CN114728743A - 空中搬送车 - Google Patents

空中搬送车 Download PDF

Info

Publication number
CN114728743A
CN114728743A CN202080079179.8A CN202080079179A CN114728743A CN 114728743 A CN114728743 A CN 114728743A CN 202080079179 A CN202080079179 A CN 202080079179A CN 114728743 A CN114728743 A CN 114728743A
Authority
CN
China
Prior art keywords
unit
inclination
lifting
holding unit
members
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202080079179.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN114728743B (zh
Inventor
小林诚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Machinery Ltd
Original Assignee
Murata Machinery Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Machinery Ltd filed Critical Murata Machinery Ltd
Publication of CN114728743A publication Critical patent/CN114728743A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN114728743B publication Critical patent/CN114728743B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C11/00—Trolleys or crabs, e.g. operating above runways
    • B66C11/02—Trolleys or crabs, e.g. operating above runways with operating gear or operator's cabin suspended, or laterally offset, from runway or track
    • B66C11/04—Underhung trolleys
    • B66C11/06—Underhung trolleys running on monorails
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C13/00—Other constructional features or details
    • B66C13/04—Auxiliary devices for controlling movements of suspended loads, or preventing cable slack
    • B66C13/08—Auxiliary devices for controlling movements of suspended loads, or preventing cable slack for depositing loads in desired attitudes or positions
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C13/00—Other constructional features or details
    • B66C13/04—Auxiliary devices for controlling movements of suspended loads, or preventing cable slack
    • B66C13/08—Auxiliary devices for controlling movements of suspended loads, or preventing cable slack for depositing loads in desired attitudes or positions
    • B66C13/085—Auxiliary devices for controlling movements of suspended loads, or preventing cable slack for depositing loads in desired attitudes or positions electrical
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67253—Process monitoring, e.g. flow or thickness monitoring
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Abstract

空中搬送车(1)具备：卷绕筒(63)，其由一个驱动马达(63A)驱动，并通过进行多条带(B)的卷绕及放出来使保持单元(7)升降；至少一个第二惰辊(65B)，其缠绕从卷绕筒(63)放出的带(B)；基座(61)，其设于行驶单元(3)，并支承卷绕筒(63)及第二惰辊(65B)；和直动机构(67)，其使至少一个第二惰辊(65B)的位置移动，以使带(B)的与保持单元(7)连接的连接部分沿升降方向移动。

Description

空中搬送车
技术领域
本发明的一个方面涉及空中搬送车。
背景技术
已知一种空中搬送车，其设有：行驶部，该行驶部在铺设于顶棚等的轨道上行驶；和升降部，该升降部具有向架子或装载口等移载部移载物品的把持部。升降部由带等多条吊持部件悬挂保持，并通过卷绕或放出该吊持部件而升降。在这种空中搬送车中，要求在升降时将升降部相对于移载部维持平行(在移载部水平的情况下升降部也水平)。
例如，专利文献1中公开了一种空中搬送车，其中，以滚筒每旋转一圈的卷绕差(该卷绕差起因于双重卷绕的两条吊持部件(升降带)向下一层卷绕转移的时机的偏差)的累积小于能够将升降部(装货台)保持在所需水平度的规定值的方式，设定两吊持部件相对于滚筒的固定端位置、和从滚筒的卷绕面延伸的两吊持部件的伸出角度。根据该空中搬送车，能够将两条吊持部件的卷绕差抑制在容许范围内，无论升降位置如何都始终将装货台保持水平。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平10-194410号公报
发明内容
然而，升降部的倾斜度(倾斜)不仅起因于双重卷绕的吊持部件向下一层卷绕的时机，还起因于吊持部件的厚度的误差或卷绕筒的直径的误差。即，升降部的倾斜度还起因于卷绕量的变动，该卷绕量的变动是指随着卷绕量增加，卷绕筒每旋转一圈的卷绕量会增加。针对这种变动，以通过在卷绕部粘贴胶带等来调整卷绕加粗量、使升降部的倾斜度的变动变小的方式进行调整。然而，由于这种处理是通过手工作业来实施的，所以作业人员的负担重。这种升降部的倾斜度有时还进一步起因于吊持部件的卷绕速度等卷绕部的机械误差。为了应对这各种因素，需要容易地调整升降部的倾斜度。
因此，本发明的一个方面的目的在于，提供一种能够容易地调整升降部的倾斜度的空中搬送车。
本发明的一个方面的空中搬送车通过多条吊持部件使具有把持物品的把持部的升降部相对于沿着轨道行驶的行驶部升降，该空中搬送车具备：卷绕筒，该卷绕筒由一个卷绕驱动部驱动，并通过进行多条吊持部件的卷绕及放出来使升降部升降；至少一个引导辊，该至少一个引导辊缠绕从卷绕筒放出的吊持部件；主体框架，该主体框架设于行驶部，并支承卷绕筒及引导辊；和致动器，该致动器使至少一个引导辊的位置移动，以使吊持部件的与升降部连接的连接部分沿升降方向移动。
在该结构的空中搬送车中，通过使致动器工作，从而吊持部件的与升降部连接的连接部分移动。因此，通过使致动器工作这一简单的作业，就能够使上述连接部分向上方移动或向下方移动。由此，能够容易地调整升降部的倾斜度。
在本发明的一个方面的空中搬送车中，也可以是，多条吊持部件以悬挂升降部的三个点的方式设置，致动器使缠绕对三个点中的两个点进行悬挂的吊持部件的引导辊的位置移动。在该结构中，能够将升降部以稳定的状态悬挂。另外，通过使缠绕对两个点的吊持部件进行悬挂的引导辊移动，能够使升降部成为所希望的倾斜状态。
在本发明的一个方面的空中搬送车中，也可以是，升降部经由连接部件而由四条吊持部件悬挂，四条中的两条吊持部件连接于以相对于升降部能够摆动的方式设置的一个摆动部，四条中的其余两条吊持部件分别连接于升降部。在该结构中，即使在由四条吊持部件悬挂升降部的情况下，升降部也能够成为由两条吊持部件及摆动部件这三点悬挂的状态。由此，能够降低当吊持部件被切断时升降部掉落的可能性，并将升降部以稳定的状态悬挂。
本发明的一个方面的空中搬送车也可以还具备：水平移动部，该水平移动部使升降部沿水平方向移动；和第一控制部，该第一控制部基于在水平移动部使升降部移动时产生的水平移动部的挠曲量，来控制基于致动器实现的引导辊的移动量。在该结构中，基于上述挠曲量来控制致动器，以使沿水平方向移载物品时的升降部的倾斜度例如成为水平状态、或成为与移载部的倾斜度大致相同的状态。其结果是，能够从升降部向移载部稳定地交接物品。
本发明的一个方面的空中搬送车也可以还具备：倾斜度检测部，该倾斜度检测部获取升降部相对于水平方向的倾斜度；和第二控制部，该第二控制部控制致动器以使由倾斜度检测部获取的倾斜度成为规定值。在该结构中，能够使升降部始终是所希望的倾斜状态(包括水平状态)。
本发明的一个方面的空中搬送车也可以还具备：存储部，该存储部存储每个移载部的倾斜度，其中在该移载部与空中搬送车之间进行物品的交接；和第三控制部，该第三控制部控制致动器，以使升降部的倾斜度与要载置物品的移载部的倾斜度大致相同。在该结构中，当从升降部向移载部交接物品时，能够使升降部的倾斜度与移载部的倾斜度一致，因此，能够从升降部向移载部稳定地交接物品。
发明效果
根据本发明的一个方面，能够容易地调整升降部的倾斜度。
附图说明
图1是一个实施方式的空中搬送车的侧视图。
图2是保持单元的主视图。
图3是第一缓冲机构的侧视图。
图4是第二缓冲机构的侧视图。
图5是连杆机构的立体图。
图6是升降驱动单元的主视图。
图7是升降驱动单元的侧视图。
图8中，图8的(A)及图8的(B)是表示升降驱动单元的动作的主视图。
图9中，图9的(A)及图9的(B)是表示升降驱动单元的动作的侧视图。
图10是表示图1的空中搬送车的功能结构的框图。
图11是变形例1的升降驱动单元的主视图。
图12中，图12的(A)及图12的(B)是表示变形例1的升降驱动单元的动作的主视图。
图13是变形例2的升降驱动单元的主视图。
图14中，图14的(A)及图14的(B)是表示变形例2的升降驱动单元的动作的主视图。
具体实施方式
如图1所示，一个实施方式的空中搬送车1沿着铺设于制造半导体器件的无尘室的顶棚附近的轨道100行驶。一个实施方式的空中搬送车1进行容纳有多个半导体晶圆的FOUP(Front Opening Unified Pod：前开式晶圆传送盒)(物品)200的搬送、以及FOUP200相对于设置在对半导体晶圆实施各种处理的处理装置中的装载口(移载部)300等的移载。
空中搬送车1具备框架单元2、行驶单元(行驶部)3、横向单元(水平移动部)4、θ单元5、升降驱动单元6、保持单元(升降部)7和控制器8。框架单元2具有中央框架21、前框架22和后框架23。前框架22从中央框架21的前侧(空中搬送车1的行驶方向上的前侧)端部向下侧延伸。后框架23从中央框架21的后侧(空中搬送车1的行驶方向上的后侧)端部向下侧延伸。
行驶单元3配置在中央框架21的上侧。行驶单元3例如通过从沿着轨道100铺设的高频电流线以非接触的方式接受电力供给而沿着轨道100行驶。横向单元4配置在中央框架21的下侧。横向单元4使θ单元5、升降驱动单元6及保持单元7沿横向(空中搬送车1的行驶方向上的侧方)移动。θ单元5配置在横向单元4的下侧。θ单元5使升降驱动单元6及保持单元7在水平面内转动。
升降驱动单元6配置在θ单元5的下侧。升降驱动单元6使保持单元7升降。保持单元7配置在升降驱动单元6的下侧。保持单元7保持FOUP200的凸缘部201。控制器8配置于中央框架21。控制器8是由CPU、ROM及RAM等构成的电子控制单元。控制器8控制空中搬送车1的各部分。
如以上那样构成的空中搬送车1作为一例而以如下方式动作。当从装载口300向空中搬送车1移载FOUP200时，未保持FOUP200的空中搬送车1停止在装载口300的上方。在保持单元7的水平位置偏离了装载口300的正上方位置的情况下，通过驱动横向单元4及θ单元5，从而连同升降驱动单元6在内对保持单元的水平位置及角度进行微调。接着，升降驱动单元6使保持单元7下降，保持单元7保持载置于装载口300的FOUP200的凸缘部201。接着，升降驱动单元6使保持单元7上升到上升端，将FOUP200配置在前框架22与后框架23之间。接着，保持有FOUP200的空中搬送车1开始行驶。
另一方面，在从空中搬送车1向装载口300移载FOUP200的情况下，保持有FOUP200的空中搬送车1停止在装载口300的上方。在保持单元7(FOUP200)的水平位置偏离了装载口300的正上方位置的情况下，通过驱动横向单元4及θ单元5，从而连同升降驱动单元6在内对保持单元的水平位置及角度进行微调。接着，升降驱动单元6使保持单元7下降并在装载口300载置FOUP200，保持单元7解除对FOUP200的凸缘部201的保持。接着，升降驱动单元6使保持单元7上升到上升端。接着，未保持FOUP200的空中搬送车1开始行驶。
接着，对保持单元7的结构进行详细说明。如图1及图2所示，保持单元7具有基座71、一对夹持器(把持部)72、和壳体73。一对夹持器72以能够沿着水平方向开闭的方式由基座71支承。一对夹持器72通过驱动马达(省略图示)及连杆机构(省略图示)而被开闭。在本实施方式中，当一对夹持器72、72为打开状态时，调整保持单元7的高度位置以使夹持器72的保持面与凸缘部201的下表面的高度相比成为下方。而且，通过在该状态下使一对夹持器72、72成为关闭状态，夹持器72的保持面进入凸缘部201的下表面的下方，在该状态下使升降驱动单元6上升，由此，由一对夹持器72、72保持(把持)凸缘部201来支承FOUP200。在保持单元7中，基座71构成壳体73的底壁，且相对于壳体73的位置固定。
在本实施方式的保持单元7，经由第一缓冲机构50(参照图3)及第二缓冲机构40(参照图4)而连接有带B(belt)的一端。在此，对第一缓冲机构50及第二缓冲机构40进行详细说明。图3是第一缓冲机构50的侧视图，图4是第二缓冲机构40的侧视图。需要说明的是，图3为了便于说明而省略了后述的第一主体部件54的一部分(第二支承部件54B)及与第一缓冲机构50连结的连杆机构80的图示。另外，图4也为了便于说明而省略了后述的第四主体部件46的一部分(第四支承部件46B)及与第二缓冲机构40连结的连杆机构80的图示。如图3及图4所示，第一缓冲机构50及第二缓冲机构40是将带B与升降驱动单元6(参照图1)连结的机构，且是抑制行驶单元3行驶时或升降驱动单元6升降时的振动传递至FOUP200的机构。
如图2所示，第一缓冲机构50在左右方向上设于保持单元7的左侧。另外，第一缓冲机构50如图3所示在前后方向上配置于两处。第一缓冲机构50具有连接部件51、摆动部件53、第一主体部件54、第二主体部件56、第一轴部57、57和第一弹簧部件58、58。
连接部件51是安装在带B上的部件。摆动部件53是与连接部件51连结的部件。摆动部件53经由第一销部件52以能够旋转的方式与连接部件51连结。第一主体部件54是上端开口的大致U字形部件，其底部以在水平方向上平坦的方式形成。第一主体部件54的上端通过螺栓55而连结于摆动部件53的两端。第一主体部件54具有第一支承部件54A(参照图5)和第二支承部件54B(参照图5)。第一支承部件54A从下方支承第一弹簧部件58、58。第二支承部件54B是与第一支承部件54A正交的部件。
第二主体部件56是将前后方向上的摆动部件53及第一主体部件54的大致中心部彼此连结的部件。一对第一轴部57、57是从第一主体部件54向上方延伸的棒状部件，并以在前后方向上隔着第二主体部件56的方式配置。一对第一弹簧部件58、58是具有规定的弹簧常数的压缩螺旋弹簧，并分别被一对第一轴部57、57穿插。在一对第一弹簧部件58、58的上端以与一对第一弹簧部件58、58接触的状态配置有基座71。第一弹簧部件58将基座71向与FOUP200的把持方向(铅垂方向下方)为相反侧的上方推压。作为防振部的第一弹簧部件58具有减少在相互接触的部件之间传递的振动的作用。
如图2所示，第二缓冲机构40在左右方向上设于保持单元7的右侧。如图4所示，第二缓冲机构40在前后方向上配置于中央部附近。第二缓冲机构40具有连接部件41、41、摆动部件(摆动部)43、第三主体部件45、第四主体部件46、第二轴部47、47和第二弹簧部件48、48。
连接部件41、41是供带B、B安装的部件。摆动部件43是将一对连接部件41、41与第三主体部件45连结的部件。一对连接部件41、41与摆动部件43以能够双向旋转的方式连结，并经由一对第三销部件42、42而连结。摆动部件43与第三主体部件45经由第四销部件44而连结。第四主体部件46是与第三主体部件45的下端连结、且沿水平方向延伸的板材。第四主体部件46具有第三支承部件46A(参照图5)和第四支承部件46B(参照图5)。第三支承部件46A从下方支承第二弹簧部件48、48。第四支承部件46B是与第三支承部件46A正交的部件。
一对第二轴部47、47是从第四主体部件46向上方延伸的棒状部件，并以在前后方向上隔着第三主体部件45的方式配置。一对第二弹簧部件48、48是具有规定的弹簧常数的压缩螺旋弹簧，并分别被一对第二轴部47、47穿插。在一对第二轴部47、47的上端以与该一对第二轴部47、47接触的状态配置有基座71。第二弹簧部件48将基座71向与FOUP200的把持方向(铅垂方向下方)为相反侧的上方推压。作为防振部的第二弹簧部件48具有减少在相互接触的部件之间传递的振动的作用。
如图5所示，连杆机构80将排列在与前后方向(行驶方向)及上下方向(铅垂方向)这两者正交的左右方向(宽度方向)上的两个第一缓冲机构50及第二缓冲机构40连结，并将排列在前后方向上的两个第一缓冲机构50、50彼此连结。连杆机构80以使第一缓冲机构50中的第一主体部件54与基座71之间的距离、和第二缓冲机构40中的第四主体部件46与基座71之间的距离彼此相互接近的方式动作。另外，连杆机构80以使配置在左侧的第一缓冲机构50中的第一主体部件54与基座71之间的距离、和配置在右侧的第一缓冲机构50中的第一主体部件54与基座71之间的距离彼此相互接近的方式动作。即，连杆机构80作为空中搬送车1的稳定装置发挥功能。
接着，对升降驱动单元6的结构进行详细说明。如图6及图7所示，升降驱动单元6具有基座(主体框架)61、支承部62、四个(多个)卷绕筒63、驱动马达(卷绕驱动部)63A、第一惰辊(idler roller)65A、第二惰辊(引导辊)65B、第三惰辊64、直动机构(致动器)67、摆动部件68、和四条(多条)带(吊持部件)B。
基座61设于行驶单元。基座61经由支承部62支承卷绕筒63及第一惰辊65A。支承部62将四个卷绕筒63以能够旋转的方式支承。四个卷绕筒63在前后方向上排列，并通过驱动马达63A的驱动而将四条带B分别卷绕或放出。需要说明的是，在图7、图9的(A)、图9的(B)中，省略了卷绕与第二缓冲机构40连接的带B的卷绕筒63的图示。支承部62将第一惰辊65A及摆动部件68的一端部68A以能够摆动的方式支承。
各卷绕筒63以能够旋转的方式经由支承部62安装于基座61。驱动马达63A是用于使各卷绕筒63旋转的驱动源，且固定于基座61。四个卷绕筒63通过安装于未图示的共通的转动轴、或通过由未图示的联动机构连结，从而由一个驱动马达63A驱动。
各带B的一端与保持单元7连接，各带B的另一端与各卷绕筒63连接。在本实施方式中，四条带B以悬挂保持单元7的三个点的方式设置。更详细地说，保持单元7由四条带B悬挂，四条中的两条带B经由连接部件41连接于以相对于保持单元7能够摆动的方式设置的一个摆动部件43(参照图4)，四条中的其余两条带分别经由连接部件51连接于以相对于保持单元7能够摆动的方式设置的摆动部件53。
第一惰辊65A及第二惰辊65B引导与第一缓冲机构50连接的带B的移动。与第一缓冲机构50连接的带B有两条，第一惰辊65A及第二惰辊65B也与各带B相对应地设置。第一惰辊65A设于支承部62，且不会相对于基座61相对移动。第二惰辊65B设于后述的摆动部件68，且相对于基座61相对移动。需要说明的是，第二惰辊65B相对于基座61相对移动的结构将在后述段落中进行说明。第三惰辊64引导与第二缓冲机构40连接的带B的移动。与第二缓冲机构40连接的带B有两条，第三惰辊64也与各带B相对应地设置。
直动机构67主要具有驱动马达67A、螺旋轴(丝杠轴)67B和滚珠螺母67C，是将驱动马达67A的旋转运动转换成直线运动的众所周知的机构。直动机构67经由托架66固定于基座61。在通过驱动马达67A的驱动而沿着螺旋轴67B移动的滚珠螺母67C上，以能够摆动的方式连接有摆动部件68的另一端部68B。在本实施方式中，通过滚珠螺母67C沿着螺旋轴67B移动，摆动部件68摆动，第二惰辊65B随着该摆动部件68的摆动而相对于基座61相对移动。这样，直动机构67使第二惰辊65B的位置移动，以使带B的与保持单元7(第一缓冲机构50)连接的连接部分(带B的一端)沿升降方向移动。
例如如图8的(A)所示，若使两个直动机构67工作来使第二惰辊65B向上方(以接近基座61的方式)移动，则能够使保持单元7的左侧向上方倾斜。另外，例如如图8的(B)所示，若使两个直动机构67工作来使第二惰辊65B向下方(以远离基座61的方式)移动，则能够使保持单元7的左侧向下方倾斜。
另外，例如如图9的(A)所示，若使两个直动机构67中的一个(前侧的)直动机构67工作来使第二惰辊65B向上方(以接近基座61的方式)移动，则能够使保持单元7的前侧向上方倾斜。在欲使保持单元7的前侧向上方倾斜的情况下，也可以使两个直动机构67中的另一个(后侧的)直动机构67工作来使第二惰辊65B向下方(以远离基座61的方式)移动。
另外，例如如图9的(B)所示，若使两个直动机构67中的另一个(后侧的)直动机构67工作来使第二惰辊65B向上方(以接近基座61的方式)移动，则能够使保持单元7的后侧向上方倾斜。在欲使保持单元7的后侧向上方倾斜的情况下，也可以使两个直动机构67中的一个(前侧的)直动机构67工作来使第二惰辊65B向下方(以远离基座61的方式)移动。
在本实施方式中，通过使两个直动机构67中的两个或一个工作而能够调整保持单元7相对于水平面的倾斜度。在这种结构中，如图10所示，对于直动机构67，能够从遥控器8A等操作机构经由控制器8进行操作。控制器8与遥控器8A的连接既可以是有线方式也可以是无线方式。另外，对于直动机构67，也能够从经由沿着轨道100铺设的高频电流线而统一控制空中搬送车1的区域控制器(未图示)等经由控制器8进行操作。
在本实施方式中，能够抑制因随着卷绕量增加而增加的卷绕筒63每旋转一圈的卷绕量的变动所导致的保持单元7的倾斜度。例如，将与卷绕量相应的保持单元7的倾斜度例如预先存储在存储部8B内，控制器8基于与从存储部8B读取的保持单元7的倾斜度有关的信息，来控制直动机构67(驱动马达67A)。更详细地说，在欲将保持单元7维持在水平状态的情况下，从存储部8B获取与卷绕量相应的保持单元7的倾斜度，并使直动机构67向消除该所获取的倾斜度的方向工作。在欲使保持单元7的倾斜度配合装载口300的倾斜的情况下，也从存储部8B获取与卷绕量相应的保持单元7的倾斜度，并使直动机构67工作以使该所获取的倾斜度成为规定的倾斜度。存储部8B既可以设于空中搬送车1，也可以以能够通信的方式设于远离空中搬送车1的场所。
另外，控制器8也可以基于横向单元4伸出(展开)时的横向单元4的挠曲量来控制直动机构67。具体而言，例如也可以设置存储部8B，并使该存储部8B存储针对FOUP200的每个重量的上述挠曲量，控制器(第一控制部)8在横向单元4将FOUP200沿水平方向送出时，根据该挠曲量来控制直动机构67，以使保持单元7成为水平或与装载口300的倾斜相同。
另外，也可以是，与装载口300的倾斜度相配合地，控制器8控制直动机构67，以使保持单元7的倾斜度与装载口300的倾斜度大致相同。具体而言，也可以针对每个装载口300而将其倾斜度预先存储在存储部8B内，控制器(第二控制部)8在载置FOUP200时，从存储部8B获取接下来要进行载置的装载口300的倾斜度，并控制直动机构67以使得与该装载口的倾斜度大致相同。
另外，也可以将获取保持单元7相对于水平方向的倾斜度的倾斜度检测部77设于例如保持单元7。倾斜度检测部77的例子包括三轴传感器及加速度传感器等。控制器(第三控制部)8也可以以使由倾斜度检测部77获取的倾斜度成为规定值(例如水平状态或装载口300的倾斜)的方式控制直动机构67。在该情况下也是，将与装载口300的倾斜有关的上方预先存储在存储部8B等内即可。
对上述实施方式的空中搬送车1的作用效果进行说明。在上述实施方式的空中搬送车1中，通过使直动机构67工作从而带B的一端(与保持单元7连接的连接部分)移动。因此，通过使直动机构67工作这一简单的作业，就能够使上述连接部分向上方移动或向下方移动。即，能够与带B的一端的移动联动而使保持单元7的一部分或全部沿上下方向移动。由此，能够容易地调整保持单元7的倾斜度。
在上述实施方式的空中搬送车1，多条带B以悬挂保持单元7的三个点的方式设置，直动机构67使缠绕对三个点中的两个点进行悬挂的带B的第二惰辊65B的位置移动。因此，能够将保持单元7以稳定的状态悬挂。另外，通过使缠绕对两个点进行悬挂的保持单元7的第二惰辊65B移动，能够使保持单元7成为所希望的倾斜状态。
在上述实施方式的空中搬送车1中，保持单元7由四条带B悬挂，四条中的两条带B经由连接部件41连接于以相对于保持单元7能够摆动的方式设置的一个摆动部件43，四条中的其余两条带B分别经由连接部件51连接于以相对于保持单元7能够摆动的方式设置的摆动部件53。由此，即使在由四条带B悬挂保持单元7的情况下，保持单元7也能够成为由两条带B及摆动部件43这三点悬挂的状态。由此，能够降低当带B被切断时保持单元7掉落的可能性，并将保持单元7以稳定的状态悬挂。
上述实施方式的空中搬送车1基于横向单元4沿水平方向伸出时的横向单元4的挠曲量来控制直动机构67，以使保持单元7的倾斜度例如成为水平状态、或成为与移载部的倾斜度大致相同的状态。其结果是，能够从保持单元7向装载口300稳定地交接FOUP200。以往的空中搬送车由于不具备这种调整保持单元的倾斜状态的机构，所以是配合保持单元的倾斜度来调整装载口300的倾斜度。在本实施方式中，不再需要这种在装载口300侧进行的调整。
上述实施方式的空中搬送车1控制直动机构67以使由倾斜度检测部77获取的倾斜度成为规定值，因此，能够使保持单元7始终是所希望的倾斜状态(包括水平状态)、或成为与装载口300的倾斜度相配合的保持单元7的倾斜状态。
上述实施方式的空中搬送车1具有存储部8B，其预先存储在与空中搬送车1之间进行FOUP200的交接的每个装载口300的倾斜度。因此，当从保持单元7向装载口300交接FOUP200时，能够使保持单元7的倾斜度与装载口300的倾斜度一致。其结果是，能够从保持单元7向装载口300稳定地交接FOUP200。
以上，对一个实施方式进行了说明，但本发明的一个方面并不限于上述实施方式。在不脱离发明的一个方面的主旨的范围内能够进行各种各样的变更。
(变形例1)
在上述实施方式的空中搬送车1中，也可以代替具有为了使带B的一端沿升降方向移动而使至少一个第二惰辊65B的位置移动的功能的直动机构67，而设置具有同样功能的凸轮机构(致动器)167。
如图11所示，凸轮机构167主要具有驱动马达167A、凸轮部件167B、旋转轴167C和承受部件168，是对驱动马达167A的旋转运动的运动方向进行转换的众所周知的机构。凸轮机构167经由托架66固定于基座61。在驱动马达167A的旋转轴167C上安装有椭圆状的凸轮部件167B。在摆动部件68的另一端部68B固定有矩形的承受部件168。承受部件168以与凸轮部件167B的外周面相接的方式设置。
在凸轮机构167中，凸轮部件167B随着旋转轴167C的旋转而旋转。由于凸轮部件167B形成为椭圆状，所以随着凸轮部件167B的旋转，凸轮部件167B与承受部件168的接触部分沿升降方向移动，使摆动部件68的另一端部68B摆动。即，通过使凸轮部件167B旋转，从而摆动部件68摆动，第二惰辊65B随着该摆动部件68的摆动而相对于基座61相对移动。这样，凸轮机构167使第二惰辊65B的位置移动，以使带B的与保持单元7(第一缓冲机构50)连接的连接部分(带B的一端)沿升降方向移动。
例如如图12的(A)所示，若使两个凸轮机构167工作来使第二惰辊65B向上方(以接近基座61的方式)移动，则能够使保持单元7的左侧向上方倾斜。另外，例如如图12的(B)所示，若使两个凸轮机构167工作来使第二惰辊65B向下方(以远离基座61的方式)移动，则能够使保持单元7的左侧向下方倾斜。
虽未图示，但若使两个凸轮机构167中的一个(前侧的)凸轮机构167工作来使第二惰辊65B向上方(以接近基座61的方式)移动，则能够使保持单元7的前侧向上方倾斜。在欲使保持单元7的前侧倾斜的情况下，也可以使两个凸轮机构167中的另一个(后侧的)凸轮机构167工作来使第二惰辊65B向下方(以远离基座61的方式)移动。同样地，若使两个凸轮机构167中的另一个(后侧的)凸轮机构167工作来使第二惰辊65B向上方(以接近基座61的方式)移动，则能够使保持单元7的后侧向上方倾斜。在欲使保持单元7的后侧向上方倾斜的情况下，也可以使两个凸轮机构167中的一个(前侧的)凸轮机构167工作来使第二惰辊65B向下方(以远离基座61的方式)移动。
即使是这种变形例1的结构，也通过使凸轮机构167工作来使带B的一端移动。由此，能够容易地调整保持单元7的倾斜度。
(变形例2)
在上述实施方式的空中搬送车1中，列举通过使至少一个第二惰辊65B的位置移动来使带B的一端沿升降方向移动的例子进行了说明，但也可以构成为通过代替第二惰辊65B而使第一惰辊65A的位置移动来使带B的一端沿升降方向移动。
使用图13进行具体说明。第二惰辊265B经由支承部62安装于基座61。第二惰辊265B不会相对于基座61相对移动。第一惰辊265A设于摆动部件268的一端部268A。摆动部件268设为能够以中心部268B为转动轴而转动。摆动部件268的另一端268C以能够转动的方式固定于构成直动机构(致动器)267的滚珠螺母267C。直动机构267具有与上述实施方式的直动机构67相同的结构，具有驱动马达267A、螺旋轴267B和滚珠螺母267C。驱动马达267A固定于基座61。
在本实施方式中，通过滚珠螺母267C沿着螺旋轴267B移动，从而摆动部件268摆动，第一惰辊265A随着该摆动部件268的摆动而相对于基座61相对移动。这样，直动机构267使第一惰辊265A的位置移动，以使带B的与保持单元7(第一缓冲机构50)连接的连接部分沿升降方向移动。
例如如图14的(A)所示，若使两个直动机构267工作来使第一惰辊265A向上方(以接近基座61的方式)移动，则能够使保持单元7的左侧向下方倾斜。另外，例如如图14的(B)所示，若使两个直动机构267工作来使第一惰辊265A向下方(以远离基座61的方式)移动，则能够使保持单元7的左侧向上方倾斜。
虽未图示，但若使两个直动机构267中的一个(前侧的)直动机构267工作来使第一惰辊265A向上方(以接近基座61的方式)移动，则能够使保持单元7的前侧向下方倾斜。在欲使保持单元7的前侧向下方倾斜的情况下，也可以使两个直动机构267中的另一个(后侧的)直动机构267工作来使第一惰辊265A向下方(以远离基座61的方式)移动。另外，若使两个直动机构267中的另一个(后侧的)直动机构267工作来使第一惰辊265A向下方(以远离基座61的方式)移动，则能够使保持单元7的后侧向上方倾斜。在欲使保持单元7的后侧向上方倾斜的情况下，也可以使两个直动机构267中的一个(前侧的)直动机构267工作来使第一惰辊265A向上方(以接近基座61的方式)移动。
即使是这种变形例2的结构，也通过使直动机构267工作来使带B的一端移动。由此，能够容易地调整保持单元7的倾斜度。另外，在不使第二惰辊65B移动的变形例2的结构中，在从升降方向上方观察的俯视时，能够减小第二惰辊65B相对于带B的与保持单元7连接的连接部分的位置变动，因此能够稳定地悬挂保持单元7。
关于上述实施方式及变形例1所具备的第一惰辊65A的，也可以省略其配置。即，也可以将从卷绕筒63放出的带B直接缠绕到第二惰辊65B上。此外，第一惰辊65A是为了使从卷绕筒63经由第一惰辊65A及第二惰辊65B到保持单元7为止的带B的长度与从卷绕筒63到第三惰辊64为止的带B的长度一致而设置的。若设有第一惰辊65A，则能够抑制在卷绕时或放出时因卷绕加粗而导致的变动。即，能够减小基于直动机构67或凸轮机构167的调整量。
在上述实施方式及变形例2中，列举采用滚珠丝杠作为直动机构67、267的例子进行了说明，但也可以采用工作缸、直线导轨等。
上述实施方式、变形例1及变形例2的保持单元7列举经由第一缓冲机构50及第二缓冲机构40与带B的一端连接的例子进行了说明，但也可以与保持单元7直接连接。另外，也可以将四条带B保持原样直接与保持单元7连接。另外，也可以通过三条带B与保持单元7连接。
在上述实施方式、变形例1及变形例2中，列举在保持单元7设置倾斜度检测部77的例子进行了说明。在该结构中，也可以以使倾斜度检测部77针对带B的每单位放出量而检测的倾斜度成为水平的方式利用遥控器8A进行操作，并将通过该遥控器操作而得到的值作为修正值(直动机构67、267或凸轮机构167的控制值)获取。也可以将该修正值存储在存储部8B内。另外，也可以通过利用夹持器72把持具有检测倾斜度的功能的夹具来获取与从倾斜度检测部77得到的修正值相同的修正值。
附图标记说明
1：空中搬送车，3：行驶单元(行驶部)，4：横向单元(水平移动部)，6：升降驱动单元，7：保持单元(升降部)，8：控制器(第一控制部、第二控制部、第三控制部)，8B：存储部，43：摆动部件(摆动部)，61：基座(主体框架)，63：卷绕筒，63A：驱动马达(卷绕驱动部)，64：第三惰辊，65A：第一惰辊，65B：第二惰辊(引导辊)，67：直动机构(致动器)，72：夹持器(把持部)，77：倾斜度检测部，80：连杆机构，100：轨道，167：凸轮机构(致动器)，265A：第一惰辊(引导辊)，265B：第二惰辊，267：直动机构(致动器)，300：装载口(移载部)，B：带(吊持部件)。

Claims (6)

1.一种空中搬送车，通过多条吊持部件使具有把持物品的把持部的升降部相对于沿着轨道行驶的行驶部升降，
该空中搬送车的特征在于，具备：
卷绕筒，该卷绕筒由一个卷绕驱动部驱动，并通过进行所述多条吊持部件的卷绕及放出来使所述升降部升降；
至少一个引导辊，该至少一个引导辊缠绕从所述卷绕筒放出的所述吊持部件；
主体框架，该主体框架设于所述行驶部，并支承所述卷绕筒及所述引导辊；和
致动器，该致动器使至少一个所述引导辊的位置移动，以使所述吊持部件的与所述升降部连接的连接部分沿升降方向移动。
2.根据权利要求1所述的空中搬送车，其特征在于，
所述多条吊持部件以悬挂所述升降部的三个点的方式设置，
所述致动器使缠绕对所述三个点中的两个点进行悬挂的所述吊持部件的所述引导辊的位置移动。
3.根据权利要求2所述的空中搬送车，其特征在于，
所述升降部经由连接部件而由四条所述吊持部件悬挂，
所述四条中的两条所述吊持部件连接于以相对于所述升降部能够摆动的方式设置的一个摆动部，
所述四条中的其余两条所述吊持部件分别连接于所述升降部。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的空中搬送车，其特征在于，
还具备：
水平移动部，该水平移动部使所述升降部沿水平方向移动；和
第一控制部，该第一控制部基于在利用所述水平移动部使所述升降部移动时产生的所述水平移动部的挠曲量，来控制基于所述致动器实现的所述引导辊的移动量。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的空中搬送车，其特征在于，
还具备：
倾斜度检测部，该倾斜度检测部获取所述升降部相对于水平方向的倾斜度；和
第二控制部，该第二控制部控制所述致动器以使由所述倾斜度检测部获取的倾斜度成为规定值。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的空中搬送车，其特征在于，
还具备：
存储部，该存储部存储每个移载部的倾斜度，其中在该移载部与所述空中搬送车之间进行所述物品的交接；和
第三控制部，该第三控制部控制所述致动器，以使所述升降部的倾斜度与要载置所述物品的所述移载部的所述倾斜度大致相同。
CN202080079179.8A 2019-11-20 2020-09-15 空中搬送车 Active CN114728743B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019209950 2019-11-20
JP2019-209950 2019-11-20
PCT/JP2020/034895 WO2021100297A1 (ja) 2019-11-20 2020-09-15 天井搬送車

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN114728743A true CN114728743A (zh) 2022-07-08
CN114728743B CN114728743B (zh) 2024-03-19

Family

ID=75981636

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202080079179.8A Active CN114728743B (zh) 2019-11-20 2020-09-15 空中搬送车

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20220402731A1 (zh)
EP (1) EP4063297A4 (zh)
JP (1) JP7248147B2 (zh)
KR (1) KR20220100670A (zh)
CN (1) CN114728743B (zh)
IL (1) IL293002A (zh)
WO (1) WO2021100297A1 (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP4249405A1 (en) * 2020-11-18 2023-09-27 Murata Machinery, Ltd. Transport vehicle system
CN117396413A (zh) * 2021-07-08 2024-01-12 村田机械株式会社 高架输送车
WO2023079882A1 (ja) * 2021-11-05 2023-05-11 村田機械株式会社 天井搬送車

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1164847A (zh) * 1995-08-30 1997-11-12 Kci国际有限公司 用于控制吊车的承载部件和负载的方法和设备
CN1184074A (zh) * 1996-11-07 1998-06-10 石川岛播磨重工业株式会社 集装箱吊车
JPH10194410A (ja) * 1997-01-09 1998-07-28 Toyota Autom Loom Works Ltd 搬送台車における昇降ベルトの巻取構造及び搬送台車
CN1361747A (zh) * 1999-07-15 2002-07-31 吉米蒂斯有限公司 用于控制集装箱装卸设备运动的系统和方法
CN107097799A (zh) * 2016-02-19 2017-08-29 村田机械株式会社 桥式输送车
WO2018179369A1 (ja) * 2017-03-31 2018-10-04 平田機工株式会社 搬送装置
CN110234582A (zh) * 2017-02-06 2019-09-13 村田机械株式会社 空中搬送车

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6042155B2 (ja) * 1979-12-24 1985-09-20 三井造船株式会社 クレ−ンの吊荷振れ制動装置
JP5693686B2 (ja) 2013-09-09 2015-04-01 三菱電機株式会社 回転電機

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1164847A (zh) * 1995-08-30 1997-11-12 Kci国际有限公司 用于控制吊车的承载部件和负载的方法和设备
CN1184074A (zh) * 1996-11-07 1998-06-10 石川岛播磨重工业株式会社 集装箱吊车
JPH10194410A (ja) * 1997-01-09 1998-07-28 Toyota Autom Loom Works Ltd 搬送台車における昇降ベルトの巻取構造及び搬送台車
CN1361747A (zh) * 1999-07-15 2002-07-31 吉米蒂斯有限公司 用于控制集装箱装卸设备运动的系统和方法
CN107097799A (zh) * 2016-02-19 2017-08-29 村田机械株式会社 桥式输送车
CN110234582A (zh) * 2017-02-06 2019-09-13 村田机械株式会社 空中搬送车
WO2018179369A1 (ja) * 2017-03-31 2018-10-04 平田機工株式会社 搬送装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR20220100670A (ko) 2022-07-15
EP4063297A4 (en) 2023-12-20
TW202128528A (zh) 2021-08-01
WO2021100297A1 (ja) 2021-05-27
JP7248147B2 (ja) 2023-03-29
CN114728743B (zh) 2024-03-19
US20220402731A1 (en) 2022-12-22
JPWO2021100297A1 (zh) 2021-05-27
IL293002A (en) 2022-07-01
EP4063297A1 (en) 2022-09-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN114728743B (zh) 空中搬送车
CN107097799B (zh) 桥式输送车
CN110461757B (zh) 搬运装置
US10256129B2 (en) Carrier buffering device and buffering method
JP2007230757A (ja) 搬送車
KR20210128784A (ko) 카세트 고정 유닛 및 이를 갖는 비히클
KR20230116699A (ko) 물품 반송차
TWI830966B (zh) 高架搬送車
JP7347692B2 (ja) 搬送車システム
WO2022107449A1 (ja) 天井搬送車及び搬送車システム
US20230294917A1 (en) Overhead transport vehicle
KR102580660B1 (ko) 비히클 및 비히클의 수평도 조절 방법
WO2023079882A1 (ja) 天井搬送車
JP3246868B2 (ja) 搬送装置
TW202406829A (zh) 高架搬送車
JP3261445B2 (ja) 搬送設備
WO2023218818A1 (ja) 天井搬送車
KR20180076300A (ko) 학습용 지지 장치
CN116513726A (zh) 物品搬运车
TW202227353A (zh) 物品搬送車
JP2022177495A (ja) 天井搬送車
JP2023110844A (ja) 物品搬送車
KR20220063741A (ko) 반송차
KR20220071902A (ko) 반송차
CN117396413A (zh) 高架输送车

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant