JP4465795B2 - 天井搬送車におけるグリッパ装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、レールに吊り下げ状態で走行する天井搬送車に配設され、一対のフィンガがほぼ水平に接近して、ウェハキャリアのフランジの下方に入り込んで、前記ウェハキャリアを吊り下げ支持するためのグリッパ装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の技術を説明するに当たり、本発明の実施例の図面を援用する。図1及び図2に示されるように、半導体製造工場において、ウェハキャリアCを搬送するために天井搬送車Vが使用される。この天井搬送車Vは、天井に取付けられた走行レールRに吊り下げ状態で走行するものであり、車体1の下部にグリッパ装置Aが配設されている。このグリッパ装置Aは、天井搬送車Vに配設されたリフタ装置(図示せず)により昇降可能である。
【0003】
図4及び図5に示されるように、前記グリッパ装置Aには、ウェハキャリアCのフランジ5を両側から支持するための一対のフィンガ4a,4b が取付けられている。前記一対のフィンガ4a,4b は、ガイドレール11に装着された各ガイドブロック12a,12b に固着されていると共に、軸方向の両側に左右のねじ部18a,18b が形成されたボールねじ18に連結されている。前記一対のフィンガ4a,4b は、前記ボールねじ18を回転させることにより、相互に接近・離隔される。このボールねじ18は、制御モータ17によって回転される。
【0004】
安全を図るため、前記天井搬送車VによってウェハキャリアCが搬送されている間、制御モータ17への給電が停止されることがある。このような場合、前記制御モータ17のモータ軸17aは拘束が解かれフリーの状態になるため、前記ボールねじ18もフリー状態となる。この結果、天井搬送車Vが走行レールRを走行する際の振動により、一対のフィンガ4a,4b が徐々に離隔され、ウェハキャリアCが落下するおそれがある。
【0005】
前記制御モータ17がブレーキ付きモータである場合には、給電が停止されても、そのモータ軸17aは静止状態で保持される。しかし、ブレーキ付きモータは通常の制御モータ17よりも大きく、しかも、グリッパ装置Aにおける制御モータ17の設置スペースは限られているため、前記ブレーキ付きモータを使用することは極めて困難である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記した不具合に鑑み、天井搬送車のグリッパ装置を構成する一対のフィンガが、ウェハキャリアを吊り下げるために相互に接近した状態で保持されるようにすることを課題としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための請求項1の発明は、天井に取付けられたレールに吊り下げ状態で走行する天井搬送車に昇降可能にして取付けられ、ほぼ水平に接近・離隔される一対のフィンガが、ウェハキャリアのフランジの下方に入り込んで、前記ウェハキャリアを吊り下げ支持するためのグリッパ装置において、前記一対のフィンガをそれぞれ吊り下げ支持する一対のフィンガ支持部と、前記一対のフィンガ支持部が互いに接近・離隔するように、当該一対のフィンガ支持部をそれぞれ駆動する制御モータを有するフィンガ駆動手段と、前記一対のフィンガ支持部の相対向する各内端部にそれぞれ取付けられて、当該各内端部の間に吸引力を作用させて、当該一対のフィンガ支持部が相互に離隔するのを防止する吸引手段とを備え、前記ウェハキャリアを吊り下げ支持するときには、前記制御モータによって、前記一対のフィンガが前記フランジの下方に入り込むように前記一対のフィンガ支持部どうしを接近させて停止した状態で、各フィンガ支持部どうしを前記吸引手段の吸引力により相互に吸引させることで、前記制御モータへの給電が停止された状態でも前記一対のフィンガが相互に離隔することを防止し、前記ウェハキャリアを取り外すときには、前記制御モータによって前記吸引手段の吸引力に抗して前記一対のフィンガ支持部どうしを離隔させることで、前記一対のフィンガを前記フランジの下方から離隔させることを特徴としている。
【0008】
天井搬送車は、天井に取付けられたレールに吊り下げ状態で走行する。この天井搬送車の下部には、前記天井搬送車に対して昇降可能にしてグリッパ装置が取付けられている。該グリッパ装置を構成する一対のフィンガが、ウェハキャリアのフランジの下方に入り込んで相互に接近されることにより、該ウェハキャリアが吊り下げ支持される。この状態で天井搬送車が走行し、ウェハキャリアが搬送される。前記一対のフィンガ支持部には、それらを相互に吸引するための吸引手段が設けられている。前記一対のフィンガ支持部の相対向する各内端部には、当該各内端部の間に吸引力を作用させて、当該一対のフィンガ支持部が相互に離隔するのを防止する吸引手段が設けられている。このため、一対のフィンガがウェハキャリアのフランジの下方に入り込んで相互に接近されたときに、一対のフィンガ支持部は吸引手段によって相互に吸引されて保持される。この結果、天井搬送車がウェハキャリアを搬送しているときに、仮に制御用モータへの給電が停止されても、一対のフィンガが離隔することはなく、ウェハキャリアが落下するおそれはない。一方、ウェハキャリアを取り外すときには、制御モータによって吸引手段の吸引力に抗して一対のフィンガ支持部どうしを離隔させることで、一対のフィンガをウェハキャリアのフランジの下方から離隔させられるので、停電時において、一対のフィンガ支持部に吊り下げられているウェハキャリアが落下されるのを防止するための吸引手段が作動していても、一対のフィンガ支持部からウェハキャリアを取り外すことができる。
【0009】
請求項2の発明は、請求項1の発明において、前記吸引手段は、一対のフィンガ支持部の対向する各内端面の一方に取付けられたマグネットと、その他方に取付けられた磁性板とから構成されているため、吸引手段を作動させるための動力が不要であり、その構成は極めて簡単になる。このため、安価に製作できる。
【0010】
請求項3の発明は、請求項1又は2の発明において、前記一対のフィンガ支持部の移動経路には、前記吸引手段が取付けられている当該一対のフィンガ支持部の各内端面の隙間を僅かに保持した状態で、当該一対のフィンガ支持部を当接させて停止させるストッパが配置されている。このため、吸引手段を取付けている一対のフィンガ支持部の内端面の隙間を僅かに保持した状態で、当該一対のフィンガ支持部を確実に停止させられて、吸引手段を構成する部材どうしが衝突して破損するおそれがなくなる。
【0011】
請求項4の発明は、請求項1ないし3のいずれかの発明において、前記一対のフィンガ支持部は、軸方向の両側に左右のねじ部が形成されたボールねじに各々連結されていて、前記制御モータを駆動させることで前記ボールねじが回転することによって、前記一対のフィンガが同じ長さだけ接近・離隔されるように構成されているため、前記ボールねじが回転することによって、一対のフィンガが同じ長さだけ接近・離隔される場合、一対のフィンガは、平面視におけるグリッパ装置のほぼ中央部の位置(グリッパ装置の重心位置)を基準として、常に同じ長さだけ接近・離隔される。このため、吊り下げ支持されたウェハキャリアの重心位置は、常に、平面視におけるグリッパ装置の重心位置のほぼ直下に配置される。この結果、ウェハキャリアが傾いて吊り下げられることがなく、更に確実に落下防止が図られる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、実施形態を挙げて本発明を更に詳細に説明する。図1は、本発明に係る天井搬送車Vのグリッパ装置Aの正面図、図2は同じく側面図、図3は一対のフィンガ4a,4b を相互に離隔させた状態の斜視図、図4は同じく底面図、図5は同じく側面断面図である。図1及び図2に示されるように、天井搬送車Vは、天井に取付けられた走行レールRに吊り下げられて走行する。該天井搬送車Vの車体1には、リフタ装置(図示せず)が内装されていて、該リフタ装置にグリッパ装置Aが、4本の昇降ベルト2により昇降可能にして吊り下げ支持されている。前記リフタ装置を作動させ、前記昇降ベルト2を繰り出したり、巻き戻したりすることにより、グリッパ装置Aが昇降される。このグリッパ装置Aは、ウェハキャリアCを吊り下げ支持するためのものである。
【0013】
ウェハキャリアCについて、簡単に説明する。このウェハキャリアCは、所定枚数のウェハ(図示せず)が収容されるキャリア本体3と、該キャリア本体3の上方に取付けられ、グリッパ装置Aを構成する一対のフィンガ4a,4b (後述)によって吊り下げ支持される略方形状のフランジ5とから構成されている。このフランジ5は、前記キャリア本体3の上面部で、平面視におけるほぼ中央部に取付けられたフランジ保持部6の上面に、ほぼ水平にして取付けられている。前記フランジ保持部6は、前記キャリア本体3と前記フランジ5との間に、一対のフィンガ4a,4b を入り込ませるための隙間を形成させるためのものである。そして、前記フランジ5と前記フランジ保持部6とは、ほぼ軸心同一にして取付けられている。なお、図2において、7は、天井搬送車Vの車体1を走行させるための駆動輪であり、8は、天井搬送車Vの車体1が幅方向にずれないように規制するためのガイド輪である。このガイド輪8は、特に、天井搬送車Vがカーブ走行するときに、有効に作用する。
【0014】
次に、グリッパ装置Aについて説明する。図3ないし図5に示されるように、グリッパ装置Aを構成する天板部9の底面部のほぼ中央部には、該グリッパ装置Aの幅方向(左右方向)に沿ってガイドレール11が固着されている。前記天板部9の周囲にはスカート部10が周設されていて、該スカート部10における幅方向の両側には、一対のフィンガ4a,4b を通過させるための各切欠部10a,10b が設けられている。このガイドレール11には、一対のガイドブロック12a,12b が装着されていて、各ガイドブロック12a,12b の下面部には、それぞれ水平にして一対の支持プレート13a,13b が取付けられている。各支持プレート13a,13b における内側の対向端面部(一対の支持プレート13a,13b が相対向する端面部)には、一対の磁性板14a,14b が、下方に向けてほぼ垂直にして取付けられている。本実施例における各磁性板14a,14b は鉄板であり、更に一方側の磁性板14aにおいて、他方側の磁性板14bと相対向する面には、マグネット15が固着されている。
【0015】
また、前記一対の支持プレート13a,13b における外側の端面部には、一対のフィンガ支持板16a,16b が、下方に向けてほぼ垂直にして取付けられている。各フィンガ支持板16a,16b の底面部には、一対のフィンガ4a,4b がほぼ水平にして取付けられている。フィンガ4a(4b)を支持するフィンガ支持部は、支持プレート13a(13b)とフィンガ支持板16a(16b)とで構成される。各フィンガ4a,4b は、平面視において台形状のプレートであり、それらの奥行き方向の長さは、前述したウェハキャリアCのフランジ5における奥行方向の長さよりも少し長い。また、一対のフィンガ4a,4b が開いたとき(相互に離隔されたとき)の開き量Wは、前記フランジ5の幅よりも少し長い。更に、各フィンガ4a,4b の厚みは、ウェハキャリアCのキャリア本体3の上面部とフランジ5との間に入り込むことができる厚さである。
【0016】
上記した一対のフィンガ4a,4b は、制御モータ17が駆動されることによって相互に接近・離隔される。即ち、図4に示されるように、ガイドレール11の側方には、該ガイドレール11の長手方向に沿ってボールねじ18が配設されている。このボールねじ18の外周面には、その軸方向のほぼ中央部から両端部にかけて、左右のねじ部18a,18b が形成されている。そして、前記ボールねじ18には、左右の各ねじ部18a,18b に対応する一対のナットブロック19a,19b が螺合されている。一対のナットブロック19a,19b は、一対の連結ブロック21a,21b により、対応する各支持プレート13a,13b と連結されている。前記一対のフィンガ4a,4b を接近・離隔させるフィンガ駆動手段は、ボールねじ18と、当該ボールねじ18に螺合される一対のナットブロック19a,19b と、前記制御モータ17とで構成される。そして、一方側の磁性板14aに固着されたマグネット15と、他方側の磁性板14bとの間隔は、平面視におけるグリッパ装置Aの天板部9のほぼ中央部(グリッパ装置Aの重心位置G)から、ほぼ同一の距離になるように配置されている。
【0017】
そして、前述したボールねじ18の側方(ガイドレール11の反対側の側方)には、前記ボールねじ18の軸方向に沿って制御モータ17が配設されている。この制御モータ17のモータ軸17aには、カップリング22を介して第1平歯車23が装着されている。前記第1平歯車23は、同一歯数の第2平歯車24と歯合されていて、前記第2平歯車24はボールねじ18の一端部に装着されている。前記制御モータ17を駆動させて、そのモータ軸17aを所定方向に回転させると、第1及び第2の各平歯車23,24を介してボールねじ18が所定方向に回転される。すると、一対のナットブロック19a,19b がそれぞれ反対方向に回転される。この結果、一対の支持プレート13a,13b は、ガイドレール11にガイドされて同じ長さだけ相互に接近・離隔される。このため、一方側の磁性板14aに取付けられたマグネット15と、他方側の磁性板14bとの間隔は、底面視におけるグリッパ装置Aの天板部9のほぼ中央部(グリッパ装置Aの重心位置G)から、常に、ほぼ同一である。なお、図4において、25は、制御モータ17を支持するためのモータブラケットであり、26は、第1及び第2の各平歯車23,24を支持するための歯車ブラケットであり、27は、ボールねじ18の他端部を支持するためのブラケットである。
【0018】
また、図4及び図5に示されるように、グリッパ装置Aの天板部9の底面部で、底面視におけるガイドレール11の側方(ボールねじ18の反対側の側方)には、ストッパ28が取付けられている。このストッパ28は、制御モータ17が駆動されることによってボールねじ18が回転され、一対の支持プレート13a,13b が相互に接近されたときに、一対のガイドブロック12a,12b を当接させるためのものである。即ち、図6及び図7に示されるように、一対の支持プレート13a,13b が最も接近された場合であっても、前記ストッパ28が取付けられていることにより、マグネット15と磁性板14bとの間に隙間eが形成される。この隙間eは僅かであり、前記マグネット15から発生する磁気吸引力により、前記マグネット15と他方側の磁性板14bとが相互に吸引される。この結果、一対のフィンガ4a,4b は閉じた状態(相互に接近された状態)で保持される。そして、前述した制御モータ17は、マグネット15と他方側の磁性板14bとの磁気吸引力に抗して、両者を引き離すことができるトルクを有している。なお、図4において、29a,29b は、ウェハキャリアCの有無を検出するための各在荷センサである。
【0019】
本発明に係るグリッパ装置Aの作用について説明する。天井搬送車Vが走行レールRを走行し、ウェハキャリアCの直上に配置される。図3及び図4に示されるように、グリッパ装置Aを構成する一対のフィンガ4a,4b は、予め、相互に離隔されていて、一対のフィンガ4a,4b の開き量Wは、ウェハキャリアCのフランジ5の幅方向の長さよりも長い。図5に示されるように、天井搬送車Vからグリッパ装置Aが下降され、一対のフィンガ4a,4b の上面部が、ウェハキャリアCのフランジ5の底面部よりも僅かに下方に位置される。この状態で、前記グリッパ装置Aの下降が停止され、制御モータ17が駆動されて、そのモータ軸17aが所定方向(一対のフィンガ4a,4b を相互に接近させる方向)に回転される。
【0020】
図6及び図7に示されるように、ボールねじ18が所定方向に回転され、一対の支持プレート13a,13b が、ガイドレール11にガイドされて相互に接近される。しかも、一対の支持プレート13a,13b は、グリッパ装置Aの天板部9のほぼ中央部(グリッパ装置Aの重心位置G)に向かって同じ長さだけ接近されて、ウェハキャリアCのフランジ5の下方に入り込む。このとき、一対の支持プレート13a,13b が相互に接近されるのに伴い、一方側の磁性板14aに取付けられたマグネット15から発生する磁気吸引力が、他方側の磁性板14bに作用する。そして、一対のガイドブロック12a,12b がストッパ28に当接したとき、前記マグネット15と他方側の磁性板14bは、僅かな隙間e(最小隙間)を介して配置される。即ち、前記マグネット15と他方側の磁性板14bが衝突することはないため、それらが損傷するおそれはない。このとき、マグネット15と他方側の磁性板14bとの間に作用する磁気吸引力は最大となり、両者は強固に吸引される。この結果、一対のフィンガ4a,4b が、ウェハキャリアCのフランジ5の下方に入り込んだ状態で保持される。また、ウェハキャリアCのフランジ5の幅方向の両端部が、各在荷センサ29a,29b に当接されることにより、該ウェハキャリアCの有無が検出される。
【0021】
続いて、天井搬送車Vのリフタ装置が作動され、グリッパ装置Aが上昇される。一対のフィンガ4a,4b は、ウェハキャリアCのフランジ5を吊り下げ支持したまま上昇される。この状態で、天井搬送車Vが走行される。このとき、もし、制御モータ17への給電が停止されて、ボールねじ18が回転自在な状態になっても、一対の支持プレート13a,13b は、相対向する端面部のうち、一方側の磁性板14aに取付けられたマグネット15と他方側の磁性板14bが相互に、しかも、強固に磁気吸引されているため、相互に離隔されることはない。この結果、天井搬送車Vの走行中に振動等が生じても、一対のフィンガ4a,4b が相互に離隔されることはなく、ウェハキャリアCが落下するおそれはない。
【0022】
グリッパ装置AからウェハキャリアCを取り外すときには、制御モータ17を駆動させて、マグネット15と他方側の磁性板14bとの間に生じている磁気吸引力に抗して、一対の支持プレート13a,13b を相互に離隔させる。すると、一対のフィンガ4a,4b の開き量Wが、ウェハキャリアCのフランジ5の幅方向の長さよりも長くなるため、ウェハキャリアCを取り外すことができる。
【0023】
本実施例の一対のフィンガ4a,4b は、平面視において台形状であるが、それ以外の形状、例えば、平面視において長方形状であっても構わない。また、本実施例では、マグネット15と他方側の磁性板14bとの間に作用する磁気吸引力によって一対の支持プレート13a,13b が相互に吸引される形態である。しかし、マグネット15以外の吸引手段、例えば、電磁石、或いはエアによる吸引であっても構わない。更に、マグネット15と磁性板14bとの組合せ以外の組合せ、例えば、マグネットどうしであっても構わない。また、前記マグネット15は非磁性板に固着されていても構わない。
【0024】
【発明の効果】
本発明に係る天井搬送車のグリッパ装置は、ウェハキャリアのフランジの下方に入り込んで、該ウェハキャリアを吊り下げ支持するための一対のフィンガを有していて、前記一対のフィンガがウェハキャリアを吊り下げた状態で、当該各フィンガを支持する各フィンガ支持部の内側の対向端面部は、吸引手段によって相互に吸引されて保持される。このため、ウェハキャリアが吊り下げ支持されているときに、仮に停電が発生しても、前記一対のフィンガが相互に離隔されることはなく、前記ウェハキャリアが落下するおそれはない。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る天井搬送車Vのグリッパ装置Aの正面図である。
【図2】 同じく側面図である。
【図3】 一対のフィンガ4a,4b を相互に離隔させた状態の斜視図である。
【図4】 同じく底面図である。
【図5】 同じく側面断面図である。
【図6】 一対のフィンガ4a,4b を相互に接近させた状態の底面図である。
【図7】 同じく側面断面図である。
【符号の説明】
A:グリッパ装置
C:ウェハキャリア
R:走行レール(レール)
V:天井搬送車
e:隙間
4a,4b :フィンガ
5:フランジ
13a,13b :支持プレート(フィンガ支持部)
14a,14b :磁性板(吸引手段)
15:マグネット(吸引手段)
16a,16b :フィンガ支持板(フィンガ支持部)
17:制御モータ(フィンガ駆動手段)
18:ボールねじ(フィンガ駆動手段)
18a,18b :ねじ部
19a,19b :ナットブロック(フィンガ駆動手段)
28:ストッパ
Claims (4)
- 天井に取付けられたレールに吊り下げ状態で走行する天井搬送車に昇降可能にして取付けられ、ほぼ水平に接近・離隔される一対のフィンガが、ウェハキャリアのフランジの下方に入り込んで、前記ウェハキャリアを吊り下げ支持するためのグリッパ装置において、
前記一対のフィンガをそれぞれ吊り下げ支持する一対のフィンガ支持部と、
前記一対のフィンガ支持部が互いに接近・離隔するように、当該一対のフィンガ支持部をそれぞれ駆動する制御モータを有するフィンガ駆動手段と、
前記一対のフィンガ支持部の相対向する各内端部にそれぞれ取付けられて、当該各内端部の間に吸引力を作用させて、当該一対のフィンガ支持部が相互に離隔するのを防止する吸引手段と、
を備え、
前記ウェハキャリアを吊り下げ支持するときには、前記制御モータによって、前記一対のフィンガが前記フランジの下方に入り込むように前記一対のフィンガ支持部どうしを接近させて停止した状態で、各フィンガ支持部どうしを前記吸引手段の吸引力により相互に吸引させることで、前記制御モータへの給電が停止された状態でも前記一対のフィンガが相互に離隔することを防止し、
前記ウェハキャリアを取り外すときには、前記制御モータによって前記吸引手段の吸引力に抗して前記一対のフィンガ支持部どうしを離隔させることで、前記一対のフィンガを前記フランジの下方から離隔させることを特徴とする天井搬送車におけるグリッパ装置。 - 前記吸引手段は、一対のフィンガ支持部の対向する各内端面の一方に取付けられたマグネットと、その他方に取付けられた磁性板とから構成されることを特徴とする請求項1に記載の天井搬送車におけるグリッパ装置。
- 前記一対のフィンガ支持部の移動経路には、前記吸引手段が取付けられている当該一対のフィンガ支持部の各内端面の隙間を僅かに保持した状態で、当該一対のフィンガ支持部を当接させて停止させるストッパが配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の天井搬送車におけるグリッパ装置。
- 前記一対のフィンガ支持部は、軸方向の両側に左右のねじ部が形成されたボールねじに各々連結されていて、前記制御モータを駆動させることで前記ボールねじが回転することによって、前記一対のフィンガが同じ長さだけ接近・離隔されることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の天井搬送車におけるグリッパ装置。
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