JPH0727783U - 搬入搬出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 吸着した被搬送体の回動を許すことに、生産
の自動化に対応し、簡単に大きな板状体の損傷を防ぐこ
とのできる搬入搬出装置を提供する。 【構成】 被搬送体を収納したキャリアと、このキャリ
アに対して被搬送体を搬入搬出する搬送アーム１と、該
アーム１に設けたパイプ２を介してバキューム源に連結
された孔３と、孔部３の上面外周に載置面より突出して
設けた弾性リング５と、前記搬送アーム１の少なくとも
２箇所に載置面より突出して設けられた前記被搬送体の
下面を支持する弾性突起からなる支持部５を設けた搬入
搬出装置。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は搬入搬出装置に係り、特にＬＣＤ（液晶表示体素子）等の角型ガラ ス板を搬送するのに好適な搬入搬出装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

一般にＬＳＩ（半導体集積回路）やＬＣＤ等の製造工程においては、半導体ウ エハやがラス基板が複数枚収納されたキャリアを各加工装置又は各検査装置のロ ーダに自動（ＦＭＳ）あるいは手動で移送される。キャリアをローダにセットす ると各装置のローダにおいてベルトあるいはバキュームハンドなどの搬送手段に よってキャリア内の上記ウエハ又は基板は１枚ずつ順次取り出され、所定の位置 合わせ（アライメント）の後、加工又は検査され、加工又は検査が終了後、ウエ ハ又は基板は再び上記の搬送手段によって搬送されてキャリア内に収納される。

【０００３】 ところで、近年のＬＣＤ技術の進歩によりテレビ、マイコン等の表示装置等に 用いられる大型ＬＣＤ用ガラス基板が製造されるようになった。このような基板 は１５０ｃｍ²ないし３５０ｃｍ²程度と大きく、厚みは１〜２ｍｍと非常に薄い ものでこわれやすく製造時及び検査時の取扱は特に慎重を期さなければならず、 従って搬送装置もそのような点が重要となってくる。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、このようなＬＣＤ等の角型基板の搬送には従来のシリコンウエハ用の 搬送機構をそのまま用いており、例えばバキュームハンドは金属あるいは樹脂材 であり、先端がＵ字状を成し、そのＵ字に沿って複数の吸着孔が形成されている ものがある。このようなバキュームハンドのＵ字状の先端部を基板を複数枚例え ば１５〜２５枚程度収納したキャリアへ、挿入し、吸着孔により基板を吸着し保 持して、プレアライメントを行う載置台へ搬送する。 この時、バキュームハンドが重量のあるものを吸着するために、かなり強い力 で吸着しなければならず、吸着時に損傷しやすいという問題点があった。

【０００５】 また、バキュームハンドが円形の基板をキャリアから取り出す場合、基板の中 心をずらして吸着して取り出しても問題は起こらないが、基板が角型の場合、基 板を傾斜して吸着し、取り出すと破損するという問題が生ずる。すなわち図２に 示すようにバキュームハンド１の先端部がキャリア１１に挿入され、基板１２を 吸着して取り出す場合、バキュームハンド１の先端部がキャリア１１に対して傾 斜して基板１２を吸着し取り出すと、基板の隅端部１３はＡ点において、キャリ ア１１の壁にあたり、隅端部を損傷するという問題が生ずる。

【０００６】 本考案は上記問題点を解消するためになされたもので、生産の自動化に対応し 、簡単に大きな板状体の損傷を防ぐことのできる搬入搬出装置を提供することを 目的とするものである。

【０００７】

【問題点を解決するための手段】

本考案は、被搬送体を収納したキャリアと、このキャリアに対して前記被搬送 体を搬入搬出する搬送アームと、前記搬送アームの１箇所に設けられパイプによ りバキューム源に連結された孔部と、この孔部の上面の外周に設けた弾性リング と、前記搬送アームの少なくとも２箇所に設けられた前記被搬送体の下面を支持 する支持部とを備え、前記支持部と前記弾性リングは、前記搬送アームの載置面 より突出した弾性突起であることを特徴とする。

【０００８】

【実施例】

以下、本考案に係る搬入搬出装置の搬送アームを図１を参照して説明する。 図１は搬送アーム、即ちバキュームハンドの簡単な平面図である。バキューム ハンドは大きさ例えば約１２０ｍｍ×３５０ｍｍ厚さ５ｍｍ平板例えばアルミニ ウム板である。この平板の先端部６はＵ字状をなし、長手方向表面の中心線部に 点線で示す例えば幅約５ｍｍの溝２を形成し、この溝２の上記Ｕ字状側縁近傍の 先端に円状吸着孔３を形成して、プラスチック板４で蓋として溝２を機密に被い 、角筒状吸引パイプを埋設する。上記吸着孔３の周囲縁部に上記平板よりわずか に例えば０．５ｍｍ表面上に出張って弾性体例えばゴム性の０リング５を接着す る。被搬送物であるＬＣＤ容器を平面的に安定に把持するため、さらに２箇所例 えば上記Ｕ字状先端の突出した端部６に上記０リング５を２箇所接着する。この ０リング５について上記溝２に結合させず、吸着をより強固にするための作用に 寄与している。溝２の吸着孔３と反対側の他端７はバキューム源に接続される。 このようにしてバキュームハンドが構成される。このバキュームハンドは、直線 移動ステージ例えばボールねじを使用した１軸移動の水平ステージ上に、さらに 昇降可能な昇降ステージ例えば上記同様ボールねじを使用した１軸移動の垂直ス テージを設けたものに支持設置されたり、あるいはさらに必要に応じて回転ステ ージを用いて回転可能に支持設置されてもよい。これらの移動ステージは、命令 制御信号を送受信する制御部に送受信可能に接続されている。

【０００９】 次に、上記バキュームハンドを用いて、被搬送体である液晶表示体素子基板を キャリアから取り出す操作の一実施例を説明する。 予めプログラムされた制御部の液晶表示体素子基板搬送命令信号により、垂直 ステージのボールねじを駆動させ上記ハンドをキャリアの指定されたＬＣＤ容器 位置まで上昇させる。さらに水平ステージのボールねじを駆動させバキュームハ ンド１の先端部６をキャリア内に挿入させると上記ＬＣＤ容器の下面下に先端部 ６が位置する。溝２の端部７とバキューム源とを接続操作して吸引することによ り、吸着孔３で短辺長例えば１５２〜３００ｍｍ、長辺長１５３〜４００ｍｍの 液晶表示体素子基板を吸着させ、他の０リング５を付設した先端２箇所６と共に 平面を形成し強固に吸着支持する。そして、水平ステージを移動させて液晶表示 素子基板をキャリア外に取り出す。この時液晶表示体素子基板の隅短部キャリア に接触しても、先端２箇所６では基板は固定されず接触して支持しているため、 接触点は微細距離移動され、液晶表示体素子基板は吸着孔３を中心に回転し、キ ャリアに接触しない位置に回転させられ、キャリアにより破損されることなくキ ャリア外に取り出される。そしてプレアライメントし検査あるいは加工終了後、 基板は再びバキュームハンドで移送され、キャリアに収納される。

【００１０】 上記実施例では、角型液晶表示体素子基板を用いて説明したが、半導体ウエハ もＦＡの他の部品でもよい。さらに本考案のバキュームハンドは長方形に限らず 円形あるいは三角形状でも、被搬送体の形状に応じて変形し適用できるのはいう までもない。又、バキュームハンドの形状も上記のものに限らず先端部がＵ字状 のものに限定されない。さらに、０リング付設位置も上記の限りではなく、２箇 所ならばよい。

【００１１】

【考案の効果】

以上、説明したように本考案によれば、搬送アームは、被搬送体を搬送アーム の載置面上より突起した弾性突起からなる弾性リング１箇所で吸着するとともに 他の弾性突起からなる２箇所以上の支持部で支持しているので、前記被搬送体の 平面が維持される強力な吸着が可能となる。また、吸着時及び移送時に破損しや すい被搬送体も緩衝材により破損防止され、さらに被搬送体は１箇所のみで吸着 されており他の２箇所は支持部上に支持されているので、前記搬送アームが前記 被搬送体を傾斜して吸着しても、被搬送体は支持部上を摺動してキャリアに沿っ て水平方向に微小移動することができ、前記被搬送体とキャリアとの接触による 前記被搬送体の破損を防止できる。 すなわち、本考案の搬送アームを用いることにより、生産の自動化に対応し、 安全に被搬送体の損傷を防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係る搬送アームの平面図。

【図２】図１の搬送アームによるキャリアから角型基板
を取り出す一例の説明図。

【図３】図１の断面図。

【符号の説明】

１ バキュームハンド ２ 溝 ３ 吸着孔 ４ ふた ５ ０リング ６ 先端 １１ キャリア １２ 基板

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 被搬送体を収納したキャリアと、このキ
   ャリアに対して前記被搬送体を搬入搬出する搬送アーム
   と、前記搬送アームの１箇所に設けられたパイプにより
   バキューム源に連結された孔部と、この孔部の上面の外
   周に設けた弾性リングと、前記搬送アームの少なくとも
   ２箇所に設けられた前記被搬送体の下面を指示する支持
   部とを備え、前記支持部と前記弾性リングは前記搬送ア
   ームの載置面より突出した弾性突起であることを特徴と
   する搬入搬出装置。