JPH03217041A - 基板搬送用アーム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、半導体ウエハやガラス基板、セラミック基板
などの基板を搬送する基板搬送装置において、基板を支
持する部分等に使用される支持用アームに関し、特に、
基板支持面に吸引口が形成され、吸引口を吸引手段に連
通接続することによって、基板を確実に支持するように
した基板搬送用アームに関する。

く従来の技術〉 第３図は、基板搬送用アームを備えたウエハ搬送装置の
一例の概略構成を示した斜視図である。

この図に示すように、ウエハ搬送装置１０は、内部に回
転機構部を備えた基台ｌ３と、この基台１３から延出し
た第１回転軸１４に固定されている旋回アーム１５と、
旋回アーム１５の先端部に設けた第２回転軸１７に固定
されている基板搬送用アーム１２と、第１回転軸１４と
第２回転軸１７とに掛り渡した無端ヘル目６とから構成
され、基台１３、旋回アーｌ・１５、第１回転軸１４、
第２回転軸ｌ７、無端ヘル１・１６とからなる駆動部分
と、基板を支持する部分である基板搬送用アーム１２に
大別される。

なお、基板搬送用アーム１２は、無端ヘルト１６によっ
て、旋回アーム１５の回転に連動し、旋回アーム１５と
は逆方向に回転することによって、ウエハ収納カセッ１
・１９内に挿抜され、ウエハＷを真空吸着保持して搬送
するように構成されている。

なお、図中、符号ｌ８は吸引手段（図示せず）と基板搬
送用アーム】２とを連通接続する連結部である。

従来の基板搬送用アームについて、第４図を参照して説
明する。

第４図は従来の基板搬送用アームを図示したもので、同
図（ａ）はその平面図、同５　（ｂ）はその断面図であ
る。

この基板搬送用アーム２０は、ステンレス鋼製のアーム
本体２１と、基板吸引板２２とを気密状態に接合して構
成されている。

基板吸引板２２の上面先端部には、複数個の吸引口２６
が形成されており、上面基端部には、連結部２３内の吸
引路２８と連通ずる吸引接続口２７が形成されている。

アーム本体２１は吸引口２６と吸引接続口２７とを連通
接続する溝状の吸気通路２９を内部に備えており、基板
吸引板２２にウエハＷを載置すると、ウエハＷの裏面が
吸引口２６を塞ぎ、吸引口２６からの負圧吸引力によっ
てウエハＷが基板吸引板２２に吸着保持される。

なお、基板吸引板２２の−Ｅ面（ウエハ吸着面）はウエ
ハに対して、できるだけ損傷を与えないように、フッ化
樹脂などで被覆されている。

〈発明が解決しようとする課題〉 上述したように、従来の基板搬送用アームは、ウエハ等
の基板の裏面に対して｝員傷を与えないための種々の工
夫が施されているが、従来例における基板搬送用アーム
では、基板吸引板とウエハ裏面とは面接触状態であるの
で、ウエハハンドリング時にパーティクルが発生したり
、ウエハ裏面を汚染する可能性が高いという問題点があ
る本発明は、このような問題点を解決するためになされ
たものであって、パーティクルの発生や基板裏面の汚染
を極力抑えることができる基板搬送用アームを提供する
ことを目的としている。

く課題を解決するための手段〉 本発明は、上記目的を達成するために、次のような構成
をとる。

即ち、本発明に係る基板搬送用アームは、先端部にて基
板を支持し、先端部の基板支持面に形成した吸引口を吸
引手段に連通接続することによって、基板を確実に支持
するようにした基板搬送用アームにおいて、前記基板支
持面に、複数個の凸出体を形成したことを特徴とするも
のである。

〈作用〉 本発明の基板搬送用アームの基板支持面には、複数個の
凸出体が形成されているため、基板は凸出体とは接触す
るが、基板支持面とは接触しない。

基板支持面の面積に比べれば、凸出体との接触面積は少
ないので、基板搬送用アームに基板を支持することにと
もなう基板の汚染や、基板ハンドリング時のパーティク
ルの発生が低減される。

なお、基板支持面との間には隙間が生じているから、基
板を支持した状態でも吸引口は塞がれず気流が流れ込む
状態にあるが、隙間のところでは狭いが故に気流の流れ
に抵抗があり、吸引口の近くでは圧力が低い。このため
、基板は基板支持面に吸引されて、基板搬送用アームに
確実に支持される。

〈実施例〉 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。

第１図は本発明の第１実施例に係り、同図（ａｌは基板
搬送用アームの平面図、同図（ｂ）はその■−■断面図
、同図（Ｃ）は一部拡大断面図である。

本実施例に係る基板搬送用アーム１は、ステンレス鋼な
どの剛性材料で薄板状に形成されたアーム本体２と、石
英ガラス製の基板吸引板３とで構成されている。この基
板搬送用アーム１は、例えば第３図に示したウエハ搬送
装置のような旋回アーム式の搬送装置に取りつけられる
が、取りつけ対象となる基板搬送装置がこのような旋回
アーム式のものに限定されるものではない。

アーム本体２の上面周辺部には、溝４が形成されており
、この溝４内に充填された接着剤によって、アーム本体
２と基板吸引板３とは気密状態に接合されている。なお
、アーム本体２と基板吸引板３の双方の接合面を平滑に
加工しておけば、接着剤を用いなくても気密に接合でき
る。

従来例と同様に、アーム本体２には、その長手方向に吸
気通路２９が形成されており、この吸気通路２９の先端
部分が基板吸引板３に形成された吸引口２６に連通し、
また、吸気通路２９の基端部分が基板吸引板３の吸引接
続口２７を介して連結部２３の吸引路２８に連通してい
る。

基板吸引板３の上面（ウエハ吸着面）には、石英ガラス
製の複数個の点状突起体５が形成されており、本実施例
では、中央部に１個、周辺部に４個の計５個の点状突起
体５が形成されている。

点状突起体５は、ウエハＷとの接触面積をできるだけ小
さくするために直径約１　ｍｍ程度に形成されており、
また、吸引口２６の負圧吸引力が、ウエハＷの裏面に十
分に及ぶように高さは約０．１ｍｍ程度に形成されてい
る。

このような基板搬送用アーム１でウエハＷを吸引保持す
る際、第１図（Ｃ）に示すようにウエハＷの裏面は、点
状突起体５によって、点接触状態で吸引保持されるので
、従来例に比べ、ウエハＷの裏面との接触面積を大幅に
減少することができる。

なお、上述した実施例では、基板吸引板３を石英ガラス
で形成しているが、ステンレス鋼などで形成してもよい
。点状突起体５に関しても同様で、石英ガラスに限らず
、セラミンク、あるいは表面７ をフフ化樹脂等で被覆したステンレス鋼などを用いても
よい。但し、フッ化樹脂の耐熱温度は約２３０゜Ｃ程度
であるため、それ以上の高温でウエハＷを処理する加熱
処理炉などへの搬送には、石英ガラスで形成したものを
使用するのが好ましい。

また、点状突起体５の形成位置についても、上述のよう
な位置に限定する必要はなく、例えば、第２図に示すよ
うに、ウエハＷと略間形状に形成された基板搬送用アー
ム４０の基板吸引板４１の上面周辺部に沿って複数個形
成するようにしてもよい。

このような位置に形成することで、ウエハＷの周辺部に
対して点接触状態でウエハＷを吸着保持することができ
る。ウエハＷの周辺部には半導体素子が形成されていな
いので、上記のようにウエハＷの周辺を支持することに
より、ウエハＷに与える汚染の影響を一層軽減すること
ができ、また、ウエハＷの表面を吸着保持して搬送する
ことも可能であり、ウエハＷの表面を吸着してウエハＷ
を処理台などの上に載置する場合等には、好都合となる
。

８ また、上述した実施例では、凸出体（実施例における点
状突起体５）の形状が円筒形であるが、半球形でもよく
、あるいは敵状に凸出した形状でもよく、形状は限定さ
れない。

なお、吸引口２６から吸引する負圧を強くしたら、基板
支持アームを傾けてもウエハＷはずれない。

また、天地逆にひっくり返すように逆さ向けにしても、
ウエハＷは落下しない。

また、本発明に係る基板搬送用アームにおいて支持対象
となる基板は、前記実施例のようなウエハに限らず、例
えばガラス基板やセラミック基板でもよく、限定されな
い。

〈発明の効果〉 本発明によれば、次の効果が発揮される。

即ち、本発明の基板搬送用アームは、前記した従来の基
板搬送用アームのように基板が吸引口を塞ぐことによっ
て基板を吸着支持するのと違い、基板吸引板の基板吸引
面に複数個の凸出体を形成したので、基板と基板吸引面
とは離間しており、凸出体と接触した状態で吸引保持し
、搬送することができる。このため、従来例と比較して
基板に対する接触面積が大幅に減少するので、その接触
面部において、パーティクルの発生や基板の汚染を極力
抑えることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係り、第１図（ａ）は基板
搬送用アームの概略構成を示した平面図、同図（ｂ）は
第１図の■−■矢視断面図、同図（Ｃ）は一部拡大断面
図である。第２図は変形例に係る基板搬送用アームの概
略構成を示した平面図である。 また、第３図および第４図は従来例に係り、第３図はウ
エハ搬送装置の概略構成を示した斜視図、第４図（ａ）
は従来例に係る基板搬送用アームの平面図、同図（ｂ）
はその断面図である。 １・・・基板搬送用アーム ２・・・アーム本体 ３・・・基板吸引板 ５・・・点状突起体（凸出体）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）先端部にて基板を支持し、先端部の基板支持面に
   形成した吸引口を吸引手段に連通接続することによって
   、基板を確実に支持するようにした基板搬送用アームに
   おいて、 前記基板支持面に、複数個の凸出体を形成したことを特
   徴とする基板搬送用アーム。