JPS639922A - ウエハ接合装置 - Google Patents
ウエハ接合装置Info
- Publication number
- JPS639922A JPS639922A JP15354586A JP15354586A JPS639922A JP S639922 A JPS639922 A JP S639922A JP 15354586 A JP15354586 A JP 15354586A JP 15354586 A JP15354586 A JP 15354586A JP S639922 A JPS639922 A JP S639922A
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- JP
- Japan
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- wafer
- wafers
- elastic unit
- film
- elastic body
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- Pending
Links
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- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（並業上の利用分野）
本発明はウェハ接合装置に関し、特に２枚のシリコンな
どのウェハを直接接合するためのウェハ接合装置に係わ
る。
どのウェハを直接接合するためのウェハ接合装置に係わ
る。
（従来の技術）
従来、２枚のシリコンウェハ同志を直接接合するウェハ
接合装置としては、例えば第２図に示すものが知られて
いる。
接合装置としては、例えば第２図に示すものが知られて
いる。
図中の１は、内部に空洞部Ｊ＆１を有した上面が球面形
状のウェハ支持具である。この支持具１上には、弾性体
２を介して第１のウェハ３が配置されられている。この
ウェハ３は、バキューム力によシその周縁部が下方向に
湾曲するようになっている。前記第１のウェハ３上には
ウェハホルダー５が設けられ、該ウェハホルダー５の下
面には第２のウェハ６が前記第１のウェハ３と対向して
水平に設けられてい、る。なお、図中の７は空洞部１ａ
に連通したバキューム通路全、８はこの通路に連通ずる
環状のバキューム溝である。
状のウェハ支持具である。この支持具１上には、弾性体
２を介して第１のウェハ３が配置されられている。この
ウェハ３は、バキューム力によシその周縁部が下方向に
湾曲するようになっている。前記第１のウェハ３上には
ウェハホルダー５が設けられ、該ウェハホルダー５の下
面には第２のウェハ６が前記第１のウェハ３と対向して
水平に設けられてい、る。なお、図中の７は空洞部１ａ
に連通したバキューム通路全、８はこの通路に連通ずる
環状のバキューム溝である。
しか、しながら、従来のウェハ接合装置によれば、弾性
体２として通常ゴムチャックを使用するため、弾性体２
の摩擦力が大きい。従って、ウェハ３を変形した状態を
解除してもウェハ３が弾性体より容易に着脱せず時間が
かかるため、ウェハ搬送トラブルが多発した。また、ウ
ェハ３に弾性体２が直接接触するため、ゴム成分等の不
純物がウェハ３に耐着し、ウェハを汚染した。
体２として通常ゴムチャックを使用するため、弾性体２
の摩擦力が大きい。従って、ウェハ３を変形した状態を
解除してもウェハ３が弾性体より容易に着脱せず時間が
かかるため、ウェハ搬送トラブルが多発した。また、ウ
ェハ３に弾性体２が直接接触するため、ゴム成分等の不
純物がウェハ３に耐着し、ウェハを汚染した。
（発明が解決しようとする問題点）
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、ウェハ搬送
トラブルを解消するとともに、ウェハ汚染を防止し得る
ウェハ接合装置を提供することを目的とする。
トラブルを解消するとともに、ウェハ汚染を防止し得る
ウェハ接合装置を提供することを目的とする。
［発明の構成コ
（問題点を解決するための手段）
本発明は、第１のウェハを弾性体を介して保持するウェ
ハ支持具と、前記ウェハと対向する第２のウェハを保持
するウェハホルダーと、前記弾性体のウェハ吸着面に設
けられたウェハとの剥離性のよい被膜とからなシ、前記
第１のウェハを凸状に変形して両ウェハの中心部同志を
接触てせた後、第１のウェハの復帰力にもとずいて両ウ
ェハの周縁部同志も接触させて両ウェハを接合すること
を特徴とし、ウェハ搬送トラブルの解消、ウェハ汚染の
防止を達成できる。
ハ支持具と、前記ウェハと対向する第２のウェハを保持
するウェハホルダーと、前記弾性体のウェハ吸着面に設
けられたウェハとの剥離性のよい被膜とからなシ、前記
第１のウェハを凸状に変形して両ウェハの中心部同志を
接触てせた後、第１のウェハの復帰力にもとずいて両ウ
ェハの周縁部同志も接触させて両ウェハを接合すること
を特徴とし、ウェハ搬送トラブルの解消、ウェハ汚染の
防止を達成できる。
（作用）
本発明によれば、弾性体のクエハ吸着面にウェハとの剥
離性のよい被膜を設けることによシ、ウェハ変形保持を
解除する際、ウェハを弾性体から容易に離すことができ
、ウェハ搬送トラブルを解消できる。また、被膜の介在
によシ弾性体からのウェハ汚染を防止できる。
離性のよい被膜を設けることによシ、ウェハ変形保持を
解除する際、ウェハを弾性体から容易に離すことができ
、ウェハ搬送トラブルを解消できる。また、被膜の介在
によシ弾性体からのウェハ汚染を防止できる。
（実施例）
以下、本発明の一実施例を第１図を参照して説明する。
図中の１１は、内部に空洞部１１ｍを有した上面が球面
形状のウェハ支持具である。この支持具１１上には、弾
性体としての吸着コ９ム１２が設けられている。この吸
着ゴム１２のウェハ吸着面には、例えばふっ素樹脂から
なる被膜１３が被覆されている。なお、この被膜１３は
吸着ゴム１２との一体成形で形成してもよいし、あるい
はシート状のものを貼シ付けて形成してもよい。前記吸
着ゴム１２上には、この被膜１３を介して第１のウェハ
１４が配置されている。このウェハ１４は、バキューム
力によシその周縁部が下方向に湾曲するようになりてい
る。前記第１のウェハ１４上にはウェハホルダー１５が
設けられ、該ウェハホルダー１５の下面には第２のウェ
ハ１６が前記第１のウェハ１４と対向して水平に設けら
れている。なお、図中の１７は空洞部１１ｍに連通した
バキューム通路を、１８はこの通路に連通ずる環状のバ
キューム溝である。
形状のウェハ支持具である。この支持具１１上には、弾
性体としての吸着コ９ム１２が設けられている。この吸
着ゴム１２のウェハ吸着面には、例えばふっ素樹脂から
なる被膜１３が被覆されている。なお、この被膜１３は
吸着ゴム１２との一体成形で形成してもよいし、あるい
はシート状のものを貼シ付けて形成してもよい。前記吸
着ゴム１２上には、この被膜１３を介して第１のウェハ
１４が配置されている。このウェハ１４は、バキューム
力によシその周縁部が下方向に湾曲するようになりてい
る。前記第１のウェハ１４上にはウェハホルダー１５が
設けられ、該ウェハホルダー１５の下面には第２のウェ
ハ１６が前記第１のウェハ１４と対向して水平に設けら
れている。なお、図中の１７は空洞部１１ｍに連通した
バキューム通路を、１８はこの通路に連通ずる環状のバ
キューム溝である。
上記実施例によれば、第１のウェハ１４を吸着すべき吸
着ゴム１２の吸着面に低摩擦係数（静摩擦係ａ０．０５
）のふっ素樹脂からなる被膜１３に：被覆した構造とな
っているため、ウェハ変形保持を解除したとき、第１の
ウェハ１４′ｆｒ吸着ゴム１２から容易に離すことがで
きる。また、第１のウェハ１４が直接吸着ゴム１２に按
することがなく被膜１３が介在するため、ゴム成分等の
不純物で第１のウェハ１４全汚染することを防止できる
。
着ゴム１２の吸着面に低摩擦係数（静摩擦係ａ０．０５
）のふっ素樹脂からなる被膜１３に：被覆した構造とな
っているため、ウェハ変形保持を解除したとき、第１の
ウェハ１４′ｆｒ吸着ゴム１２から容易に離すことがで
きる。また、第１のウェハ１４が直接吸着ゴム１２に按
することがなく被膜１３が介在するため、ゴム成分等の
不純物で第１のウェハ１４全汚染することを防止できる
。
更に、通常第１・第２のウェハ１４，１６の接合の前後
で吸着ゴム１２等をアルコール等でふきとるが、被膜１
３の材料であるふっ素樹脂は耐溶剤に優れているため、
アルコール等に溶けることもない。
で吸着ゴム１２等をアルコール等でふきとるが、被膜１
３の材料であるふっ素樹脂は耐溶剤に優れているため、
アルコール等に溶けることもない。
［発明の効果］
以上詳述した如く本発明によれは、ウェハ搬送トラブル
を解消するとともに、ウェハ汚染を防止し得る信頼性の
高いウェハ接合装置を提供できる。
を解消するとともに、ウェハ汚染を防止し得る信頼性の
高いウェハ接合装置を提供できる。
第１図は本発明の実施例１に係るウェハ接合装置の断面
図、第２図は従来のウェハ接合装置の断面図である。 １１・・・ウェハ支持具、ｌｌｈ・・・空洞部、１２・
・・吸着ゴム、１３・・・被膜、１４．１６・・・ウェ
ハ。 １５・・・ウェハホルダー、１７・・・バキューム通路
、１８・・・バキューム溝。
図、第２図は従来のウェハ接合装置の断面図である。 １１・・・ウェハ支持具、ｌｌｈ・・・空洞部、１２・
・・吸着ゴム、１３・・・被膜、１４．１６・・・ウェ
ハ。 １５・・・ウェハホルダー、１７・・・バキューム通路
、１８・・・バキューム溝。
Claims (2)
- （１）第１のウェハを弾性体を介して保持するウェハ支
持具と、前記ウェハと対向する第２のウェハを保持する
ウェハホルダーと、前記弾性体のウェハ吸着面に設けら
れたウェハとの剥離性のよい被膜とからなり、前記第１
のウェハを凸状に変形して両ウェハの中心部同志を接触
させた後、第１のウェハの復帰力にもとずいて両ウェハ
の周縁部同志も接触させて両ウェハを接合することを特
徴とするウェハ接合装置。 - （２）前記被膜がふっ素樹脂からなることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載のウェハ接合装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15354586A JPS639922A (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | ウエハ接合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15354586A JPS639922A (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | ウエハ接合装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS639922A true JPS639922A (ja) | 1988-01-16 |
Family
ID=15564852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15354586A Pending JPS639922A (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | ウエハ接合装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS639922A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7261673B2 (en) | 2002-10-21 | 2007-08-28 | Nissan Diesel Motor Co., Ltd. | Apparatus for controlling automatic transmission |
| JP2008258426A (ja) * | 2007-04-05 | 2008-10-23 | Nikon Corp | 基板接合装置、基板接合方法および基板ホルダ |
| WO2010055730A1 (ja) * | 2008-11-14 | 2010-05-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法 |
-
1986
- 1986-06-30 JP JP15354586A patent/JPS639922A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7261673B2 (en) | 2002-10-21 | 2007-08-28 | Nissan Diesel Motor Co., Ltd. | Apparatus for controlling automatic transmission |
| JP2008258426A (ja) * | 2007-04-05 | 2008-10-23 | Nikon Corp | 基板接合装置、基板接合方法および基板ホルダ |
| WO2010055730A1 (ja) * | 2008-11-14 | 2010-05-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法 |
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