JPS62136427A - バツフア機能を備えた搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はバッファ機能を備えた搬送装置に関するもので
ある。

［従来の技術］ ：ｊＳ３図は、従来のこの種の装置を、例えば特開昭８
０−１８２７２７号公報に示されているようなウェハの
各処理工程ライン間、すなわちレジスト塗布・ベーク装
置（１）と露光装置（２）との間、およびこの露光装″
ｍ（２）と現像・ベータ装置（３）との間のそれぞれの
接続部に適用した一例を示すものである。図中、（４）
は図示しないウェハを収容して、レジスト塗布・ベータ
装置（１）へ移送するウェハローダ装置、（５）はこの
ウェハローダ装置（４）によって移送されたウェハにレ
ジストを塗布するレジスト塗布器、（６）はレジストが
塗布されたウェハにプリベータを行なうためのベータ炉
、（７）はレジスト塗布・ベータ装置（１）における処
理が終ったウェハの移動先が処理動作中の場合に、該ウ
ェハを一時的にライン上から待機させるバッファ装置で
、このバッファ装置（７）は、第４図に示すように、ウ
ェハ（８）移送方向の両側に開口部を有する積層された
棚状のカセット（９）を有し、このカセット（９）がウ
ェハ搬送路（１０）に対し、所定ピッチで上下移動可能
に設けられている。（１１）は上記レジスト塗布・ベー
タ装置（１）またはバッファ装置（７）からのウェハ（
８）を高さの異なる露光装置（２）の搬送面（１２）へ
１枚ずつ移送するエレベータ装置である。（１３）はパ
ターンが露光され上記同様のエレベータ装置（１１’）
およびバッファ装置（７′）を介して搬送されたウェハ
を現像する現像器、（１４）は現像されたウェハにポス
トベークを行うベータ類、（１５）はウェハアンロード
装置である。

［発明が解決しようとする問題点］ 従来は以上のように、各処理工程ライン間の搬送面の高
さを吸収するエレベータ装置（１１）にウェハを１枚ず
つ搬送させるようにしているため、各処理工程ライン間
に発生する処理時間差を、該エレベータ装置（１１）に
対し直列に配置したバッファ装置（７）によって補償さ
せなければならず、小形化が図れないばかりでなく、ス
ループットを向上させることができないという問題があ
った。

本発明は叙との点に鑑み、システム全体のスループット
を向上させることができるとともに、装置の占有空間を
縮小せしめることの可能なバッファ機能を備えた搬送装
置を得ることを目的とする。

［問題点を解決するための手段］ 本発明のバッファ機能を備えた搬送装置は、ウェハの各
処理工程ライン間のそれぞれの接続部に設置されるウェ
ハ移送用のエレベータ装置に、複数のウェハ収納部を備
えたカセットを昇降可能に支持せしめたものである。

［作用］ 本発明においては、エレベータ装置とバッファ装置とが
一体化され、従来、直列に配置していたバッファ装置の
占有空間を縮小できるため、装置の小形化が可能となっ
ている。また、カセットに複数の収納部を設けているの
で、複数枚のウェハな一度に移送することが可能となり
、エレベータ装置の動作回数並びに動作時間の低減化が
図れ、発塵やダストの舞上りを防止できるとともに、ト
ータルスルーブツトを向上させ得る効果がある。

［実施例コ 以下、従来に相当する部分には同一符号を付して示す第
１図および第２図の実施例について本発明を説明する。

図において、（１６）はレジスト塗布・ベータ装置（１
）からのウェハ（８）を下方に位置する露光袋＠（２）
の搬送面（１２）上へ移送する搬送装置で、エレベータ
部（１７）とこのエレベータ部（１７）に昇降可能に支
持されたバッファ部（１８）とから構成されている。前
記バッファ部（１８）は前述のバッファ装置（７）同様
、ウェハ（８）搬送方向の両側に開口部を有する積層さ
れた棚状のカセット（１８）から構成され、さらにこの
カセット（１９）が前記エレベータ部（１７）に対し所
定ピッチで上下移動可能に設けられている。上記以外の
構成は従来と同様であるのでその説明は省略する。

以上のように構成される本発明のバッファ機能を備えた
搬送装置は、エレベータ部（１７）による通常の搬送機
能とバッファ部（１８）による時間調整機能とを備えて
いるため、例えば複数枚のウェハ（８）を一度に移送さ
せてエレベータ部（１７）の動作回数並びに昇降動作時
間の低減化を図る等、種々の動作態様を選択でき、その
用途を著しく拡大させることが（Ｔｆ能となっている。

また、本発明の４７２７機能を備えた搬送装置は、エレ
ベータ装置とバッファ装置とが一体構成されているため
、装置の小形化が可能となり、設置スペースの有効利用
が図れる。

［発明の効果］ 以上述べたように、本発明によれば、エレベータ装置と
バッファ装置とを一体構成して単一の搬送装置にバッフ
ァ機能をも備えせさるようにしたので、装置の小形化が
図れ、その占有空間を縮小させることができるという効
果がある。また、カセットに複数のウェハ収納部を設け
、複数枚のウェハを一度に移送することができるため、
エレベータ装置の動作回数並びに動作時間の低減化が図
れ、発塵やダストのまいあかりを防止でき、更にトータ
ルスルーブツトを向上させ得るという効果もある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明装置の実施例を概略的に説明する説明図
、第２図は本発明装置をウェハ処理装置に適用した全体
構成を概略的に示す説明図、第３図は従来のウェハ処理
装置の全体構成を概略的に示す第２図相当図、第４図は
従来の搬送装置を示す第１図相当図である。 図において、 （８）はウェハ（被搬送体）、 （ＩＧ）は搬送装置、 （１７）はエレベータ部、 （１９）はカセットである。 なお、各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 代　　理　　人　　　大　　岩　　増　　雄第１図 １９：ηｔット 第４図 手続補正書（自発） 特許庁長官殿　　　　　　　　　　　　　　　　　　１
５″″″１、事件の表示　　　特願昭６０−２７２９７
８号２、発明の名称 八ツ７７機能を備えた搬送装置 ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 住　所　　　　東京都千代田区丸の内二丁目２番３号。 名　称　　（６０１）三菱電機株式会社代表者志岐守哉 ４、代理人 図面。 ６・補正の内容 ■面の第１図を別紙のとおり補正する。 添付書類の目録 図面　　　　　　　　　　　　　　１通量　　上

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）搬送面がそれぞれ高さの異なる複数の処理工程ラ
   イン間に介在設置され一方の処理工程ラインからの被搬
   送体を他方の処理工程ラインの搬送面上へ移送するエレ
   ベータと、このエレベータに昇降可能に支持されて被搬
   送体を収納する複数の収納部を備えたカセットとから成
   るバッファ機能を備えた搬送装置。
2. （２）上記カセットの収納部はライン上に開口する積層
   された棚から構成されていることを特徴とする特許請求
   の範囲第１項記載のバッファ機能を備えた搬送装置。