JPH0511992Y2

JPH0511992Y2 -

Info

Publication number: JPH0511992Y2
Application number: JP1987158501U
Authority: JP
Priority date: 1987-10-16
Filing date: 1987-10-16
Publication date: 1993-03-25
Anticipated expiration: 2002-10-16
Also published as: JPH0164387U

Description

【考案の詳細な説明】［産業上の利用分野］この考案は搬入搬出装置に係り、特にLCD（液
晶表示体素子）等の角型ガラス板を搬送するのに
好適な搬入搬出装置に関する。

［従来の技術］一般にLSI（半導体集積回路）やLCD等の製造
工程においては、半導体ウエハはガラス基板が複
数枚収納されたキヤリアを各加工装置又は各検査
装置のローダに自動（FMS）あるいは手動で移
送される。キヤリアをローダにセツトすると各装
置のローダにおいてベルトあるいはバキユームハ
ンドなどの搬送手段によつてキヤリア内の上記ウ
エハ又は基板は１枚ずつ順次取り出され、所定の
位置合わせ（アライメント）の後、加工又は検査
され、加工又は検査が終了後、ウエハ又は基板は
再び上記の搬送手段によつて搬送されてキヤリア
内に収納される。

ところで、近年のLCD技術の進歩によりテレ
ビ、マイコン等の表示装置等に用いられる大型
LCD用ガラス基板が製造されるようになつた。
このような基板は150cm²ないし350cm²程度と大き
く、厚みは１〜２mmと非常に薄いものでこわれや
すく製造時及び検査時の取扱いは特に慎重を期さ
なければならず、従つて搬送装置もそのような点
が重要となつてくる。

［考案が解決しようとする問題点］しかし、このようなLCD等の角型基板の搬送
には従来のシリコンウエハ用の搬送機構をそのま
ま用いており、例えばバキユームハンドは金属あ
るいは樹脂材であり、先端がＵ字状を成し、その
Ｕ字に沿つて複数の吸着孔が形成されているもの
がある。このようなバキユームハンドのＵ字状の
先端部を基板を複数枚例えば15〜25枚程度収納し
たキヤリアへ、挿入し、吸着孔により基板を吸着
し保持して、プレアライメントを行う載置台へ搬
送する。

この時、バキユームハンドが重量のあるものを
吸着するために、かなり強い力で吸着しなければ
ならず、吸着時に損傷しやすいという問題点があ
つた。

また、バキユームハンドが円形の基板をキヤリ
アから取り出す場合、基板の中心をずらして吸着
して取り出しても問題は起らないが、基板が角型
の場合、基板を傾斜して吸着し、取り出すと破損
するという問題が生ずる。すなわち第２図に示す
ようにバキユームハンドの先端部１がキヤリア１
１に挿入され、基板１２を吸着して取り出す場
合、バキユームハンドの先端部１がキヤリア１１
に対して傾斜して基板１２を吸着し取り出すと、
基板の隅端部１３はＡ点において、キヤリア１１
の壁にあたり、隅端部を損傷するという問題が生
ずる。

本考案は上記問題点を解消するためになされた
もので、生産の自動化に対応し、簡単に大きな板
状体の損傷を防ぐことのできる搬入搬出装置を提
供することを目的とするものである。

［問題点を解決するための手段］本考案は、被搬送体を収納したキヤリアと、こ
のキヤリアに対して前記被搬送体を搬入搬出する
搬送アームと、前記搬送アームの１カ所に設けら
れたパイプによりバキユーム源に連結された孔部
と、この孔部の上面の外周に設けた弾性リング
と、前記搬送アームの少なくとも２カ所に設けら
れ前記被搬送体の下面を支持する支持部とを備え
たことを特徴とする。

［実施例］以下、本考案に係る搬入搬出装置の搬送アーム
を第１図を参照して説明する。

第１図は搬送アーム、即ちバキユームハンドの
簡単な平面図である。バキユームハンドは大きさ
例えば約120mm×350mm厚さ５mm平板例えばアルミ
ニウム板である。この平板の先端部１はＵ字状を
なし、長手方向表面の中心線部に点線で示す例え
ば幅約５mmの溝２を形成し、この溝２の上記Ｕ字
状側縁近傍の先端に円状吸着口３を形成して、プ
ラスチツク板４で蓋として溝２を気密に被い、角
筒状吸引パイプを埋設する。上記吸着口３の周囲
縁部に上記平板よりわずかに例えば0.5mm表面上
に出張つて弾性体例えばゴム製のＯリング５を接
着する。被搬送物であるLCD容器を平面的に安
定に把持するため、さらに２個所例えば上記Ｕ字
状先端の突出した端部６に上記Ｏリング５を２個
所接着する。このＯリング５について上記溝２に
結合させず、吸着をより強固にするための作用に
寄与している。しかし、必要に応じて、上記吸着
用の溝２を導口させ、吸着機能を持たせると更に
強固な吸着が可能となる。溝２の吸着口３と固対
側の他端７はバキユーム源に接続させる。このよ
うにしてバキユームハンドが構成される。このバ
キユームハンドは、直線移動ステージ例えばボー
ルねじを使用した１軸移動の水平ステージ上に、
さらに昇降可能な昇降ステージ例えば上記同様ボ
ールねじを使用した１軸移動の垂直ステージを設
けたものに支持設置されたり、あるいはさらに必
要に応じて回路ステージを用いて回路可能に支持
設置されてもよい。これらの移動ステージは、命
令制御信号を送受信する制御部に送受信可能に接
続されている。

次に、上記バキユームハンドを用いて、被搬送
体である液晶表示体素子基板をキヤリアから取り
出す操作の一実施例を説明する。

矛めプログラムされた制御部の液晶表示体素子
基板搬送命令信号により、垂直ステージのボール
ねじを駆動させ上記ハンドをキヤリアの指定され
たLCD容器位置まで上昇させる。さらに水平ス
テージのボールねじを駆動させバキユームハンド
の先端部１をキヤリア内に挿入させると上記
LCD容器の下面下に先端部１が位置する。溝２
の端部７とバキユーム源とを接続操作して吸引す
ることにより、吸着孔３で短辺長例えば152〜300
mm、長辺長153〜400mmの液晶表示体素子基板を吸
着させ、他のＯリング５を付設した先端２個所６
と共に平面を形成し強個に吸着支持する。そし
て、水平ステージを移動させて液晶表示体素子基
板をキヤリア外に取り出す。この時液晶表示体素
子基板の隅端部がキヤリアに接触しても、先端２
個所６では基板は固定されず接触して支持してい
るため、接触点は微細距離移動され、液晶表示体
素子基板は吸着孔３を中心に回転し、キヤリアに
接触しない位置に回転させられ、キヤリアにより
破損されることなくキヤリア外に取り出される。
そしてプレアライメントし検査あるいは加工終了
後、基板は再びバキユームハンドで移送され、キ
ヤリアに収納される。

上記実施例では、角型液晶表示体素子基板を用
いて説明したが、半導体ウエハでもFAの他の部
品でもよい。さらに本考案のバキユームハンドは
長方形に限らず円形あるいは三角形状でも、被搬
送体の形状に応じて変形し適用できるのはいうま
でもない。又、バキユームハンドの形状も上記の
ものに限らず先端部がＵ字状のものに限定されな
い。さらに、Ｏリング付設位置も上記の限りでは
なく、２個所ならばよい。

［考案の効果］以上、説明したように本考案によれば、１カ所
で吸着するとともに他の２カ所以上で支持してい
るので、被搬送体を水平に保持することができ
る。また、平面が維持されて強力な吸着が可能と
なり、吸着時及び移送時に破損しやすい被搬送体
も緩衝材により破損防止され、さらに被搬送体は
１カ所のみで吸着されているので、キヤリアと接
触した場合でも、被搬送体が水平方向に微小移動
することができ、接触による破損を防止できる。

すなわち、本考案の搬送アームを用いることに
より、生産の自動化に対応し、安全に被搬送体の
損傷を防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る搬送アームの平面図、第
２図は第１図の搬送アームによるキヤリアから角
型基板を取り出す一例の説明図、第３図は第１図
の断面図である。１……バキユームハンドの先端部、２……溝、
３……吸着孔、４……ふた、５……Ｏリング、６
……先端、１１……キヤリヤ、１２……基板。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

被搬送体を収納したキヤリアと、このキヤリア
に対して前記被搬送体を搬入搬出する搬送アーム
と、前記搬送アームの１カ所に設けられパイプに
よりバキユーム源に連結された孔部と、この孔部
の上面の外周に設けた弾性リングと、前記搬送ア
ームの少なくとも２カ所に設けられ前記被搬送体
の下面を支持する支持部とを備えたことを特徴と
する搬入搬出装置。