CN108172540B - 移载机 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种移载机(10)，其具备：沿着在顶棚(9)侧设置的导轨(91)而进行行驶的行驶部(20)、以及设置在行驶部(20)且升降自如地对料盒(80)进行支撑的升降部(30)，升降部(30)具备：升降部主体(31)、以及相对于升降部主体(31)能够升降自如且对料盒(80)进行支撑的升降笼(34)，料盒(80)具备与升降笼(34)卡合的多个凸缘部(81)，凸缘部(81)形成有与升降笼(34)卡合的卡合部分，并且该卡合部分朝向料盒(80)的内侧，升降笼(34)具备与凸缘部(81)卡合的卡合部(36)，针对多个凸缘部(81)的每一个来设置卡合部(36)，并且卡合部(36)构成为能够从升降笼(34)的中心侧朝向凸缘部(81)，相对于升降笼(34)旋转。

Description

移载机
技术领域
本发明涉及一种具备沿着在顶棚侧设置的导轨进行行驶的行驶部、以及设置在所述行驶部且升降自如地对被搬送物进行支撑的升降部的移载机。
背景技术
众所周知，作为现有的移载机，在设置于顶棚侧的导轨上设置有：在该导轨上行驶的行驶台车(行驶部)，该行驶台车借助升降装置(升降部)而对被搬送物进行保持吊挂。在这种移载机的升降装置设置有：升降部主体、以及相对于升降部主体而升降自如且用于对被搬送物进行支撑的升降笼。在上述升降笼设置有对被搬送物进行支撑的卡合部。通过驱使卡合部进行动作，升降笼进行针对被搬送物的把持或者把持的解除。例如，在专利文献1所示的移载机中，对被搬送物进行支撑的一对卡夹部(卡合部)从被搬送物上方下降下来，并从水平方向抓住被搬送物的凸缘部，由此来对被搬送物进行把持。
专利文献
专利文献1：日本特开2016-163001号公报
发明内容
然而，在上述移载机中，由于使卡合部从被搬送物的外侧朝向内侧移动来对被搬送物进行支撑，因此，卡合部的可动区域相比被搬送物的设置有凸缘部的位置而处于外侧。由此，有时需要在比被搬送物的设置有凸缘部的位置还靠外侧的位置来使卡合部移动，据此，会产生：升降装置(升降笼)呈现大型化的问题。
因此，本发明的目的在于，提供一种使得卡合部的可动区域处于比被搬送物的设置有凸缘部的位置还靠内侧的位置从而能够实现升降装置(升降笼)小型化的移载机。
本发明想要解决的课题如上所述，下面，对解决这个课题的手段进行说明。
亦即，本发明的移载机具备：沿着在顶棚侧设置的导轨而进行行驶的行驶部、以及设置于所述行驶部且升降自如地对被搬送物进行支撑的升降部，所述升降部具备：升降部主体、以及相对于所述升降部主体能够升降自如且对被搬送物进行支撑的升降笼，所述被搬送物具备与所述升降笼进行卡合的多个凸缘部，所述凸缘部形成有与所述升降笼卡合的卡合部分，并且该卡合部分朝向所述被搬送物的内侧，所述升降笼具备与所述凸缘部卡合的卡合部，针对所述多个凸缘部的每一个来设置，并且所述卡合部构成为能够从所述升降笼的中心侧朝向所述凸缘部，相对于所述升降笼旋转。
根据上述构成，卡合部从升降笼的中心侧朝向凸缘部，并且相对于升降笼能够旋转，由此，能够与朝向被搬送物内侧而形成的凸缘部相卡合。
本发明的移载机是在上述移载机的基础之上，所述卡合部构成为：具有载放所述凸缘部的载放面，所述载放面能够从所述升降笼的中心侧朝向所述凸缘部旋转。
根据上述构成，卡合部的载放面从升降笼的中心侧朝向凸缘部，并且相对于升降笼能够旋转，由此，能够与朝向被搬送物内侧而形成的凸缘部相卡合。
本发明的移载机是在上述移载机的基础之上，具备使所述卡合部旋转的旋转机构，所述旋转机构将多个所述卡合部之中的至少一对卡合部连接起来，并使之旋转。
根据上述构成，通过将多个卡合部之中的至少一对卡合部连接起来并使之旋转，能够使一对卡合部同步地与凸缘部相卡合。
本发明的移载机是在上述移载机的基础之上，所述卡合部具备：能够进行所述被搬送物相对于所述升降笼的定位的定位部件，所述定位部件具备：对所述被搬送物朝向与所述被搬送物的竖直轴向相正交的X轴向的移动进行限制的X轴向限制部、以及对所述被搬送物朝向与所述被搬送物的竖直轴向以及所述X轴向相正交的Y轴向的移动进行限制的Y轴向限制部，所述X轴向限制部以及所述Y轴向限制部通过从所述卡合部的旋转方向与所述凸缘部抵接，来对所述被搬送物朝向X轴向以及Y轴向的移动进行限制。
根据上述构成，在卡合部与凸缘部相卡合时，通过定位部件从卡合部的旋转方向与凸缘部抵接，能够对被搬送物朝向X轴向以及Y轴向的移动进行限制。
本发明的移载机是在上述移载机的基础之上，所述定位部件构成为将所述X轴向限制部和所述Y轴向限制部呈直角地配置在所述载放面上而形成俯视时的L字状。
根据上述构成，在卡合部与凸缘部相卡合时，俯视时L字状的定位部件从卡合部的旋转方向与凸缘部相抵接，由此，能够对被搬送物朝向X轴向以及Y轴向的移动进行限制。
发明效果
根据本发明的移载机，由于使卡合部从升降笼的中心侧朝向凸缘部进行旋转，来使卡合部与凸缘部相卡合，因此，可以使卡合部的可动区域处于比被搬送物的设置凸缘部的位置还靠内侧的位置，从而，能够在被搬送物的内侧来进行卡合部与凸缘部的卡合。由此，能够实现升降装置(升降笼)的小型化。
附图说明
图1是本发明的移载机的侧视图。
图2是本发明的移载机的主视图。
图3是本发明的移载机的升降笼的立体图。
图4是本发明的移载机的升降笼的俯视图。
图5A是表示本发明的移载机的升降笼的卡合部的旋转状态的俯视概略图，并且是表示解除卡合部与料盒的凸缘部之间的卡合的状态的图。
图5B是表示本发明的移载机的升降笼的卡合部的旋转状态的俯视概略图，并且是表示卡合部与料盒的凸缘部卡合的状态的图。
附图标记的说明
10 移载机 20 行驶部
30 升降部 31 升降部主体
34 升降笼 36 卡合部
37 旋转机构 43 定位部件
44 X轴向限制部 45 Y轴向限制部
80 料盒(被搬送物) 81 凸缘部
90 顶棚 91 导轨
具体实施方式
说明本发明的移载机10。另外，在下面，将移载机10的车体行驶方向(移载机10的长度方向)设定为前后方向，将在水平方向上与移载机10的车体行驶方向相正交的方向(移载机10的宽度方向)设定为左右方向，将在竖直方向上与移载机10的车体行驶方向相正交的方向(移载机10的高度方向)设定为上下方向来进行说明。
如图1以及图2所示，移载机10是被设置在例如半导体基板的制造工厂内，其用于在沿着设置于该制造工厂内的行驶导轨进行行驶的顶棚搬送车(未图示)、和针对半导体基板进行规定处理的处理装置(未图示)之间，对收纳着半导体基板的料盒80(“被搬送物”的一例)进行移载。
移载机10沿着设置于顶棚90上的导轨91进行行驶。导轨91吊挂于顶棚90侧，并且是以利用螺栓92等被吊挂的状态来被支撑的，呈直线状地延伸设置在：移载机10从上述顶棚搬送车上接收料盒80的接收位置、和移载机10使料盒80升降而移载到上述处理装置的升降位置之间。导轨91上设置有：用于对移载机10进行供电的供电线(未图示)。
移载机10主要由沿着导轨91进行行驶的行驶部20、和对料盒80进行升降自如地支撑的升降部30构成。
行驶部20以一体地转动的方式具备用于在导轨91上行驶的左右两侧的行驶车轮21，该左右两侧的行驶车轮21在前后设置有一对。行驶部20构成为：具备对前后一侧的行驶车轮21进行驱动的驱动马达(未图示)，将前后一侧的行驶车轮21作为驱动轮，将前后另一侧的行驶车轮21作为从动轮，通过上述驱动马达的驱动，驱使前后一侧的行驶车轮21转动而沿着导轨91行驶。
升降部30设置在行驶部20的下方，主要由升降部主体31和升降笼34构成。
升降部主体31是升降部30的主体部分，以吊挂的状态被支撑于行驶部20。升降部主体31利用升降带32而将升降笼34以吊挂的状态进行支撑。升降带32设置成一体地卷取以及卷放移载机10的左右两侧(移载机10的宽度方向的两侧)的升降带32，在移载机10的前后(移载机10的长度方向)设置有移载机10的左右两侧的升降带32，且是一对。
升降部主体31具备用于使升降笼34升降的升降马达33，通过升降马达33的驱动，使升降带32相对于升降部主体31进行卷取以及卷放，由此来使升降笼34升降。
升降笼34以升降自如的方式被设置于升降部主体31，并且是对料盒80进行支撑的部分。
如图1以及图3所示，被升降笼34支撑的料盒80是：在其内部能够收纳半导体基板的箱体。在料盒80的上表面设置有与升降笼34卡合的凸缘部81。料盒80是以通过凸缘部81与升降笼34卡合而被吊挂于升降笼34上的状态被支撑的。
凸缘部81沿着料盒80的上表面的外缘设置有多个(图3中为4个)。具体而言，凸缘部81分别设置在料盒80的上表面的四个角附近。亦即，料盒80是在其上表面的四个角的4点位置被升降笼34支撑的。朝向料盒80的内侧(中央侧)来形成凸缘部81的与升降笼34卡合的卡合部分。具体而言，凸缘部81的与升降笼34卡合的卡合部分形成为：与所对置的凸缘部81的与升降笼34卡合的卡合部分相对。
如图3所示，通过侧视时呈大致Z字状的部件来形成凸缘部81。凸缘部81具有与升降笼34卡合的平面状的卡合部分84。卡合部分84形成为在水平方向上朝向料盒80的内侧(中央侧)突出，并且卡合部分84以其下表面部分来与升降笼34卡合。
如图1以及图3所示，升降笼34主要由升降笼主体35、卡合部36、以及旋转机构37构成。
升降笼主体35是升降笼34的主体部分，能够升降地被支撑于升降部主体31。升降笼主体35是由箱形体形成的，在其内部具备支撑部件38。
如图3所示，支撑部件38是形成为四边形的架体，对卡合部36以及旋转机构37进行支撑。在支撑部件38的下表面设置有卡合部36，而且在支撑部件38的上表面设置有旋转机构37。
如图1所示，升降笼主体35在其上表面具备使升降部主体31与升降笼34进行位置对准的位置对准机构70。位置对准机构70是：升降笼34相对于升降部主体31上升而使得升降部主体31和升降笼34接近之时，用于使升降笼34在规定的位置保持于升降部主体31的位置对准机构。位置对准机构70是由：设置在升降笼34侧且朝向上方突出的凸状的突出部71、以及设置在升降部主体31侧且承接突出部71的凸状部分的凹状的承接部72构成的。位置对准机构70构成为：升降笼34相对于升降部主体31上升而使得升降部主体31和升降笼34接近之时，突出部71的凸状部分即使处于从承接部72的凹状部分稍微偏离的位置，也能将突出部71的凸状部分引导到承接部72的凹状部分；通过突出部71与承接部72卡合来使升降笼34与升降部主体31进行位置对准。
如图3所示，卡合部36是与凸缘部81卡合的部分，分别设置在升降笼主体35的支撑部件38的下表面的四个角附近。亦即，升降笼34通过4个卡合部36分别与料盒80的4个凸缘部81卡合，来对料盒80进行支撑。通过卡合部36相对于升降笼主体35的支撑部件38进行旋转，可以将卡合部36与凸缘部81的卡合状态在卡合部36与凸缘部81卡合的卡合状态、和解除卡合部36与凸缘部81之间的卡合的卡合解除状态之间切换。
卡合部36通过侧视时呈大致Z字状的部件来形成。卡合部36具有与凸缘部81卡合的平面状的载放部分41。载放部分41形成为在水平方向上朝向料盒80的外侧(外缘侧)突出，以其上表面部分作为载放面，通过载放凸缘部81的卡合部分84来与凸缘部81卡合。
卡合部36具备：进行料盒80相对于升降笼34的定位的定位部件43。定位部件43设置在卡合部36的载放部分41的上表面。定位部件43对下述的移动进行限制，即：料盒80朝向与料盒80的竖直轴向相正交的X轴向60(以下称为X轴向60)的移动、以及料盒80朝向与料盒80的竖直轴向以及X轴向60相正交的Y轴向61(以下称为Y轴向61)的移动。在此，所谓X轴向60是指：在与料盒80的高度方向(上下方向)垂直的平面上所规定的一个方向，所谓Y轴向61是指：在该平面上，规定为与X轴向60相正交的方向。具体而言，在俯视料盒80时，将把料盒80的中心P和料盒80的四边之中的一边的中间点连结起来的直线的方向作为X轴向60，将在料盒80的中心与该直线正交的直线的方向作为Y轴向61。另外，X轴向60以及Y轴向61是包括正负两个方向的方向。
定位部件43由：对料盒80朝向X轴向60的移动进行限制的X轴向限制部44、和对料盒80朝向Y轴向61的移动进行限制的Y轴向限制部45构成。
X轴向限制部44是：从卡合部36的载放部分41的上表面起朝向上方突出设置的平面状的块状部件，通过从X轴向60而与凸缘部81的卡合部分84的侧面相抵接，能够限制料盒80朝向X轴向60的移动。
Y轴向限制部45是：从卡合部36的载放部分41的上表面起朝向上方突出设置的平面状的部件，通过从Y轴向61而与凸缘部81的卡合部分84的侧面相抵接，能够限制料盒80朝向Y轴向61的移动。
X轴向限制部44和Y轴向限制部45以在俯视时呈L字状且直角相接的方式被配置在卡合部36的载放部分41的上表面(载放面)。具体而言，X轴向限制部44被配置成：在俯视时其长度方向为Y轴向61，Y轴向限制部45被配置成：其一端部与X轴向限制部44成直角相接，并且俯视时其长度方向为X轴向60。
如图5所示，X轴向限制部44以及Y轴向限制部45被设置在卡合部36的载放部分41的上表面，且是被设置在与卡合部36的旋转中心相反一侧的对角位置。亦即，X轴向限制部44以及Y轴向限制部45被设置在比卡合部36的旋转中心靠外侧的位置，且是被设置在从卡合部36的旋转方向能够与凸缘部81相抵接的位置。
图3以及图4所示，旋转机构37是：使卡合部36相对于升降笼主体35的支撑部件38进行旋转的机构，被设置在支撑部件38的上表面。旋转机构37构成为：设置在2个(一对)卡合部36之间，将该2个(一对)卡合部36连结起来。亦即，在升降笼34中，相对于4个卡合部36而设置2个旋转机构37。
旋转机构37借助弯曲成俯视时大致呈へ字状的臂46而将沿着支撑部件38的一端缘侧配置的2个(一对)卡合部36连结起来，并使卡合部36旋转，由此使2个(一对)卡合部36同步地与料盒80的凸缘部81卡合。据此，无须针对每个卡合部36而设置使卡合部36旋转的机构(无须针对4个卡合部36而设置4个旋转机构)，能够减少旋转机构的零件数量，能够简化升降笼34的构成。
接着，说明升降笼34的卡合部36的旋转动作。
如图5A所示，升降笼34在对料盒80进行支撑(把持)时，以使卡合部36的前端部分朝向升降笼34的中心P侧(中央侧)的状态来接近于料盒80。如图5B所示，升降笼34一旦接近料盒80，通过旋转机构37的驱动，卡合部36随即旋转。此时，卡合部36从升降笼34的中心P侧(中央侧)朝向料盒80的凸缘部81旋转。在此，与旋转机构37连结的一对卡合部36通过旋转机构37的驱动而同步地进行旋转。此时，一对卡合部36进行回转，以便成为以下状态：使所对置的卡合部36的载放部分41彼此从升降笼34的中心P侧(中央侧)朝向料盒80的凸缘部81以对开方式打开。通过卡合部36朝向凸缘部81进行旋转，4个卡合部36分别与4个凸缘部81卡合，从而，升降笼34对料盒80进行支撑(把持)。
另一方面，在解除升降笼34对料盒80的支撑(把持)时，卡合部36从料盒80的凸缘部81朝向升降笼34的中心P侧(中央侧)进行旋转。在此，与旋转机构37连结的一对卡合部36进行回转，以便成为以下状态：使朝向升降笼34(料盒80)的外侧的卡合部36的载放部分41彼此从料盒80的凸缘部81朝向升降笼34的中心P侧(中央侧)以对开方式关闭。通过卡合部36朝向升降笼34的中心P侧(中央侧)进行旋转，解除4个卡合部36分别与4个凸缘部81的卡合，从而，解除升降笼34对料盒80的支撑(把持)。
这样，升降笼34构成为：卡合部36的旋转区域处于比料盒80上设置有凸缘部81的位置还靠内侧(料盒80的中心侧)的位置。另外，升降笼34在对料盒80进行支撑(把持)时，使得卡合部36的载放部分41处于朝向升降笼34(料盒80)的外侧的姿势(对开方式打开状态)，在解除对料盒80的支撑(把持)时，使得卡合部36的载放部分41处于朝向升降笼34(料盒80)的内侧的姿势(对开方式关闭状态)，通过卡合部36的旋转来切换卡合部36的姿势。
接着，说明由卡合部36的定位部件43所进行的料盒80针对升降笼34的定位动作。
如图5所示，在卡合部36与凸缘部81卡合时，卡合部36从升降笼34的中心P侧(中央侧)朝向料盒80的凸缘部81进行旋转。同样地，定位部件43从升降笼34的中心P侧(中央侧)朝向料盒80的凸缘部81移动。之后，定位部件43从升降笼34的中心P侧(中央侧)而与凸缘部81的卡合部分84的侧面相抵接。具体而言，定位部件43的X轴向限制部44抵接于凸缘部81的卡合部分84的侧面之中的朝向X轴向60的侧面，定位部件43的Y轴向限制部45抵接于凸缘部81的卡合部分84的侧面之中的朝向Y轴向61的侧面。亦即，定位部件43与凸缘部81的卡合部分84的料盒80中心侧(中央侧)的角部侧面相抵接。
此外，定位部件43通过利用卡合部36的旋转而以与凸缘部81相抵接的状态进行移动，定位部件43对凸缘部81相对于升降笼34在X轴向60以及Y轴向61上的移动进行限制。此时，定位部件43同时对凸缘部81朝向X轴向60以及Y轴向61的移动进行限制。
这样，定位部件43通过利用卡合部36的旋转而以与凸缘部81的卡合部分84的料盒80中心侧(中央侧)的角部侧面相抵接的状态进行移动，定位部件43进行：料盒80相对于升降笼34的定位。
如上所述，在移载机10中，由于通过使卡合部36从升降笼34的中心侧朝向凸缘部81进行旋转，使得卡合部36与凸缘部81卡合，因此，卡合部36的可动区域处于比料盒80上设置有凸缘部81的位置靠内侧的位置，这样能够在料盒80的内侧进行卡合部36与凸缘部81的卡合。由此，能够实现升降部30(升降笼34)小型化。
在移载机10中，由于定位部件43能够从料盒80的内侧来限制料盒80朝向X轴向60以及Y轴向61的移动，因此，能够通过小型化的升降笼34，可靠地将料盒80保持在规定的位置。
另外，在本实施方式中，虽然构成为相对于4个卡合部36而具备2个旋转机构37，但是并非仅限于此，只要是4个卡合部36分别从升降笼34的中心P侧(中央侧)朝向料盒80的凸缘部81进行旋转的构成，例如，也可以是针对4个卡合部36而具备1个旋转机构的构成，另外，也可以是针对4个卡合部36而分别具备旋转机构的构成。
在本实施方式中，虽然通过平面状的块状部件来构成定位部件43，但是并非仅限于此，只要是能够对料盒80朝向X轴向以及Y轴向的移动进行限制的构成即可，例如，也可以利用圆型的块状部件来构成定位部件。另外，在本实施方式中，虽然针对4个卡合部36的每一个来设置定位部件43，但是并非仅限于此，只要是能够对料盒80朝向X轴向以及Y轴向的移动进行限制的构成即可，例如，也可以只针对位于料盒80的对角位置的一对卡合部36来设置定位部件43。

Claims (5)

1.一种移载机，其具备：沿着在顶棚侧设置的导轨而进行行驶的行驶部、以及设置于所述行驶部且升降自如地对被搬送物进行支撑的升降部，其特征在于，
所述升降部具备：升降部主体、以及相对于所述升降部主体能够升降自如且对被搬送物进行支撑的升降笼，
所述被搬送物具备与所述升降笼进行卡合的多个凸缘部，
所述凸缘部形成有与所述升降笼卡合的卡合部分，并且该卡合部分朝向所述被搬送物的内侧，
所述升降笼具备与所述凸缘部卡合的卡合部，
针对所述多个凸缘部的每一个来设置所述卡合部，并且所述卡合部构成为能够从所述升降笼的中心侧朝向所述凸缘部，相对于所述升降笼旋转。
2.根据权利要求1所述的移载机，其特征在于，
所述卡合部构成为：具有载放所述凸缘部的载放面，所述载放面能够从所述升降笼的中心侧朝向所述凸缘部旋转。
3.根据权利要求1或2所述的移载机，其特征在于，
具备使所述卡合部旋转的旋转机构，
所述旋转机构将多个所述卡合部之中的至少一对卡合部连结起来，并使之旋转。
4.根据权利要求1或2所述的移载机，其特征在于，
所述卡合部具备：能够进行所述被搬送物相对于所述升降笼的定位的定位部件，
所述定位部件具备：对所述被搬送物朝向与所述被搬送物的竖直轴向相正交的X轴向的移动进行限制的X轴向限制部、以及对所述被搬送物朝向与所述被搬送物的竖直轴向以及所述Ｘ轴向相正交的Y轴向的移动进行限制的Y轴向限制部，
所述X轴向限制部以及所述Y轴向限制部通过从所述卡合部的旋转方向与所述凸缘部抵接，来对所述被搬送物朝向X轴向以及Y轴向的移动进行限制。
5.根据权利要求2所述的移载机，其特征在于，
所述卡合部具备：能够进行所述被搬送物相对于所述升降笼的定位的定位部件，
所述定位部件具备：对所述被搬送物朝向与所述被搬送物的竖直轴向相正交的X轴向的移动进行限制的X轴向限制部、以及对所述被搬送物朝向与所述被搬送物的竖直轴向以及所述Ｘ轴向相正交的Y轴向的移动进行限制的Y轴向限制部，
所述X轴向限制部以及所述Y轴向限制部通过从所述卡合部的旋转方向与所述凸缘部抵接，来对所述被搬送物朝向X轴向以及Y轴向的移动进行限制，
所述定位部件构成为：将所述X轴向限制部和所述Y轴向限制部呈直角地配置在所述载放面上而形成俯视时的L字状。
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