JP4131112B2 - シリコンウエーハ挟持用ピンセット - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置、液晶製造装置におけるウェーハの保持や、半導体等の製造過程における熱処理工程、研磨工程、洗浄工程、乾燥工程などの工程間でウェーハを移送する際に使用するシリコンウエーハ挟持用ピンセットに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、近年のIC、LSIといった電子デバイスの高集積度化、高性能化に伴ない、半導体基板上に構成される回路は益々微細化している。こうした微細化の流れに従って、半導体基板の汚染、パーティクル、及び微小欠陥などの発生がより大きな問題となってきている。こうした背景から、ウェーハを保持、または、移送する際に直接接触するピンセットとして、空気を吸引することによりそのウエーハを吸着させる真空ピンセットが知られている。この真空ピンセットでは、ウエーハを吸着して保持、又は移送を行い、その後真空吸引を解除すればウェーハをその真空ピンセットから簡単に剥離することができるようになっている。
しかし、ウェーハが両面研磨となり、ウェーハ、真空ピンセット共に光学研磨面(鏡面)であるため両者の密着度が増大し、吸引を解除しても剥離できず、また、吸引解除後に微小加圧して真空破壊をおこなっても剥離できないケースが発生した。また、この真空ピンセットは、ウエーハを真空により実際に吸着させるピンセット本体の他に、真空吸引を行う吸引装置を必要とし、ピンセット自体が大型化する不具合があった。
【0003】
一方、一般産業において比較的小さなものを挟持するピンセットとして、ステンレス鋼から作られた上側板材及び下側板材から成るものが知られている。このピンセットでは、上側板材及び下側板材のそれぞれの先端を所定の間隔をあけた状態でその上側板材及び下側板材の基端が接合され、上側板材及び下側板材の略中央部分を両側から挟むようにして、それぞれの先端が近づくように上側板材及び下側板材を湾曲させることにより、その互いに近づく先端で被挟持物を挟持可能に構成される。このような一般産業において使用されているピンセットは、上述した真空ピンセットのように吸引装置なるもの必要とせず、比較的小さなものであり、このピンセットを用いてシリコンウエーハを挟持することができるならば、その取り扱いが真空ピンセットを用いていた従来に比較して容易になるものと期待される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、一般産業におけるピンセットは、その素材がステンレス鋼から成り、そのステンレス鋼から成る上側板材及び下側板材の先端で、シリコンウエーハを直接挟持すると、そのウェーハが金属に汚染される他に、そのウェーハにキズ、クラックが発生するなどの問題が生ずる。この点を解消するために、樹脂によりピンセット自体を構成させるか、或いはその樹脂によりウエーハを挟持するピンセットの先端部分を構成することも考えられるが、ウェーハに金属汚染等を生じさせないような樹脂は、ステンレス鋼に比較して比較的柔軟なものになり、ウエーハを十分に挟持することができない問題点がある。また、樹脂によりピンセットの先端部分を構成させる場合には、ステンレス鋼と樹脂による先端部に接合部の構造が複雑になり、ピンセットの単価を押し上げる不具合もある。更に、半導体等の製造過程における熱処理工程、研磨工程、洗浄工程、乾燥工程は、比較的高温雰囲気中で行われ、周囲の雰囲気における不純物ガスの発生を防止する必要もある。
本発明の目的は、比較的高温雰囲気中における使用が可能であって、機械的強度を有し、かつ挟持するウエーハに金属汚染等を生じさせないシリコンウエーハ挟持用ピンセットを提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
請求項1に係る発明は、図1に示すように、ステンレス鋼から作られた上側板材11及び下側板材12を備え、上側板材11及び下側板材12のそれぞれの先端を所定の間隔をあけて上側板材11及び下側板材12の基端が接合され、上側板材11及び下側板材12をそれぞれの先端が近づくように湾曲させることにより上側板材11及び下側板材12の中央部を両側から挟むとそれらの先端でシリコンウエーハ13を挟持可能に構成されたピンセットの改良である。
その特徴ある構成は、上側板材11の先端に第1折曲り部11bと平行部11cから成るクランク部11aが下側板材12から遠ざかる方向に形成され、下側板材12の先端に平行部11cに臨むように折り曲げられた第2折曲り部12aが形成され、シリコンウエーハ13に接触する平行部11c及び第2折曲り部12aが耐熱性樹脂14,16によりそれぞれ被覆され、上側板材11が下側板材12に被さるように中央部と先端の間でへの字状に折り曲げられ、下側板材12が上側板材11に沿うように中央部と先端の間で同方向にへの字状に折り曲げられたところにある。
【0006】
この請求項1に記載されたシリコンウエーハ挟持用ピンセットでは、真空ピンセットのように吸引装置成るもの必要とせず、比較的小さなものであり、その取り扱いが容易になる。また、シリコンウエーハ13に直接接触することとなる平行部11c及び第2折曲り部12aを耐熱性樹脂によりそれぞれ被覆するので、挟持したシリコンウエーハ13に金属汚染を生じさせることはなく、また、キズ、クラック等を発生させない。また、ピンセット10の全体は比較的強度の強いステンレス鋼により構成されるので、ウエーハ13を十分に挟持することができる。
また、上側板材11及び下側板材12を折り曲げたので、図3に示すように、例えば先端で挟持したシリコンウエーハ13を所定の凹部17に収容させる場合、又はそのような凹部17に収容されたシリコンウエーハ13をその凹部17から取り出す作業を比較的容易に行うことが可能になる。
【0007】
請求項2に係る発明は、請求項1に係る発明であって、平行部11c又は第2折曲り部12aを被覆可能な大きさの耐熱性樹脂から成る被覆片14が平行部11cの両面及び第2折曲り部12aの第1折曲り部11b側片面に耐熱性樹脂接着剤16によりそれぞれ接着されて平行部11c及び第2折曲り部12aが被服片14及び耐熱性接着剤16によりそれぞれ被覆されたシリコンウエーハ挟持用ピンセットである。
この請求項2に記載されたシリコンウエーハ挟持用ピンセットでは、被覆片14及び耐熱性接着剤16により平行部11c及び第2折曲り部12aを被覆するので、その構造が単純になり、比較的安価なピンセット10を得ることができ、また比較的高温雰囲気中での使用を可能にする。
【0009】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1に示すように、本発明のシリコンウエーハ挟持用ピンセット10は、ステンレス鋼から作られた上側板材11及び下側板材12を備える。これらの上側板材11及び下側板材12はそれぞれ弓形に湾曲するように作られ、それらの先端を所定の間隔をあけた状態で互いに外側に膨らむようにして上側板材11及び下側板材12の基端が重合され、その重合された基端が互いに接合される。図示しないが、このように基端が互いに接合された上側板材11及び下側板材12の全表面は、ポリフッ化フルオロエチレン(商標名;テフロン)による被膜が形成される。この実施の形態における上側板材11は、下側板材12に被さるように略への字状に折り曲げられ、その一方で、下側板材12はそのように折り曲げられた上側板材11に沿うようにその上側板材11と同方向に折り曲げられる。このように上側板材11及び下側板材12のそれぞれの基端が接合されて構成されたピンセット10は、上側板材11及び下側板材12の略中央部分を両側から挟むようにして、それぞれの先端が近づくように上側板材11及び下側板材12を湾曲させることにより、それらの先端でシリコンウエーハ13を挟持可能に構成される。
【0010】
上側板材11の先端にはクランク部11aが下側板材12から遠ざかる方向に形成され、このクランク部11aは第1折曲り部11bと平行部11cから構成される。第1折曲り部11bは、上側板材11の先端を下側板材12から遠ざかる方向に折り曲げることにより形成される。平行部11cは、そのように折り曲げられた第1折曲り部11bを更に逆方向に略直角に折り返し、その第1折曲り部11b近傍の上側板材12と略平行になるように形成される。一方、下側板材12の先端はその平行部11cに臨むように折り曲げられて、下側板材12の先端に第2折曲り部12aが形成される。本発明の特徴ある構成は、シリコンウエーハ13を挟持したときに、そのシリコンウエーハ13に接触する平行部11c及び第2折曲り部12aが耐熱性樹脂によりそれぞれ被覆されたところにある。
【0011】
図1の拡大図に示すように、この実施の形態では、平行部11c及び第2折曲り部12aが被覆片14及び耐熱性接着剤16によりそれぞれ被覆される。被覆片14は耐熱性樹脂から作られた板材であって、平行部11c又は第2折曲り部12aを被覆可能な大きさに形成される。この被覆片14に用いる耐熱性樹脂から作られた板材としては、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂等から成るものが挙げられる。被覆片14及び耐熱性接着剤16により被覆される平行部11c及び第2折曲り部12aの表面から、その表面を被覆するポリフッ化フルオロエチレンから成る皮膜を除去した後、図2の実践矢印で示すようにこの被覆片14を平行部11cの両面及び第2折曲り部12aの第1折曲り部11b側片面に押し当て、耐熱性樹脂接着剤16によりそれぞれ接着することにより被覆片14及び耐熱性接着剤16により平行部11c及び第2折曲り部12aをそれぞれ被覆する。この被覆片14の接着に用いる耐熱性樹脂接着剤16としては、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂等から成る接着剤16が挙げられる。
【0012】
このように構成されたシリコンウエーハ用ピンセット10では、従来用いられている真空ピンセットのように吸引装置成るもの必要とせず、比較的小さなものであり、その取り扱いが真空ピンセットを用いていた従来に比較して容易になる。また、シリコンウエーハ13に直接接触することとなる平行部11c及び第2折曲り部12aを耐熱性樹脂によりそれぞれ被覆したので、挟持したシリコンウエーハ13に金属汚染を生じさせることはなく、キズ、クラック等の不具合を発生させることもない。
また、ピンセット10の全体は比較的強度の強いステンレス鋼から成る上側板材11及び下側板材12により構成されるので、ウエーハ13を十分に挟持することができる。また、平行部11c及び第2折曲り部12aを被覆片14及び耐熱性接着剤16により被覆するので、樹脂によりピンセットの先端部分を構成させる場合に比較してその構造が単純になり、比較的安価なピンセット10を得ることができる。
【0013】
また、上側板材11及び下側板材12をそれぞれステンレス鋼により構成し、それらの平行部11c及び第2折曲り部12aを耐熱性樹脂から成る被覆片14及び耐熱性接着剤16により被覆するので、比較的高温雰囲気中での使用が可能になり、被覆片14及び耐熱性接着剤16により被覆される先端部分以外の上側板材11及び下側板材12をポリフッ化フルオロエチレンから成る皮膜により被覆するので、このピンセット10から不純物ガスが発生することもない。
更に、この実施の形態では、上側板材11及び下側板材12をそれぞれ折り曲げるので、図3に示すように、例えば先端で挟持したシリコンウエーハ13を所定の凹部17に収容させる場合、又はそのような凹部17に収容されたシリコンウエーハ13をその凹部17から取り出す作業を比較的容易に行うことが可能になる。
【0014】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、上側板材の先端に第1折曲り部と平行部から成るクランク部を形成し、下側板材の先端に平行部に臨むように折り曲げられた第2折曲り部を形成し、シリコンウエーハに接触する平行部及び第2折曲り部を耐熱性樹脂によりそれぞれ被覆したので、挟持したシリコンウエーハに金属汚染を生じさせることはなく、キズ、クラック等を発生させないピンセットを得ることができる。また、このピンセットは、従来使用されている真空ピンセットのように吸引装置成るもの必要とせず、また、ピンセットの全体は比較的強度の強いステンレス鋼により構成されるので、ウエーハを十分に挟持することができ、かつその取り扱いが容易なピンセットを得ることができる。
また、平行部及び第2折曲り部を被服片及び耐熱性接着剤によりそれぞれ被覆すれば、その構造が単純になり、比較的安価なピンセットを得ることができ、また比較的高温雰囲気中での使用が可能になる。更に、上側板材及び下側板材をそれぞれ略への字状に折り曲げれば、例えば先端で挟持したシリコンウエーハを所定の凹部に収容させる場合、又はそのような凹部に収容されたシリコンウエーハをその凹部から取り出す作業を比較的容易に行うことが可能なピンセットを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のピンセットを示す正面図。
【図2】その先端部を示す斜視図。
【図3】そのピンセットの使用状態を示す概念図。
【符号の説明】
10 シリコンウエーハ挟持用ピンセット
11 上側板材
11a クランク部
11b 第1折曲り部
11c 平行部
12 下側板材
12a 第2折曲り部
13 シリコンウエーハ
14 被覆片(耐熱性樹脂)
16 耐熱性樹脂接着剤(耐熱性樹脂)
Claims (2)
- ステンレス鋼から作られた上側板材(11)及び下側板材(12)を備え、前記上側板材(11)及び前記下側板材(12)のそれぞれの先端を所定の間隔をあけて前記上側板材(11)及び前記下側板材(12)の基端が接合され、前記上側板材(11)及び前記下側板材(12)をそれぞれの先端が近づくように湾曲させることにより前記上側板材 (11) 及び前記下側板材 (12) の中央部を両側から挟むとそれらの先端でシリコンウエーハ(13)を挟持可能に構成されたピンセットにおいて、
前記上側板材(11)の先端に第1折曲り部(11b)と平行部(11c)から成るクランク部(11a)が前記下側板材(12)から遠ざかる方向に形成され、
前記下側板材(12)の先端に前記平行部(11c)に臨むように折り曲げられた第2折曲り部(12a)が形成され、
前記シリコンウエーハ(13)に接触する前記平行部(11c)及び第2折曲り部(12a)が耐熱性樹脂(14,16)によりそれぞれ被覆され、
前記上側板材 (11) が前記下側板材 (12) に被さるように中央部と先端の間でへの字状に折り曲げられ、
前記下側板材 (12) が前記上側板材 (11) に沿うように中央部と先端の間で同方向にへの字状に折り曲げられた
ことを特徴とするシリコンウエーハ挟持用ピンセット。 - 平行部(11c)又は第2折曲り部(12a)を被覆可能な大きさの耐熱性樹脂から成る被覆片(14)が前記平行部(11c)の両面及び前記第2折曲り部(12a)の第1折曲り部(11b)側片面に耐熱性樹脂接着剤(16)によりそれぞれ接着されて前記平行部(11c)及び前記第2折曲り部(12a)が前記被服片(14)及び耐熱性接着剤(16)によりそれぞれ被覆された請求項1記載のシリコンウエーハ挟持用ピンセット。
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