JP3760212B2 - アライメント処理方法およびアライメント処理装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、アライメント処理方法およびアライメント処理装置に関する。さらに詳しくは、ロボットなどの搬送装置により搬送作業を行う際のアライメントを効率的に実施するためのアライメント処理方法およびアライメント処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、液晶基板などの液晶製品の製造施設や半導体ウェハなどの半導体製品の製造施設ではワークを搬送するための搬送装置として、ロボットが広く用いられている。これは、半導体製品の製造施設であるクリーンルームではロボットによる作業が必須であることに加え、ロボットを搬送装置として用いることによって高い位置精度を達成することを意図していることによる。
【0003】
ところが、搬送装置自体の精度が要求精度を達成していても、搬送元のワーク載置位置でワークに位置誤差があれば、その位置誤差が搬送誤差に上乗せされて、結果として所望精度でワークを搬送することができないという問題がある。
【0004】
そこで、従来より、搬送元のワーク載置位置での位置誤差を修正するためのアライメントが実施される。このようなアライメントの実施方法として、例えば搬送装置としてのロボットでワークを把持する際にハンドでワークを周囲から押圧するように把持して、機械的にワークの位置ずれを修正する機械的アライメントと、位置センサなどを用いて非接触式にワークの位置ずれを検出し、その検出結果に応じて搬送装置側の位置・動作を修正するようにしてワークの位置誤差を補正する非接触式アライメントとが行われている。
【0005】
機械的アライメントは、液晶パネル等の製品が近年大型化・大重量化してきたこともあって、ワークを押圧して位置修正を行うために大動力が必要となり、位置修正の際にワークの損傷を招くことがあるなど、不利な点も多くなってきている。そのため、大型・大重量のワークを取り扱う際には特に非接触式アライメントによることが多くなってきている。
【0006】
また、ワークが大型化・大重量化してきている事情から、ロボットには剛性を高くできしかも動作速度の速い直動型ロボットが用いられるようになってきている。ただし、直動型ロボットを用いた場合、その動作自由度(以下、単に自由度ということもある)が小さいことから、単一のロボットで完全なアライメントを実現するのは困難である。
【0007】
ところで、ワークの搬送作業において、ワークの各載置位置間に障害物が介在するなど、1台の搬送装置でワークを搬送することが非効率的である場合には、複数の搬送装置がリレー式にワークを搬送することが行われる(例えば、特開平9−107013号公報参照)。しかしながら、複数の搬送装置が協働してワークの搬送作業を行う場合にアライメントを実施しようとすると、1台の搬送装置がアライメントを実施している間、他の搬送装置が待機状態になることがあり、作業効率の向上が阻害されるという問題がある。
【0008】
なお、直動型ロボットの自由度を増加させる観点から、直動型ロボットに走行軸を付加することも考えられるが、前述したように、ワークの各載置位置間に障害物が介在する場合には、ロボットをワークの各載置位置間を走行させることができない。そのため、直動型ロボットに走行軸を付加するということは、直動型ロボットの有する自由度が小さく、単一のロボットで完全なアライメントがなし得ないという本質的な欠点を解消することにはならない。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
本発明はかかる従来技術の課題に鑑みなされたものであって、ロボットなどの搬送装置、とりわけ自由度が小さい直動型ロボットを用いて搬送作業を行う際のアライメントを合理的に処理して、作業効率を向上させることができるアライメント処理方法およびアライメント処理装置を提供することを目的としている。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明のアライメント処理方法は、第1の方向にワークを搬送する第1の搬送手段と、該第1の搬送手段から前記ワークを受け取って第2の方向に同ワークを搬送する第2の搬送手段とを少なくとも用いたアライメント処理方法であって、
前記第2の搬送手段は、待機姿勢と支持姿勢とに姿勢が切替可能とされたリフトピンを昇降自在に支持するリフト部を有し、
前記第1の搬送手段により第1の方向のアライメントおよび水平面内の回転方向のアライメントを実行する手順と、
前記リフトピンを支持姿勢に切り替えワーク受取位置まで上昇させて前記第1の搬送手段からワークを受け取る手順と、
前記リフトピンをアライメント実施位置まで降下させて第2の方向のアライメントを実施する手順と、
前記リフトピンをワーク載置位置まで降下させてワークを第2の搬送手段のハンドに受け渡す手順
とを含んでいることを特徴とする。
【0016】
本発明のアライメント処理方法においては、第2の搬送手段が直動型ロボットとされてもよい。
【0018】
本発明のアライメント処理装置は、第1の方向にワークを搬送する第1の搬送手段と、該第1の搬送手段から前記ワークを受け取って第2の方向に同ワークを搬送する第2の搬送手段とを少なくとも備えてなるアライメント処理装置であって、
前記第2の搬送手段は、待機姿勢と支持姿勢とに姿勢が切替可能とされたリフトピンを昇降自在に支持するリフト部を有し、
前記第1の搬送手段は、第1の方向のアライメントおよび水平面内の回転方向のアライメントを実行するものとされ、
前記第2の搬送手段は、前記リフトピンを支持姿勢に切り替えて前記リフト部によりワーク受取位置まで上昇させて前記第1の搬送手段からワークを受け取らせ、前記リフトピンをアライメント実施位置まで降下させて第2の方向のアライメントを実施し、前記リフトピンをワーク載置位置まで降下させてワークをそのハンドに受け渡すものとされてなる
ことを特徴とする。
【0023】
本発明のコンピュータプログラムは、第1の方向にワークを搬送する第1の搬送手段と、該第1の搬送手段から前記ワークを受け取って第2の方向に同ワークを搬送する第2の搬送手段とを少なくとも備えてなるアライメント処理装置にアライメント処理をさせるコンピュータプログラムであって、
前記第2の搬送手段は、待機姿勢と支持姿勢とに姿勢が切替可能とされたリフトピンを昇降自在に支持するリフト部を有し、
ワーク受取時におけるワークの位置および姿勢に関する誤差を算出するステップと、
前記第1の搬送手段に第1の方向のアライメントおよび水平面内の回転方向のアライメントを実行させるステップと、
前記リフトピンを支持姿勢に切り替えワーク受取位置まで上昇させて前記第1の搬送手段からワークを受け取らせるステップと、
前記リフトピンをアライメント実施位置まで降下させて第2の方向のアライメントを実施させるステップと、
前記リフトピンをワーク載置位置まで降下させてワークを第2の搬送手段のハンドに受け渡すステップ
とを含んでなることを特徴とする。
【0028】
しかして、本発明のコンピュータプログラムは、コンピュータに読み取り可能な記録媒体に格納される。
【0029】
ここで、第2の搬送手段は、例えば直動型ロボットとされる。
【0030】
【作用】
本発明は前記の如く構成されているので、アライメント処理のために他の搬送手段に作業待ちの状態を生ずることはない。そのため、複数の搬送装置が協働してアライメント処理が必要な搬送作業を行う際の作業効率を向上させることが可能となる。
【0031】
また、本発明によれば、自由度の小さい直動型ロボットに走行軸を付加することなくアライメントがなし得る。そのため、搬送装置の構成が簡素化される。その上、動作速度の速い直動型ロボットによりアライメントがなし得るので、サイクルタイムの短縮も図られる。
【0032】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しながら本発明を実施形態に基づいて説明するが、本発明はかかる実施形態のみに限定されるものではない。
【0033】
実施形態1
図1に本発明の実施形態1に係るアライメント処理方法が適用される搬送システムの一例を示す。
【0034】
搬送システムAは、例えば、シリコンウェハや液晶基板などの板状ワーク(以下、単にワークという)Wを搬送する各搬送装置および各搬送装置を制御する制御装置から構成されるシステムとされ、搬送元および搬送先の2つのワーク載置位置間に障害物が介在するなどして、1台の搬送装置でワークWを搬送することが困難または非効率的である場合や本来的に複数の搬送装置が用いられている場合において、複数の搬送装置が協働してワークWを搬送するシステムとされる。また、搬送システムAは、複数台の搬送装置が協働してワークWの搬送作業を実施する際に、作業効率を向上させるために各搬送装置がアライメント処理を合理的に分担して実施するよう制御されるシステムとされ、それによりワークWが目標位置に搬送されるまでにアライメントが完了する。
【0035】
搬送システムAは、具体的には、搬送装置としての第1および第2のロボット10、20と、各ロボット10、20の動作を統括的に制御する上位制御装置30とを主要構成要素として備えてなるものとされる。また、各ロボット10、20は、上位制御装置30の指令にしたがって、各部を制御するためのコントローラ(不図示である)を内蔵するものとされる。
【0036】
上位制御装置30には、ワークWの位置誤差を検出する位置誤差検出部31および姿勢誤差を検出する姿勢誤差検出部32が設けられる。ここで、ワークWの姿勢誤差とは、例えばワークWの水平面内における回転位置誤差をいうものとする。
【0037】
第1ロボット10は、搬送元のワーク載置台(以下、搬送元テーブルという)T1に載置されたワークWを把持して、第2ロボット20上方の所定位置まで搬送する。一方、第2ロボット20は、第1ロボット10から受け取ったワークWを、第1ロボット10のワーク搬送方向と直交する方向に置かれたワーク載置台(以下、搬送先テーブルという)T2まで搬送し、載置する。
【0038】
以下、水平面内で第1ロボット10の中心から第2ロボット20の中心に向かう方向(第1の方向)をP方向と定義し、第2ロボット20の中心から搬送先テーブルT2に向かう方向(第2の方向)をQ方向と定義して説明する。
【0039】
第1ロボット10は、具体的には、基台11と、基台11に設けられる、水平前後軸、水平回転軸および鉛直上下軸の3自由度を有するアーム12と、アーム12先端部に装着される、ワークWを把持するためのハンド13とから構成される。
【0040】
第1ロボット10のハンド13は、図2に示すように、2本の指状部14A、14Bを有し、各指状部14A、14Bに載置するようにしてワークWを把持するものとされる。また、第1ロボット10のハンド13には、ワークWの位置誤差および姿勢誤差を検出するための2つの位置センサ15A、15Bが設けられるものとされる。各位置センサ15A、15Bは、例えばCCD(Charge Coupled Device;電荷結合素子)撮像装置から構成され、相対するワークW端面の画像情報をコントローラを介して位置誤差検出部31および姿勢誤差検出部32に出力する。なお、位置センサは前記に限定されるものではなく、各種の位置センサとすることができ、例えば光ファイバセンサ(反射型センサ)と第1ロボット10のエンコーダとを組み合わせて構成することもできる。
【0041】
図3に、第2ロボット20の詳細を示す。第2ロボット20は直動型ロボットとされ、図1および図3に示すように、基台40と、この基台40上部に装着される2組の直動アーム50、60と、各アーム50、60のそれぞれに装着される上側および下側の各ハンド70、80と、第1ロボット10からワークWを受け取る際にワークWを持ち上げるようにして支持するリフト部90とを備えてなるものとされる。
【0042】
第2ロボット20の各ハンド70、80は、それぞれ2本の指状部71A、71B、および81A、81Bに載置するようにしてワークWを把持するものとされ、また、上側のハンド70には、ワークWの位置誤差を検出するための、CCD撮像装置からなる位置センサ72が設けられるものとされる。位置センサ72の出力信号はコントローラを介して位置誤差検出部31に入力される。なお、位置センサは前記に限定されるものではなく、光ファイバセンサと第2ロボット20のエンコーダとを組み合わせて構成することもできる。
【0043】
第2ロボット20の各アーム50、60は、鉛直上下軸(Z軸)、水平回転軸(θ軸)および水平前後軸(X軸)の3軸で構成されている。
【0044】
鉛直上下軸および水平回転軸は、水平面内で回転自在かつ鉛直方向に進退自在に基台40に設けられる軸41から構成される。
【0045】
水平前後軸は、軸41の上部に装着される、各アーム50、60共通の基部42と、この基部42の両側方に設けられる第1直動部43、44と、この各第1直動部43、44の側方に設けられ各ハンド70、80を支持する、第2直動部としてのハンド支持部材45、46とから構成される。
【0046】
基部42は、各第1直動部43、44を水平方向に進退自在に支持するフレーム部材(不図示である)を、長方形状のパーティクル飛散防止用カバー42a内部に収納して形成される。
【0047】
第1直動部43,44は、各ハンド支持部材45、46を水平方向に進退自在に支持するフレーム部材(不図示である)を、長角筒形状のパーティクル飛散防止用カバー43a,44a内部に収納して形成される。
【0048】
ハンド支持部材45、46は、コの字形のフレーム部材とされ、各ハンド70,80が基部42上方で互いに重なり合うよう片持ち支持するものとされる。
【0049】
リフト部90は、第2ロボット20が第1ロボット10からワークWを受け取る際に、第1ロボット10によるワークWの把持を解除し、ワークWを一時的に保持する複数のリフトピン91と、各リフトピン91を支持するリフトピン支持部92と、各リフトピン91を鉛直上下方向に駆動するリフトピン鉛直駆動部(昇降手段)93とから構成される。すなわち、リフト部90はワーク受け渡し装置(手段)とされる。
【0050】
各リフトピン91は、水平に寝かされた状態(待機姿勢)から鉛直に立てられた状態(支持姿勢)でワークWを下方から支持する棒状部材とされ、また、少なくとも1つのリフトピン91には、ワークWが上方に存在することを確認するためのワーク検知センサ91aが設けられる。そして、各リフトピン91のワーク当接部には、図示はされていないが、ワークWがずれないようワークを吸着保持する吸着パッドなどの吸着保持手段が設けられる。
【0051】
なお、実施形態1では、リフトピン91は8本または10本設けられるものとされるが、これに限られるものではなく、少なくとも3本のリフトピン91があればワークWを支持することが可能である。
【0052】
リフトピン支持部92は、同一の回転角度位置に各リフトピン91がそれぞれ取り付けられる2本のシャフト94A,94Bと、各シャフト94A,94Bを支持するとともに、各シャフト94A,94Bを回転して各リフトピン91を旋回させ、各リフトピン91の姿勢を、垂直に立てられた支持姿勢と、水平に寝かされた待機姿勢との間で切り替えるものとされる。
【0053】
ここで、図3(a)では、各リフトピン91が待機姿勢にある状態が示され、同図(b)では、各リフトピン91が支持姿勢にある状態が示され、また、同図(c)では、実線により各リフトピン91が待機姿勢にある状態が示され、破線により支持姿勢にある状態が示されている。
【0054】
図4に示すように、リフトピン鉛直駆動部93は、各リフトピン91を、第1ロボット10からワークWを受け取るときのワーク支持位置L1、アライメントを実施するときのアライメント実施位置L2、各リフトピン91を旋回させるときのリフトピン旋回位置L3およびハンド70にワークWを載置するときのワーク載置位置L4の各位置に移動させるように、リフトピン支持部92を鉛直上下方向に駆動するものとされる。このため、第2ロボット20のアライメントにより第1ロボット10の動作が制約されることはない。
【0055】
リフトピン鉛直駆動部93は、具体的には、エアシリンダなどからなる主駆動機構(主昇降手段)93aおよび従駆動機構(従昇降手段)93bの2段階の駆動機構とされる。この実施形態においては、図4に示すように、主駆動機構93aを構成するエアシリンダは、リフト部90のケーシング90a内に配設され、また、従駆動機構93bを構成するエアシリンダは、主駆動機構93aを構成するエアシリンダのケーシング90a上面が貫通して突出させられているピストンロッドの先端に配設される。
【0056】
しかして、かかる構成とされているリフトピン鉛直駆動部93により、最上位のワーク受取位置L1に各リフトピン91先端を移動するときには主駆動機構93aおよび従駆動機構93bの両方を最大限まで伸張し、アライメント実施位置L2に各リフトピン91先端を移動するときには主駆動機構93aのみを最大限まで伸張し、ワーク載置位置L4に各リフトピン91先端を移動するときには従駆動機構93bのみを最大限まで伸張し、姿勢切替位置L3に各リフトピン91先端を移動するときには両駆動機構93a,93bをともに伸張しないものとする、というようにして各リフトピン91先端を各位置L1,L2,L4,L3の間で移動する。
【0057】
以下、上位制御装置30が、各ロボット10,20の協調動作によってワークWを搬送するよう制御する手順を具体的に説明する。なお、かかる構成の上位装置30は、具体的には、CPUを中心として、後述する処理に対応させた制御プログラム等が格納されたROM、RAM、入出力インターフェース等を組み合わせることにより実現される。
【0058】
手順1:第1ロボット10のハンド13を搬送元テーブルT1に移動させ、ワークWを把持直前の状態とする。すなわち、検出状態とする。
【0059】
手順2:位置誤差検出部31および姿勢誤差検出部32が、各位置センサ15A、15Bの出力信号に基づいてワークWの位置誤差および姿勢誤差を検出する。このとき、位置誤差検出部31は、P方向の位置誤差成分を検出し、姿勢誤差検出部32は、水平面内におけるワークWの回転位置誤差を検出する。
【0060】
手順3:第2ロボット20が第1ロボット10からワークWを受け取れる状態にあるか否かを確認する。すなわち、第2ロボット20の各アーム50、60および各ハンド70,80の位置および姿勢を確認するとともに、各ハンド70,80にワークWが載置されていないかを確認する。
【0061】
ここで、第2ロボット20がワークWを受け取れる状態になければ、受け取れる状態となるまでこの確認処理を繰り返し実施し、受け取れる状態であれば次の手順4に進む。
【0062】
手順4:リフトピン91先端をワーク支持位置L1まで上昇させる。
【0063】
手順5:第1ロボット10に対して第2ロボット20上方の所定位置までワークWを搬送して、ワークWを各リフトピン91の上に載置するよう指示する。この搬送の際に、第1ロボット10は、手順2で位置誤差検出部31によって検出されたP方向の位置誤差成分を除去するようにハンド13の移動距離を調整する。これによって、P方向のアライメントが実施される。
【0064】
また、姿勢誤差検出部32によって検出された水平面内の回転位置誤差を除去するように水平回転軸を回転させつつワークWを搬送する。これによって、水平面内の回転方向のアライメントが実施される。
【0065】
手順6:リフトピン91先端上にワークWがあることをワーク検知センサ91aの出力信号に基づき確認した後、吸着パッドによりワークWを吸着する。
【0066】
手順7:アライメント実施位置L2まで各リフトピン91先端を降下させ、ここでQ方向のアライメントを実施する。
【0067】
すなわち、位置誤差検出部31が、位置センサ72の出力信号に基づいてQ方向の位置誤差成分を検出し、検出された位置誤差を除去するように、第2ロボット20に対してハンド70をQ方向に移動させるよう指示する。
【0068】
手順8:各リフトピン91先端をリフトピン旋回位置L3まで降下させつつ、ワーク載置位置L4の直前でワークWの吸着を解除し、ワークWをハンド70上に載置する。
【0069】
手順9:リフトピン旋回位置L3で各リフトピン91を待機位置まで旋回させたワークWを搬送先テーブルT2まで搬送する。
【0070】
このように、この実施形態1の搬送システムAにおいては、位置誤差検出部31および姿勢誤差検出部32が、位置センサ15A、15B、72の各出力信号に基づいてワークWの位置誤差および姿勢誤差を検出し、この検出された位置誤差および姿勢誤差を各ロボット10,20が合理的に分担して補正することにより、アライメントが実施されるので、アライメント実施中の各ロボットの待機時間を最小限に抑えることが可能となる。これによって、複数の搬送装置が協働して搬送作業を行う際の作業効率をさらに向上させることが可能となる。
【0071】
実施形態2
図5に本発明の実施形態2に係るアライメント処理方法が適用される搬送システムの一例を示す。なお、図5において、実線の矢符はワークWの流れ方向を示し、点線の矢符は各コントローラ間の通信を示す。
【0072】
搬送システムA1は、実施形態1の搬送システムAを改変してなるものであって、第1ロボット10Aおよび第2ロボット20Aの各コントローラ11、21に位置および姿勢の誤差を検出する位置・姿勢検出部11a、21aを設けるとともに、第1ロボット10Aおよび第2ロボット20Aの同期を各コントローラ11,21間の通信により行うようにしてなるものとされる。また、図示はされていないが、第2ロボット20AのハンドにはワークWの姿勢誤差も検出できるように、位置検出センサが一対所定間隔で設けられている。
【0073】
なお、その余の構成は実施形態1と同様とされているので、その構成の詳細な説明は省略する。
【0074】
このように、この実施形態2によれば、各ロボット10A、20Aのコントローラ11、21に位置・姿勢検出部11a、21aを設けているので、上位制御装置を省略できシステムの構成が簡素化される。また、第2ロボット20AにおいてもワークWの姿勢誤差が修正できるようにされているので、何等かの原因により第1ロボット10AによりワークWの姿勢誤差が修正できなかった場合にも対処できる。
【0075】
実施形態3
図6に本発明の実施形態3に係るアライメント処理方法が適用される搬送システムの一例を示す。なお、図6において、実線の矢符はワークWの流れ方向を示し、点線の矢符は各コントローラ間および第2ロボットのコントローラとリフト部間の通信を示す。
【0076】
搬送システムA2は、実施形態2の搬送システムA1を改変してなるものであって、第1ロボット10Bおよび第2ロボット20Bの間に、実施形態1のリフト部90と同様の構成とされたリフト部90Aが設けられたワーク受渡しテーブルT3を備え、ワークWの受渡しをこのワーク受渡しテーブルT3を介してなすようにされてなるものである。また、このワーク受渡しテーブルT3のリフト部90Aは第2ロボット20Bのコントローラ21により制御されるものとされる。
【0077】
なお、その余の構成は実施形態2と同様とされているので、その構成の詳細な説明は省略する。
【0078】
このように、この実施形態3によれば、ワークWの受渡しをワーク受渡しテーブルT3を介してなすようにされているので、第1ロボット10Bおよび第2ロボット20Bの同期を取る必要がなくなる。そのため、各ロボット10B、20Bの動作自由度を増大させることができる。
【0079】
以上、本発明を実施形態に基づいて説明してきたが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、種々改変が可能である。例えば、各実施形態においては、2台のロボットが協働してワークを搬送する場合を説明したが、これに限らず、3台以上の搬送装置が協働してワークを搬送する場合にも、各搬送装置が位置誤差を合理的に分担して補正するよう制御することが可能である。
【0080】
また、実施形態1では、Q方向の位置誤差成分を第2ロボット20がワークWを受け取る際にハンド70を移動させて補正するものとしたが、搬送先テーブルT2までワークWを搬送するときの搬送距離を調整することにより、当該成分の補正を行うものとすることも可能である。
【0081】
さらに、各実施形態では各ロボットの動作方向は直交させられているが、直交に限定されるものではなく、任意の角とすることができる。
【0082】
さらにまた、実施形態3においては、上位制御装置を設けて第1ロボット、第2ロボットおよびワーク受渡し装置を制御するようにしてもよい。
【0083】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、アライメント処理のために他の搬送手段に作業待ちの状態を生ずることはないので、複数の搬送手段が協働してアライメント処理が必要な搬送作業を行う際の作業効率を向上させることができるという優れた効果が得られる。
【0084】
また、本発明の好ましい形態によれば、自由度の小さい直動型ロボットに走行軸を付加することなくアライメントがなし得るという優れた効果が得られる。そのため、搬送手段の構成が簡素化されるという優れた効果も得られる。その上、動作速度の速い直動型ロボットによりアライメントがなし得るので、サイクルタイムの短縮も図られるという優れた効果も得られる。。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態1に係るアライメント処理方法が適用される搬送システムの概略構成を示す模式図である。
【図2】同搬送システムで用いられる第1ロボットのハンドの拡大模式図である。
【図3】同第2ロボットの詳細を示す模式図である。
【図4】同第2ロボットの動作を説明するための模式図である。
【図5】本発明の実施形態2に係るアライメント処理方法が適用される搬送システムの概略構成を示すブロック図である。
【図6】本発明の実施形態3に係るアライメント処理方法が適用される搬送システムの概略構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
A、A1、A2 搬送システム
W ワーク
T3 ワーク受渡しテーブル
10、10A、10B 第1ロボット
20、20A、20B 第2ロボット
30 上位制御装置
31 位置誤差検出部
32 姿勢誤差検出部
15A、15B、72 位置センサ
13、70、80 ハンド
90 リフト部(ワーク受け渡し装置)
Claims (6)
- 第1の方向にワークを搬送する第1の搬送手段と、該第1の搬送手段から前記ワークを受け取って第2の方向に同ワークを搬送する第2の搬送手段とを少なくとも用いたアライメント処理方法であって、
前記第2の搬送手段は、待機姿勢と支持姿勢とに姿勢が切替可能とされたリフトピンを昇降自在に支持するリフト部を有し、
前記第1の搬送手段により第1の方向のアライメントおよび水平面内の回転方向のアライメントを実行する手順と、
前記リフトピンを支持姿勢に切り替えワーク受取位置まで上昇させて前記第1の搬送手段からワークを受け取る手順と、
前記リフトピンをアライメント実施位置まで降下させて第2の方向のアライメントを実施する手順と、
前記リフトピンをワーク載置位置まで降下させてワークを第2の搬送手段のハンドに受け渡す手順
とを含んでいることを特徴とするアライメント処理方法。 - 第2の搬送手段が直動型ロボットとされてなることを特徴とする請求項1記載のアライメント処理方法。
- 第1の方向にワークを搬送する第1の搬送手段と、該第1の搬送手段から前記ワークを受け取って第2の方向に同ワークを搬送する第2の搬送手段とを少なくとも備えてなるアライメント処理装置であって、
前記第2の搬送手段は、待機姿勢と支持姿勢とに姿勢が切替可能とされたリフトピンを昇降自在に支持するリフト部を有し、
前記第1の搬送手段は、第1の方向のアライメントおよび水平面内の回転方向のアライメントを実行するものとされ、
前記第2の搬送手段は、前記リフトピンを支持姿勢に切り替えて前記リフト部によりワーク受取位置まで上昇させて前記第1の搬送手段からワークを受け取らせ、前記リフトピンをアライメント実施位置まで降下させて第2の方向のアライメントを実施し、前記リフトピンをワーク載置位置まで降下させてワークをそのハンドに受け渡すものとされてなる
ことを特徴とするアライメント処理装置。 - 第2の搬送手段が、直動型ロボットとされてなることを特徴とする請求項3記載のアライメント処理装置。
- 第1の方向にワークを搬送する第1の搬送手段と、該第1の搬送手段から前記ワークを受け取って第2の方向に同ワークを搬送する第2の搬送手段とを少なくとも備えてなるアライメント処理装置にアライメント処理をさせるコンピュータプログラムであって、
前記第2の搬送手段は、待機姿勢と支持姿勢とに姿勢が切替可能とされたリフトピンを昇降自在に支持するリフト部を有し、
ワーク受取時におけるワークの位置および姿勢に関する誤差を算出するステップと、
前記第1の搬送手段に第1の方向のアライメントおよび水平面内の回転方向のアライメントを実行させるステップと、
前記リフトピンを支持姿勢に切り替えワーク受取位置まで上昇させて前記第1の搬送手段からワークを受け取らせるステップと、
前記リフトピンをアライメント実施位置まで降下させて第2の方向のアライメントを実施させるステップと、
前記リフトピンをワーク載置位置まで降下させてワークを第2の搬送手段のハンドに受け渡すステップ
とを含んでなることを特徴とするコンピュータプログラム。 - 請求項5記載のコンピュータプログラムが格納されてなることを特徴とするコンピュータに読み取り可能な記録媒体。
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