송부를 포함하는 기판 반송장치.
2. 삭제
3. 제1 항에 있어서, 상기 수직 반송부는 LM모터가 구비되어 LM가이드를 따라 이송 가능한 상부 지지대와, 상기 상부 지지대에 활주가능하게 장착되어 상부 지지대를 따라 이송 가능한 하부 지지대와, 상기 하부 지지대의 양측에 장착되어 상하로 이송하는 구동부재와, 상기 구동부재에 연결되어 기판을 집는 클램프(Clamp)를 포함하는 기판 반송장치.
4. 제3 항에 있어서, 상기 구동부재는 실린더 및 피스톤을 포함하는 기판 반송장치.