WO2016166952A1 - 基板搬送ロボット及びそのエンドエフェクタ - Google Patents

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Abstract

　基板搬送ロボットのエンドエフェクタが、複数のブレードと、ブレードどうしの基板垂線方向の間隔が可変となるように、ブレードを支持するブレード支持部と、複数のブレード支持部のうち少なくとも１つを他のブレードに対して基板垂線方向へ相対的に移動させるブレード駆動装置とを備える。ブレードの各々が、基板垂線方向の一方を向いた第１の主面と、その反対面である第２の主面と、第１の主面に基板を保持させる第１の基板保持機構と、第２の主面に基板を保持させる第２の基板保持機構とを有する。

Description

基板搬送ロボット及びそのエンドエフェクタ
　本発明は、半導体基板やガラス基板などの基板を搬送する基板搬送ロボット及びそのエンドエフェクタに関する。
　従来、半導体デバイスの材料である半導体基板や液晶表示パネルの材料であるガラス基板などの、薄板状の基板を搬送するために基板搬送ロボットが使用されている。基板搬送ロボットは、ロボットアームと、ロボットアームの手首に装着されたエンドエフェクタとを備えている。基板を搬送するためのエンドエフェクタは、例えば、薄板フォーク形状のブレードと、基板をブレードに保持する基板保持機構とから成る。
　上記のような基板搬送ロボットは、例えば、処理室へ基板を搬入し、処理された基板を処理室から搬出する作業を行う。このような搬送作業の一例として、洗浄処理室への基板の搬送作業がある。この場合に、１つのエンドエフェクタにおいて、洗浄処理室へ搬入される汚染物の付着した基板を支持する部分と、洗浄処理室から搬出される洗浄された基板を支持する部分とが同じであると、エンドエフェクタを媒介にして基板に汚染物を再付着させてしまうおそれがある。
　そこで、基板搬送ロボットに対し、搬入時と搬出時とでエンドエフェクタを使い分ける要望がある。この要望に応えるために、１つのエンドエフェクタに複数の基板を支持する部分を設けて、搬入時と搬出時で基板を支持する部分を使い分ける技術が従来提案されている。特許文献１には、エンドエフェクタに第１の吸着パッドと第２の吸着パッドとを備え、搬入時には第１の吸着パッドのみで基板を吸着し、搬出時には第２の吸着パッドのみで基板を吸着することが記載されている。また、特許文献２には、エンドエフェクタに周囲に複数の基板の保持部を有する回転軸を備え、基板を処理室へ搬入したあとに回転軸を回転させて、搬出時には搬入時とは別の保持部で基板を保持するようにすることが記載されている。
特開平１０－３１６２４２号公報 特開２０１２－１３０９８５号公報
　上記のような基板搬送ロボットに対して、更に、スループット（単位時間当たりの処理能力）を高める要望がある。この要望に応えるために、例えば、ロボットの一サイクルの動作で複数の基板を搬送することが考えられる。
　本発明は以上の事情に鑑みてされたものであり、その目的は、１つのエンドエフェクタで、基板を支持する部分を使い分けることと、スループットを高めることとを両立しうる、基板搬送ロボット及びそのエンドエフェクタを提供することである。
　本発明の一態様に係るエンドエフェクタは、基板搬送ロボットのロボットアームに装着されるエンドエフェクタであって、
複数のブレードと、前記複数のブレードの少なくとも１つに保持された基板の主面に垂直な方向を基板垂線方向と規定したときに、前記複数のブレードどうしの前記基板垂線方向の間隔が可変となるように、前記複数のブレードを支持するブレード支持部と、
前記複数のブレードのうち少なくとも１つを他のブレードに対して前記基板垂線方向へ相対的に移動させるブレード駆動装置とを、備え、
前記複数のブレードの各々が、前記基板垂線方向の一方を向いた第１の主面と、前記第１の主面の反対面である第２の主面と、前記第１の主面に基板を保持させる第１の基板保持機構と、前記第２の主面に基板を保持させる第２の基板保持機構とを有するものである。
　また、本発明の一態様に係る基板搬送ロボットは、前記エンドエフェクタと、前記エンドエフェクタが装着されたロボットアームとを備えたものである。
　本発明によれば、各ブレードの主面で基板を保持することができる。よって、基板搬送ロボットの１サイクルの動作で複数の基板を搬送することができ、作業のスループットを高めることができる。更に、例えば、各ブレードの第１の主面で清浄な基板を保持し、第２の主面で汚染された基板を保持するなど、１つのハンドで基板を支持する部分を使い分けることができる。
　本発明によれば、１つのエンドエフェクタで、基板を支持する部分を使い分けることと、スループットを高めることとを両立しうる、基板搬送ロボット及びそのエンドエフェクタを提供することができる。
本発明の一実施形態に係る基板搬送ロボットの全体的な構成を示す斜視図である。 基板搬送ロボットの側面図である。 基板搬送ロボットの制御系統の構成を示す図である。 エンドエフェクタの斜視図である。 エンドエフェクタのブレード及びその周辺の構成を説明する側面図である。 基板搬送用エンドエフェクタの使用態様であって、２枚の清浄な基板を搬送する態様を説明する図である。 基板搬送用エンドエフェクタの使用態様であって、２枚の汚染された基板を搬送する態様を説明する図である。 基板搬送用エンドエフェクタの使用態様であって、清浄な基板と汚染された基板を搬送する態様を説明する図である。 基板を上から把持することのできる仕様のエッジ把持式基板保持機構の一例を示す図である。 変形例１に係るエンドエフェクタの斜視図である。 変形例１に係るエンドエフェクタのブレード及びその周辺の構成を説明する側面図である。 変形例１に係るエンドエフェクタの使用態様であって、２枚の清浄な基板を搬送する態様を説明する図である。 変形例１に係るエンドエフェクタの使用態様であって、２枚の汚染された基板を搬送する態様を説明する図である。 変形例１に係るエンドエフェクタの使用態様であって、清浄な基板と汚染された基板を搬送する態様を説明する図である。 変形例２に係るエンドエフェクタのブレード及びその周辺の構成を説明する側面図である。 変形例２に係るエンドエフェクタのブレード及びその周辺の構成を説明する側面図である。 変形例３に係るエンドエフェクタのブレード及びその周辺の構成を説明する側面図である。 変形例３に係るエンドエフェクタのブレード及びその周辺の構成を説明する側面図である。 変形例４に係るエンドエフェクタのブレード及びその周辺の構成を説明する側面図である。 変形例５に係るエンドエフェクタのブレード及びその周辺の構成を説明する側面図である。 ３枚のブレードの平面図である。
　次に、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図１は本発明の一実施形態に係る基板搬送ロボット１の全体的な構成を示す斜視図、図２は基板搬送ロボット１の側面図である。図１及び図２に示すように、本発明の一実施形態に係る基板搬送ロボット１は、ロボットアーム４と、ロボットアーム４の手先部に装着された基板搬送用エンドエフェクタの一例であるロボットハンド５（以下、単に「ハンド５」ということがある）と、ロボットアーム４の動作を制御するコントロールユニット６とを概ね備えている。以下、基板搬送ロボット１の各構成要素について詳細に説明する。
　まず、ロボットアーム４について説明する。本実施形態に係るロボットアーム４は、基台２１に支持された水平多関節型ロボットとして構成されている。但し、ロボットアーム４は水平多関節型ロボットに限定されず、垂直多関節型ロボットであってもよい。
　ロボットアーム４は、基台２１に立設された昇降軸４０と、昇降軸４０と第１関節Ｊ１を介して連結された第１リンク４１と、第１リンク４１の先端部と第２関節Ｊ２を介して連結された第２リンク４２と、第２リンク４２の先端部と第３関節Ｊ３を介して連結された第３リンク４３とを備えている。第３リンク４３の先端部には、第４関節Ｊ４を介してハンド５のブレード支持部４４が連結されている。第３関節Ｊ３、第３リンク４３、及び、第４関節Ｊ４の相互結合体によって、ロボットアーム４の手首が形成されている。
　第１関節Ｊ１の回動軸である第１軸Ｌ１、第２関節Ｊ２の回動軸である第２軸Ｌ２、及び、第３関節Ｊ３の回動軸である第３軸Ｌ３の、各軸の延在方向は実質的に垂直方向である。また、第４関節Ｊ４の回動軸である第４軸Ｌ４の延在方向は実質的に水平方向である。
　図３は基板搬送ロボット１の制御系統の構成を示す図である。図２及び図３に示すように、昇降軸４０は、昇降駆動装置６０によって、実質的に垂直方向へ昇降又は伸縮するように駆動される。昇降駆動装置６０は、サーボモータＭ０、位置検出器Ｅ０、及びサーボモータＭ０の動力を昇降軸４０へ伝達する動力伝達機構Ｄ０などにより構成されている。
　第１～第４関節Ｊ１～Ｊ４には、各関節Ｊ１～Ｊ４をその回動軸まわりに回転させる第１～第４関節駆動装置６１～６４が設けられている。関節駆動装置６１～６４は、サーボモータＭ１～Ｍ４、位置検出器Ｅ１～Ｅ４、及びサーボモータＭ１～Ｍ４の動力を対応するリンクへ伝達する動力伝達機構Ｄ１～Ｄ４などにより構成されている。上記の動力伝達機構Ｄ１～Ｄ４は、例えば、減速機を具備する歯車動力伝達機構である。上記の各位置検出器Ｅ０～Ｅ４は、例えば、ロータリーエンコーダで構成されている。各サーボモータＭ０～Ｍ４は互いに独立して駆動することが可能である。そして、上記の各サーボモータＭ０～Ｍ４が駆動されると、上記の各位置検出器Ｅ０～Ｅ４によって上記の各サーボモータＭ０～Ｍ４の出力軸の回転位置の検出が行われる。
　ロボットアーム４は、コントロールユニット６によりその動作が制御されている。図３に示すように、コントロールユニット６は、コントローラ３０と、サーボモータＭ０～Ｍ４と対応したサーボアンプＡ０～Ａ４とを備えている。コントロールユニット６では、ロボットアーム４の手首に取り付けられたハンド５を任意のポーズ（空間における位置及び姿勢）へ任意の経路に沿って移動させるサーボ制御が行われる。
　コントローラ３０は、いわゆるコンピュータであって、例えば、マイクロコントローラ、ＣＰＵ、ＭＰＵ、ＰＬＣ、ＤＳＰ、ＡＳＩＣ又はＦＰＧＡ等の演算処理部と、ＲＯＭ、ＲＡＭ等の記憶部とを有している（いずれも図示せず）。記憶部には、演算処理部が実行するプログラム、各種固定データ等が記憶されている。また、記憶部には、ロボットアーム４の動作を制御するための教示点データ、ロボットハンド５の形状・寸法に関するデータ、ロボットハンド５に保持された基板Ｗの形状・寸法に関するデータなどが格納されている。コントローラ３０では、記憶部に記憶されたプログラム等のソフトウェアを演算処理部が読み出して実行することにより、基板搬送ロボット１の動作を制御するための処理が行われる。なお、コントローラ３０は単一のコンピュータによる集中制御により各処理を実行してもよいし、複数のコンピュータの協働による分散制御により各処理を実行してもよい。
　コントローラ３０は、位置検出器Ｅ０～Ｅ４の各々で検出された回転位置と対応するハンド５のポーズと記憶部に記憶された教示点データとに基づいて、所定の制御時間後の目標ポーズを演算する。コントローラ３０は、所定の制御時間後にハンド５が目標ポーズとなるように、サーボアンプＡ０～Ａ４へ制御指令（位置指令）を出力する。サーボアンプＡ０～Ａ４では、制御指令に基づいて各サーボモータＭ０～Ｍ４に対して駆動電力を供給する。これにより、ハンド５を所望のポーズへ動かすことができる。
　続いて、基板搬送ロボット１のエンドエフェクタであるハンド５について詳細に説明する。図４はエンドエフェクタの斜視図、図５はエンドエフェクタのブレード及びその周辺の構成を説明する側面図である。
　図４及び図５に示すように、ハンド５は、ブレード支持部４４と、ブレード支持部４４に支持された２枚のブレード７，８とを備えている。２枚のブレードのうち、一方はブレード支持部４４に対して相対的に位置固定された固定ブレード７であり、他方はブレード支持部４４（及び固定ブレード７）に対して相対的に基板垂線方向Ｚへ移動可能な可動ブレード８である。ここで、複数のブレード７，８の少なくとも１つに保持された基板Ｗの主面に垂直な方向を基板垂線方向Ｚと規定する。なお、本実施形態においては、基板垂線方向Ｚは鉛直方向と実質的に一致する。
　固定ブレード７は、先が二股に分かれたフォーク形状の薄板部材である。固定ブレード７の基端部はブレード基部７１に固定されている。ブレード基部７１は、ブレード支持部４４に支持されている。
　固定ブレード７の第１の主面７Ａ（図４，５において上面）には、第１の主面７Ａに基板Ｗを保持させるための第１の基板保持機構７ａが設けられている。第１の基板保持機構７ａはエッジ把持式であって、把持爪７４、プッシャ７２、及び第１プッシャ駆動装置７３などにより構成されている。なお、エッジ把持式の基板保持機構は、基板Ｗのエッジを数か所から加圧支持することによりブレードに基板Ｗを保持させるように構成されたものである。把持爪７４は、固定ブレード７の第１の主面７Ａの先端部と基端部の双方において設けられている。プッシャ７２は、固定ブレード７の上部に設けられており、先端部の把持爪７４に向けて基板Ｗを押圧するように構成されている。プッシャ７２は、第１プッシャ駆動装置７３によって、固定ブレード７の基端部と先端部を繋ぐ方向と平行な方向へ進退移動させられる。第１プッシャ駆動装置７３は、例えば、エアシリンダなどのアクチュエータである。
　固定ブレード７の第２の主面７Ｂ（図４，５において下面）には、第２の主面７Ｂに基板Ｗを保持させる第２の基板保持機構７ｂが設けられている。第２の基板保持機構７ｂは減圧吸着式であって、吸着パッド７５及び第１バルブ駆動装置７６などにより構成されている。なお、減圧吸着式の基板保持機構は、基板Ｗを固定ブレード７に吸着させて保持させるように構成されたものである。吸着パッド７５は、固定ブレード７の第２の主面７Ｂの先端部と基端部の双方に設けられている。吸着パッド７５は図示されない負圧源とチューブを介して接続されており、吸着パッド７５に発生する吸引力は、吸着パッド７５と負圧源との間に設けられた図示されないバルブが第１バルブ駆動装置７６（図３、参照）によって開閉駆動されることによって切り換えられる。なお、第１プッシャ駆動装置７３及び第１バルブ駆動装置７６の動作はコントロールユニット６によって制御されている（図３、参照）。
　なお、各吸着パッド７５は基板Ｗの主面の周縁部と接触するように固定ブレード７上に配置されることが望ましい。ブレード支持部４４が第４軸Ｌ４まわりに回転して、固定ブレード７の第２の主面７Ｂが下を向いたときに、吸着パッド７５に付着している汚染物質（パーティクルなど）が落下しても、それよりも下方に位置する基板Ｗの主面の周縁部を汚染するだけで済み、汚染の拡大を防ぐことができる。
　可動ブレード８は、固定ブレード７の周囲に設けられた１以上の薄板部材から成り、固定ブレード７と可動ブレード８は平面視において重複しない。可動ブレード８の基端部はブレード基部８１に固定されている。
　ブレード基部８１は、基板垂線方向Ｚへの直動機構８８を介してブレード支持部４４に支持されている。この直動機構８８によって、可動ブレード８は、ブレード支持部４４及び固定ブレード７に対し、基板垂線方向Ｚへ相対的に移動することができる。本実施形態においては、可動ブレード８は、可動ブレード８と実質的に同一平面（面一）となる位置から、固定ブレード７から所定距離だけ基板垂線方向Ｚへ離れた位置まで、固定ブレード７に対し相対的に移動することができる。可動ブレード８と固定ブレード７が離間したときの、固定ブレード７と可動ブレード８との基板垂線方向Ｚの間隔は、一定であってもよいし、段階的又は無段階的に調整可能であってもよい。
　可動ブレード８は、ブレード駆動装置８７によって昇降駆動される。ブレード駆動装置８７は、例えば、ブレード基部８１と結合されたロッドと、ロッドをシリンダから進退移動させるアクチュエータとから構成されている。ブレード駆動装置８７の動作は、コントロールユニット６によって制御されている（図３、参照）。
　可動ブレード８の第１の主面８Ａ（図４，５において上面）には、第１の主面８Ａに基板Ｗを保持させるための第１の基板保持機構８ａが設けられている。第１の基板保持機構８ａはエッジ把持式であって、把持爪８４、プッシャ８２、及び第２プッシャ駆動装置８３などにより構成されている。把持爪８４は、可動ブレード８の第１の主面８Ａの先端部と基端部の双方において設けられている。プッシャ８２は、可動ブレード８の上部に設けられており、先端部の把持爪８４に向けて基板Ｗを押圧するように構成されている。プッシャ８２は、第２プッシャ駆動装置８３によって、可動ブレード８の基端部と先端部を繋ぐ方向と平行な方向へ進退移動させられる。第２プッシャ駆動装置８３は、例えば、エアシリンダなどのアクチュエータである。プッシャ８２及び第２プッシャ駆動装置８３はブレード基部８１に支持されており、可動ブレード８と一体的に固定ブレード７に対して昇降移動する。
　可動ブレード８の第２の主面８Ｂ（図４，５において下面）には、第２の主面８Ｂに基板Ｗを保持させる第２の基板保持機構８ｂが設けられている。第２の基板保持機構８ｂは減圧吸着式であって、吸着パッド８５及び第２バルブ駆動装置８６などにより構成されている。吸着パッド８５は、可動ブレード８の第２の主面８Ｂの先端部と基端部の双方に設けられている。ここでも、各吸着パッド８５は基板Ｗの主面の周縁部と接触するように可動ブレード８上に配置されることが望ましい。吸着パッド８５は図示されない負圧源とチューブを介して接続されており、吸着パッド８５に発生する吸引力は、吸着パッド８５と負圧源との間に設けられた図示されないバルブが第２バルブ駆動装置８６（図３、参照）によって開閉駆動されることによって切り換えられる。なお、第２プッシャ駆動装置８３及び第２バルブ駆動装置８６の動作はコントロールユニット６によって制御されている（図３、参照）。
　上記構成のハンド５では、固定ブレード７及び可動ブレード８の両ブレードにおいて、第１及び第２の主面の双方に基板Ｗの基板保持機構が設けられており、各基板保持機構は独立して動作することができる。
　続いて、上記構成の基板搬送ロボット１の動作について、特に、ハンド５の使用態様に着目して説明する。図６Ａ，６Ｂ，６Ｃの各図はエンドエフェクタの使用態様の例を説明する図であり、図６Ａは２枚の清浄な基板Ｗ0を搬送する態様を説明する図、図６Ｂは２枚の汚染された基板Ｗ1を搬送する態様を説明する図、図６Ｃは清浄な基板Ｗ0と汚染された基板Ｗ1を搬送する態様を説明する図である。
　先ず、図６Ａに示すように、基板搬送ロボット１で２枚の清浄な基板Ｗ0を搬送する場合の、ハンド５の使用態様の一例について説明する。この場合には、ハンド５の固定ブレード７と可動ブレード８を基板垂線方向Ｚへ離間させた状態とする。そして、固定ブレード７の第１の主面７Ａと可動ブレード８の第１の主面８Ａに基板Ｗ0を載置し、載置された基板Ｗ0を第１の基板保持機構７ａ，８ａで保持する。固定ブレード７の第１の主面７Ａと可動ブレード８の第１の主面８Ａの基板保持機構７ａ，８ａは、いずれもエッジ把持式である。エッジ把持式の基板保持機構７ａ，８ａでは、清浄な基板Ｗ0の主面に基板保持機構の構成要素や固定ブレード７及び可動ブレード８の本体が接触することがない。
　次に、図６Ｂに示すように、基板搬送ロボット１で２枚の汚染された基板Ｗ1を搬送する場合の、ハンド５の使用態様の一例について説明する。この場合には、ハンド５の固定ブレード７と可動ブレード８を基板垂線方向Ｚへ離間させたうえ、ブレード支持部４４を第４軸Ｌ４を中心として実質的に１８０°回転させた状態とする。つまり、ハンド５を、固定ブレード７の第２の主面７Ｂと可動ブレード８の第２の主面８Ｂを上に向けた姿勢とする。
　そして、固定ブレード７の第２の主面７Ｂと可動ブレード８の第２の主面８Ｂに基板Ｗ1を載置し、載置された基板Ｗ1をそれぞれ基板保持機構７ｂ，８ｂで保持する。固定ブレード７の第２の主面７Ｂと可動ブレード８の第２の主面８Ｂの基板保持機構７ｂ，８ｂはいずれも減圧吸着式である。この減圧吸着式の基板保持機構では、基板Ｗ1の主面に吸着パッド７５，８５が接触するが、汚染された基板Ｗ1はこれから洗浄処理室へ搬入されて洗浄されるものであり、吸着パッド７５，８５が介在する再汚染があっても問題とはならない。
　なお、図６Ａ及び図６Ｂに示す例では、各ブレード７，８に一枚の基板Ｗが保持されているが、ブレード７，８のうち少なくとも一方が両主面に基板Ｗを保持してもよい。つまり、２枚のブレード７，８では、最大で４枚の基板Ｗを一度に保持して搬送することが可能である。
　続いて、図６Ｃに示すように、基板搬送ロボット１で清浄な基板Ｗ0と汚染された基板Ｗ1を搬送する場合の、ハンド５の使用態様の一例について説明する。この場合には、ハンド５の固定ブレード７の第１の主面７Ａと可動ブレード８の第１の主面８Ａとが実質的に同一平面を形成するように、可動ブレード８を固定ブレード７と同じレベルまで基板垂線方向Ｚに近接させた状態とする。
　上記のように、固定ブレード７と可動ブレード８とをあたかも一枚のブレードとして使用する場合には、これらのうちいずれか一方の基板保持機構を機能させてもよいし、これら両方の基板保持機構を機能させてもよい。
　例えば、固定ブレード７の第１の主面７Ａ及び可動ブレード８の第１の主面８Ａに清浄な基板Ｗ0を載置し、固定ブレード７の第１の基板保持機構７ａ又は／及び可動ブレード８の第１の基板保持機構８ａで基板Ｗ0を保持する。また、例えば、固定ブレード７の第２の基板保持機構７ｂ又は／及び可動ブレード８の第２の基板保持機構８ｂで基板Ｗ1を吸着保持する。固定ブレード７の第２の基板保持機構７ｂ及び可動ブレード８の第２の基板保持機構８ｂはいずれも減圧吸着式であるから、ハンド５が固定ブレード７の第２の主面７Ｂ及び可動ブレード８の第２の主面８Ｂを下に向けた姿勢であっても、固定ブレード７及び可動ブレード８に基板Ｗ1を保持させることができる。
　なお、上記において、ハンド５に先に汚染された基板Ｗ1を保持させてから、清浄な基板Ｗ0を保持させるようにしてもよい。更に、上記において、固定ブレード７の第２の主面７Ｂに汚染された基板Ｗ1を載置する前に、ハンド５を第４軸Ｌ４を中心として実質的に１８０°回転させて、固定ブレード７の第２の主面７Ｂを上向きに姿勢変化させてもよい。また、上記において、固定ブレード７の第１の主面７Ａと、固定ブレード７の第２の主面７Ｂの両方又は一方で、清浄な基板Ｗ0と汚染された基板Ｗ1のうち少なくとも一方を保持してもよい。
　上記において、各ブレード７、８に設けられたエッジ把持式の基板保持機構は、基板Ｗを下から把持する仕様のものである。但し、ブレード７，８に設けられたエッジ把持式の基板保持機構は、基板Ｗを上から把持することのできる仕様のもの（基板Ｗを上下両方から把持する仕様のものを含む）であってもよい。
　エッジ把持式基板保持機構で基板Ｗを上から把持する際には、ブレード７に対する基板Ｗの基板垂線方向Ｚの位置は、基板Ｗの反りや教示位置のずれに起因して、一意的に決まりにくい。従って、基板Ｗを上から把持することのできる仕様のエッジ把持式基板保持機構では、前記のようなブレード７に対する基板Ｗの基板垂線方向Ｚの位置ズレを吸収するために、基板Ｗを下から把持する仕様のエッジ把持式基板保持機構と比較して把持爪７４の基板垂線方向Ｚの寸法が大きいことが望ましい。
　図７は、基板Ｗを上から把持することのできる仕様のエッジ把持式基板保持機構の一例を示す図であって、プッシャ７２と先端側の把持爪７４を通る断面図が示されている。この図に示されたエッジ把持式基板保持機構では、ブレード７の先端側に設けられた把持爪７４、及び、プッシャ７２に、保持された基板Ｗのエッジよりも半径方向内周側へ突出する突起が設けられている。これらの突起は、基板Ｗを保持している主面が下向き姿勢となったときに基板Ｗが把持爪７４から落脱することを防止するためのものである。
　このように、エッジ把持式基板保持機構のうち、特に、基板Ｗを上から把持することのできる仕様のものは、基板Ｗを下から把持する仕様のものと比較して、把持爪７４の基板垂線方向Ｚの寸法が大きくなる。そこで、ブレード７の主面７Ａ、７Ｂのうち一方にエッジ把持式の基板保持機構を採用し他方に減圧吸着式の基板保持機構を採用することで、基板保持機構を含めたブレード７，８の厚みを抑えるようにしている。
　以上に説明したように、本実施形態に係る基板搬送ロボット１は、エンドエフェクタと、エンドエフェクタが装着されたロボットアーム４とを備えている。エンドエフェクタとしてのハンド５は、複数のブレード７，８と、複数のブレード７，８どうしの基板垂線方向Ｚの間隔が可変となるように、複数のブレード７，８を支持するブレード支持部４４と、複数のブレード７，８のうち少なくとも１つを他のブレードに対して基板垂線方向Ｚへ相対的に移動させるブレード駆動装置８７とを、備えている。
　そして、複数のブレード７，８の各々が、基板垂線方向Ｚの一方を向いた第１の主面７Ａ，８Ａと、第１の主面７Ａ，８Ａの反対面である第２の主面７Ｂ，８Ｂと、第１の主面７Ａ，８Ａに基板Ｗを保持させる第１の基板保持機構７ａ，８ａと、第２の主面７Ｂ，８Ｂに基板Ｗを保持させる第２の基板保持機構７ｂ，８ｂとを有する。
　上記基板搬送ロボット１及びそのハンド５によれば、各ブレード７，８の主面で基板Ｗを保持することができる。よって、ロボット１の１サイクルの動作で複数の基板Ｗを搬送することができ、作業のスループットを高めることができる。更に、例えば、各ブレード７，８の第１の主面７Ａ，８Ａで清浄な基板Ｗ0を保持し、第２の主面７Ｂ，８Ｂで汚染
された基板Ｗ1を保持するなど、１つのハンド５で基板Ｗを支持する部分を使い分けることができる。
　上記実施形態に係る基板搬送ロボット１及びそのハンド５では、第１の基板保持機構７ａ，８ａと第２の基板保持機構７ｂ，８ｂのうち一方が基板Ｗのエッジを把持する複数の爪７４，８４とプッシャ７２，８２とを含むエッジ把持式であり、第１の基板保持機構７ａ，８ａと第２の基板保持機構７ｂ，８ｂのうち他方が基板Ｗの主面を吸着する少なくとも１つの吸着パッド７５，８５を含む減圧吸着式である。
　より具体的には、上記実施形態では、第１の主面７Ａ，８Ａが定常時上向きの面であって、第１の基板保持機構７ａ，８ａがエッジ把持式であり、第２の基板保持機構７ｂ，８ｂが減圧吸着式である。
　上記の通り、各ブレード７，８の両主面で異なる方式の基板保持機構が採用されているので、ブレード７，８の厚みを抑えることが可能となる。例えば、複数の基板Ｗが所定間隔で積層された状態で格納したケース（カセット）に基板Ｗを出し入れするために、１枚のブレード及びこれに設けられた基板保持機構の厚みは狭隘な上記所定間隔に収まる大きさであることが要求される。そこで、ブレード７，８の少なくとも一方の主面の基板保持機構として減圧吸着式を採用することで、ブレード７，８の両方の主面にエッジ把持式を設ける場合と比較して、基板保持機構を含めたブレード７，８の厚みを抑えることを可能としている。
　特に、本実施形態に係る基板搬送ロボット１は、ロボットアーム４が、ブレード７，８の第１の主面７Ａ，８Ａが基板垂線方向Ｚの他方を向くように、ハンド５の少なくとも一部分を回転させる回転軸（第４軸Ｌ４）を有する。上記実施形態ではこの回転軸（第４軸Ｌ４）はロボットアーム４に設けられているが、ハンド５に設けられていてもよい。このようにブレード７，８が第４軸Ｌ４まわりに回転することから、下向きの主面でも基板Ｗを保持することができるように、基板保持機構としてエッジ把持式又は／及び減圧吸着式が採用されることが好ましい。
［変形例１］
　次に、上記実施形態の変形例１を説明する。図８は変形例１に係るエンドエフェクタの斜視図、図９は変形例１に係るエンドエフェクタのブレード及びその周辺の構成を説明する側面図である。なお、本変形例の説明においては、前述の実施形態と同一又は類似の部材には図面に同一の符号を付し、説明を省略する場合がある。
　図８及び図９に示すように、変形例１に係るエンドエフェクタであるハンド５（５Ａ）は、固定ブレード７と可動ブレード８の２枚のブレードを有している。固定ブレード７と可動ブレード８の各々は、基板垂線方向Ｚの一方を向いた第１の主面７Ａ，８Ａと、第１の主面７Ａ，８Ａの反対面である第２の主面７Ｂ，８Ｂと、第１の主面７Ａ，８Ａに基板Ｗを保持させる第１の基板保持機構７ａ，８ａと、第２の主面７Ｂ，８Ｂに基板Ｗを保持させる第２の基板保持機構７ｂ，８ｂとを有する。固定ブレード７の第１の基板保持機構７ａが減圧吸着式であり、第２の基板保持機構７ｂがエッジ把持式である。可動ブレード８の第１の基板保持機構８ａがエッジ把持式であり、第２の基板保持機構８ｂが減圧吸着式である。
　つまり、変形例１に係るエンドエフェクタであるハンド５Ａは、固定ブレード７の第１の主面７Ａに減圧吸着式の第１の基板保持機構７ａが設けられており、固定ブレード７の第２の主面７Ｂにエッジ把持式の第２の基板保持機構７ｂが設けられている点で、前述の実施形態に係るハンド５から相違する。上記相違点を除いて、変形例１に係るハンド５Ａの構成は前述の本実施形態に係る基板搬送ロボット１のハンド５と実質的に同一である。
　続いて、上記構成の基板搬送ロボット１の動作について、特に、ハンド５Ａの使用態様に着目して説明する。図１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃの各図は変形例１に係るエンドエフェクタの使用態様を説明する図であり、図１０Ａは２枚の清浄な基板Ｗ0を搬送する態様を説明する図、図１０Ｂは２枚の汚染された基板Ｗ1を搬送する態様を説明する図、図１０Ｃは清浄な基板Ｗ0と汚染された基板Ｗ1を搬送する態様を説明する図である。
　先ず、図１０Ａに示すように、基板搬送ロボット１で２枚の清浄な基板Ｗ0を搬送する
場合の、ハンド５Ａの使用態様の一例について説明する。この場合には、ハンド５Ａの固定ブレード７と可動ブレード８を基板垂線方向Ｚへ離間した状態とする。そして、可動ブレード８の第１の主面８Ａに基板Ｗ0を載置し、載置された基板Ｗ0を基板保持機構８ａで保持する。続いて、ハンド５Ａを第４軸Ｌ４を中心として実質的に１８０°回転させる。すると、ハンド５Ａは、固定ブレード７の第２の主面７Ｂが上を向いた姿勢となる。そして、固定ブレード７の第２の主面７Ｂに基板Ｗ0を載置し、載置された基板Ｗ0を基板保持機構７ｂで保持する。
　次に、図１０Ｂに示すように、基板搬送ロボット１で２枚の汚染された基板Ｗ1を搬送する場合の、ハンド５Ａの使用態様の一例について説明する。この場合には、ハンド５Ａの固定ブレード７と可動ブレード８を基板垂線方向Ｚへ離間した状態とする。そして、固定ブレード７の第１の主面７Ａに基板Ｗ1を載置し、載置された基板Ｗ1を基板保持機構７ａで保持する。続いて、ハンド５Ａを第４軸Ｌ４を中心として実質的に１８０°回転した状態とする。これにより、ハンド５Ａは、固定ブレード７の第２の主面７Ｂが上を向いた姿勢となる。そして、可動ブレード８の上向きの第２の主面８Ｂに基板Ｗ1を載置し、載置された基板Ｗ1を基板保持機構８ｂで保持する。
　続いて、図１０Ｃに示すように、基板搬送ロボット１で清浄な基板Ｗ0と汚染された基板Ｗ1を搬送する場合の、ハンド５Ａの使用態様の一例について説明する。この場合には、ハンド５Ａの固定ブレード７の第１の主面７Ａと可動ブレード８の第１の主面８Ａとが実質的に同一の平面を形成するように、可動ブレード８が固定ブレード７と同じレベルまで基板垂線方向Ｚに近接した状態とする。
　そして、固定ブレード７の第１の主面７Ａ及び可動ブレード８の第１の主面８Ａに清浄な基板Ｗ0を載置し、固定ブレード７の第１の主面７Ａ及び可動ブレード８の第１の主面８Ａの少なくとも一方に設けられた基板保持機構で基板Ｗ0を保持する。ここで、保持されるのが清浄な基板Ｗ0であることから、エッジ把持式の基板保持機構である可動ブレード８の第１の基板保持機構８ａを選択的に使用することが望ましい。続いて、固定ブレード７の第２の主面７Ｂ及び可動ブレード８の第２の主面８Ｂに基板Ｗ1を保持する。ここで、保持されるのが汚染された基板Ｗ1であることから、減圧吸着式の基板保持機構である可動ブレード８の第２の主面８Ｂの基板保持機構を選択的に使用することが望ましい。これにより、ハンド５Ａを第４軸Ｌ４まわりに回転させることなく、固定ブレード７の第２の主面７Ｂ及び可動ブレード８の第２の主面８Ｂに基板Ｗを保持させることができる。
　以上に説明したように、変形例１に係るハンド５Ａでは、複数のブレード７，８が基板垂線方向Ｚに離間したときに、基板垂線方向Ｚに隣接する１組のブレード７，８のうち一方のブレード７の第１の基板保持機構７ａがエッジ把持式であり、１組のブレードのうち他方のブレード８の第１の基板保持機構８ａが減圧吸着式である。そして、１組のブレード７，８のうち一方のブレード７の第２の基板保持機構７ｂが減圧吸着式であり、１組のブレードのうち他方のブレード８の第２の基板保持機構８ｂがエッジ把持式である。
　上記構成では、基板垂線方向Ｚに隣接する１組のブレード７，８の間では、エッジ把持方式又は減圧吸着式で基板Ｗが保持されることとなる。これにより、例えば、１組のブレード７，８の基板垂線方向Ｚの内側で２枚の汚染された基板Ｗ1を保持し、１組のブレード７，８の基板垂線方向Ｚの外側で２枚の清浄な基板Ｗ0を保持することができる。このように使用することによって、汚染された基板Ｗ1から離れた汚染物質などによって清浄な基板Ｗ0が再汚染されることを防止できる。
［変形例２］
　次に、上記実施形態の変形例２を説明する。図１１Ａ及び図１１Ｂは変形例２に係るエンドエフェクタのブレード及びその周辺の構成を説明する側面図である。なお、本変形例の説明においては、前述の実施形態と同一又は類似の部材には図面に同一の符号を付し、説明を省略する場合がある。
　図１１Ａ及び図１１Ｂに示すように、変形例２に係るエンドエフェクタであるハンド５（５Ｂ，５Ｂ’）は、固定ブレード７と可動ブレード８の２枚のブレードを有している。そして、固定ブレード７と可動ブレード８の各々は、基板垂線方向Ｚの一方を向いた第１の主面７Ａ，８Ａと、第１の主面７Ａ，８Ａの反対面である第２の主面７Ｂ，８Ｂと、第１の主面７Ａ，８Ａに基板Ｗを保持させる第１の基板保持機構７ａ，８ａと、第２の主面７Ｂ，８Ｂに基板Ｗを保持させる第２の基板保持機構７ｂ，８ｂとを有する。ここで、第１の主面７Ａ，８Ａは定常時上向きの面であって、第１の基板保持機構７ａ，８ａは摩擦式であり、第２の基板保持機構７ｂ，８ｂは減圧吸着式又はエッジ把持式である。図１１Ａに示すハンド５（５Ｂ）の第２の基板保持機構７ｂ，８ｂは減圧吸着式であり、図１１Ｂに示すハンド５（５Ｂ’）の第２の基板保持機構７ｂ，８ｂはエッジ把持式である。摩擦式の基板保持機構は、基板Ｗの主面との間に摩擦を生じさせる少なくとも１つの摩擦パッド９５を含んで構成される。本変形例では、各ブレード７，８の第１の主面７Ａ，８Ａの先端部と基端部のそれぞれに摩擦パッド９５が設けられている。
　つまり、変形例２に係るハンド５Ｂは、前述の実施形態に係るハンド５に対し、第１の基板保持機構７ａ，８ａ及び第２の基板保持機構７ｂ，８ｂの方式が相違する。上記相違点を除いて、変形例２に係るハンド５Ｂの構成は前述の実施形態に係る基板搬送ロボット１のハンド５と実質的に同一である。
［変形例３］
　次に、上記実施形態の変形例３を説明する。図１２Ａ及び図１２Ｂは変形例３に係るエンドエフェクタのブレード及びその周辺の構成を説明する側面図である。なお、本変形例の説明においては、前述の実施形態と同一又は類似の部材には図面に同一の符号を付し、説明を省略する場合がある。
　図１２Ａ及び図１２Ｂに示すように、変形例３に係るエンドエフェクタであるハンド５（５Ｃ，５Ｃ’）は、固定ブレード７と可動ブレード８の２枚のブレードを有している。そして、固定ブレード７と可動ブレード８の各々は、基板垂線方向Ｚの一方を向いた第１の主面７Ａ，８Ａと、第１の主面７Ａ，８Ａの反対面である第２の主面７Ｂ，８Ｂと、第１の主面７Ａ，８Ａに基板Ｗを保持させる第１の基板保持機構７ａ，８ａと、第２の主面７Ｂ，８Ｂに基板Ｗを保持させる第２の基板保持機構７ｂ，８ｂとを有する。ここで、第１の主面７Ａ，８Ａは定常時上向きの面であって、第１の基板保持機構７ａ，８ａは嵌合式であり、第２の基板保持機構７ｂ，８ｂは減圧吸着式又はエッジ把持式である。図１２Ａに示すハンド５（５Ｃ）の第２の基板保持機構７ｂ，８ｂは減圧吸着式であり、図１２Ｂに示すハンド５（５Ｃ’）の第２の基板保持機構７ｂ，８ｂはエッジ把持式である。嵌合式の基板保持機構は、基板Ｗが嵌合する少なくとも１つの凹部形成体９６を含んで構成される。凹部形成体９６によってブレード７，８の主面に凹部が形成されており、この凹部に基板Ｗが嵌まり込むことによって、基板Ｗがブレードに保持される。本変形例では、固定ブレード７及び可動ブレード８の第１の主面７Ａ，８Ａの先端部と基端部のそれぞれに凹部形成体９６が設けられている。
　つまり、変形例３に係るハンド５Ｃ，５Ｃ’は、前述の実施形態に係るハンド５に対し、第１の基板保持機構７ａ，８ａ及び第２の基板保持機構７ｂ，８ｂの方式が相違する。上記相違点を除いて、変形例３に係るハンド５Ｃ，５Ｃ’の構成は前述の実施形態に係る基板搬送ロボット１のハンド５と実質的に同一である。
　上記の変形例２及び変形例３に係るハンド５Ｂ，５Ｂ’，５Ｃ，５Ｃ’では、各ブレード７，８の第１の主面７Ａ，８Ａに基板Ｗを載置したまま、ハンド５を第４軸Ｌ４まわりに回転させることはできないが、第１の主面７Ａ，８Ａに基板Ｗを載せないでハンド５を第４軸Ｌ４まわりに回転させることで、各ブレード７，８の両主面を基板Ｗの搬送のために利用することが可能である。そして、摩擦式及び嵌合式の基板保持機構は、エッジ把持式と比較して構造が簡易であり且つ基板垂線方向Ｚの厚みを抑えることが可能である。よって、基板保持機構を含むブレードの厚みを抑えることが可能となる。
［変形例４］
　次に、上記実施形態の変形例４を説明する。図１３は変形例４に係るエンドエフェクタのブレード及びその周辺の構成を説明する側面図である。なお、本変形例の説明においては、前述の実施形態と同一又は類似の部材には図面に同一の符号を付し、説明を省略する場合がある。
　図１３に示すように、変形例４に係るエンドエフェクタであるハンド５（５Ｄ）は、固定ブレード７と可動ブレード８の２枚のブレードを有している。そして、固定ブレード７と可動ブレード８の各々は、基板垂線方向Ｚの一方を向いた第１の主面７Ａ，８Ａと、第１の主面７Ａ，８Ａの反対面である第２の主面７Ｂ，８Ｂと、第１の主面７Ａ，８Ａに基板Ｗを保持させる第１の基板保持機構７ａ，８ａと、第２の主面７Ｂ，８Ｂに基板Ｗを保持させる第２の基板保持機構７ｂ，８ｂとを有する。ここで、第１の主面７Ａ，８Ａは上向きの面であって、第１の基板保持機構７ａ，８ａは減圧吸着式であり、第２の基板保持機構７ｂ，８ｂはエッジ把持式である。第２の基板保持機構７ｂ，８ｂは、基板Ｗを上から把持することのできる仕様のエッジ把持式の基板保持機構であることが望ましい。
　変形例４に係るハンド５Ｄは、前述の実施形態に係るハンド５に対し、第１の基板保持機構７ａ，８ａが減圧吸着式であり、第２の基板保持機構７ｂ，８ｂがエッジ把持式である点で相違する。上記相違点を除いて、変形例４に係るハンド５Ｄの構成は前述の実施形態に係る基板搬送ロボット１のハンド５と実質的に同一である。
［変形例５］
　次に、上記実施形態の変形例５を説明する。図１４は変形例５に係るエンドエフェクタのブレード及びその周辺の構成を説明する側面図である。なお、本変形例の説明においては、前述の実施形態と同一又は類似の部材には図面に同一の符号を付し、説明を省略する場合がある。
　図１４に示すように、変形例５に係るエンドエフェクタであるハンド５（５Ｅ）は、固定ブレード７と可動ブレード８の２枚のブレードを有している。そして、固定ブレード７と可動ブレード８の各々は、基板垂線方向Ｚの一方を向いた第１の主面７Ａ，８Ａと、第１の主面７Ａ，８Ａの反対面である第２の主面７Ｂ，８Ｂと、第１の主面７Ａ，８Ａに基板Ｗを保持させる第１の基板保持機構７ａ，８ａと、第２の主面７Ｂ，８Ｂに基板Ｗを保持させる第２の基板保持機構７ｂ，８ｂとを有する。ここで、第１の基板保持機構７ａ，８ａと第２の基板保持機構７ｂ，８ｂの両方が、基板Ｗの主面を吸着する少なくとも１つの吸着パッド７５，８５を含む減圧吸着式の基板保持機構である。
　変形例５に係るハンド５Ｅは、前述の実施形態に係るハンド５に対し、第１の基板保持機構７ａ，８ａが減圧吸着式である点で相違する。上記相違点を除いて、変形例５に係るハンド５Ｅの構成は前述の実施形態に係る基板搬送ロボット１のハンド５と実質的に同一である。
　以上に本発明の好適な実施の形態（及び変形例）を説明したが、上記の構成は例えば以下のように変更することができる。
　上記実施形態の説明では、固定ブレード７と可動ブレード８の２枚のブレードを備えているが、３枚以上の複数のブレードを備えていてもよい。図１５では、ハンド５が３枚のブレードを備えるときの、各ブレードの平面図である。この図に示す例では、固定ブレード７と、固定ブレード７の外側に設けられた第１の可動ブレード８と、第１の可動ブレード８の外側に設けられた第２の可動ブレード８’との３枚のブレードがハンド５に設けられる。第２の可動ブレード８’に対し第１の可動ブレード８及び固定ブレード７が入子模様となっており、各ブレードを基板垂線方向Ｚから見たときに互いに重ならないように形成されている。つまり、複数のブレードを基板垂線方向Ｚから見たときに、最も外側に位置するブレードの内方に少なくとも１つの他のブレードが収まるように、複数のブレードが入れ子形状を有している。
　これにより、各ブレードを基板垂線方向Ｚへ離間させて使用すると基板搬送ロボット１の１サイクルの動作で複数の基板Ｗを搬送することが可能となり、スリープットを向上させることができる。そして、複数のブレードによって一つの平面が形成されるように、複数のブレードを基板垂線方向Ｚへ近接させて使用すると、あたかも一枚であるかのようにブレードの厚みを抑えることができる。
　また、上記実施形態の説明では、外側のブレードを可動ブレード８とし、内側のブレードを固定ブレード７としたが、これとは逆に内側のブレードを可動ブレードとし、外側のブレードを固定ブレードとしてもよい。或いは、２枚のブレードが共に可動ブレードであってもよい。要するに、ハンド５が、複数のブレード間の基板垂線方向Ｚの間隔を変更できる構成を有していればよい。
　また、上記実施形態の説明では、固定ブレード７と可動ブレード８が基板垂線方向Ｚへ近接した状態において、固定ブレード７の第１の主面７Ａと可動ブレード８の第１の主面８Ａが実質的に面一になるように（即ち、同一の平面を形成するように）したが、このようにブレードが近接した状態において両ブレード７，８全体の実質的に基板垂線方向Ｚの厚さが、所定の大きさ（例えば、基板Ｗを収容するカセットのピッチ）よりも小さくなるようにすれば、必ずしも実質的に面一にならなくてもよい。
　以上、本発明の好適な実施形態及びその変形例を説明した。上記説明から、当業者にとっては、本発明の多くの改良や他の実施形態が明らかである。従って、上記説明は、例示としてのみ解釈されるべきであり、本発明を実行する最良の態様を当業者に教示する目的で提供されたものである。本発明の精神を逸脱することなく、その構造及び／又は機能の詳細を実質的に変更できる。
１　　：基板搬送ロボット
４　　：ロボットアーム
５，５Ａ～５Ｅ　　：ロボットハンド（エンドエフェクタ）
６　　：コントロールユニット
７　　：固定ブレード
７Ａ　：第１の主面
７Ｂ　：第２の主面
７ａ　：第１の基板保持機構
７ｂ　：第２の基板保持機構
８　　：可動ブレード
８Ａ　：第１の主面
８Ｂ　：第２の主面
８ａ　：第１の基板保持機構
８ｂ　：第２の基板保持機構
２１　：基台
３０　：コントローラ
４０　：昇降軸
４１～４３　：リンク
４４　：ブレード支持部
６０　：昇降駆動装置
６１～６４　：関節駆動装置
７１，８１　：ブレード基部
７２，８２　：プッシャ
７３，８３　：プッシャ駆動装置
７４，８４　：把持爪
７５，８５　：吸着パッド
７６，８６　：バルブ駆動装置
８７　：ブレード駆動装置
８８　：直動機構
９５　：摩擦パッド
９６　：凹部形成体
Ａ０～Ａ４　：サーボアンプ
Ｄ０～Ｄ４　：動力伝達機構
Ｅ０～Ｅ４　：位置検出器
Ｊ１～Ｊ４　：関節
Ｌ１～Ｌ４　：軸
Ｍ０～Ｍ４　：サーボモータ
Ｗ，Ｗ0，Ｗ1　：基板
Ｚ　　：基板垂線方向

Claims (10)

  1. 　基板搬送ロボットのロボットアームに装着されるエンドエフェクタであって、
    　複数のブレードと、
    　前記複数のブレードの少なくとも１つに保持された基板の主面に垂直な方向を基板垂線方向と規定したときに、前記複数のブレードどうしの前記基板垂線方向の間隔が可変となるように、前記複数のブレードを支持するブレード支持部と、
    　前記複数のブレードのうち少なくとも１つを他のブレードに対して前記基板垂線方向へ相対的に移動させるブレード駆動装置とを、備え、
    　前記複数のブレードの各々が、前記基板垂線方向の一方を向いた第１の主面と、前記第１の主面の反対面である第２の主面と、前記第１の主面に基板を保持させる第１の基板保持機構と、前記第２の主面に基板を保持させる第２の基板保持機構とを有する、
    エンドエフェクタ。
  2. 　前記第１の基板保持機構と前記第２の基板保持機構のうち一方が、基板のエッジを把持する複数の爪とプッシャとを含むエッジ把持式の基板保持機構であり、
    　前記第１の基板保持機構と前記第２の基板保持機構のうち他方が、基板の主面を吸着する少なくとも１つの吸着パッドを含む減圧吸着式の基板保持機構である、
    請求項１に記載のエンドエフェクタ。
  3. 　前記第１の主面が上向きの面であり、
    　前記第１の基板保持機構が前記エッジ把持式であり、
    　前記第２の基板保持機構が前記減圧吸着式である、
    請求項２に記載のエンドエフェクタ。
  4. 　前記複数のブレードが前記基板垂線方向に離間したときに、前記基板垂線方向に隣接する１組のブレードのうち一方の前記第１の基板保持機構が前記エッジ把持式であり、前記１組のブレードのうち他方の前記第１の基板保持機構が前記減圧吸着式である、
    請求項２に記載のエンドエフェクタ。
  5. 　前記第１の基板保持機構及び前記第２の基板保持機構の両方が、基板の主面を吸着する少なくとも１つの吸着パッドを含む減圧吸着式の基板保持機構である、
    請求項１に記載のエンドエフェクタ。
  6. 　前記第１の主面が上向きの面であり、
    　前記第１の基板保持機構が、基板の主面との間に摩擦を生じさせる少なくとも１つの摩擦パッドを含む摩擦式基板保持機構、又は、基板が嵌合する少なくとも１つの溝を含む嵌合式の基板保持機構であり、
    　前記第２の基板保持機構が、基板の主面を吸着する少なくとも１つの吸着パッドを含む減圧吸着式の基板保持機構、又は、基板のエッジを把持する複数の爪とプッシャとを含むエッジ把持式の基板保持機構である、
    請求項１に記載のエンドエフェクタ。
  7. 　前記少なくとも１つの吸着パッドは、基板の主面の周縁部と接触するように、前記第１の主面又は第２の主面上に配置される、
    請求項２～６のいずれか一項に記載のエンドエフェクタ。
  8. 　前記複数のブレードを前記基板垂線方向から見たときに、最も外側に位置するブレードの内方に少なくとも１つの他のブレードが収まるように、前記複数のブレードが入れ子形状を有する、
    請求項１～７のいずれか一項に記載のエンドエフェクタ。
  9. 　請求項１～８のいずれか一項に記載のエンドエフェクタと、前記エンドエフェクタが装着されたロボットアームとを備えた、基板搬送ロボット。
  10. 　前記エンドエフェクタ又は前記ロボットアームが、前記第１の主面が前記基板垂線方向の他方を向くように、前記エンドエフェクタの少なくとも一部分を回転させる回転軸を有する、
    　請求項９に記載の基板搬送ロボット。
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