JP5169557B2 - 基板昇降移送装置及び基板処理移送システム - Google Patents
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Description
第1実施形態について図1から図5を参照して説明する。
第2実施形態について図6から図9を参照して説明する。
3 第1基板搬送処理装置
5 第2基板搬送処理装置
7 基板昇降移送装置
29 昇降ガイドフレーム
31 昇降体
33 昇降用モータ
35 基板受け部材
43 吸着パッド
45 揺動用モータ
47 基板処理移送システム
49 第1基板搬送処理装置
51 第2基板搬送処理装置
53 基板昇降移送装置
55 第1姿勢切替部材
63 第1姿勢切替用吸着パッド
65 第1姿勢切替用モータ
67 第2姿勢切替部材
75 第2姿勢切替用吸着パッド
77 第2姿勢切替用モータ
79 昇降ガイドフレーム
81 昇降ユニット
87 昇降用クランパ
89 昇降用モータ
Claims (2)
- 下階フロアに配設されかつ基板に対して処理を行う第1基板処理装置と、上階フロアにおける前記第1基板処理装置の真上に配設されかつ基板に対して処理を行う第2基板処理装置との間で、基板の昇降移送を行う基板昇降移送装置において、
前記第1基板処理装置の近傍に立設され、上下方向へ延びた昇降ガイドと、
前記昇降ガイドに昇降可能に設けられた昇降体と、
前記昇降体を昇降させる昇降用アクチュエータと、
前記昇降体に水平な軸心周りに揺動可能に設けられ、基板を保持する保持具を有し、揺動することによって起立姿勢及び倒伏姿勢に切り替わるように構成され、基板の受取り及び受渡しを行う基板受け部材と、
前記基板受け部材を揺動させる揺動用アクチュエータと、を備え、
前記倒伏姿勢の状態の前記基板受け部材は、平面視において前記第1基板処理装置又は前記第2基板処理装置と重なるように構成され、
前記基板受け部材は、前記第1基板処理装置又は前記第2基板処理装置から基板の受取りを行うとき、及び前記第2基板処理装置又は前記第1基板処理装置へ基板の受渡しを行うときに、前記起立姿勢から前記倒伏姿勢に切り替わると共に、前記昇降体を昇降させるときに、前記倒伏姿勢から前記起立姿勢に切り替わるように構成されていることを特徴とする基板昇降移送装置。 - 基板に対して処理及び昇降移送を行う基板処理移送システムにおいて、
下階フロアに配設され、基板に対して処理を行う第1基板処理装置と、
上階フロアに配設され、基板に対して処理を行う第2基板処理装置と、
前記第1基板処理装置と前記第2基板処理装置の間で基板の昇降移送を行う請求項1に記載の基板昇降移送装置と、を備えたことを特徴とする基板処理移送システム。
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