JPH0721458Y2 - ウエハ搬送アーム - Google Patents
ウエハ搬送アームInfo
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- JPH0721458Y2 JPH0721458Y2 JP1989127985U JP12798589U JPH0721458Y2 JP H0721458 Y2 JPH0721458 Y2 JP H0721458Y2 JP 1989127985 U JP1989127985 U JP 1989127985U JP 12798589 U JP12798589 U JP 12798589U JP H0721458 Y2 JPH0721458 Y2 JP H0721458Y2
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Description
【考案の詳細な説明】 《産業上の利用分野》 この考案は、半導体ウエハ等の基板を吸着保持して搬送
するウエハ搬送アームに関するものである。
するウエハ搬送アームに関するものである。
《従来の技術》 この種のウエハ搬送アームとしては、従来より例えば第
４図中符号110で示すものが知られている。なお同図中
符号100はアーム旋回式基板搬送装置を示し、この装置
は、内部に回転駆動部（図示せず）を備える基台101上
に回転軸102を延出し、回転軸102に旋回アーム103の基
端部を固定し、旋回アーム103の先端部に連結軸104を回
転自在に軸支し、連結軸104にウエハ搬送アーム110の基
端部を固定し、回転軸102に軸着した固定プーリ105と連
結軸104の下端に固定した回転プーリ（図示せず）との
間に無端ベルト106を巻き掛け、旋回アーム103の回転に
連動して搬送アーム110を旋回アーム103とは逆方向に回
転させ、搬送アーム110内には、基端部から先端部にわ
たり吸気連通路（図示せず）を形成し、先端部上面に開
口した吸気口の負圧吸引力によりウエハＷを吸着保持し
て搬送するように構成されている。なお、第４図中符号
108は多数の基端Ｗを上下多段に収容できるウエハカセ
ットである。
４図中符号110で示すものが知られている。なお同図中
符号100はアーム旋回式基板搬送装置を示し、この装置
は、内部に回転駆動部（図示せず）を備える基台101上
に回転軸102を延出し、回転軸102に旋回アーム103の基
端部を固定し、旋回アーム103の先端部に連結軸104を回
転自在に軸支し、連結軸104にウエハ搬送アーム110の基
端部を固定し、回転軸102に軸着した固定プーリ105と連
結軸104の下端に固定した回転プーリ（図示せず）との
間に無端ベルト106を巻き掛け、旋回アーム103の回転に
連動して搬送アーム110を旋回アーム103とは逆方向に回
転させ、搬送アーム110内には、基端部から先端部にわ
たり吸気連通路（図示せず）を形成し、先端部上面に開
口した吸気口の負圧吸引力によりウエハＷを吸着保持し
て搬送するように構成されている。なお、第４図中符号
108は多数の基端Ｗを上下多段に収容できるウエハカセ
ットである。
そして、上記ウエハ搬送アーム110としては例えばアル
ミナ製の薄板材によって形成され、その上面を４フッ化
エチレン等の耐食・耐摩耗性樹脂で被覆したもの（以下
従来例１という）、あるいは耐熱用としてウエハ搬送ア
ーム110全体を石英ガラス材料で形成したもの（以下従
来例２という）が知られている。
ミナ製の薄板材によって形成され、その上面を４フッ化
エチレン等の耐食・耐摩耗性樹脂で被覆したもの（以下
従来例１という）、あるいは耐熱用としてウエハ搬送ア
ーム110全体を石英ガラス材料で形成したもの（以下従
来例２という）が知られている。
《考案が解決しようとする課題》 上記従来例１は、ウエハ保持面がフッ素樹脂で被覆され
ているので、シリコンウエハを損傷させるおそれもな
く、また、薄板材で形成されているので、ウエハカセッ
ト108内に狭いピッチで多段に収容されているウエハＷ
をランダムに取り出し、あるいは挿入できるものの、フ
ッ素樹脂被覆の耐熱温度が約230℃程度であるため、加
熱炉で熱処理したウエハを取り出す場合には、ウエハが
約600℃程度の高温であるため使用可能である。なお、
フッ素樹脂被覆なしで、つまりアルミナ製薄板材の生地
のままのウエハ搬送アームを用いることも考えられる
が、この場合にはアルミナ材の方がシリコンウエハより
硬質材料であり、表面が粗いため、シリコンウエハを損
傷させるおそれがあり、実用的でない。
ているので、シリコンウエハを損傷させるおそれもな
く、また、薄板材で形成されているので、ウエハカセッ
ト108内に狭いピッチで多段に収容されているウエハＷ
をランダムに取り出し、あるいは挿入できるものの、フ
ッ素樹脂被覆の耐熱温度が約230℃程度であるため、加
熱炉で熱処理したウエハを取り出す場合には、ウエハが
約600℃程度の高温であるため使用可能である。なお、
フッ素樹脂被覆なしで、つまりアルミナ製薄板材の生地
のままのウエハ搬送アームを用いることも考えられる
が、この場合にはアルミナ材の方がシリコンウエハより
硬質材料であり、表面が粗いため、シリコンウエハを損
傷させるおそれがあり、実用的でない。
一方、従来例２は、ウエハ搬送アームの素材が石英ガラ
スであるから、耐熱性が良好であり、かつ研磨された滑
らかな面でシリコンウエハと接触するため、ウエハを損
傷するおそれもない。
スであるから、耐熱性が良好であり、かつ研磨された滑
らかな面でシリコンウエハと接触するため、ウエハを損
傷するおそれもない。
しかしながら、石英ガラスは脆性材料であるため、ウエ
ハ搬送アームとして必要な強度を確保するには板厚を十
分厚くしなければならず、この場合には、ウエハカセッ
ト108内に狭いピッチで多段に収容されているウエハＷ
をランダムに取り出し、あるいは挿入できないという難
点がある。
ハ搬送アームとして必要な強度を確保するには板厚を十
分厚くしなければならず、この場合には、ウエハカセッ
ト108内に狭いピッチで多段に収容されているウエハＷ
をランダムに取り出し、あるいは挿入できないという難
点がある。
本考案はこのような事情を考慮してなされたもので、 イ．高温のウエハの搬送に使用できるようにすること、 ロ．シリコンウエハの損傷のおそれをなくすること、 ハ．ウエハカセット内に狭いピッチで多段に収容されて
いるウエハをランダムに取り出し、挿入できるようにす
ること、 を可能にするため、研磨石英で形成されたウエハ吸着部
と、接合面が十分な平面性を有するように加工された剛
性材とを、ウエハ吸着時の気密性を確実に、かつ剛性材
に対するウエハの平行度を維持するように接着した搬送
アームの提供を技術課題とする。
いるウエハをランダムに取り出し、挿入できるようにす
ること、 を可能にするため、研磨石英で形成されたウエハ吸着部
と、接合面が十分な平面性を有するように加工された剛
性材とを、ウエハ吸着時の気密性を確実に、かつ剛性材
に対するウエハの平行度を維持するように接着した搬送
アームの提供を技術課題とする。
《課題を解決するための手段》 本考案は上記課題を解決するものとして以下のように構
成される。
成される。
即ち、薄板材で形成したアーム本体内に基端部から先端
部へ亙り吸気連通路を形成し、先端部の上面に吸着口を
開口したウエハ吸着部を具備して成るウエハ搬送アーム
において、アーム本体を剛性材で、ウエハ吸着部を石英
材でそれぞれ別体に形成し、アーム本体とウエハ吸着部
とは互いに平坦な接合面を向かい合わせにして、その接
合面のうちの少なくともいずれか一方の接合面に、接着
剤充填溝を吸着口の周囲に凹設し、接着剤充填溝内に充
填した接着剤でアーム本体とウエハ吸着部とを接着する
ことにより、両者を気密接合するとともに、ウエハ吸着
部をアーム本体上面より突設したことを特徴とするもの
である。
部へ亙り吸気連通路を形成し、先端部の上面に吸着口を
開口したウエハ吸着部を具備して成るウエハ搬送アーム
において、アーム本体を剛性材で、ウエハ吸着部を石英
材でそれぞれ別体に形成し、アーム本体とウエハ吸着部
とは互いに平坦な接合面を向かい合わせにして、その接
合面のうちの少なくともいずれか一方の接合面に、接着
剤充填溝を吸着口の周囲に凹設し、接着剤充填溝内に充
填した接着剤でアーム本体とウエハ吸着部とを接着する
ことにより、両者を気密接合するとともに、ウエハ吸着
部をアーム本体上面より突設したことを特徴とするもの
である。
《作用》 本考案では、石英材で形成されたウエハ吸着部と剛性材
で形成されたアーム本体とが接着剤を充填した凹溝を介
して気密接合されており、高温のウエハの搬送にも使用
し得る。
で形成されたアーム本体とが接着剤を充填した凹溝を介
して気密接合されており、高温のウエハの搬送にも使用
し得る。
そして石英材で形成されたウエハ吸着部はその表面が滑
らかであり、また、ウエハ吸着部はアーム本体上面より
突設されているので、ウエハがアーム本体と接触するお
それがない。つまり、ウエハの吸着搬送に際しシリコン
ウエハに損傷を与えることもない。
らかであり、また、ウエハ吸着部はアーム本体上面より
突設されているので、ウエハがアーム本体と接触するお
それがない。つまり、ウエハの吸着搬送に際しシリコン
ウエハに損傷を与えることもない。
また、アーム本体は剛性の薄板材で形成されており、搬
送アームとして必要な強度が確保される。従ってアーム
本体にウエハ吸着部を接着した状態でも、全体の厚みは
ウエハカセットの収容ピッチよりも十分小さくなる。な
お、両者の接合面はあらかじめ十分な平面性を有するよ
うに加工されており、それらは吸着口の周囲に凹設した
接着剤充填溝に接着剤を充填して気密接合される。これ
により接合面の密着精度は確保され、真空漏れを生じな
い。
送アームとして必要な強度が確保される。従ってアーム
本体にウエハ吸着部を接着した状態でも、全体の厚みは
ウエハカセットの収容ピッチよりも十分小さくなる。な
お、両者の接合面はあらかじめ十分な平面性を有するよ
うに加工されており、それらは吸着口の周囲に凹設した
接着剤充填溝に接着剤を充填して気密接合される。これ
により接合面の密着精度は確保され、真空漏れを生じな
い。
《実施例》 第１図は本考案の１実施例を示すウエハ搬送アームの平
面図、第２図はその縦断面図である。なお符号10はウエ
ハ搬送アーム全体を示す。
面図、第２図はその縦断面図である。なお符号10はウエ
ハ搬送アーム全体を示す。
このウエハ搬送アーム10はアーム本体11と、アーム本体
11の先端部に接着されたウエハ吸着部16とから成る。
11の先端部に接着されたウエハ吸着部16とから成る。
アーム本体11は、例えばアルミナ等の耐熱剛性材を薄板
状に形成し、アーム本体11内に基端部から先端部へわた
り吸気連通路12を形成し、先端部に吸気口13aを開口し
て、その周囲に接着剤充填溝14が凹設されている。この
アーム本体11の基端部は連結軸４にねじ止めされる。
状に形成し、アーム本体11内に基端部から先端部へわた
り吸気連通路12を形成し、先端部に吸気口13aを開口し
て、その周囲に接着剤充填溝14が凹設されている。この
アーム本体11の基端部は連結軸４にねじ止めされる。
ウエハ吸着部16は石英材から成り、中央部に吸気口13b
を開口し、アーム本体11の接着剤充填溝14内に充填した
耐熱性の接着剤でアーム本体11の先端部に接着される。
なお、14aは外部より耐熱性の接着剤を挿入するための
挿入溝であり、接着剤充填溝14と連接されている。
を開口し、アーム本体11の接着剤充填溝14内に充填した
耐熱性の接着剤でアーム本体11の先端部に接着される。
なお、14aは外部より耐熱性の接着剤を挿入するための
挿入溝であり、接着剤充填溝14と連接されている。
ここで、耐熱性接着剤としては、例えば東亜合成化学
（株）製のアロンセラミック（商標）を使用することが
できる。ちなみに耐熱温度は約1300℃である。なおこの
接着剤の充填に際しては、アーム本体11とウエハ吸着部
16との接合面Ｓ間に接着剤が拡大しないように配慮す
る。接合面Ｓの密着精度が損なわれ、真空漏れの原因と
なるからである。
（株）製のアロンセラミック（商標）を使用することが
できる。ちなみに耐熱温度は約1300℃である。なおこの
接着剤の充填に際しては、アーム本体11とウエハ吸着部
16との接合面Ｓ間に接着剤が拡大しないように配慮す
る。接合面Ｓの密着精度が損なわれ、真空漏れの原因と
なるからである。
第３図は上記ウエハ搬送アーム10の変形実施例を示す要
部縦断面図である。この実施例はウエハ吸着部16の被接
着部17を凸状に形成して接着面積を拡大し、より一層強
固に接着するとともに、気密性を高めるようにしたもの
である。
部縦断面図である。この実施例はウエハ吸着部16の被接
着部17を凸状に形成して接着面積を拡大し、より一層強
固に接着するとともに、気密性を高めるようにしたもの
である。
なお、上記実施例ではいずれもアーム本体側接合面に接
着剤充填溝を凹設したものについて例示したが、この接
着剤充填溝はアーム本体、又はウエハ吸着部の互いに平
坦な接合面のうちの少なくともいずれか一方の接合面に
凹設すれば足りる。
着剤充填溝を凹設したものについて例示したが、この接
着剤充填溝はアーム本体、又はウエハ吸着部の互いに平
坦な接合面のうちの少なくともいずれか一方の接合面に
凹設すれば足りる。
《考案の効果》 以上の説明で明らかなように、本考案によれば次の効果
を奏する。
を奏する。
イ．石英材で形成されたウエハ吸着部を剛性材で形成さ
れたアーム本体に接着剤で接着した構造であるから、高
温のウエハ搬送に使用できる。
れたアーム本体に接着剤で接着した構造であるから、高
温のウエハ搬送に使用できる。
ロ．石英材で形成されたウエハ吸着部は、アーム本体上
面より突設されているから、ウエハを吸着保持する際に
ウエハがアーム本体と接触するおそれがなく、ウエハに
損傷を与えるおそれはない。
面より突設されているから、ウエハを吸着保持する際に
ウエハがアーム本体と接触するおそれがなく、ウエハに
損傷を与えるおそれはない。
ハ．アーム本体は剛性の薄板材から成り、必要な強度を
確保しながら、全体としてその厚みはウエハカセットの
収容ピッチより十分小さくできるので、ウエハカセット
内のウエハをランダムに取り出し、挿入することができ
る。
確保しながら、全体としてその厚みはウエハカセットの
収容ピッチより十分小さくできるので、ウエハカセット
内のウエハをランダムに取り出し、挿入することができ
る。
ニ．石英材で形成されたウエハ吸着部の接合面と剛性材
で形成されたアーム本体の接合面は、平面性を有するよ
うに平坦に加工されており、その接合面のうちの少なく
ともいずれか一方の接合面に、接着剤充填溝を吸着口の
周囲に凹設し、この接着剤充填溝内に接着剤を充填する
ことにより、両者は気密接合されるので、真空漏れは生
じない。しかも、接合面間に接着剤が介在することはな
く、接合面相互の密着精度は確保されるので、ウエハ吸
着部のアーム本体に対する平行度が確保され、ひいて
は、ウエハに対するウエハ吸着部の平行度も確保され
る。これにより、ウエハを水平に吸着保持して搬送し、
ウエハカセットに出し入れすることができる。
で形成されたアーム本体の接合面は、平面性を有するよ
うに平坦に加工されており、その接合面のうちの少なく
ともいずれか一方の接合面に、接着剤充填溝を吸着口の
周囲に凹設し、この接着剤充填溝内に接着剤を充填する
ことにより、両者は気密接合されるので、真空漏れは生
じない。しかも、接合面間に接着剤が介在することはな
く、接合面相互の密着精度は確保されるので、ウエハ吸
着部のアーム本体に対する平行度が確保され、ひいて
は、ウエハに対するウエハ吸着部の平行度も確保され
る。これにより、ウエハを水平に吸着保持して搬送し、
ウエハカセットに出し入れすることができる。
第１図は本考案に係るウエハ搬送アームの平面図、第２
図はその縦断面図、第３図はウエハ搬送アームの変形例
を示す要部縦断面図、第４図はアーム旋回式基板搬送装
置の斜視図である。 11……アーム本体、12……吸気連通路、13・13a・13b…
…吸着口、14……接着剤充填溝、15……耐熱接着剤、16
……ウエハ吸着部。
図はその縦断面図、第３図はウエハ搬送アームの変形例
を示す要部縦断面図、第４図はアーム旋回式基板搬送装
置の斜視図である。 11……アーム本体、12……吸気連通路、13・13a・13b…
…吸着口、14……接着剤充填溝、15……耐熱接着剤、16
……ウエハ吸着部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭49−69073（ＪＰ，Ａ) 特開 昭50−136566（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−1017（ＪＰ，Ａ) 特公 昭53−14350（ＪＰ，Ｂ２) 実公 昭53−18269（ＪＰ，Ｙ２)
Claims (1)
- 【請求項１】薄板材で形成したアーム本体内に基端部か
ら先端部へ亙り吸気連通路を形成し、先端部の上面に吸
着口を開口したウエハ吸着部を具備して成るウエハ搬送
アームにおいて、 アーム本体を剛性材で、ウエハ吸着部を石英材でそれぞ
れ別体に形成し、アーム本体とウエハ吸着部とは互いに
平坦な接合面を向かい合わせにして、その接合面のうち
の少なくともいずれか一方の接合面に、接着剤充填溝を
吸着口の周囲に凹設し、接着剤充填溝内に充填した接着
剤でアーム本体とウエハ吸着部とを接着することによ
り、両者を気密接合するとともに、ウエハ吸着部をアー
ム本体上面より突設したことを特徴とするウエハ搬送ア
ーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989127985U JPH0721458Y2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | ウエハ搬送アーム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989127985U JPH0721458Y2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | ウエハ搬送アーム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0366928U JPH0366928U (ja) | 1991-06-28 |
| JPH0721458Y2 true JPH0721458Y2 (ja) | 1995-05-17 |
Family
ID=31675718
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989127985U Expired - Lifetime JPH0721458Y2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | ウエハ搬送アーム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0721458Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4494871B2 (ja) * | 2004-05-28 | 2010-06-30 | 新日本製鐵株式会社 | 赤熱鋼板の吸引式搬送装置 |
| JP6742849B2 (ja) * | 2016-07-29 | 2020-08-19 | 株式会社アルバック | 基板搬送ロボット、真空処理装置 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3910620A (en) * | 1974-04-15 | 1975-10-07 | American Chain & Cable Co | High temperature vacuum pad lift |
| JPS5314350A (en) * | 1976-07-27 | 1978-02-08 | Mitsubishi Electric Corp | Current detector |
| JPS6395241U (ja) * | 1986-12-12 | 1988-06-20 | ||
| JPS63160222A (ja) * | 1986-12-23 | 1988-07-04 | Mitsubishi Electric Corp | ウエハホルダ |
| JPH0511992Y2 (ja) * | 1987-10-16 | 1993-03-25 |
-
1989
- 1989-10-31 JP JP1989127985U patent/JPH0721458Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0366928U (ja) | 1991-06-28 |
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