KR102126456B1 - 프린트 기판용 노광 장치 - Google Patents

Abstract

[과제] 기판을 테이블에 흡착하는 진공 흡착력을 이용하거나 진공에 노출시키거나 하지 않고 기판의 주변부를 테이블에 누를 수 있고, 두께가 다른 기판에도 용이에 대응할 수 있도록 한다.
[해결 수단] 진공 흡착 기구(3)에 의해 기판(S)이 테이블(1)에 흡착될 때, 노광을 차폐하지 않는 형상의 프레임체(61)에 설치된 한 쌍의 주상 시일링 부재(62)가 테이블(1)에 맞닿고, 형성되는 폐공간이 프레임체용 배기구멍(13)을 통해 배기됨으로써 프레임체(61)가 테이블(1)을 향해서 압압된다. 이 결과, 기판(S)의 주변부가 테이블(1)에 눌리고, 기판(S)의 변형이 교정된 상태로 기판(S)이 노광계(2)에 의해 노광된다.

Description

프린트 기판용 노광 장치{EXPOSING APPARATUS FOR PRINT SUBSTRATE}

본원의 발명은, 프린트 기판 제조용의 노광 장치에 관한 것이며, 특히 기판의 변형을 교정하면서 노광하는 기능을 구비한 노광 장치에 관한 것이다.

프린트 기판은, 휴대 전화나 퍼스널 컴퓨터 등의 전자기기에 탑재되어 있다. 이들 전자기기는, 소형 경량화를 행하기 위해서, 기판 상에 형성된 패턴의 집적도를 높이는 것이 요구되고 있고, 회로 요소나 패턴의 미세화가 진행되고 있다.

프린트 기판에의 패턴의 형성을 행하는 포토리소그래피에는, 기판에 도포된 레지스트에 대해서 회로 패턴 등의 소정의 패턴을 형성하기 위한 노광 공정이 존재하고 있고, 노광 장치가 사용된다. 노광 장치에서는, 기판의 소정의 위치에 회로 패턴 등의 소정의 패턴의 전사를 행하기 위해, 노광을 행하는 광학계에 대해서 올바른 위치에 기판을 배치할 필요가 있다. 이 때문에, 광학계에 대해서 설치된 테이블 상의 소정의 위치에 기판을 재치함과 더불어, 노광 중에 이 위치를 유지하도록 기판을 테이블에 진공 흡착하는 기구가 채용되고 있다.

일본국 특허공개 2009-109553호 공보 일본국 특허공개 2011-81156호 공보 일본국 특허 4589198호 공보

상기와 같은 기판을 테이블에 진공 흡착하는 기구를 채용한 프린트 기판용 노광 장치에 있어서, 휨이나 왜곡과 같은 변형이 생긴 기판에 대해서도 정확하게 노광을 행하는 것이 요구되고 있다. 기판의 휨이나 왜곡과 같은 변형은, 몇 개의 요인으로 발생한다. 하나로는, 전자기기의 소형 경량화를 위해, 매우 얇은 기판이 채용되도록 되어 오고 있는 것을 들 수 있다. 폴리이미드나 폴리에스테르 등으로 형성된 얇은 플렉서블 기판은, 전 공정에서의 열처리의 영향을 받기 쉽고, 옆에서 보면 만곡되어 있거나, 물결 모양으로 만곡되어 있거나 하는 경우가 있다. 또, 유리 엑폭시와 같은 리지드 기판의 경우에도, 기판이 다층 구조인 경우는, 소재간의 열팽창 계수의 차이 등으로 인해, 적층을 위한 처리를 반복함에 따라서 기판의 주변부에 휨이나 왜곡이 발생하기 쉽다.

노광 장치를 사용하는 유저에 있어서는, 이와 같이 변형이 생긴 기판에서도, 회로 패턴 등의 소정의 패턴을 노광하고 싶다는 요망이 있다.

상기와 같은 변형된 기판에 대한 노광에 있어서 문제가 되는 것은, 진공 흡착의 에러이다. 이것은, 변형된 기판을 테이블에 올려 진공 흡착을 행하고자 한 경우, 변형된 개소에서 진공이 새기 때문에, 충분히 흡착할 수 없게 되는 에러이다. 흡착 에러가 생기면, 노광 중에 기판이 위치 어긋남을 일으키는 경우가 있으므로, 통상은 장치의 동작이 정지하고, 노광 처리가 중단된다.

이 때문에, 진공 흡착시, 기판을 테이블에 누르는 기술이 몇 개 제안되어 있다. 이 중, 특허 문헌 1은, 기판이 진공 흡착될 때, 기판을 둘러싸도록 하여 패킹이 배치되는 상태로 하고, 패킹에 의해 밀폐 공간으로 하여 밀폐 공간 내가 진공 흡인되는 구조를 개시하고 있다. 이 구조에서는, 기판을 테이블에 누르는 기구가, 노광시에는 제거되므로, 휨의 탄성이 강한 기판에서는, 노광시에 진공 흡착 에러가 발생하는 경우가 있다. 또, 기판이 진공에 직접 노출되기 때문에, 기판의 표면에 보호 필름이 설치되어 있는 경우, 그것이 벗겨지거나, 보호 필름의 내측에 기포가 생기거나 하는 것도 생각할 수 있다.

또, 특허 문헌 2에는, 진공 흡착되는 기판의 주변부를 덮은 상태로 기판 고정 시트(마일러 시트)를 배치하고, 기판의 진공 흡착시의 흡인력에 의해 상기 시트를 탄성변형시키는 기술이 개시되어 있다. 이 구조에서는, 기판의 형상에 맞추어 클램프 기구를 설계할 필요가 있고, 다양한 기판 사이즈에 대응시키기 위해서는, 노광 테이블에 개별적으로 클램프 기구를 설계할 필요가 있고, 코스트 업이 된다. 또, 기판의 사이즈가 다른 경우, 시트의 교환이 필요하지만, 특허 문헌 2의 시트는 기계적으로 클램프되어 있기 때문에, 교환이 용이하지 않다.

또한, 기판이 진공에 노출되기 때문에, 상기와 같은 문제가 생기는 것도 생각할 수 있다.

또, 특허 문헌 3에서는, 탄성 부재를 갖는 액자 형상의 고정 지그로 기판의 주변부를 누르는 기술이 개시되어 있다. 이 구조에서는, 고정 지그의 누름을 위한 흡인은, 기판을 테이블에 흡착하는 흡인과 완전히 같은 계통이다. 그 때문에, 기판을 테이블에 흡착하기 위한 진공에 큰 리크가 생긴 경우, 고정 지그가 기판의 주변을 테이블에 누르는 힘이 약해지고, 기판을 테이블에 흡착할 수 없는 경우가 있다. 특히, 강성이 높은 기판에 변형이 생긴 경우에는 변형을 교정하는 것이 어렵다.

본원의 발명은, 상기와 같은 각 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것이며, 프린트 기판용 노광 장치에 있어서, 기판을 테이블에 진공 흡착하는 힘을 이용하거나, 진공에 기판의 주변부를 노출시키거나 하지 않고, 노광 중에 주변부를 테이블에 누르는 것이 가능하고, 또 두께가 다른 기판에 대해서도 용이하게 대응할 수 있도록 하는 것을 목적으로 하고 있다.

상기 과제를 해결하기 위해, 본원의 청구항 1에 기재된 발명은,

기판이 올려지는 테이블과,

테이블에 올려진 기판에 소정의 패턴을 형성하는 노광광을 조사하는 노광계를 구비한 프린트 기판용 노광 장치로서,

기판을 테이블에 진공 흡착하는 진공 흡착 기구와,

테이블에 올려진 기판의 주변부를 테이블에 누르는 누름 기구가 설치되어 있고,

누름 기구는, 기판에 대한 소정의 패턴을 형성하는 노광광을 차폐하지 않는 형상의 프레임체와, 사이에 기판의 주변부가 끼워 넣어진 상태로 프레임체를 테이블을 향해서 압압(押壓)함으로써 기판의 주변부를 테이블에 누르는 구동부를 구비하고 있고,

프레임체는, 기판을 벗어난 위치에서 폐공간을 형성하는 구조를 갖고 있고, 기판에 대해서 소정의 패턴을 형성하는 노광광의 조사를 행함에 있어서 구동부는 상기 폐공간을 진공 흡인함으로써 기판의 주변부를 테이블에 누르는 것이며,

노광계 및 누름 기구를 제어하는 제어부가 설치되어 있고,

제어부는, 소정의 패턴을 형성하는 노광광의 조사를 기판에 행하고 있는 동안도 누름 기구의 구동부를 동작시키는 제어를 행하는 것이라는 구성을 갖는다.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 2에 기재된 발명은, 상기 청구항 1의 구성에 있어서, 상기 테이블을 향해서 압압되는 상기 프레임체의 상기 테이블 측을 향한 면에는, 탄성을 갖는 주상(周狀) 시일링 부재가 설치되어 있고, 주상 시일링 부재는, 상기 기판을 벗어난 위치에서 상기 테이블에 맞닿아 상기 폐공간을 형성하는 형상이라는 구성을 갖는다.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 3에 기재된 발명은, 상기 청구항 1의 구성에 있어서, 상기 테이블의 상기 압압되는 프레임체를 향하는 면에는, 탄성을 갖는 주상 시일링 부재가 설치되어 있고, 주상 시일링 부재는, 상기 기판을 벗어난 위치에서 상기 프레임체에 맞닿아 상기 폐공간을 형성하는 형상이라는 구성을 갖는다.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 4에 기재된 발명은, 상기 청구항 2 또는 3의 구성에 있어서, 상기 주상 시일링 부재는 튜브 형상이라는 구성을 갖는다.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 5에 기재된 발명은, 상기 청구항 1 내지 4 중 어느 한 구성에 있어서, 상기 기판의 상기 테이블에의 반입 및 상기 테이블로부터의 상기 기판의 반출시에 상기 프레임체가 위치하는 대기 위치가 설정되어 있고,

상기 프레임체를, 상기 기판의 주변부를 끼워 넣은 상태로 테이블에 누르는 위치인 동작 위치와, 대기 위치의 사이에서 반복 이동시키는 프레임체 이동 기구가 설치되어 있다는 구성을 갖는다.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 6에 기재된 발명은, 상기 청구항 5의 구성에 있어서, 상기 프레임체 이동 기구에는, 상기 기판의 반송 기구가 겸용되고 있다는 구성을 갖는다.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 7에 기재된 발명은, 상기 청구항 5 또는 6의 구성에 있어서, 상기 프레임체 이동 기구는, 상기 프레임체를 진공 흡착하여 유지하면서 이동시키는 기구라는 구성을 갖는다.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 8에 기재된 발명은, 상기 청구항 6 또는 7의 구성에 있어서, 상기 기판의 반송 기구는, 상기 기판을 흡착하여 유지하는 기판용 흡착 패드를 구비하고 있고,

상기 프레임체는, 이 기판용 흡착 패드가 삽입 통과되는 절결을 갖고 있다는 구성을 갖는다.

이하에 설명하는 대로, 본원의 청구항 1에 기재된 발명에 의하면, 노광시, 기판은 테이블에 진공 흡착됨과 더불어 기판의 주변부는 프레임체에 의해 테이블에 눌린다. 이때, 프레임체에는, 형성되는 폐공간의 진공 압력에 의해 테이블을 향하는 힘이 더해진다. 이 진공 압력은, 기판을 테이블에 흡착하기 위한 계통과는 다른 계통에 의해 공급할 수 있으므로, 기판과 테이블의 사이에서 리크가 발생해도, 프레임체에 강한 압압력을 걸 수 있다. 이로 인해, 강성이 높은 기판에 변형이 생긴 경우라도, 노광 중에 기판을 테이블에 확실히 유지할 수 있다. 또, 폐공간은 기판을 벗어난 위치에 형성되기 때문에, 여기서의 진공 압력이 기판에 직접 작용하는 일은 없다.

또, 청구항 2 또는 3에 기재된 발명에 의하면, 상기 효과에 더하여, 탄성을 갖는 주상 시일링 부재로 폐공간이 형성되므로, 압압력이 유연하게 작용한다.

또, 청구항 4에 기재된 발명에 의하면, 상기 효과에 더하여, 주상 시일링 부재가 튜브 형상이므로, 압압시의 압력의 조정이 용이해지고, 또 두께가 다른 기판에 대해서도 용이하게 압압할 수 있다.

또, 청구항 5에 기재된 발명에 의하면, 상기 효과에 더하여, 프레임체 이동 기구가 설치되어 있으므로, 테이블에의 기판의 재치나 테이블로부터의 기판의 제거시에 프레임체를 퇴피시킬 수 있고, 테이블을 대규모로 이동시킬 필요가 없기 때문에, 이 점에서 기구적으로 간략화된다.

또, 청구항 6에 기재된 발명에 의하면, 상기 효과에 더하여, 기판의 반송 기구에 의해 프레임체 이동 기구가 겸용되고 있으므로, 이 점에서 장치의 구조나 동작이 간략화된다.

또, 청구항 7에 기재된 발명에 의하면, 상기 효과에 더하여, 반송 핸드가 프레임체를 흡착 유지하면서 이동시키는 것이므로, 기판의 노광시에는 반송 핸드가 프레임체를 분리하여 퇴피하는 것이 용이해지거나, 프레임체의 교환이 용이해지거나 하는 효과가 있다.

또, 청구항 8에 기재된 발명에 의하면, 상기 효과에 더하여, 프레임체가, 기판용 흡착 패드가 삽입 통과되는 절결을 갖고 있으므로, 구조를 복잡화시키지 않고 충분한 흡착력으로 기판의 유지가 가능하다는 효과가 있다.

도 1은, 실시 형태의 프린트 기판용 노광 장치의 정면 단면 개략도이다.
도 2는, 도 1의 노광 장치의 주요부의 평면 개략도이다.
도 3은, 프레임체의 사시 개략도이다.
도 4는, 실시 형태의 프린트 기판용 노광 장치의 동작에 대해 나타낸 정면 단면 개략도이다.
도 5는, 실시 형태의 프린트 기판용 노광 장치의 동작에 대해 나타낸 정면 단면 개략도이다.
도 6은, 실시 형태의 프린트 기판용 노광 장치의 동작에 대해 나타낸 정면 단면 개략도이다.
도 7은, 기판의 사이즈에 맞추어 준비되는 각 프레임체의 일례에 대해 나타낸 사시 개략도이다.

다음에, 본원 발명을 실시하기 위한 형태(이하, 실시 형태)에 대해 설명한다.

도 1은, 실시 형태의 프린트 기판용 노광 장치의 정면 단면 개략도, 도 2에 나타내는 프린트 기판용 노광 장치의 주요부의 평면 개략도이다. 실시 형태의 프린트 기판용 노광 장치는, 기판(S)이 올려지는 테이블(1)과, 테이블(1)에 올려진 기판(S)에 회로 등의 패턴을 형성하기 위한 노광광을 조사하는 노광계(2)를 구비하고 있다. 도 2는, 기판(S)이 올려진 상태의 테이블(1)의 평면 개략도로 되어 있다.

테이블(1)은, 도 2에 나타내는 바와 같이 평면에서 볼 때 방형의 마운트 형상의 부재이다. 테이블(1)의 수평한 상면이 기판(S)의 재치면으로 되어 있고, 재치면에는, 흡착구멍(11)이 균등 간격으로 다수 설치되어 있다. 그리고, 각 흡착구멍(11)을 통해 진공 흡인함으로써 기판(S)을 테이블(1)에 흡착하는 진공 흡착 기구(3)가 설치되어 있다. 테이블(1)에는, 배기관(이하, 기판용 배기관)(31)이 접속되어 있고, 기판용 배기관(31)은, 테이블(1) 내에 설치된 기판용 배기로(12)에 의해서 각 흡착구멍(11)에 연통하고 있다. 기판용 배기관(31) 상에는, 개폐 밸브(32)나 압력 조정 밸브(33)가 설치되어 있다.

테이블(1)의 양측에는, 반송 컨베이어(41, 42)가 설치되어 있다. 반송 컨베이어(41, 42)는, 테이블(1)에 대한 기판(S)의 반입, 반출용이며, 어느 측을 반입용, 반출용으로 해도 된다. 이하, 설명의 편의상, 우측의 반송 컨베이어(41)를 제1 반송 컨베이어로 하고, 좌측의 반송 컨베이어(42)를 제2 반송 컨베이어로 한다.

각 반송 컨베이어(41, 42)에 협동하여 동작하는 것으로서, 테이블(1)의 양측에는 반송 핸드(51, 52)가 설치되어 있다. 반송 핸드(51, 52)에 대해서도, 어느 것을 반입측, 어느 것을 반출측으로 해도 된다. 이하, 설명의 편의상, 우측의 반송 핸드(51)를 제1 반송 핸드로 하고, 좌측의 반송 핸드(52)를 제2 반송 핸드로 한다.

각 반송 핸드(51, 52)는, 프레임(511, 521)과, 프레임(511, 521)에 부착된 기판용 흡착 패드(512, 522)를 구비하고 있다. 각 프레임(511, 521)에는, 반송 구동 기구(513, 523)가 설치되어 있다. 반송 구동 기구(513, 523)의 상세는 도시를 생략하지만, 프레임(511, 521)을 반송 방향(도 1의 지면상 좌우 방향)으로 직선 이동시켜 소정 위치에 위치시킴과 더불어 상하 방향으로 이동시킬 수 있는 기구로 되어 있다. 장치는 도시하지 않은 제어부를 구비하고 있고, 각 반송 구동 기구(513, 523)는, 도시하지 않은 제어부에 의해 제어된다.

기판용 흡착 패드(512, 522)는, 기판(S)의 주연을 따라서 다수 설치되어 있다. 각 기판용 흡착 패드(512, 522)에는, 도시하지 않은 기판용 흡인원이 접속되어 있다. 기판용 흡인원의 온 오프도, 마찬가지로 도시하지 않은 제어부에 의해서 제어된다.

노광계(2)는, 테이블(1)의 상방에 배치되어 있다. 실시 형태의 노광 장치는, 특별히 노광의 방식을 선택하지 않는 것이며, 투영 노광, 컨택트 또는 근접 노광, 또한 DI(다이렉트 이미징) 노광 중 어느 방식도 채용할 수 있다. 예를 들면 투영 노광의 경우, 노광계(2)는, 광원과, 광원으로부터의 광이 조사되는 마스크와, 마스크의 상을 테이블(1) 상의 투영하는 투영 렌즈 등으로 구성된다. DI 노광의 경우에는, 레이저 광원과, 레이저 광원으로부터의 광을 공간 변조하여 패턴을 형성하는 DMD(Digital Mirror Device)와 같은 공간 변조 소자를 구비한 노광 유닛이 복수 설치된 구성이 채용된다.

이러한 실시 형태의 프린트 기판용 노광 장치는, 진공 흡착 기구에 의한 기판(S)의 흡착을 확실히 하기 위해, 테이블(1)에 올려진 기판(S)의 주변부를 테이블(1)에 누르는 누름 기구(6)를 구비하고 있다. 누름 기구(6)는, 프레임체(61)와, 사이에 기판(S)의 주변부가 끼워 넣어진 상태로 프레임체(61)를 테이블(1)을 향해서 압압함으로써 기판(S)의 주변부를 테이블(1)에 누르는 구동부를 구비하고 있다. 또, 프레임체(61)를, 기판(S)의 주변부를 끼워 넣은 상태로 테이블(1)에 누르는 위치인 동작 위치와, 소정의 대기 위치의 사이에서 반복 이동시키는 프레임체 이동 기구가 설치되어 있다. 프레임체 이동 기구에는, 이 실시 형태에서는, 기판(S)의 반입 반출용의 제1 반송 핸드(51)와 그 반송 구동 기구(513)가 겸용되고 있다.

도 3을 참조하여, 프레임체(61)에 대해 보다 구체적으로 설명한다. 도 3은, 프레임체(61)의 사시 개략도이다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 프레임체(61)는, 방형의 액자 형상이다. 프레임체(61)의 내연의 사이즈는, 기판(S)의 윤곽보다 조금 작다. 내연의 마주보는 변에는, 거의 반원 형상의 절결(611)이 다수 설치되어 있다. 이 절결(611)은, 기판용 흡착 패드(512)와의 간섭을 피하기 위한 형상이다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 제1 반송 핸드(51)에는, 복수의 프레임체용 흡착 패드(514)가 설치되어 있다. 각 프레임체용 흡착 패드(514)는, 프레임체(61)를 외연으로부터의 위치에서 흡착하는 위치에 설치되어 있다. 각 프레임체용 흡착 패드(514)에는, 도시하지 않은 프레임체용 흡착원이 접속되어 있다 .

프레임체(61)는, 테이블(1)에 올려진 기판(S)을 벗어난 위치에서 폐공간을 형성하는 구조를 갖고 있다. 구체적으로 설명하면, 프레임체(61)의 하면(테이블(1) 측을 향한 면)에는, 탄성을 갖는 주상 시일링 부재(62)가 설치되어 있다. 주상 시일링 부재(62)는, 기판(S)을 벗어난 위치에서 테이블(1)에 맞닿는 위치에 설치되어 있다.

주상 시일링 부재(62)는, 본 실시 형태에서는, 튜브 형상의 것으로 되어 있고, 재질로서는 실리콘 고무와 같은 수지제로 되어 있다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 주상 시일링 부재(62)는, 거의 방형으로 되어 있고, 사이즈가 작은 것 큰 것이 동심 상에 설치되어 있다. 각 주상 시일링 부재(62)의 형상은, 프레임체(61)의 내연의 형상과 거의 상사형이며, 기판(S)의 윤곽과 거의 상사형이다.

이러한 대소 한 쌍의 주상 시일링 부재(62)는, 서로의 사이의 공간이 폐공간이 되고, 진공 압력이 되도록 되어 있다. 즉, 프레임체(61)는, 후술하는 바와 같이 테이블(1)에 대해서 기판(S)을 끼워 넣은 상태로 압압된다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 테이블(1) 중, 프레임체(61)를 향하는 개소에는, 프레임체용 배기구멍(13)이 형성되어 있다. 프레임체(61)의 구동부는, 이 프레임체용 배기구멍(13)으로부터 진공 흡인하는 수단으로 되어 있다. 프레임체용 배기구멍(13)은, 기판용의 흡착구멍(11)과는 다른 계통의 프레임체용 배기로(14)로 배기되도록 되어 있고, 한 쌍의 주상 시일링 부재(62)와, 프레임체(61)와, 테이블(1)로 형성된 폐공간이 진공으로 배기된다. 폐공간이란, 흡인용의 개구를 제외하고 닫은 공간이라는 의미이다. 또한, 프레임체용 배기로(14)에 접속된 프레임체용 배기관(63)은, 최종적으로는 기판용 배기관(31)과 하나로 되어 도시하지 않은 진공 펌프에 접속되어 있지만, 거기까지는 다른 배기관으로 되어 있고, 프레임체용 배기관(63)에도 개폐 밸브(64) 및 압력 조정 밸브(65)가 설치되어 있다.

또, 테이블(1)에는, 승강 기구(100)가 설치되어 있다. 승강 기구(100)는, 기판(S)의 수수시에 구동되는 외, 노광계(2)에 대한 기판(S)의 거리의 조절의 목적으로도 사용된다. 승강 기구(100)는, 써보모터를 포함하는 직동 기구로 구성되어 있고, 제어부에 의해 제어된다.

다음에, 이러한 실시 형태의 프린트 기판용 노광 장치의 동작에 대해서, 도 4~도 7을 참조하여 설명한다. 도 4~도 6은, 실시 형태의 프린트 기판용 노광 장치의 동작에 대해 나타낸 정면 단면 개략도이다.

이하의 설명에서는, 일례로서 제1 반송 컨베이어(41) 및 제1 반송 핸드(51)가 반입용, 제2 반송 컨베이어(42) 및 제2 반송 핸드(52)가 반출용이라고 한다. 또, 일례로서 프레임체(61)의 이동에는 제1 반송 핸드(51)가 겸용되는 것으로 한다.

도 4(1)에 나타내는 바와 같이, 제1 반송 핸드(51)는, 프레임체(61)를 유지한 상태로 제1 반송 컨베이어(41) 상의 소정의 대기 위치에서 대기하고 있다. 또, 제2 반송 핸드(52)는, 제2 반송 컨베이어(42) 상의 소정의 대기 위치에서 대기하고 있다.

우선, 제1 반송 핸드(51)가 기판(S)의 반입 동작을 행한다. 즉, 도 4(2)에 나타내는 바와 같이, 제1 반송 핸드(51)가 하강한다. 이때의 하강 거리는, 각 기판용 흡착 패드(512)가 기판(S)에 맞닿는 위치이다. 하강이 완료하면, 제1 반송 핸드(51)의 기판용 흡인원이 동작하고, 제1 반송 컨베이어(41) 상의 기판(S)이 제1 반송 핸드(51)에 흡착 유지된다. 이 상태로, 도 4(3)에 나타내는 바와 같이 반송 구동 기구(513)가 제1 반송 핸드(51)를 상승시킨다. 제1 반송 핸드(51)는, 기판(S) 및 프레임체(61)를 유지한 상태로 소정의 상승 위치에서 정지한다 .

그리고, 도 4(4)에 나타내는 바와 같이, 반송 구동 기구(513)가 제1 반송 핸드(51)를 수평 이동시키고, 테이블(1)의 상방의 소정 위치에 위치시킨다. 그리고, 승강 기구(100)가 동작하고, 테이블(1)이 소정 거리 상승한다. 이 거리는, 도 5(1)에 나타내는 바와 같이, 기판(S)이 테이블(1)의 상면(재치면)에 맞닿고, 프레임체(61)의 각 주상 시일링 부재(62)도 테이블(1)에 맞닿는 거리이다.

그 후, 제어부는, 제1 반송 핸드(51)에 있어서의 기판용 흡착원(512) 및 프레임체용 흡착원에 제어 신호를 보내고, 각각 동작을 정지시킨다. 그 위에, 제어부는, 진공 흡착 기구(3)에 있어서의 기판용 배기관(31) 상의 개폐 밸브(32), 프레임체용 배기관(63) 상의 개폐 밸브(64)에 제어 신호를 보내고, 각각 개방 상태로 한다. 이 결과, 기판용 흡착구멍(11)으로부터의 진공 흡인에 의해서 기판(S)이 진공 흡착된다. 또, 한 쌍의 주상 시일링 부재(62)로 형성되는 폐공간은, 프레임체용 배기구멍(13)으로부터의 진공 흡인에 의해 진공 압력이 된다. 이 결과, 프레임체(61)가 사이에 기판(S)의 주변부를 끼워 넣은 상태로 테이블(1)을 향해서 압압된다. 즉, 프레임체(61)는, 내측의 가장자리가 하방으로 절곡된 단면 형상으로 되어 있고, 이 절곡된 부분의 선단이 기판(S)의 주변부에 맞닿고, 상기 주변부를 테이블(1)에 누르는 상태가 된다. 또, 이때, 탄성체인 주상 시일링 부재(62)는, 조금 찌그러진 듯한 상태가 된다.

제어부는, 상기 각 흡착 패드에 의한 흡착의 해제, 기판(S)의 진공 흡착 및 프레임체(61)의 흡인과 동시에, 승강 기구(100)에 제어 신호를 보내 소정 거리 하강시킨다. 이 결과, 테이블(1)은, 도 5(2)에 나타내는 바와 같이 당초의 높이로 되돌아간다. 이 높이는, 설정된 노광 거리가 되는 높이이다. 또한, 반송 구동 기구(513)는, 제1 반송 핸드(51)를 당초의 대기 위치까지 되돌린다. 이 상태로, 도 5(3)에 나타내는 바와 같이, 노광계(2)가 동작하고, 테이블(1) 상의 기판(S)에 대해서 소정의 패턴의 광이 조사되어 노광이 행해진다.

소정 시간의 노광이 종료하면, 도 5(4)에 나타내는 바와 같이, 제어부는, 반송 구동 기구(513)에 제어 신호를 보내고, 대기 위치에 있던 제1 반송 핸드(51)를 테이블(1)의 상방의 소정 위치까지 이동시킨 후, 소정 거리 하강시키고, 제1 반송 핸드(51)의 프레임체용 흡착 패드(514)가 프레임체(61)에 맞닿은 상태로 한다.

제1 반송 핸드(51)가 이 위치까지 하강한 후, 제어부는, 제1 반송 핸드(51)의 프레임체용 흡착원을 동작시킨다. 기판용 흡착원이 동작되지 않고, 기판(S)은 제1 반송 핸드(51)에는 흡착되지 않는다. 프레임체용 흡착원의 동작과 동시에, 제어부는, 프레임체용 배기관(63) 상의 개폐 밸브(64)를 닫고, 도시하지 않은 대기 개방 밸브를 개방한다. 이 결과, 한 쌍의 주상 시일링 부재(62)에 의한 폐공간 내의 압력이 대기압으로 돌아가고, 프레임체(61)에 의한 기판(S)의 주변부에의 누름은 해제된다. 또한, 기판용 배기관(31)의 개폐 밸브(32)가 개방된 채이며, 기판(S)의 진공 흡착은 해제되지 않는다.

이 상태로, 제어부는, 반송 구동 기구(513)에 제어 신호를 보내고, 제1 반송 핸드(51)를 상승시키고, 그 후, 수평 이동시켜, 도 6(1)에 나타내는 바와 같이 당초의 대기 위치로 되돌린다. 제1 반송 핸드(51)는, 대기 위치에 있어서, 프레임체(61)를 흡착 유지한 상태를 유지한다.

그 후, 제어부는, 반송 구동 기구(523)에 제어 신호를 보내고, 제2 반송 핸드(52)를 테이블(1)의 상방의 소정 위치까지 이동시킨 후에 소정 거리 하강시키고, 도 6(2)에 나타내는 바와 같이, 제2 반송 핸드(52)의 기판용 흡착 패드(522)가 기판(S)에 맞닿은 상태로 한다. 이 상태로, 제어부는, 제2 반송 핸드(52)의 기판용 흡착원을 동작시켜 기판(S)을 흡착시킨다. 그리고, 제어부는, 기판용 배기관(31)의 개폐 밸브(32)를 폐쇄하여 흡착구멍(11)을 대기에 해방하고, 테이블(1) 상에서의 기판(S)의 진공 흡착을 해제한다. 이로 인해, 기판(S)의 진공 흡착은, 테이블(1)로부터 제2 반송 핸드(52)로 전환된다. 이때, 기판용 배기관(31)을 통해 흡착구멍(11)에 순간적으로 정압을 부여하여 진공 압력으로부터의 대기압 복귀를 촉진하기도 한다. 그리고, 반송 구동 기구(523)는, 제2 반송 핸드(52)를 상승시킨 후, 수평 이동시켜, 도 6(3)에 나타내는 바와 같이, 당초의 대기 위치로 되돌린다. 그 후, 반송 구동 기구(523)는, 제2 반송 핸드(52)를 소정 거리 하강시키고, 도 6(4)에 나타내는 바와 같이 기판(S)이 제2 반송 컨베이어(42)에 실린 상태로 한다. 그리고, 제어부는, 제2 반송 핸드(52)의 기판용 흡착원의 동작을 정지시킨 후, 제2 반송 핸드(52)를 상승시켜 대기 위치로 되돌린다.

이로 인해, 한 장의 기판(S)에 대한 일련의 처리가 종료한 상태가 된다. 제2 반송 컨베이어(42)는, 처리가 끝난 기판(S)을 다음의 공정에 반송하는 동작을 행함과 더불어, 제1 반송 컨베이어(41)에는, 다음의 기판(S)이 반입되어 온다. 그리고, 다음의 기판(S)에 대해서 같은 동작이 반복된다. 또한, 상기 설명으로부터 알 수 있듯이, 프레임체(61)는, 제1 반송 핸드(51)의 대기 위치와, 테이블(1) 상에서 기판(S)의 주변부를 테이블(1)에 누르는 위치의 사이에서 왕복 이동을 행하면서, 반복 기판(S)의 노광 처리에 이용된다.

상기 설명으로부터 알 수 있듯이, 실시 형태의 프린트 기판용 노광 장치에 의하면, 노광시, 기판(S)은 테이블(1)에 진공 흡착됨과 더불어, 기판(S)의 주변부는 프레임체(61)에 의해 테이블(1)에 눌린다. 이때, 프레임체(61)는, 한 쌍의 주상 시일링 부재(62)에 의해서 형성되는 폐공간의 진공 압력에 의해 테이블(1)을 향하는 힘이 더해진다. 이 때문에, 압압력의 조정이 용이하다. 즉, 프레임체용 배기관(63)에 설치된 압력 조정 밸브(65)에 의해 적절한 압력으로 하는 것이 용이하다. 경우에 따라서는, 제어부에 의해 압력을 자동 제어할 수도 있다.

또, 도 1 등에 나타내는 바와 같이, 프레임체(61)의 테이블(1)을 향한 압압을 위한 진공 압력의 공간은, 기판(S)이 위치하는 공간으로부터 격절된 공간이며, 여기서의 진공 압력에 기판(S)이 직접 노출되는 일은 없다. 따라서, 기판(S)의 보호 필름의 박리나 기포 발생과 같은 문제는, 이 실시 형태에서는 생기지 않는다.

또, 탄성을 갖는 주상 시일링 부재(62)로 폐공간이 형성되므로, 기판(S)에 대한 압압력의 작용의 방법이 유연해진다. 탄성 부재가 아닌 것으로 폐공간을 형성하여 진공 배기하는 구조여도, 프레임체(61)를 누르는 정도의 압력을 생기게 할 수 있지만, 실시 형태의 구조에서는, 압압력을 소프트하게 더할 수 있다.

또, 이 실시 형태에서는, 한 쌍의 주상 시일링 부재(62)는 튜브 형상으로 되어 있다. 이 점은, 압압시의 압력의 조정을 용이하게 하는 의의가 있고, 또 두께가 다른 기판(S)에 대해서도 용이하게 압압할 수 있도록 하는 의의가 있다. 주상 시일링 부재(62)로서는, 선 형상 또는 끈 형상의 탄성체로 튜브 형상이 아닌 것(안이 메워진 것)이어도 된다. 예를 들면, 고무 끈 형상의 것이나 스펀지 형상의 것을 사용할 수도 있다. 그러나, 상기와 같이, 주상 시일링 부재(62)는, 진공 배기에 의해 압축되면서 시일링 상태를 유지함과 더불어, 진공 압력에 의한 프레임체(61)의 기판(S)에의 누름 압력에 저항하여 탄성을 작용시켜 누름 압력을 조절하는 기능을 갖는다. 기판(S)의 두께가 두꺼워지면, 주상 시일링 부재(62)의 단면적이 큰(단면의 높이가 높은) 것을 이용하게 되지만, 반대로 얇은 기판(S)에 대해서 압압을 행하고자 하면, 프레임체(61)가 기판(S)의 주변부에 맞닿기 위해서는 상당한 압축을 하지 않으면 안되게 되고, 프레임체(61)가 기판(S)의 주변부에 맞닿을 수 없거나, 맞닿을 수 있어도 탄성에 의한 반발력이 과잉이 되어 버리거나 하는 문제가 생긴다. 이 때문에, 기판(S)의 두께에 따라 주상 시일링 부재(62)를 바꿔 붙일 필요가 생긴다. 한편, 튜브 형상의 것이면, 두꺼운 기판(S)에 따른 구경으로 해두어도, 두꺼운 기판(S)으로부터 얇은 기판(S)까지 비교적 균일한 반발력을 작용시키면서 압축된다. 이 때문에, 두께가 다른 기판(S)에 대해서도 교환이 필요없이 사용할 수 있다.

또한, 주상 시일링 부재(62)는, 한 쌍의 것이 아닌 경우도 있을 수 있다. 예를 들면, 단면이 오목 형상의 것으로 되어 있어 주상으로 늘어서 있는 형상의 것 1개를 사용해도 같은 것을 행할 수 있다.

또, 프레임체 이동 기구가 설치되어 있으므로, 테이블(1)에의 기판(S)의 재치나 테이블(1)로부터의 기판(S)의 제거시에 프레임체(61)를 퇴피시킬 수 있다. 프레임체(61)의 위치가 고정인 경우에는, 테이블(1)을 일단 하방으로 이동시키고 나서 횡방향으로 이동시키는 등의 대규모인 테이블(1)의 이동 기구가 필요하게 되지만, 실시 형태의 구성에서는 이러한 일은 필요없기 때문에, 기구적으로 간략화되어 있다.

또한, 상기 설명으로부터 알 수 있듯이, 기판(S)을 흡착 유지하여 반송 동작을 행하는 핸드가 동시에 프레임체(61)를 흡착 유지하는 기능도 구비하고 있고, 기판(S)의 반송 기구에 의해 프레임체 이동 기구가 겸용되고 있다. 이 점도, 장치의 구조나 동작을 간략화하는 의의가 있다. 본원 발명의 실시에 있어서는, 기판(S)을 흡착 유지하는 핸드와는 다른 핸드로 프레임체(61)를 흡착 유지하여 상기 다른 핸드를 이동 기구로 이동시켜도 된다. 단, 이와 같이 하면 구조나 동작이 복잡해지고, 장치 코스트가 상승하거나 동작시간이 길게 걸리거나 하는 문제가 있다. 기판용의 핸드를 겸용하여 프레임체(61)의 흡착 유지를 행하는 구성이면, 이러한 문제는 없다.

또, 반송 핸드가 프레임체(61)를 흡착 유지하면서 이동시키는 것인 점은, 기판(S)의 노광시에는 반송 핸드가 프레임체(61)를 분리하여 퇴피하는 것을 용이하게 하는 의의가 있다. 본원 발명의 실시에 있어서는, 프레임체(61)가 반송 핸드에 대해서 착탈되는 것이 아니라, 고정의 것이어도 된다. 단 이 경우는, 그러한 반송 핸드나 그 이동 기구가 기판(S)의 노광 중의 테이블(1)의 부근에 위치하게 되므로, 노광을 차폐하지 않도록 할 필요가 있고, 구조적으로 복잡해진다. 한편, 반송 핸드가 프레임체(61)를 흡착 유지하는 구조에서는, 반송 핸드는 흡착을 해제하여 임의의 위치로 퇴피할 수 있으므로, 구조적으로 간략해진다.

상술한 실시 형태의 프린트 기판용 노광 장치에 있어서, 프레임체(61)는, 처리하는 기판(S)의 사이즈에 맞추어 적절히 교환된다. 이하, 이 점에 대해 도 7을 참조하여 설명한다. 도 7은, 기판(S)의 사이즈에 맞추어 준비되는 각 프레임체(61)의 일례에 대해 나타낸 사시 개략도이다.

도 7에 나타내는 바와 같이, 이 실시 형태에서는, 기판(S)의 각 사이즈에 맞추어 다른 프레임체(61)가 준비되지만, 각 프레임체(61)는, 외측의 윤곽은 같은 치수 형상이다. 그리고, 개구의 치수 형상이 다른 것으로 되어 있다. 즉, 개구는, 처리하는 기판(S)보다 조금 작은 치수 형상으로 되어 있다. 그리고, 각 프레임체(61)에 있어서, 개구가 마주보는 가장자리에는, 마찬가지로 절결(611)이 다수 설치되어 있다. 절결(611)은, 기판용 흡착 패드(512, 522)와의 간섭을 피하기 위한 절결(611)이다.

사이즈가 다른 기판(S)을 처리하는 경우, 그때까지 사용하고 있던 프레임체(61)를 유지하고 있는 제1 반송 핸드(51)를 소정 거리 하강시키고, 프레임체(61)를 제1 반송 컨베이어(41) 상에 두고 나서, 프레임체용 흡착원을 오프로 한다. 그리고, 제1 반송 컨베이어(41)를 상방으로 퇴피시키고 나서 프레임체(61)를 없애고, 사이즈가 다른 기판용의 프레임체(61)를 제1 반송 컨베이어(41) 상에 올린다. 그리고, 제1 반송 핸드(51)를 하강시키고, 프레임체용 흡착 패드(514)를 프레임체(61)에 맞닿게 하고 나서 프레임체용 흡착원을 동작시켜 흡착시킨다. 또한, 제1 반송 핸드(51)를 상승시키고, 대기 위치에서 대기시킨다.

또한, 상기 프레임체(61)의 교환시, 프레임체(61)의 흡착 유지 위치의 위치 맞춤이 적절히 행해진다. 예를 들면, 각 프레임체용 흡착 패드(514)의 흡착 위치를 나타내는 마크를 프레임체(61)의 상면에 설치해 두고, 이 마크를 표시로 하여 위치 맞춤을 하는 방법을 생각할 수 있다.

또, 상기와 같이 다른 사이즈의 기판(S)을 처리하는 경우, 각 기판용 흡착 패드(512, 522)는 다른 위치에서 기판(S)을 흡착 유지하게 되기 때문에, 각 기판용 흡착 패드(512, 522)는 교환 내지 위치 변경된다. 예를 들면, 각 기판용 흡착 패드(512, 522)는 홀더에 부착되어 있고, 홀더마다 교환하는 구조를 생각할 수 있다. 홀더와 홀더에 고정된 각 기판용 흡착 패드(512, 522)가 유닛으로 되어 있고, 이 유닛을 각 반송 핸드에 대해서 교환하는 구조가 채용될 수 있다.

또한, 프레임체(61)의 이동에 기판용의 반송 핸드가 겸용되고 있는 점은, 전술한 바와 같이 구조를 간략화하는 의의가 있지만, 이때, 도 3이나 도 7에 나타내는 절결(611)도, 구조를 복잡화시키지 않고 충분한 흡착력으로 기판(S)의 유지를 할 수 있도록 한 의의가 있다. 즉, 프레임체(61)는 기판(S)의 주변부를 누르는 것이므로, 개구의 가장자리는 기판(S)의 주변부보다 내측의 위치가 된다. 이때, 기판용 흡착 패드(512, 522)를 프레임체(61)의 이동에 겸용하는 구성에서는, 반송 핸드가 프레임체(61)를 흡착 유지하고 있는 상태로 기판용 흡착 패드(512, 522)가 기판(S)을 흡착 유지하는 동작이 아무래도 생기고, 기판용 흡착 패드(512, 522)는, 프레임체(61)의 개구를 통해 연장하여 기판(S)을 흡착하는 구조로 되지 않을 수 없다. 이 경우, 기판(S)의 회로 형성 부분에 있어서 흡착 유지를 행할 수는 없고, 주변의 마진 부분을 흡착 유지하기 때문에, 절결(611)이 없으면, 매우 작은 흡착 패드를 다수 설치하여 기판(S)을 흡착 유지하는 구조로 되지 않을 수 없다. 그러나, 이 구조는 비실용적이고, 흡착력도 충분히 확보할 수 없다. 절결(611)이 있으면, 어느 정도의 크기의 흡착 패드를 사용하여 기판(S)의 흡착을 할 수 있는 한편, 프레임체(61)에 의한 기판(S)이 누름 작용이 있는 부분을 어느 정도의 면적으로 확보할 수 있다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 기판용 흡착 패드(512, 522)는, 기판(S)의 주연 중, 마주보는 한 쌍의 변의 주연에 있어서 기판(S)을 흡착하는 위치에 설치되었지만, 네 개의 변의 주연에 있어서 기판(S)을 흡착하는 위치에 설치되는 경우도 있다. 이 쪽이, 기판(S)의 흡착 유지를 확실히 하는 점에서는 바람직하다. 한 쌍의 변의 주연에서 기판(S)을 흡착 유지하는 경우, 각 기판용 흡착 패드(512, 522)를 유지한 프레임(511, 521)은 판 형상이 되지만, 네 개의 변의 주연에서 기판(S)을 유지하는 경우, 프레임(511, 521)은 방형의 프레임 형상이 된다.

상기 실시 형태에 있어서, 제1 반송 핸드(51), 제1 반송 컨베이어(41)가 반입용, 제2 반송 핸드(52), 제2 반송 컨베이어(42)가 반출용이었지만, 이 관계는 반대여도 되고, 각각을 반입 반출의 쌍방으로 사용할 수도 있다. 즉, 제1 반송 핸드(51)가 기판(S)의 반입 동작을 행하여 노광을 하고 있는 중에 제2 반송 핸드(52)가 다른 기판(S)을 유지하여 대기하고 있고, 최초의 기판(S)의 노광 종료 후에 제1 반송 핸드(51)가 기판(S)을 반출한 후, 제2 반송 핸드(52)가 다른 기판(S)을 반입하도록 한다. 이와 같이 하여 교대로 각 반송 핸드가 기판(S)의 반입 반출을 행하도록 해도 된다. 이 경우, 프레임체(61)는, 각각의 반송 핸드에 대해 설치되고, 각 반송 핸드는 프레임체(61)를 흡착 유지하면서 기판(S)의 반입 반출 동작을 행한다.

또, 본원 발명의 실시에 있어서는, 반송 핸드는 한 개만으로도 충분하다. 프레임체(61)를 흡착 유지한 하나의 반송 핸드가 제1 반송 컨베이어(41)로부터 기판(S)을 픽업하여 테이블(1)에 올리고, 노광 종료 후에 프레임체(61)과 함께 기판(S)을 테이블(1)로부터 픽업하여 제2 반송 컨베이어(42)에 반출하는 구성도 있을 수 있다. 이 경우에서는, 한쪽에만 컨베이어가 있는 구성도 채용할 수 있다.

또한, 테이블(1)은 승강 기구(100)을 구비하고 있어 기판(S)의 재치시에 테이블(1)이 승강하는 구성이었지만, 핸드의 승강에 의해 이것을 행해도 되고, 테이블(1)은 승강기구(100)를 구비하고 있지 않아도 된다. 또, 테이블(1)이 승강 기구(100)를 구비하고 있는 외, 각 컨베이어가 승강기구를 구비하고 있으면, 반송 구동 기구(513, 523)는 각 반송 핸드(51, 52)를 승강시키는 기능을 가질 필요는 없다.

상기 실시 형태에서는, 주상 시일링 부재(62)는 프레임체(61)에 부착되어 있었지만, 테이블(1) 측에 부착되고 있어도 된다. 즉, 테이블(1)의 상면 중, 압압을 위해서 다가오는 프레임체(61)를 향하는 개소에 주상 시일링 부재를 설치해도 똑같이 폐공간을 형성할 수 있고, 똑같이 동작시킬 수 있다.

또, 진공 흡착 기구(3)의 기판용 배기관(31)은, 프레임체용 배기관(63)과 최종적으로는 하나로 되어 있었지만, 완전히 다른 계통의(독립한) 배기로서 각각 펌프로 배기되는 구조여도 된다. 또한, 프레임체(61)에 의해 형성되는 폐공간 내를 배기하는 프레임체용 배기구멍(13)은, 상기 실시 형태에서는 테이블(1)에 형성되어 있었지만, 프레임체(61)에 형성되어 있어도 된다. 단, 이 구조에서는, 프레임체(61)가 배기용의 플렉서블 튜브를 끌고 다님으로써, 번잡하고 구조적으로 복잡해진다. 테이블(1)에 프레임체용 배기구멍(13)이 있는 경우, 그러한 문제는 없다.

프레임체(61)는, 일부가 기판(S)의 주변부에 맞닿아 기판(S)을 테이블(1)에 누를 필요가 있지만, 폐공간을 형성하는 부분은 테이블(1)을 향하는 부분이 아니어도 된다. 즉, 테이블(1)의 주변에 프레임 형상의 다른 부재가 있고, 주상 시일링 부재(62)는 이 다른 부재에 맞닿아 폐공간을 형성하고 있어도 된다.

1: 테이블 100: 승강기구
11: 흡착구멍 12: 기판용 배기로
13: 프레임체용 배기구멍 14: 프레임체용 배기로
2: 노광계 3: 진공 흡착 기구
41: 제1 반송 컨베이어 42: 제2 반송 컨베이어
51: 제1 반송 핸드 512: 기판용 흡착 패드
514: 프레임체용 흡착 패드 52: 제2 반송 핸드
522: 기판용 흡착 패드 6: 누름 기구
61: 프레임체 611: 절결
62: 주상 시일링 부재 63: 프레임체용 배기관
65: 압력 조정 밸브

Claims (9)

1. 기판이 올려지는 테이블과,
   상기 테이블에 올려진 기판에 소정의 패턴을 형성하는 노광광을 조사하는 노광계를 구비한 프린트 기판용 노광 장치로서,
   기판을 상기 테이블에 진공 흡착하는 진공 흡착 기구와,
   상기 테이블에 올려진 기판의 주변부를 상기 테이블에 누르는 누름 기구가 설치되어 있고,
   상기 누름 기구는, 기판에 대한 소정의 패턴을 형성하는 노광광을 차폐하지 않는 형상의 프레임체와, 사이에 기판의 주변부가 끼워 넣어진 상태로 상기 프레임체를 상기 테이블을 향해서 압압(押壓)함으로써 기판의 주변부를 상기 테이블에 누르는 구동부를 구비하고 있고,
   상기 프레임체는, 평면으로 볼 때 기판을 벗어난 위치에서 폐공간을 형성하는 것이며, 진공 흡착된 기판이 접촉하고 있는 영역으로부터 벗어난 위치에서 상기 테이블에 접촉함으로써 기판으로부터 격절된 상태로 상기 폐공간을 상기 테이블과 더불어 형성하는 구조를 갖고 있고, 기판에 대해서 소정의 패턴을 형성하는 노광광의 조사를 행함에 있어서 상기 구동부는 상기 폐공간을 진공 흡인함으로써 기판의 주변부를 상기 테이블에 누르는 것이며,
   상기 노광계 및 상기 누름 기구를 제어하는 제어부가 설치되어 있고,
   상기 제어부는, 소정의 패턴을 형성하는 노광광의 조사를 기판에 행하고 있는 동안에도 상기 누름 기구의 상기 구동부를 동작시키는 제어를 행하는 것이며,
   상기 구동부는, 기판을 상기 테이블에 진공 흡착하는 상기 진공 흡착 기구에 있어서 배기로와는 다른 압력으로 할 수 있는 별도 계통의 배기로를 통하여 상기 폐공간을 진공 흡인하는 구동부인 것을 특징으로 하는 프린트 기판용 노광 장치.
2. 청구항 1에 있어서
   상기 테이블을 향해서 압압되는 상기 프레임체의 상기 테이블 측을 향한 면에는, 탄성을 갖는 주상(周狀) 시일링 부재가 설치되어 있고, 주상 시일링 부재는, 평면으로 볼 때 상기 기판을 벗어난 위치에서 상기 테이블에 맞닿아 상기 폐공간을 형성하는 형상인 것을 특징으로 하는 프린트 기판용 노광 장치.
3. 청구항 1에 있어서,
   상기 테이블의 상기 압압되는 프레임체를 향하는 면에는, 탄성을 갖는 주상 시일링 부재가 설치되어 있고, 주상 시일링 부재는, 평면으로 볼 때 상기 기판을 벗어난 위치에서 상기 프레임체에 맞닿아 상기 폐공간을 형성하는 형상인 것을 특징으로 하는 프린트 기판용 노광 장치.
4. 청구항 2에 있어서,
   상기 주상 시일링 부재는 튜브 형상인 것을 특징으로 하는 프린트 기판용 노광 장치.
5. 청구항 3에 있어서,
   상기 주상 시일링 부재는 튜브 형상인 것을 특징으로 하는 프린트 기판용 노광 장치.
6. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 기판의 상기 테이블에의 반입 및 상기 테이블로부터의 상기 기판의 반출시에 상기 프레임체가 위치하는 대기 위치가 설정되어 있고,
   상기 프레임체를, 상기 기판의 주변부를 끼워 넣은 상태로 테이블에 누르는 위치인 동작 위치와, 대기 위치의 사이에서 반복 이동시키는 프레임체 이동 기구가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 프린트 기판용 노광 장치.
7. 청구항 6에 있어서,
   상기 프레임체 이동 기구에는, 상기 기판의 반송 기구가 겸용되고 있는 것을 특징으로 하는 프린트 기판용 노광 장치.
8. 청구항 6에 있어서,
   상기 프레임체 이동 기구는, 상기 프레임체를 진공 흡착하여 유지하면서 이동시키는 기구인 것을 특징으로 하는 프린트 기판용 노광 장치.
9. 청구항 7에 있어서,
   상기 기판의 반송 기구는, 상기 기판을 흡착하여 유지하는 기판용 흡착 패드를 구비하고 있고,
   상기 프레임체는, 이 기판용 흡착 패드가 삽입 통과되는 절결을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 프린트 기판용 노광 장치.

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