JPH0628278B2 - 基板搬送用エレベータ - Google Patents
基板搬送用エレベータInfo
- Publication number
- JPH0628278B2 JPH0628278B2 JP15094988A JP15094988A JPH0628278B2 JP H0628278 B2 JPH0628278 B2 JP H0628278B2 JP 15094988 A JP15094988 A JP 15094988A JP 15094988 A JP15094988 A JP 15094988A JP H0628278 B2 JPH0628278 B2 JP H0628278B2
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- JP
- Japan
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- path
- substrate
- lifter
- elevator
- feeding
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Attitude Control For Articles On Conveyors (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体基板やフォトマスク用ガラス基板等
（以下、単に基板と称する）を１枚毎に昇降搬送するエ
レベータに関するものである。
（以下、単に基板と称する）を１枚毎に昇降搬送するエ
レベータに関するものである。
一般に、基板の表面処理工程においては、基板に塵埃が
付着するのを避けるため、なるべく上方の位置で基板の
表面処理をするように、スピンナー等の基板載置面やそ
れに付随する基板の搬送路は高い位置に配置されてい
る。
付着するのを避けるため、なるべく上方の位置で基板の
表面処理をするように、スピンナー等の基板載置面やそ
れに付随する基板の搬送路は高い位置に配置されてい
る。
しかし、基板表面にパターンを焼付ける露光工程等にお
いては、露光装置の光学系が上方に位置し、露光部が下
方に位置しているという構造上の制約から、露光装置に
付随する搬送路は比較的低い位置に配置されている。
いては、露光装置の光学系が上方に位置し、露光部が下
方に位置しているという構造上の制約から、露光装置に
付随する搬送路は比較的低い位置に配置されている。
基板搬送用エレベータは、このような一方の搬送路から
高低差を有する他方の搬送路へ基板を搬送するのに用い
られるもので、この種のエレベータとしては、従来よ
り、例えば、本出願人の提案に係る実開昭５９−１７０
５１７号公報に開示されたものが知られている。
高低差を有する他方の搬送路へ基板を搬送するのに用い
られるもので、この種のエレベータとしては、従来よ
り、例えば、本出願人の提案に係る実開昭５９−１７０
５１７号公報に開示されたものが知られている。
それは昇降可能に設けられたリフタを具備して成り、リ
フタで基板の外縁部を支持し、なるべくリフタと基板と
の接触面積を小さくして、塵埃の付着を防止するように
構成されている。
フタで基板の外縁部を支持し、なるべくリフタと基板と
の接触面積を小さくして、塵埃の付着を防止するように
構成されている。
ところで、前段工程で使用する装置と後段工程で使用す
る装置とでは、製造業者が異なるため、上方に位置する
搬送路と下方に位置する搬送路とではラインピッチが異
なる場合がある。
る装置とでは、製造業者が異なるため、上方に位置する
搬送路と下方に位置する搬送路とではラインピッチが異
なる場合がある。
例えば、第３図の仮想線で示す露光装置４において、そ
の露光装置の搬入出路３と５のラインピッチ P２は、エ
レベータを介して基板２を受け渡しする上方に位置する
スピンコータ等の表面処理装置の給排送路１と６のライ
ンピッチ P１と異なることがある。
の露光装置の搬入出路３と５のラインピッチ P２は、エ
レベータを介して基板２を受け渡しする上方に位置する
スピンコータ等の表面処理装置の給排送路１と６のライ
ンピッチ P１と異なることがある。
エレベータの給送用リフタ１１a と排送用リフタ１１b
の間隔は上方に位置する給排送１・６のラインピッチ P
１に適合させて配置構成されているため、エレベータと
露光装置４との間に一方の搬送路５からラインピッチの
異なる他方の搬送路６へ基板２を移し換える手段１２０
が必要になる。
の間隔は上方に位置する給排送１・６のラインピッチ P
１に適合させて配置構成されているため、エレベータと
露光装置４との間に一方の搬送路５からラインピッチの
異なる他方の搬送路６へ基板２を移し換える手段１２０
が必要になる。
しかし、極度に塵埃の付着を回避する必用があるこの種
の装置において、新たに基板の移載手段１２０を介在さ
せることは、それだけ基板の裏面汚染の機会が多くなる
ので、好ましくない。また、エレベータとその後続の装
置との間に移載手段を付設するためのスペースを必要と
し、しかも、移載手段を制御するための別の制御ユニッ
トを付設する必要があるため、制御回路が複雑化する。
の装置において、新たに基板の移載手段１２０を介在さ
せることは、それだけ基板の裏面汚染の機会が多くなる
ので、好ましくない。また、エレベータとその後続の装
置との間に移載手段を付設するためのスペースを必要と
し、しかも、移載手段を制御するための別の制御ユニッ
トを付設する必要があるため、制御回路が複雑化する。
本発明はこのような事情を考慮してなされたもので、基
板の移載手段を省くことによって、そのためのスペース
を省くとともに、基板の裏面汚染の軽減を図ること、及
び制御ユニットの単一化によって制御回路の簡素化、ひ
いてはコストの低減を図ることをその目的とする。
板の移載手段を省くことによって、そのためのスペース
を省くとともに、基板の裏面汚染の軽減を図ること、及
び制御ユニットの単一化によって制御回路の簡素化、ひ
いてはコストの低減を図ることをその目的とする。
本発明は、上記目的を達成するものであり、次のように
構成されている。
構成されている。
即ち、上方に位置する給送路１および排送路６と、下方
に位置する搬入路３及び排出路５との間で、基板を昇降
搬送する基板搬送用エレベータにおいて、 基板２の外縁を支持して、上方に位置する給送路１より
基板２を受け取って下降し、下方に位置する搬入路３へ
基板２を引き渡す給送用リフタ１１ａと、基板２の外縁
を支持して、下方に位置する排出路５より基板２を受け
取って上昇し、上方に位置する排送路６へ基板２を引き
渡す排送用リフタ１１ｂと、上方に位置する給送路１と
排送路６との間のラインピッチＰ１が、下方に位置する
搬入路３と排出路５との間のラインピッチＰ２と異なる
差異の分Ｐ１−Ｐ２だけ、上記給送用リフタ１１ａと排
送用リフタ１１ｂの少なくとも一方のリフタを横移動さ
せる搬送路間隔変更手段２０とを備えることを特徴とす
るものである。
に位置する搬入路３及び排出路５との間で、基板を昇降
搬送する基板搬送用エレベータにおいて、 基板２の外縁を支持して、上方に位置する給送路１より
基板２を受け取って下降し、下方に位置する搬入路３へ
基板２を引き渡す給送用リフタ１１ａと、基板２の外縁
を支持して、下方に位置する排出路５より基板２を受け
取って上昇し、上方に位置する排送路６へ基板２を引き
渡す排送用リフタ１１ｂと、上方に位置する給送路１と
排送路６との間のラインピッチＰ１が、下方に位置する
搬入路３と排出路５との間のラインピッチＰ２と異なる
差異の分Ｐ１−Ｐ２だけ、上記給送用リフタ１１ａと排
送用リフタ１１ｂの少なくとも一方のリフタを横移動さ
せる搬送路間隔変更手段２０とを備えることを特徴とす
るものである。
本発明では、前記給送用リフタ１１ａは、上方に位置す
る給送路１より給送されてくる基板２を受け取って下降
し、下方に位置する搬入路３へ基板２を引き渡す。
る給送路１より給送されてくる基板２を受け取って下降
し、下方に位置する搬入路３へ基板２を引き渡す。
また、前記排送用リフタ１１ｂは、下方に位置する排送
路５より排出されてくる基板２を受け取って上昇し、上
方に位置する排送路６へ基板２を引き渡す。
路５より排出されてくる基板２を受け取って上昇し、上
方に位置する排送路６へ基板２を引き渡す。
上記引き渡しに際して、前記搬送路間隔変更手段２０
は、上記給送用リフタ１１ａと排送用リフタ１１ｂの少
なくとも一方のリフタを横移動させる。つまり、上方に
位置する給送路１と排送路６との間のラインピッチＰ１
と、下方に位置する搬入路３と排出路５との間のライン
ピッチＰ２との差異の分Ｐ１−Ｐ２だけリフタ１１ａ・
１１ｂを横移動させて、一方のラインピッチＰ１と他方
のラインピッチＰ２とを実質的に揃える。
は、上記給送用リフタ１１ａと排送用リフタ１１ｂの少
なくとも一方のリフタを横移動させる。つまり、上方に
位置する給送路１と排送路６との間のラインピッチＰ１
と、下方に位置する搬入路３と排出路５との間のライン
ピッチＰ２との差異の分Ｐ１−Ｐ２だけリフタ１１ａ・
１１ｂを横移動させて、一方のラインピッチＰ１と他方
のラインピッチＰ２とを実質的に揃える。
これにより、従来例のような移載手段は不要になる。
以下、本発明を添付図面に示す実施例により詳細に説明
する。
する。
第１図は本発明の１実施例を示す基板搬送用エレベータ
の正面側より見た斜視図、第２図はその背面側より見た
要部の斜視図である。
の正面側より見た斜視図、第２図はその背面側より見た
要部の斜視図である。
第１図において符号１０はエレベータ全体を示し、この
エレベータ１０は例えば図示を省略したスピンコータ等
の基板表面処理装置とパターンの焼付露光装置４との間
に設けられ、上方に位置する給送路１より基板を受け取
って下方に位置する搬入路３へ引き渡し、焼付露光装置
４でパターンの焼付けをした後、下方に位置する排出路
５より当該基板２を受け取り、上方に位置し、上記搬入
出路３・５とラインピッチが異なる排送路６へ基板２を
引き渡すように構成されている。
エレベータ１０は例えば図示を省略したスピンコータ等
の基板表面処理装置とパターンの焼付露光装置４との間
に設けられ、上方に位置する給送路１より基板を受け取
って下方に位置する搬入路３へ引き渡し、焼付露光装置
４でパターンの焼付けをした後、下方に位置する排出路
５より当該基板２を受け取り、上方に位置し、上記搬入
出路３・５とラインピッチが異なる排送路６へ基板２を
引き渡すように構成されている。
即ち、このエレベータ１０はそれぞれ昇降可能に設けら
れた給送用リフタ１１ａ及び排送用リフタ１１ｂと、各
リフタ１１a ・１１b を昇降可能に支持する架台１２・
１２と、基台１５上に立設された架台１２を昇降案内す
るガイドフレーム１４と、架台１２を無端ベルト１８で
昇降駆動する駆動モータ１６と、一方のリフタ（排送用
リフタ）１１b を横方向（第２図矢印Ｂ方向）へ移動す
る搬送路間隔変更手段２０とを具備して成る。なお、第
１図中の符号７は上方に位置する給送路１と給送用リフ
タ１１ａとの間で基板２をやり取りするアーム式基板搬
送装置、符号８は排送路６と排送用リフタ１１ｂとの間
で基板２をやり取りするアーム式基板搬送装置である。
れた給送用リフタ１１ａ及び排送用リフタ１１ｂと、各
リフタ１１a ・１１b を昇降可能に支持する架台１２・
１２と、基台１５上に立設された架台１２を昇降案内す
るガイドフレーム１４と、架台１２を無端ベルト１８で
昇降駆動する駆動モータ１６と、一方のリフタ（排送用
リフタ）１１b を横方向（第２図矢印Ｂ方向）へ移動す
る搬送路間隔変更手段２０とを具備して成る。なお、第
１図中の符号７は上方に位置する給送路１と給送用リフ
タ１１ａとの間で基板２をやり取りするアーム式基板搬
送装置、符号８は排送路６と排送用リフタ１１ｂとの間
で基板２をやり取りするアーム式基板搬送装置である。
各リフタ１１a ・１１b は基板２との接触面積をできる
だけ少なくして、裏面の汚染を防止するため、外縁部を
支持するように構成されており、給送用リフタ１１a は
一方の架台１２に直接固設され、排送用リフタ１１b
は、他方の架台１２に対して横移動可能に設けられてい
る。
だけ少なくして、裏面の汚染を防止するため、外縁部を
支持するように構成されており、給送用リフタ１１a は
一方の架台１２に直接固設され、排送用リフタ１１b
は、他方の架台１２に対して横移動可能に設けられてい
る。
各ガイドフレーム１４には架台１２を昇降案内する一組
のガイドレール１３・１３と、駆動モータ１６の駆動プ
ーリ１７と一対をなす従動プーリ１９が設けられ、駆動
プーリ１７と従動プーリ１９とにわたって巻掛けられた
無端ベルト１８の一部が架台１２に固定され、駆動モー
タ１６によって架台１２を昇降させるように構成されて
いる。
のガイドレール１３・１３と、駆動モータ１６の駆動プ
ーリ１７と一対をなす従動プーリ１９が設けられ、駆動
プーリ１７と従動プーリ１９とにわたって巻掛けられた
無端ベルト１８の一部が架台１２に固定され、駆動モー
タ１６によって架台１２を昇降させるように構成されて
いる。
上記搬送路間隔変更手段２０は、第２図に示すように排
送用リフタ１１b を固設したリフタ支持ブロック２１
と、架台１２に対してリフタ支持ブロック２１を横移動
可能に支持するリフタガイドバー２２と、リフタ支持ブ
ロック２１と一体的に横移動可能に設けられたリフタ駆
動用ブロック２３と、リフタ駆動用ブロック２３を横移
動可能に支持するガイドバー２４と、リフタ駆動用ブロ
ック２３を横駆動するエアシリンダ２５とを具備して成
る。
送用リフタ１１b を固設したリフタ支持ブロック２１
と、架台１２に対してリフタ支持ブロック２１を横移動
可能に支持するリフタガイドバー２２と、リフタ支持ブ
ロック２１と一体的に横移動可能に設けられたリフタ駆
動用ブロック２３と、リフタ駆動用ブロック２３を横移
動可能に支持するガイドバー２４と、リフタ駆動用ブロ
ック２３を横駆動するエアシリンダ２５とを具備して成
る。
リフタガイドバー２２は昇降可能に設けられた架台１２
にその一端部が片持式に植設され、リフタ支持ブロック
２１にあけた挿通孔内を挿通させて当該リフタ支持ブロ
ック２１を横移動可能に支持している。
にその一端部が片持式に植設され、リフタ支持ブロック
２１にあけた挿通孔内を挿通させて当該リフタ支持ブロ
ック２１を横移動可能に支持している。
一方、リフタ駆動用ブロック２３を支持するガイドバー
２４は、基台１５上に支持具２６・２６を介してリフタ
ガイドバー２２と平行をなすように設けられ、リフタ駆
動用ブロック２３にあけた挿通孔内を挿通させて当該リ
フタ駆動用ブロック２３を横移動可能に支持している。
そしてリフタ駆動用ブロック２３の側面にはエアシリン
ダ２５の出力ロッド２５a が連結され、リフタ駆動用ブ
ロック２３は第２図の仮想線で示す出力ロッド収縮位置
Ｃと、実線で示す出力ロッド伸長位置Ｄとに位置切替え
可能に構成されている。
２４は、基台１５上に支持具２６・２６を介してリフタ
ガイドバー２２と平行をなすように設けられ、リフタ駆
動用ブロック２３にあけた挿通孔内を挿通させて当該リ
フタ駆動用ブロック２３を横移動可能に支持している。
そしてリフタ駆動用ブロック２３の側面にはエアシリン
ダ２５の出力ロッド２５a が連結され、リフタ駆動用ブ
ロック２３は第２図の仮想線で示す出力ロッド収縮位置
Ｃと、実線で示す出力ロッド伸長位置Ｄとに位置切替え
可能に構成されている。
また、リフタ駆動用ブロック２３の前面には、リフタ支
持ブロック２１を一定範囲内で昇降案内するとともに、
リフタ支持ブロック２１を横方向へ移動させるガイド部
材３１が立設されている。
持ブロック２１を一定範囲内で昇降案内するとともに、
リフタ支持ブロック２１を横方向へ移動させるガイド部
材３１が立設されている。
このガイド部材３１の上側には、上記出力ロッド伸長位
置Ｄでリフタ支持ブロック２１を上昇可能に案内するガ
イ棒３２がそれらの端部を近接させて直列状に設けら
れ、このガイド棒３２は第１図に示すように、前記ガイ
ドフレーム１４より横向に設けたアーム３３に固定され
ており、リフタ支持ブロック２１が下降した際に、当該
ブロック２１が上記ガイド部材３１を介してリフタ駆動
用ブロック２３と一体的に横移動するのを確実ならしめ
るためのものである。
置Ｄでリフタ支持ブロック２１を上昇可能に案内するガ
イ棒３２がそれらの端部を近接させて直列状に設けら
れ、このガイド棒３２は第１図に示すように、前記ガイ
ドフレーム１４より横向に設けたアーム３３に固定され
ており、リフタ支持ブロック２１が下降した際に、当該
ブロック２１が上記ガイド部材３１を介してリフタ駆動
用ブロック２３と一体的に横移動するのを確実ならしめ
るためのものである。
即ち、リフタ支持ブロック２１の背面には一対の転動コ
ロ３０・３０が回転自在に設けられ、この転動コロ３０
・３０によりガイド部材３１を挟持した状態で両ブロッ
ク２１・２３が一体化し、横方向への移動が可能とな
る。そして、リフタ駆動用ブロック２３が出力ロッド伸
長位置Ｄへ移動した状態では、リフタ移動用ブロック２
３の前面へ固定したガイド部材３１が他方のガイド棒３
２と直列状につながり、リフタ支持ブロック２１は上昇
可能となる。
ロ３０・３０が回転自在に設けられ、この転動コロ３０
・３０によりガイド部材３１を挟持した状態で両ブロッ
ク２１・２３が一体化し、横方向への移動が可能とな
る。そして、リフタ駆動用ブロック２３が出力ロッド伸
長位置Ｄへ移動した状態では、リフタ移動用ブロック２
３の前面へ固定したガイド部材３１が他方のガイド棒３
２と直列状につながり、リフタ支持ブロック２１は上昇
可能となる。
以上の構成からなるエレベータ１０の動作について説明
する。
する。
先ず、上方に位置する給送路１より給送用リフタ１１a
で基板２を受け取る。次いで、リフタ１１a が下降し
て、下方に位置する搬入路３へ基板２を引き渡す。な
お、搬入路３の始端部には、基板２の搬送手段３５が待
機しており、リフタ１１a から受取った基板２を給送路
３に沿って焼付露光装置４側へ搬送するようになってい
る。
で基板２を受け取る。次いで、リフタ１１a が下降し
て、下方に位置する搬入路３へ基板２を引き渡す。な
お、搬入路３の始端部には、基板２の搬送手段３５が待
機しており、リフタ１１a から受取った基板２を給送路
３に沿って焼付露光装置４側へ搬送するようになってい
る。
焼付露光装置４でパターンの焼付けを終えた基板２は、
下方に位置する排出路５に沿って搬送手段３６によりそ
の終端部へ排出される。このとき、排送用リフタ１１b
は第２図の仮想線で示すように、出力ロッド収縮位置Ｃ
で最下降の状態で待機しており、基板２を搬送手段３６
で運び込むと、排送用リフタ１１b が上昇してその基板
２を受取り、次に排送用リフタ１１b が出力ロッド伸長
位置Ｄまで横移動し、次いで上昇移動して基板２を上方
に位置する排送路６へ引き渡す。
下方に位置する排出路５に沿って搬送手段３６によりそ
の終端部へ排出される。このとき、排送用リフタ１１b
は第２図の仮想線で示すように、出力ロッド収縮位置Ｃ
で最下降の状態で待機しており、基板２を搬送手段３６
で運び込むと、排送用リフタ１１b が上昇してその基板
２を受取り、次に排送用リフタ１１b が出力ロッド伸長
位置Ｄまで横移動し、次いで上昇移動して基板２を上方
に位置する排送路６へ引き渡す。
上記実施例では、搬送路間隔変更手段２０で排送用リフ
タ１１b を横移動させるものについて例示したが、これ
に限ることなく、給送用リフタ１１a を横移動させるも
の、あるいは両方のリフタ１１a ・１１b をそれぞれ横
移動させるものでもよい。
タ１１b を横移動させるものについて例示したが、これ
に限ることなく、給送用リフタ１１a を横移動させるも
の、あるいは両方のリフタ１１a ・１１b をそれぞれ横
移動させるものでもよい。
また、上記実施例では搬送路間隔変更手段がリフタ１１
b を下降位置で横移動するものについて例示したが、上
昇位置で横移動するものでもよく、その他多様な変形を
加えて実施し得ることは多言を要しない。
b を下降位置で横移動するものについて例示したが、上
昇位置で横移動するものでもよく、その他多様な変形を
加えて実施し得ることは多言を要しない。
以上の説明で明らかなように本発明によれば、次のよう
な効果を奏する。
な効果を奏する。
イ．搬送路間隔変更手段２０により、給送用リフタ１１
ａと排送用リフタ１１ｂの少なくとも一方のリフタ１１
を横移動させ、上方に位置する給送路１と排送路６との
間のラインピッチＰ１と下方に位置する搬入路３と排出
路５との間のラインピッチＰ２とを実質的に揃えること
により、他の移載手段を介在させずとも、一方の搬送路
より基板を直接リフタ上に載置することができるので、
他の移載手段を設けるためのスペースを省きながら、基
板の裏面汚染の軽減を図ることができる。
ａと排送用リフタ１１ｂの少なくとも一方のリフタ１１
を横移動させ、上方に位置する給送路１と排送路６との
間のラインピッチＰ１と下方に位置する搬入路３と排出
路５との間のラインピッチＰ２とを実質的に揃えること
により、他の移載手段を介在させずとも、一方の搬送路
より基板を直接リフタ上に載置することができるので、
他の移載手段を設けるためのスペースを省きながら、基
板の裏面汚染の軽減を図ることができる。
ロ．また、搬送路間隔変更手段はエレベータを構成する
一手段として一体に組み込まれ、エレベータの制御ユニ
ットが単一化されることから、制御回路の簡素化、ひい
てはコストの低減を図ることができる。
一手段として一体に組み込まれ、エレベータの制御ユニ
ットが単一化されることから、制御回路の簡素化、ひい
てはコストの低減を図ることができる。
第１図は本発明の１実施例を示す基板搬送用エレベータ
の正面側より見た斜視図、第２図はその背面側より見た
要部の斜視図、第３図は従来例を模式的に示す斜視図で
ある。 １……上方に位置する給送路、 ２……基板、 ３……下方に位置する搬入路、 ５……下方に位置する排出路、 ６……上方に位置する排送路、 １０……基板搬送用エレベータ、 １１ａ……給送用リフタ、 １１ｂ……排送用リフタ、 ２０……搬送路間隔変更手段、 Ｐ１……給送路と排送路との間のラインピッチ、 Ｐ２……搬入路３と排出路５との間のラインピッチ。
の正面側より見た斜視図、第２図はその背面側より見た
要部の斜視図、第３図は従来例を模式的に示す斜視図で
ある。 １……上方に位置する給送路、 ２……基板、 ３……下方に位置する搬入路、 ５……下方に位置する排出路、 ６……上方に位置する排送路、 １０……基板搬送用エレベータ、 １１ａ……給送用リフタ、 １１ｂ……排送用リフタ、 ２０……搬送路間隔変更手段、 Ｐ１……給送路と排送路との間のラインピッチ、 Ｐ２……搬入路３と排出路５との間のラインピッチ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 奥野 英治 京都府京都市伏見区羽束師古川町322番地 大日本スクリーン製造株式会社洛西工場 内
Claims (1)
- 【請求項１】上方に位置する給送路(1)及び排送路(6)
と、下方に位置する搬入路(3)および排出路(5)との間
で、基板を昇降搬送する基板搬送用エレベータにおい
て、 基板(2)の外縁を支持して、上方に位置する給送路(1)よ
り基板(2)を受け取って下降し、下方に位置する搬入路
(3)へ基板(2)を引き渡す給送用リフタ(11a)と、 基板(2)の外縁を支持して、下方に位置する排出路(5)よ
り基板(2)を受け取って上昇し、上方に位置する排送路
(6)へ基板(2)を引き渡す排送用リフタ(11b)と、 上方に位置する給送路(1)と排送路(6)との間のラインピ
ッチ(Ｐ1)が、下方に位置する搬入路(3)と排出路(5)と
の間のラインピッチ(Ｐ2)と異なる差異の分(Ｐ1−Ｐ2)
だけ、上記給送用リフタ(11a)と排送用リフタ(11b)の少
なくとも一方のリフタを横移動させる搬送路間隔変更手
段(20)と を備えることを特徴とする基板搬送用エレベータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15094988A JPH0628278B2 (ja) | 1988-06-17 | 1988-06-17 | 基板搬送用エレベータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15094988A JPH0628278B2 (ja) | 1988-06-17 | 1988-06-17 | 基板搬送用エレベータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01318247A JPH01318247A (ja) | 1989-12-22 |
| JPH0628278B2 true JPH0628278B2 (ja) | 1994-04-13 |
Family
ID=15507941
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15094988A Expired - Lifetime JPH0628278B2 (ja) | 1988-06-17 | 1988-06-17 | 基板搬送用エレベータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0628278B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0666377B2 (ja) * | 1990-03-30 | 1994-08-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置および処理方法およびレジスト処理装置 |
| JPH07297258A (ja) * | 1994-04-26 | 1995-11-10 | Tokyo Electron Ltd | 板状体の搬送装置 |
| TW415913B (en) * | 1997-04-03 | 2000-12-21 | Tokyo Electron Ltd | Elevating mechanism and carrier conveying apparatus |
| JP5169557B2 (ja) * | 2008-07-09 | 2013-03-27 | 株式会社Ｉｈｉ | 基板昇降移送装置及び基板処理移送システム |
| JP5347652B2 (ja) * | 2009-03-30 | 2013-11-20 | 株式会社Ｉｈｉ | 基板昇降移送装置及び基板処理移送システム |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61190933A (ja) * | 1985-02-20 | 1986-08-25 | Canon Inc | 半導体焼付装置 |
| JPS62136427A (ja) * | 1985-12-04 | 1987-06-19 | Mitsubishi Electric Corp | バツフア機能を備えた搬送装置 |
-
1988
- 1988-06-17 JP JP15094988A patent/JPH0628278B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61190933A (ja) * | 1985-02-20 | 1986-08-25 | Canon Inc | 半導体焼付装置 |
| JPS62136427A (ja) * | 1985-12-04 | 1987-06-19 | Mitsubishi Electric Corp | バツフア機能を備えた搬送装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01318247A (ja) | 1989-12-22 |
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