JPH0164387U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0164387U JPH0164387U JP1987158501U JP15850187U JPH0164387U JP H0164387 U JPH0164387 U JP H0164387U JP 1987158501 U JP1987158501 U JP 1987158501U JP 15850187 U JP15850187 U JP 15850187U JP H0164387 U JPH0164387 U JP H0164387U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- utility
- plate
- model registration
- hand
- suction holes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Load-Engaging Elements For Cranes (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
第１図は本考案に係るバキユームハンドの平面
図、第２図は第１図のバキユームハンドによるキ
ヤリアから角型基板を取り出す一例の説明図、第
３図は第１図の断面図である。 １……バキユームハンドの先端部、２……溝、
３……吸着孔、４……ふた、５……Ｏリング、６
……先端、１１……キヤリヤ、１２……基板。
図、第２図は第１図のバキユームハンドによるキ
ヤリアから角型基板を取り出す一例の説明図、第
３図は第１図の断面図である。 １……バキユームハンドの先端部、２……溝、
３……吸着孔、４……ふた、５……Ｏリング、６
……先端、１１……キヤリヤ、１２……基板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 一平面で板状体を吸着・保持するための吸着
孔を有するバキユームハンドにおいて、前記吸着
孔を含む少なくとも３点個所に、弾性体から成る
Ｏリング等を付設したことを特徴とするバキユー
ムハンド。 ２ 吸着孔は１個所であり、板状体を回転可能に
保持することを特徴とする実用新案登録請求の範
囲第１項記載のバキユームハンド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987158501U JPH0511992Y2 (ja) | 1987-10-16 | 1987-10-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987158501U JPH0511992Y2 (ja) | 1987-10-16 | 1987-10-16 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0164387U true JPH0164387U (ja) | 1989-04-25 |
| JPH0511992Y2 JPH0511992Y2 (ja) | 1993-03-25 |
Family
ID=31438887
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987158501U Expired - Lifetime JPH0511992Y2 (ja) | 1987-10-16 | 1987-10-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0511992Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0366928U (ja) * | 1989-10-31 | 1991-06-28 | ||
| JP2015201540A (ja) * | 2014-04-08 | 2015-11-12 | ウシオ電機株式会社 | 基板搬送用真空吸着アーム |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56154585A (en) * | 1980-04-24 | 1981-11-30 | Tamura Electric Works Ltd | Production of key top |
| US4357006A (en) * | 1980-11-28 | 1982-11-02 | International Business Machines Corporation | Distortion free 3 point vacuum fixture |
| JPS61267622A (ja) * | 1985-05-20 | 1986-11-27 | Canon Inc | ウエハ搬送装置 |
-
1987
- 1987-10-16 JP JP1987158501U patent/JPH0511992Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0366928U (ja) * | 1989-10-31 | 1991-06-28 | ||
| JP2015201540A (ja) * | 2014-04-08 | 2015-11-12 | ウシオ電機株式会社 | 基板搬送用真空吸着アーム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0511992Y2 (ja) | 1993-03-25 |