JP2513261Y2 - 搬入搬出装置 - Google Patents
搬入搬出装置Info
- Publication number
- JP2513261Y2 JP2513261Y2 JP1994000436U JP43694U JP2513261Y2 JP 2513261 Y2 JP2513261 Y2 JP 2513261Y2 JP 1994000436 U JP1994000436 U JP 1994000436U JP 43694 U JP43694 U JP 43694U JP 2513261 Y2 JP2513261 Y2 JP 2513261Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- substrate
- vacuum hand
- transported object
- tip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Load-Engaging Elements For Cranes (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は搬入搬出装置に係り、
特にＬＣＤ（液晶表示体素子）等の角型ガラス板を搬送
するのに好適な搬入搬出装置に関する。
特にＬＣＤ（液晶表示体素子）等の角型ガラス板を搬送
するのに好適な搬入搬出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般にＬＳＩ（半導体集積回路）やＬＣ
Ｄ等の製造工程においては、半導体ウエハやがラス基板
が複数枚収納されたキャリアを各加工装置又は各検査装
置のローダに自動（ＦＭＳ）あるいは手動で移送され
る。キャリアをローダにセットすると各装置のローダに
おいてベルトあるいはバキュームハンドなどの搬送手段
によってキャリア内の上記ウエハ又は基板は１枚ずつ順
次取り出され、所定の位置合わせ（アライメント）の
後、加工又は検査され、加工又は検査が終了後、ウエハ
又は基板は再び上記の搬送手段によって搬送されてキャ
リア内に収納される。
Ｄ等の製造工程においては、半導体ウエハやがラス基板
が複数枚収納されたキャリアを各加工装置又は各検査装
置のローダに自動（ＦＭＳ）あるいは手動で移送され
る。キャリアをローダにセットすると各装置のローダに
おいてベルトあるいはバキュームハンドなどの搬送手段
によってキャリア内の上記ウエハ又は基板は１枚ずつ順
次取り出され、所定の位置合わせ（アライメント）の
後、加工又は検査され、加工又は検査が終了後、ウエハ
又は基板は再び上記の搬送手段によって搬送されてキャ
リア内に収納される。
【０００３】ところで、近年のＬＣＤ技術の進歩により
テレビ、マイコン等の表示装置等に用いられる大型ＬＣ
Ｄ用ガラス基板が製造されるようになった。このような
基板は１５０ｃｍ2ないし３５０ｃｍ2程度と大きく、厚
みは１〜２ｍｍと非常に薄いものでこわれやすく製造時
及び検査時の取扱は特に慎重を期さなければならず、従
って搬送装置もそのような点が重要となってくる。
テレビ、マイコン等の表示装置等に用いられる大型ＬＣ
Ｄ用ガラス基板が製造されるようになった。このような
基板は１５０ｃｍ2ないし３５０ｃｍ2程度と大きく、厚
みは１〜２ｍｍと非常に薄いものでこわれやすく製造時
及び検査時の取扱は特に慎重を期さなければならず、従
って搬送装置もそのような点が重要となってくる。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】しかし、このようなＬ
ＣＤ等の角型基板の搬送には従来のシリコンウエハ用の
搬送機構をそのまま用いており、例えばバキュームハン
ドは金属あるいは樹脂材であり、先端がＵ字状を成し、
そのＵ字に沿って複数の吸着孔が形成されているものが
ある。このようなバキュームハンドのＵ字状の先端部を
基板を複数枚例えば１５〜２５枚程度収納したキャリア
へ、挿入し、吸着孔により基板を吸着し保持して、プレ
アライメントを行う載置台へ搬送する。この時、バキュ
ームハンドが重量のあるものを吸着するために、かなり
強い力で吸着しなければならず、吸着時に損傷しやすい
という問題点があった。
ＣＤ等の角型基板の搬送には従来のシリコンウエハ用の
搬送機構をそのまま用いており、例えばバキュームハン
ドは金属あるいは樹脂材であり、先端がＵ字状を成し、
そのＵ字に沿って複数の吸着孔が形成されているものが
ある。このようなバキュームハンドのＵ字状の先端部を
基板を複数枚例えば１５〜２５枚程度収納したキャリア
へ、挿入し、吸着孔により基板を吸着し保持して、プレ
アライメントを行う載置台へ搬送する。この時、バキュ
ームハンドが重量のあるものを吸着するために、かなり
強い力で吸着しなければならず、吸着時に損傷しやすい
という問題点があった。
【０００５】また、バキュームハンドが円形の基板をキ
ャリアから取り出す場合、基板の中心をずらして吸着し
て取り出しても問題は起こらないが、基板が角型の場
合、基板を傾斜して吸着し、取り出すと破損するという
問題が生ずる。すなわち図２に示すようにバキュームハ
ンド１の先端部がキャリア１１に挿入され、基板１２を
吸着して取り出す場合、バキュームハンド１の先端部が
キャリア１１に対して傾斜して基板１２を吸着し取り出
すと、基板の隅端部１３はＡ点において、キャリア１１
の壁にあたり、隅端部を損傷するという問題が生ずる。
ャリアから取り出す場合、基板の中心をずらして吸着し
て取り出しても問題は起こらないが、基板が角型の場
合、基板を傾斜して吸着し、取り出すと破損するという
問題が生ずる。すなわち図２に示すようにバキュームハ
ンド１の先端部がキャリア１１に挿入され、基板１２を
吸着して取り出す場合、バキュームハンド１の先端部が
キャリア１１に対して傾斜して基板１２を吸着し取り出
すと、基板の隅端部１３はＡ点において、キャリア１１
の壁にあたり、隅端部を損傷するという問題が生ずる。
【０００６】本考案は上記問題点を解消するためになさ
れたもので、生産の自動化に対応し、簡単に大きな板状
体の損傷を防ぐことのできる搬入搬出装置を提供するこ
とを目的とするものである。
れたもので、生産の自動化に対応し、簡単に大きな板状
体の損傷を防ぐことのできる搬入搬出装置を提供するこ
とを目的とするものである。
【０００７】
【問題点を解決するための手段】本考案は、被搬送体を
収納したキャリアに対して前記被搬送体を搬入搬出する
搬送アームからなる搬送搬入装置において、前記搬送ア
ームは、１からなる部材で構成され、パイプによりバキ
ューム源に連結された１箇の孔部と、前記被搬送体の下
面を支持する少なくとも２個の支持部とを備え、前記孔
部の上面の外周に弾性リングを設けるとともに、前記支
持部材と前記弾性リングは前記搬送アームの載置面より
突出した弾性突起であることを特徴とする。
収納したキャリアに対して前記被搬送体を搬入搬出する
搬送アームからなる搬送搬入装置において、前記搬送ア
ームは、１からなる部材で構成され、パイプによりバキ
ューム源に連結された１箇の孔部と、前記被搬送体の下
面を支持する少なくとも２個の支持部とを備え、前記孔
部の上面の外周に弾性リングを設けるとともに、前記支
持部材と前記弾性リングは前記搬送アームの載置面より
突出した弾性突起であることを特徴とする。
【０００８】
【実施例】以下、本考案に係る搬入搬出装置の搬送アー
ムを図１を参照して説明する。図１は搬送アーム、即ち
バキュームハンドの簡単な平面図である。バキュームハ
ンドは大きさ例えば約１２０ｍｍ×３５０ｍｍ厚さ５ｍ
ｍ平板例えばアルミニウム板である。この平板の先端部
６はＵ字状をなし、長手方向表面の中心線部に点線で示
す例えば幅約５ｍｍの溝２を形成し、この溝２の上記Ｕ
字状側縁近傍の先端に円状吸着孔３を形成して、プラス
チック板４で蓋として溝２を気密に被い、角筒状吸引パ
イプを埋設する。上記吸着孔３の周囲縁部に上記平板よ
りわずかに例えば０．５ｍｍ表面上に出張って弾性体例
えばゴム性の０リング５を接着する。被搬送物であるＬ
ＣＤ容器を平面的に安定に把持するため、さらに２箇所
例えば上記Ｕ字状先端の突出した端部６に上記０リング
５を２箇所接着する。この０リング５について上記溝２
に結合させず、吸着をより強固にするための作用に寄与
している。溝２の吸着孔３と反対側の他端７はバキュー
ム源に接続される。このようにしてバキュームハンドが
構成される。このバキュームハンドは、直線移動ステー
ジ例えばボールねじを使用した１軸移動の水平ステージ
上に、さらに昇降可能な昇降ステージ例えば上記同様ボ
ールねじを使用した１軸移動の垂直ステージを設けたも
のに支持設置されたり、あるいはさらに必要に応じて回
転ステージを用いて回転可能に支持設置されてもよい。
これらの移動ステージは、命令制御信号を送受信する制
御部に送受信可能に接続されている。
ムを図１を参照して説明する。図１は搬送アーム、即ち
バキュームハンドの簡単な平面図である。バキュームハ
ンドは大きさ例えば約１２０ｍｍ×３５０ｍｍ厚さ５ｍ
ｍ平板例えばアルミニウム板である。この平板の先端部
６はＵ字状をなし、長手方向表面の中心線部に点線で示
す例えば幅約５ｍｍの溝２を形成し、この溝２の上記Ｕ
字状側縁近傍の先端に円状吸着孔３を形成して、プラス
チック板４で蓋として溝２を気密に被い、角筒状吸引パ
イプを埋設する。上記吸着孔３の周囲縁部に上記平板よ
りわずかに例えば０．５ｍｍ表面上に出張って弾性体例
えばゴム性の０リング５を接着する。被搬送物であるＬ
ＣＤ容器を平面的に安定に把持するため、さらに２箇所
例えば上記Ｕ字状先端の突出した端部６に上記０リング
５を２箇所接着する。この０リング５について上記溝２
に結合させず、吸着をより強固にするための作用に寄与
している。溝２の吸着孔３と反対側の他端７はバキュー
ム源に接続される。このようにしてバキュームハンドが
構成される。このバキュームハンドは、直線移動ステー
ジ例えばボールねじを使用した１軸移動の水平ステージ
上に、さらに昇降可能な昇降ステージ例えば上記同様ボ
ールねじを使用した１軸移動の垂直ステージを設けたも
のに支持設置されたり、あるいはさらに必要に応じて回
転ステージを用いて回転可能に支持設置されてもよい。
これらの移動ステージは、命令制御信号を送受信する制
御部に送受信可能に接続されている。
【０００９】次に、上記バキュームハンドを用いて、被
搬送体である液晶表示体素子基板をキャリアから取り出
す操作の一実施例を説明する。予めプログラムされた制
御部の液晶表示体素子基板搬送命令信号により、垂直ス
テージのボールねじを駆動させ上記ハンドをキャリアの
指定されたＬＣＤ容器位置まで上昇させる。さらに水平
ステージのボールねじを駆動させバキュームハンド１の
先端部６をキャリア内に挿入させると上記ＬＣＤ容器の
下面下に先端部６が位置する。溝２の端部７とバキュー
ム源とを接続操作して吸引することにより、吸着孔３で
短辺長例えば１５２〜３００ｍｍ、長辺長１５３〜４０
０ｍｍの液晶表示体素子基板を吸着させ、他の０リング
５を付設した先端２箇所６と共に平面を形成し強固に吸
着支持する。そして、水平ステージを移動させて液晶表
示素子基板をキャリア外に取り出す。この時液晶表示体
素子基板の隅短部キャリアに接触しても、先端２箇所６
では基板は固定されず接触して支持しているため、接触
点は微細距離移動され、液晶表示体素子基板は吸着孔３
を中心に回転し、キャリアに接触しない位置に回転させ
られ、キャリアにより破損されることなくキャリア外に
取り出される。そしてプレアライメントし検査あるいは
加工終了後、基板は再びバキュームハンドで移送され、
キャリアに収納される。
搬送体である液晶表示体素子基板をキャリアから取り出
す操作の一実施例を説明する。予めプログラムされた制
御部の液晶表示体素子基板搬送命令信号により、垂直ス
テージのボールねじを駆動させ上記ハンドをキャリアの
指定されたＬＣＤ容器位置まで上昇させる。さらに水平
ステージのボールねじを駆動させバキュームハンド１の
先端部６をキャリア内に挿入させると上記ＬＣＤ容器の
下面下に先端部６が位置する。溝２の端部７とバキュー
ム源とを接続操作して吸引することにより、吸着孔３で
短辺長例えば１５２〜３００ｍｍ、長辺長１５３〜４０
０ｍｍの液晶表示体素子基板を吸着させ、他の０リング
５を付設した先端２箇所６と共に平面を形成し強固に吸
着支持する。そして、水平ステージを移動させて液晶表
示素子基板をキャリア外に取り出す。この時液晶表示体
素子基板の隅短部キャリアに接触しても、先端２箇所６
では基板は固定されず接触して支持しているため、接触
点は微細距離移動され、液晶表示体素子基板は吸着孔３
を中心に回転し、キャリアに接触しない位置に回転させ
られ、キャリアにより破損されることなくキャリア外に
取り出される。そしてプレアライメントし検査あるいは
加工終了後、基板は再びバキュームハンドで移送され、
キャリアに収納される。
【００１０】上記実施例では、角型液晶表示体素子基板
を用いて説明したが、半導体ウエハもＦＡの他の部品で
もよい。さらに本考案のバキュームハンドは長方形に限
らず円形あるいは三角形状でも、被搬送体の形状に応じ
て変形し適用できるのはいうまでもない。又、バキュー
ムハンドの形状も上記のものに限らず先端部がＵ字状の
ものに限定されない。さらに、０リング付設位置も上記
の限りではなく、２箇所ならばよい。
を用いて説明したが、半導体ウエハもＦＡの他の部品で
もよい。さらに本考案のバキュームハンドは長方形に限
らず円形あるいは三角形状でも、被搬送体の形状に応じ
て変形し適用できるのはいうまでもない。又、バキュー
ムハンドの形状も上記のものに限らず先端部がＵ字状の
ものに限定されない。さらに、０リング付設位置も上記
の限りではなく、２箇所ならばよい。
【００１１】
【考案の効果】以上、説明したように本考案によれば、
搬送アームは、被搬送体を搬送アームの載置面上より突
起した弾性突起からなる弾性リング１箇所で吸着すると
ともに他の弾性突起からなる２箇所以上の支持部で支持
しているので、前記被搬送体の平面が維持される強力な
吸着が可能となる。また、吸着時及び移送時に破損しや
すい被搬送体も緩衝材により破損防止され、さらに被搬
送体は１箇所のみで吸着されており他の２箇所は支持部
上に支持されているので、前記搬送アームが前記被搬送
体を傾斜して吸着しても、被搬送体は支持部上を摺動し
てキャリアに沿って水平方向に微小移動することがで
き、前記被搬送体とキャリアとの接触による前記被搬送
体の破損を防止できる。すなわち、本考案の搬送アーム
を用いることにより、生産の自動化に対応し、安全に被
搬送体の損傷を防ぐことができる。
搬送アームは、被搬送体を搬送アームの載置面上より突
起した弾性突起からなる弾性リング１箇所で吸着すると
ともに他の弾性突起からなる２箇所以上の支持部で支持
しているので、前記被搬送体の平面が維持される強力な
吸着が可能となる。また、吸着時及び移送時に破損しや
すい被搬送体も緩衝材により破損防止され、さらに被搬
送体は１箇所のみで吸着されており他の２箇所は支持部
上に支持されているので、前記搬送アームが前記被搬送
体を傾斜して吸着しても、被搬送体は支持部上を摺動し
てキャリアに沿って水平方向に微小移動することがで
き、前記被搬送体とキャリアとの接触による前記被搬送
体の破損を防止できる。すなわち、本考案の搬送アーム
を用いることにより、生産の自動化に対応し、安全に被
搬送体の損傷を防ぐことができる。
【図１】本考案に係る搬送アームの平面図。
【図２】図１の搬送アームによるキャリアから角型基板
を取り出す一例の説明図。
を取り出す一例の説明図。
【図３】図１の断面図。
１ バキュームハンド ２ 溝 ３ 吸着孔 ４ ふた ５ ０リング ６ 先端 １１ キャリア １２ 基板
Claims (1)
- 【請求項１】 被搬送体を収納したキャリアに対して前
記被搬送体を搬入搬出する搬送アームからなる搬送搬入
装置において、 前記搬送アームは、１からなる部材で構成され、パイプ
によりバキューム源に連結された１箇の孔部と、前記被
搬送体の下面を支持する少なくとも２個の支持部とを備
え、 前記孔部の上面の外周に弾性リングを設けるとともに、
前記支持部材と前記弾性リングは前記搬送アームの載置
面より突出した弾性突起であることを特徴とする搬入搬
送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1994000436U JP2513261Y2 (ja) | 1994-02-07 | 1994-02-07 | 搬入搬出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1994000436U JP2513261Y2 (ja) | 1994-02-07 | 1994-02-07 | 搬入搬出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0727783U JPH0727783U (ja) | 1995-05-23 |
| JP2513261Y2 true JP2513261Y2 (ja) | 1996-10-02 |
Family
ID=11473767
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1994000436U Expired - Lifetime JP2513261Y2 (ja) | 1994-02-07 | 1994-02-07 | 搬入搬出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2513261Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4038653B2 (ja) * | 2001-12-03 | 2008-01-30 | 株式会社安川電機 | ウェハ搬送フォーク |
| JP4516089B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2010-08-04 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | ウェハ搬送用ブレード |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5524010U (ja) * | 1978-08-01 | 1980-02-16 | ||
| JPS61267622A (ja) * | 1985-05-20 | 1986-11-27 | Canon Inc | ウエハ搬送装置 |
-
1994
- 1994-02-07 JP JP1994000436U patent/JP2513261Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0727783U (ja) | 1995-05-23 |
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