WO2022107449A1 - 天井搬送車及び搬送車システム - Google Patents

天井搬送車及び搬送車システム Download PDF

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WO2022107449A1
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ceiling
ceiling carrier
transport vehicle
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誠 小林
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村田機械株式会社
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    • B66D2700/026—Pulleys, sheaves, pulley blocks or their mounting

Definitions

  • One aspect of the present invention relates to a ceiling carrier and a carrier system.
  • a ceiling carrier vehicle provided with a traveling portion that runs on a track laid on a ceiling or the like and an elevating portion that has a grip portion for transferring an article to a transfer portion such as a shelf or a load port.
  • the elevating part is suspended and held by a plurality of suspending members such as a belt, and is lifted and lowered by winding or unwinding the suspending member.
  • Patent Document 1 the cumulative winding difference per rotation of the drum due to the timing difference between the two double-wound suspension members (elevating belts) shifting to the winding of the next layer is described.
  • the ceiling carrier vehicle in which, is set is disclosed. According to this ceiling carrier, the winding difference between the two suspension members can be suppressed within an allowable range, and the article can be gripped horizontally regardless of the elevating height.
  • the inclination of the elevating part is caused not only by the winding timing of the double-wound suspension member to the next layer, but also by an error in the thickness of the suspension member or an error in the diameter of the winding drum. In some cases, there is a desire to adjust the tilt of the elevating part more easily. Further, the inclination of the elevating part is not only a desire to hold the article horizontally, but also a desire to grip the article at a desired angle. In order to meet these demands, it is necessary to have a configuration in which the inclination of the elevating part is appropriately adjusted without human intervention.
  • an object of one aspect of the present invention is to provide a ceiling carrier and a carrier system capable of appropriately adjusting the inclination of the elevating part without human intervention.
  • the ceiling carrier is a ceiling carrier in which an elevating portion having a grip portion for gripping an article is raised and lowered by a plurality of suspending members, and the plurality of suspending members can be wound and lifted.
  • a take-up drum that raises and lowers the elevating part by feeding out, at least one guide roller around which a lifting member unwound from the take-up drum is wound, a main body that supports the take-up drum and the guide roller, and a main body.
  • At least one position adjusting part that moves the connection part of the lifting member to the elevating part in the elevating direction by moving the relative position of the guide roller with respect to the part, and the position adjusting part based on the information about the inclination in the elevating part. It is provided with a control unit that controls the movement of the guide roller by means of.
  • the inclination of the elevating part can be adjusted by operating the position adjusting part. Then, since the position adjusting unit is automatically adjusted based on the information regarding the inclination of the elevating unit, the elevating unit can be adjusted to a desired inclination. That is, the ceiling carrier of the present invention can appropriately adjust the inclination of the elevating part without human intervention.
  • the ceiling carrier further includes a storage unit for storing information on the movement amount or inclination of the guide roller determined based on the information on the inclination, and the control unit is related to the above-mentioned movement amount or inclination.
  • the movement of the guide roller by the position adjusting unit may be controlled based on the information.
  • the elevating part is adjusted to a desired inclination based on the information stored in the storage unit, which seems to indicate the current state of the elevating part, without constantly acquiring the information on the inclination of the elevating part. Can be done.
  • the storage unit stores information on the movement amount or inclination for each transfer unit in which the article is transferred to and from the ceiling transport vehicle, and the control unit transfers.
  • the movement of the guide roller by the position adjusting unit may be controlled based on the information regarding the movement amount or the inclination of each mounting unit. In this configuration, the optimum tilt of the elevating part can be adjusted for each transfer part.
  • the ceiling carrier according to one aspect of the present invention may be provided on the elevating part and further provided with an acquisition part for acquiring information on the inclination.
  • the inclination of the elevating part can be acquired with a simple configuration.
  • the ceiling carrier according to one aspect of the present invention is provided in the elevating part and further includes an acquisition unit for acquiring information on the inclination, the acquisition unit periodically acquires the information on the inclination, and the storage unit periodically obtains the information on the inclination.
  • Information on the amount of movement of the guide roller determined based on the information on the tilt acquired in the vehicle or information on the tilt acquired periodically may be stored.
  • the transport vehicle system is provided separately from the above-mentioned ceiling transport vehicle and the ceiling transport vehicle, and has an acquisition unit for acquiring information on inclination and information on inclination acquired by the acquisition unit. It may be provided with a communication unit for transmitting to the ceiling carrier. With this configuration, it is possible to appropriately adjust the inclination of the elevating part of each ceiling carrier without human intervention without making major modifications to the ceiling carrier.
  • the transport vehicle system further includes a control device for periodically moving the ceiling transport vehicle to a position where the acquisition unit can acquire information on tilt, and the communication unit is periodically acquired by the acquisition unit.
  • Information about the tilt to be made may be transmitted to the ceiling carrier.
  • FIG. 1 is a side view of the ceiling carrier of one embodiment.
  • FIG. 2 is a front view of the holding unit.
  • FIG. 3 is a perspective view of the first buffer mechanism and the second buffer mechanism.
  • FIG. 4 is a front view of the elevating drive unit.
  • FIG. 5 is a side view of the elevating drive unit.
  • 6 (A) and 6 (B) are front views showing the operation of the elevating drive unit.
  • 7 (A) and 7 (B) are side views showing the operation of the elevating drive unit.
  • FIG. 8 is a perspective view of the measuring unit and the measured unit.
  • FIG. 9 is a schematic diagram showing a measurement target of each distance sensor when the measurement unit measures the unit to be measured.
  • FIG. 10 (A) to 10 (C) are schematic views showing a method in which the unit controller calculates the state of the ceiling carrier.
  • FIG. 11 is a block diagram showing a functional configuration of the transport vehicle system.
  • 12 (A) is a side view showing the maintenance pedestal
  • FIG. 12 (B) is a plan view showing the maintenance pedestal seen from the direction B of FIG. 12 (A).
  • 13 (A) and 13 (B) are diagrams illustrating a procedure for acquiring the state of the ceiling carrier using the maintenance stand.
  • 14 (A) and 14 (B) are diagrams illustrating a procedure for acquiring the state of the ceiling carrier using the maintenance stand.
  • FIG. 15 is a diagram illustrating a procedure for acquiring a state of a ceiling carrier using a maintenance stand.
  • FIG. 16 is a diagram illustrating means according to a modified example of acquiring the state of the ceiling carrier.
  • the transport vehicle system 100 of one embodiment includes a plurality of ceiling transport vehicles 1 (see FIG. 1), a track 20 (see FIG. 1) forming a traveling path of the ceiling transport vehicle 1, and an area controller (control device) 110 (see FIG. 1). It includes a measurement unit (acquisition unit) 80 (see FIG. 11) and a unit to be measured (acquisition unit) 90 (see FIG. 8). At least one of the plurality of ceiling transport vehicles 1 is provided with a linear motion mechanism (position adjusting portion) 67 (see FIG. 4) that adjusts the inclination of the holding unit (elevating portion) 7 with respect to the horizontal plane.
  • the ceiling carrier 1 of one embodiment travels along a track 20 laid near the ceiling of a clean room where a semiconductor device is manufactured.
  • the ceiling carrier 1 of one embodiment transports a FOUP (Front Opening Unified Pod) (article) 200 in which a plurality of semiconductor wafers are housed, and a load port (a load port) provided in a processing device for performing various processes on the semiconductor wafers.
  • Transfer section) FOUP200 is transferred to 300 and the like.
  • the ceiling transport vehicle 1 includes a frame unit 2, a traveling unit 3, a lateral unit 4, a theta unit 5, an elevating drive unit 6, a holding unit 7, and a transport vehicle. It includes a controller (control unit) 8, a storage unit 8A, and a communication unit 9.
  • the frame unit 2 has a center frame 15, a front frame 16, and a rear frame 17.
  • the front frame 16 extends downward from the end portion of the center frame 15 on the front side (front side in the traveling direction of the ceiling carrier 1).
  • the rear frame 17 extends downward from the end portion of the center frame 15 on the rear side (rear side in the traveling direction of the ceiling carrier 1).
  • the traveling unit 3 is arranged above the center frame 15.
  • the traveling unit 3 travels along the orbit 20 by receiving electric power in a non-contact manner from, for example, a high-frequency current line laid along the orbit 20.
  • the lateral unit 4 is arranged below the center frame 15.
  • the lateral unit 4 moves the theta unit 5, the elevating drive unit 6, and the holding unit 7 laterally (sideways in the traveling direction of the ceiling carrier 1).
  • Theta unit 5 is arranged below the lateral unit 4.
  • Theta unit 5 rotates the elevating drive unit 6 and the holding unit 7 in a horizontal plane.
  • the elevating drive unit 6 is arranged below the theta unit 5.
  • the elevating drive unit 6 elevates the holding unit 7.
  • the holding unit 7 is arranged below the elevating drive unit 6.
  • the holding unit 7 holds the flange 201 of the FOUP 200.
  • the transport vehicle controller 8 is arranged on the center frame 15.
  • the carrier controller 8 is an electronic control unit composed of a CPU (Central Processing Unit), a ROM (Read only memory), a RAM (Random access memory), and the like.
  • the transport vehicle controller 8 controls each part of the ceiling transport vehicle 1.
  • the ceiling carrier 1 configured as described above operates as follows, as an example.
  • the ceiling carrier 1 that does not hold the FOUP 200 stops at a predetermined position above the load port 300.
  • the holding unit is driven by driving the lateral unit 4 and theta unit 5. Adjust the horizontal position and horizontal angle of 7.
  • the linear motion mechanism 67 is operated to tilt the holding unit 7. adjust.
  • the transport vehicle controller 8 adjusts the horizontal position and horizontal angle of the holding unit 7 and the inclination of the holding unit 7 based on the set values stored in the storage unit 8A. Subsequently, the elevating drive unit 6 lowers the holding unit 7, and the holding unit 7 holds the flange 201 of the FOUP 200 mounted on the load port 300. Subsequently, the elevating drive unit 6 raises the holding unit 7 to the ascending end, and arranges the FOUP 200 between the front frame 16 and the rear frame 17. Subsequently, the ceiling carrier 1 holding the FOUP 200 starts traveling.
  • the ceiling carrier 1 holding the FOUP 200 stops at a predetermined position above the load port 300.
  • the horizontal position and the horizontal angle of the holding unit are adjusted by driving the lateral unit 4 and theta unit 5. do.
  • the tilt of the holding unit 7 is adjusted by operating the linear motion mechanism 67 (see FIG. 4).
  • the transport vehicle controller 8 adjusts the horizontal position and horizontal angle of the holding unit 7 and the inclination of the holding unit 7 based on the set values stored in the storage unit 8A. Subsequently, the elevating drive unit 6 lowers the holding unit 7, mounts the FOUP 200 on the load port 300, and the holding unit 7 releases the holding of the flange 201 of the FOUP 200. Subsequently, the elevating drive unit 6 raises the holding unit 7 to the ascending end. Subsequently, the ceiling carrier 1 that does not hold the FOUP 200 starts traveling.
  • the holding unit 7 has a base 11, a pair of grippers (grip portions) 12, 12, and a housing 13.
  • the pair of grippers 12, 12 are supported by the base 11 so as to be openable and closable along the horizontal direction.
  • the pair of grippers 12, 12 are opened and closed by a drive motor (not shown) and a link mechanism (not shown).
  • the height position of the holding unit 7 is adjusted so that the holding surface of the grippers 12 is lower than the height of the lower surface of the flange 201 when the pair of grippers 12 and 12 are in the open state.
  • the holding surface of the grippers 12 advances below the lower surface of the flange 201, and in this state, the elevating drive unit 6 is raised to form a pair.
  • the flange 201 is held (grasped) by the grippers 12 and 12, and the FOUP 200 is supported.
  • the base 11 constitutes the bottom wall of the housing 13, and the position with respect to the housing 13 is fixed.
  • the first buffer mechanism 50 and the second buffer mechanism 40 are mechanisms for connecting the belt B and the holding unit 7 (see FIG. 1), and vibration when the traveling unit 3 travels or when the holding unit 7 moves up and down is generated. It is a mechanism that suppresses transmission to FOUP200.
  • the first cushioning mechanism 50 has an elastic member 58 that movably supports the base 11 in the vertical direction from below in the vertical direction, and has a width direction orthogonal to the traveling direction of the ceiling carrier 1 in a plan view seen from the vertical direction. Placed on one side.
  • the first buffer mechanism 50 is provided on the right side of the holding unit 7 in the left-right direction.
  • the first cushioning mechanism 50 includes a connecting member 51, a swinging member 53, a first main body member 54, a second main body member 56, and a pair of elastic members 58 and 58.
  • the left-right direction in the present embodiment means the left-right direction when the ceiling carrier 1 is viewed from the front in the traveling direction.
  • the connecting member 51 is a member attached to the belt B.
  • the rocking member 53 is a member connected to the connecting member 51.
  • the swing member 53 is rotatably connected to the connecting member 51 via the pin member 52.
  • the first main body member 54 is a substantially L-shaped member, and the bottom thereof is formed so as to be flat.
  • the upper end of the first main body member 54 is connected to the swing member 53.
  • the bottom of the first main body member 54 is connected to the second main body member 56 by bolts or the like.
  • the second main body member 56 supports the elastic member 58 from below and also supports the bottom portion of the first main body member 54.
  • the pair of elastic members 58, 58 are coil springs having a predetermined spring constant.
  • the pair of elastic members 58, 58 are supported by the second main body member 56 and also support the base 11 from below.
  • the lower end of the elastic member 58 is fixed to the second main body member 56.
  • the upper end of the elastic member 58 is not fixed to the base 11 and supports the base 11 by contacting the base 11. That is, when each of the pair of elastic members 58, 58 is in a contracted state in contact with both the second main body member 56 and the base 11, the second main body member 56 and the base 11 are separated from each other.
  • the elastic member 58 has a role of reducing vibration transmitted between the members in contact with each other. In addition, it may be fixed to the base 11 and provided so as to be detachable from the second main body member 56.
  • the second cushioning mechanism 40 has an elastic member 48 that movably supports the base 11 in the vertical direction from below in the vertical direction, and has a width direction orthogonal to the traveling direction of the ceiling carrier 1 in a plan view seen from the vertical direction. It is arranged on the other side (the side opposite to the first buffer mechanism 50 in the width direction). In the present embodiment, the second buffer mechanism 40 is provided on the left side of the holding unit 7 in the left-right direction.
  • the second cushioning mechanism 40 includes connecting members 41, 41, a swing member 43, a third main body member 45, a fourth main body member 46, a regulating member 47, and a pair of elastic members 48, 48. is doing.
  • the connecting members 41 and 41 are members to which the belts B and B are attached.
  • the rocking member 43 is a member that connects the pair of connecting members 41, 41 and the third main body member 45.
  • the pair of connecting members 41, 41 and the swinging member 43 are rotatably connected in both directions, and are connected via the pair of pin members 42, 42.
  • the swing member 43 and the third main body member 45 are rotatably connected in both directions and are connected via a pin member 44.
  • the fourth main body member 46 supports the elastic members 48, 48 from below.
  • the pair of elastic members 48, 48 are coil springs having a predetermined spring constant.
  • the pair of elastic members 48, 48 are supported by the fourth main body member 46 and support the base 11 from below.
  • the lower end of the elastic member 48 is fixed to the fourth main body member 46.
  • the regulating member 47 regulates that the base 11 is separated from the fourth main body member 46 by a predetermined distance or more. More specifically, the regulating member 47 engages the upper surface of the base 11 which is about to be separated from the fourth main body member 46 by a predetermined distance or more.
  • the upper end of the elastic member 48 is not fixed to the base 11 and supports the base 11 by contacting the base 11.
  • the elastic member 48 has a role of reducing vibration transmitted between the members in contact with each other.
  • the elastic member 48 may be fixed to the base 11 and detachably provided to the fourth main body member 46.
  • the holding unit 7 connects the first buffer mechanism 50 and the second buffer mechanism 40, and the distance between the first buffer mechanism 50 and the base 11 in the vertical direction and the vertical direction.
  • a link mechanism may be provided that operates so as to bring the distance between the second buffer mechanism 40 and the base 11 close to each other.
  • the elevating drive unit 6 includes a base (main body portion) 61, a support portion 62, four (plural) winding drums 63, and a drive motor (winding drive unit).
  • 63A first idler roller (guide roller) 65A, second idler roller (guide roller) 65B, third idler roller (guide roller) 64, linear motion mechanism (position adjustment unit) 67, and swing member. It has 68 and four (plural) belts B.
  • the base 61 supports the take-up drum 63, the first idler roller 65A, and the third idler roller 64 via the support portion 62.
  • the support portion 62 rotatably supports the four take-up drums 63.
  • the four take-up drums 63 are arranged in the front-rear direction, and each of the four belts B is taken up or unwound by being driven by the drive motor 63A.
  • the support portion 62 swingably supports the first idler roller 65A and one end portion 68A of the swing member 68.
  • Each take-up drum 63 is attached to the base 61 via a support portion 62 so as to be rotatable.
  • the drive motor 63A is a drive source for rotating each take-up drum 63, and is fixed to the base 61.
  • the four take-up drums 63 are driven by one drive motor 63A by being attached to a common rotation shaft (not shown) or by being connected by an interlocking mechanism (not shown).
  • each belt B is connected to the holding unit 7, and the other end of each belt B is connected to each take-up drum 63.
  • the four belts B are provided so as to suspend the three points of the holding unit 7. More specifically, the holding unit 7 is suspended by four belts B, and two of the four belts B are oscillated with respect to the holding unit 7. It is connected to the member 43 (see FIG. 3) via the connecting member 41, and each of the remaining two belts of the four belts is swingably provided with respect to the holding unit 7. It is connected to each of the members 53 via a connecting member 51.
  • the first idler roller 65A and the second idler roller 65B guide the movement of the belt B connected to the first shock absorber mechanism 50.
  • the first idler roller 65A is provided on the support portion 62 and does not move relative to the base 61.
  • the second idler roller 65B is provided on the swing member 68, which will be described later, and moves relative to the base 61. The configuration in which the second idler roller 65B moves relative to the base 61 will be described later.
  • the third idler roller 64 guides the movement of the belt B connected to the second buffer mechanism 40.
  • the linear motion mechanism 67 mainly has a drive motor 67A, a screw shaft 67B, and a ball nut 67C, and is a known mechanism that converts the rotary motion of the drive motor 67A into a linear motion.
  • the linear motion mechanism 67 is fixed to the base 61 via the bracket 66.
  • the other end 68B of the swing member 68 is connected to the ball nut 67C that moves along the screw shaft 67B by driving the drive motor 67A.
  • the swing member 68 swings due to the movement of the ball nut 67C along the screw shaft 67B, and the second idler roller 65B is relative to the base 61 as the swing member 68 swings. Move to.
  • the linear motion mechanism 67 positions the second idler roller 65B so that the connection portion (one end of the belt B) of the belt B to the holding unit 7 (first buffer mechanism 50) moves in the ascending / descending direction. Move it.
  • the swing member 68 is changed to a vertically movable member that is cantilevered and supported by the linear motion mechanism 67, and the position of the second idler roller 65B is linearly moved by moving this member up and down. May be good.
  • both linear motion mechanisms 67 are operated to move the second idler roller 65B upward (closer to the base 61), the right side of the holding unit 7 can be moved. Can be tilted upwards.
  • both linear motion mechanisms 67 are operated to move the second idler roller 65B downward (to move away from the base 61), the holding unit 7 can be moved. You can tilt the right side of.
  • the linear motion mechanism 67 of one (front side) of the two linear motion mechanisms 67 is operated so as to move the second idler roller 65B upward (closer to the base 61). By moving it, the front side of the holding unit 7 can be tilted upward.
  • the linear motion mechanism 67 of the other (rear side) of the two linear motion mechanisms 67 is operated to move the second idler roller 65B downward (away from the base 61). May be moved.
  • the linear motion mechanism 67 of the other (rear side) of the two linear motion mechanisms 67 is operated to move the second idler roller 65B upward (close to the base 61). By moving it, the rear side of the holding unit 7 can be tilted upward.
  • one of the two linear motion mechanisms 67 (front side) of the linear motion mechanism 67 is operated to move the second idler roller 65B downward (away from the base 61). May be moved.
  • the inclination of the holding unit 7 with respect to the horizontal plane can be adjusted by operating both or one of the two linear motion mechanisms 67. Further, in the ceiling carrier 1 of the present embodiment, the operation of the linear motion mechanism 67 is controlled based on the state of the ceiling carrier 1 (information about the inclination in the elevating part).
  • the state of the ceiling carrier 1 is stored in, for example, a storage unit 8A provided in the center frame 15.
  • the state of the ceiling carrier 1 includes the state of the ceiling carrier 1 acquired at the time of teaching and the state of the ceiling carrier 1 acquired by the measuring unit 80 and the unit 90 to be measured.
  • each of the ceiling transport vehicles 1 is taught before the transport vehicle system 100 is operated.
  • Teaching is a state in which the ceiling carrier 1 is stopped at a predetermined position on the track 20 and the holding unit 7 is lowered by a predetermined distance in order to transfer the FOUP 200 at the load port 300.
  • the state of the ceiling carrier 1 is acquired in order to know how much the position of the holding unit 7 (more specifically, the position of the gripper 12) deviates from the target position, and based on the state of the ceiling carrier 1. It means to store the operation to be performed in the ceiling transport vehicle 1 so that the deviation from the target position is within the allowable range when the transport vehicle system 100 is operated.
  • An example of the state of the ceiling carrier 1 is information such as the actual position (X coordinate, Y coordinate, Z coordinate), angle ⁇ , angle ⁇ x, and angle ⁇ y of the gripper 12 when the reference position of the load port 300 is the origin. be.
  • FIGS. 8 and 9 the measuring unit 80 and the measured unit 90 are units for acquiring the state of the ceiling carrier 1 without human intervention.
  • FIG. 8 is a perspective view of the measurement unit 80 and the unit to be measured 90
  • FIG. 9 is a perspective view of each distance sensor 83X1,83Y1,83Y2,83Z1,83Z2,83Z3 when the measurement unit 80 measures the unit to be measured 90.
  • It is a schematic diagram which shows the measurement target.
  • the solid line arrow and the broken line arrow shown in FIGS. 8 and 9 indicate the output direction of the laser in each distance sensor 83X1,83Y1,83Y2,83Z1,83Z2,83Z3.
  • the measurement unit 90 is mounted on the ceiling transport vehicle 1 and the measurement unit 80 is mounted on the load port 300. That is, the measured unit 90 is gripped and used by the pair of grippers 12, 12, and the measuring unit 80 is mounted and used on the load port 300.
  • the ceiling carrier 1 is stopped at a predetermined position on the track 20, the holding unit 7 is lowered by a predetermined distance, and the unit 90 to be measured is separated from the measurement unit 80 above the load port 300. State is acquired.
  • the measuring unit 80 includes a main body 81, a unit controller 82 (see FIG. 11), a plurality of distance sensors 83X1,83Y1,83Y2,83Z1,83Z2,83Z3, a mounting portion 84, a support portion 85, and a guide portion 86. And have.
  • the main body portion 81 is a flat plate-shaped member that supports the unit controller 82, the mounting portion 84, and the guide portion 86.
  • the unit controller 82 is provided in a state of being supported by the main body 81, and performs various electrical processes in the measuring unit 80.
  • Each distance sensor 83X1,83Y1,83Y2,83Z1,83Z2,83Z3 is, for example, a laser type distance sensor, and is attached to the attachment portion 84.
  • the distance sensor 83X1 measures the distance to the object by emitting a laser beam toward the inside of the main body 81 along the X-axis direction.
  • the distance sensors 83Y1 and 83Y2 measure the distance to the object by emitting a laser beam toward the inside of the main body 81 along the Y-axis direction.
  • the distance sensors 83Z1, 83Z2, 83Z3 measure the distance to the object by emitting a laser beam upward along the Z-axis direction.
  • the mounting portion 84 is a portion to which each distance sensor 83X1,83Y1,83Y2,83Z1,83Z2,83Z3 is mounted, and is erected on the main body portion 81.
  • the support portion 85 is a portion that supports the unit to be measured 90, and is erected on the main body portion 81.
  • the guide portion 86 is a portion that guides the unit to be measured 90 to be positioned at a predetermined position when the unit to be measured 90 is supported by the support portion 85.
  • the guide portion 86 is erected on the main body portion 81.
  • the unit 90 to be measured includes a flange 91, a base plate 92, a plurality of target plates 93, 94, 95, and a leg portion 97.
  • the flange 91 is a portion that can be gripped by the gripper 12.
  • the base plate 92 is connected to the flange 91, and a plurality of target plates 93, 94, 95 are erected.
  • the base plate 92 and the plurality of target plates 93, 94, 95 are portions that form a measurement target surface by each distance sensor 83X1,83Y1,83Y2,83Z1,83Z2,83Z3.
  • Each target plate 93, 94, 95 is fixed at a predetermined position on the base plate 92.
  • the surface 93a of the target plate 93 facing the distance sensor 83X1 is a surface perpendicular to the X-axis direction and has a predetermined positional relationship with the reference position of the load port 300 (the center position of the mounting surface of the load port 300).
  • the surface 94a facing the distance sensor 83Y1 in the target plate 94 and the surface 95a facing the distance sensor 83Y2 in the target plate 95 are planes perpendicular to the Y-axis direction, and have a predetermined positional relationship with the reference position of the load port 300.
  • the legs 97 are provided at the lower portions of the target plates 93, 94, and 95, respectively, and come into contact with the main body 81 of the measurement unit 80 when the unit 90 to be measured is supported by the measurement unit 80.
  • the unit controller 82 of the measurement unit 80 has the measurement distance X1 by the distance sensor 83X1, the measurement distance Y1 by the distance sensor 83Y1, the measurement distance Y2 by the distance sensor 83Y2, the measurement distance Z1 by the distance sensor 83Z1, and the measurement distance by the distance sensor 83Z2.
  • the measured distance Z3 by Z2 and the distance sensor 83Z3 can be acquired.
  • the unit controller 82 is based on the acquired plurality of measurement distances X1, Y1, Y2, Z1, Z2, Z3, and the actual position (X coordinate, Y) of the gripper 12 when the reference position of the load port 300 is the origin. (Coordinates, Z coordinates), as well as the angle ⁇ , the angle ⁇ x, and the angle ⁇ y can be calculated.
  • the angle ⁇ x is an inclination angle at which the measurement unit 80 is tilted about the Y axis with respect to the surface 92a of the base plate 92 of the unit to be measured (that is, the load port 300).
  • the distance sensors 83X1, 83Y1, 83Y2, the target plates 93, 94, 95, etc. are not shown.
  • the angle ⁇ y is an inclination angle at which the measurement unit 80 is tilted about the X axis with respect to the surface 92a of the base plate 92 of the unit to be measured (that is, the load port 300).
  • the average value of the distance Z1 measured by the distance sensor 83Z1 and the distance Z3 measured by the distance sensor 83Z3 (that is, (Z1 + Z3) / 2) is set to Z13, and the distance between the straight line connecting the distance sensor 83Z1 and the distance sensor 83Z3 and the distance sensor 83Z2.
  • the state of the ceiling carrier 1 is acquired by using the measuring unit 80 mounted on the mounting table 151, the second mounting table 152, and the pair of third mounting tables 153,153, and at least one measured unit 90. ..
  • the maintenance pedestal 150 is provided at a predetermined position along the track 20.
  • the first mounting table 151, the second mounting table 152, and the pair of third mounting tables 153, 153 are supported by the frame 154.
  • the first mounting table 151 is below the track 20 and is at a position relatively low with respect to the second mounting table 152 (in other words, a position where the amount of feeding of the belt B for mounting the FOUP 200 is relatively large). ).
  • the second mounting table 152 is below the track 20 and is at a position relatively high with respect to the first mounting table 151 (in other words, a position where the feeding amount of the belt B for mounting the FOUP 200 is relatively small). ).
  • the second mounting table 152 is provided so as to be slidable in the front-rear direction, and has an advance position located in the area above the first mounting table 151 and a retracted position not located in the area above the first mounting table 151. It is provided so that it can be moved between.
  • the retracted position is provided at a position deviated from the first mounting table 151 (a position deviated rearward in the present embodiment) in a plan view viewed from above in the vertical direction.
  • the pair of third mounting tables 153, 153 are arranged so as to sandwich the orbit 20 in a plan view seen from above.
  • the pair of third mounting tables 153, 153 are provided at positions where the FOUP 200 cannot be transferred unless the lateral unit 4 is operated.
  • the pair of third mounting tables 153 and 153 are fixed so as not to be movable.
  • the first pedestal 151, the second pedestal 152 and the pair of third pedestals 153,153 the first pedestal 151, the second pedestal 152 and the pair of third pedestals
  • the state of the ceiling carrier 1 can be acquired every 153 and 153. That is, in the maintenance stand 150, the state of the ceiling carrier 1 when the feeding amount of the belt B is relatively large can be acquired by using the first mounting stand 151, and the second mounting stand 152 is used. Therefore, the state of the ceiling carrier 1 when the feeding amount of the belt B is relatively small can be acquired, and the lateral unit 4 is operated by using the pair of third mounting tables 153 and 153 to operate the belt B. It is possible to acquire the state of the ceiling carrier 1 when the above is extended.
  • the area controller 110 moves the ceiling carrier 1 to the maintenance stand 150 at a predetermined timing.
  • the area controller 110 moves the ceiling carrier 1 (regularly) to the maintenance stand 150 according to a predetermined schedule.
  • the unit 90 to be measured is mounted on the first mounting table 151 of the maintenance stand 150 in a state of being supported by the measuring unit 80 (see FIG. 8).
  • the ceiling carrier 1 pays out the belt B while stopped above the first mounting table 151, and lowers the holding unit 7. After feeding out a predetermined amount of the belt B, the ceiling carrier 1 operates the gripper 12 to grip the flange 91 of the unit 90 to be measured. After that, a predetermined amount of the belt B is wound up, and the unit 90 to be measured, which is supported by the measuring unit 80, is separated from the measuring unit 80.
  • the measuring unit 80 mounted on the first mounting table 151 measures the distances X1, Y1, Y2, Z1, Z2, Z3 to the base plate 92 and the target plates 93, 94, 95 of the measured unit 90 in this state. ..
  • the ceiling carrier 1 After the measurement by the measuring unit 80 mounted on the first mounting table 151, the ceiling carrier 1 winds up the belt B while holding the measured unit 90, and is at a height higher than that of the second mounting table 152. Move the holding unit 7 to.
  • the second mounting table 152 is slid and moved to the upper advance position of the first mounting table 151.
  • the ceiling carrier 1 pays out the belt B and lowers the holding unit 7 holding the unit 90 to be measured.
  • the ceiling carrier 1 pays out a predetermined amount of the belt B, and positions the unit to be measured 90 so as to be separated from the measuring unit 80 mounted on the second mounting table 152 by a predetermined amount.
  • the measuring unit 80 mounted on the second mounting table 152 measures the distances X1, Y1, Y2, Z1, Z2, Z3 to the base plate 92 and the target plates 93, 94, 95 of the measured unit 90 in this state. ..
  • the ceiling carrier 1 After the measurement by the measuring unit 80 mounted on the second mounting table 152, the ceiling carrier 1 winds up the belt B while grasping the measured unit 90, and then operates and holds the lateral unit 4.
  • the unit 7 is moved above one of the pair of third mounting tables 153.
  • the ceiling carrier 1 pays out the belt B and lowers the holding unit 7 holding the unit 90 to be measured.
  • the ceiling carrier 1 pays out a predetermined amount of the belt B, and positions the unit to be measured 90 so as to be separated from the measuring unit 80 mounted on one of the pair of third mounting tables 153 by a predetermined amount.
  • the measuring unit 80 mounted on one of the pair of third mounting tables 153 has the distances X1, Y1, Y2, Z1, Z2 to the base plate 92 and the target plates 93, 94, 95 of the measured unit 90. Measure Z3.
  • the ceiling carrier 1 After the measurement by the measuring unit 80 mounted on one of the pair of third mounting tables 153, the ceiling carrier 1 winds up the belt B while holding the measured unit 90, and operates the lateral unit 4. This time, the holding unit 7 is moved above the other of the pair of third mounting tables 153. The ceiling carrier 1 pays out the belt B and lowers the holding unit 7 holding the unit 90 to be measured. The ceiling carrier 1 pays out a predetermined amount of the belt B, and positions the unit to be measured 90 so as to be separated from the measuring unit 80 mounted on the other side of the pair of third mounting tables 153 by a predetermined amount.
  • the measuring unit 80 mounted on the other side of the pair of third mounting tables 153 has the distances X1, Y1, Y2, Z1, Z2 to the base plate 92 and the target plates 93, 94, 95 of the measured unit 90. Measure Z3.
  • the ceiling carrier 1 After the measurement by the measuring unit 80 mounted on the other side of the pair of third mounting tables 153, the ceiling carrier 1 winds up the belt B while holding the measured unit 90 to operate the lateral unit 4. This time, the holding unit 7 is moved above the first mounting table 151.
  • the second mounting table 152 moves to a retracted position retracted from above the first mounting table 151. The movement of the second mounting table 152 to the retracted position may be executed at a timely timing after the measurement by the measuring unit 80 mounted on the second mounting table 152.
  • the ceiling carrier 1 pays out the belt B while stopped above the first mounting table 151, and lowers the holding unit 7 holding the unit 90 to be measured. As shown in FIG. 15, the ceiling carrier 1 pays out the belt B until the unit 90 to be measured is supported by the measurement unit 80 mounted on the first mounting table 151, and then the gripper 12 is used. Is activated to release the grip of the flange 91 in the unit 90 to be measured. The unit to be measured 90 is in a state of being supported by the measuring unit 80 mounted on the first mounting table 151. After that, the ceiling carrier 1 winds up the belt B until the holding unit 7 is ready to travel. The area controller 110 causes the ceiling carrier 1 to exit from the maintenance stand 150.
  • the first mounting table 151, the second mounting table 152, and the pair of third mounting tables for measuring the distances X1, Y1, Y2, Z1, Z2, Z3 to the base plate 92 and the target plates 93, 94, 95 are measured.
  • Each of the measured units 90 mounted on each of the 153 and 153 is a gripper 12 when the reference position of each mounting table is used as the origin based on the measured distances X1, Y1, Y2, Z1, Z2 and Z3.
  • Information such as the actual position (X coordinate, Y coordinate, Z coordinate), angle ⁇ , angle ⁇ x, and angle ⁇ y of is calculated.
  • These information are transmitted to the communication unit 9 of the ceiling carrier 1 via the communication unit 88 provided on the maintenance stand 150.
  • the communication unit 88 of the maintenance stand 150 and the communication unit 9 of the ceiling carrier 1 can communicate with each other by appropriate means such as optical communication and wireless communication.
  • the transport vehicle controller 8 receives the actual position (X coordinate, Y coordinate, Z coordinate), angle ⁇ , angle ⁇ x, and angle of the gripper 12 with the reference position of each mounting table as the origin, which is received via the communication unit 9. Information such as ⁇ y is stored in the storage unit 8A (see FIG. 11). That is, the transport vehicle controller 8 stores (updates) the latest state of the ceiling transport vehicle 1 acquired by the measurement unit 80 and the measured unit 90 in the storage unit 8A. The transport vehicle controller 8 controls the operation of the linear motion mechanism 67 based on the state of the ceiling transport vehicle 1 stored in the storage unit 8A.
  • the inclination of the holding unit 7 with respect to the horizontal plane can be adjusted by operating the linear motion mechanism 67. Then, the operating amount (moving amount of the guide roller) of the linear motion mechanism 67 is automatically adjusted based on the information (information such as the angle ⁇ x and the angle ⁇ y) regarding the inclination of the holding unit 7 which is the state of the ceiling carrier 1. Therefore, the holding unit 7 can be adjusted to a desired inclination. That is, the ceiling carrier 1 of the present embodiment can appropriately adjust the inclination of the holding unit 7 without human intervention.
  • the measurement unit 80 and the measurement unit 90 as the acquisition unit for acquiring the state of the ceiling transport vehicle 1 are provided separately from the ceiling transport vehicle 1. With this configuration, it is possible to appropriately adjust the inclination of the holding unit 7 of each ceiling carrier 1 without human intervention without making major modifications to the ceiling carrier 1.
  • each ceiling transport vehicle 1 is periodically moved to the maintenance stand 150, and the state of the ceiling transport vehicle 1 is periodically acquired.
  • the state of the ceiling transport vehicle 1 is acquired, so that the holding unit 7 can be appropriately adjusted to a desired inclination. can.
  • Modification 1 In the ceiling carrier 1 of the above embodiment, an example of acquiring the state of the ceiling carrier 1 by allowing the ceiling carrier 1 to enter the maintenance stand 150 has been described. However, the load port for constructing the carrier system 100 has been described. The state of the ceiling carrier 1 may be acquired every 300. In this configuration, the holding unit 7 can be adjusted to the optimum inclination for each load port 300 in which the FOUP 200 is actually mounted.
  • the holding unit 7 grips the measured unit 90 to acquire the state of the ceiling carrier 1 from the measurement unit 80 and the measured unit 90.
  • the state of the ceiling carrier 1 may be acquired by separating and approaching the holding unit 7 holding the measuring unit 80 to the measured unit 90 mounted on each mounting table.
  • the unit 90 to be measured which is cheaper than the measuring unit 80, is arranged on each mounting stand of the maintenance pedestal 150, so that the maintenance pedestal 150 can be constructed at low cost.
  • the measurement unit 80 and the measured unit 90 have been described as an example as a method of acquiring the state of the ceiling transport vehicle 1, but the present invention is not limited thereto.
  • the state of the ceiling carrier 1 may be acquired by using the maintenance stand 150A provided with the first camera 160A and the second camera 160B.
  • the maintenance stand 150A includes, for example, a first camera 160A provided at a position relatively lower than the second camera 160B, a second camera 160B provided at a position higher than the first camera 160A, and a controller 155. And have.
  • the first camera 160A can acquire the state of the ceiling carrier 1 when the feeding amount of the belt B is relatively large. Similar to the measuring unit 80 provided on the second mounting table 152, the second camera 160B can acquire the state of the ceiling carrier 1 when the feeding amount of the belt B is relatively small.
  • the controller 155 analyzes the state of the ceiling carrier 1 (for example, the inclination of the holding unit 7) based on the images captured by the first camera 160A and the second camera 160B.
  • a known analysis method such as pattern matching can be used.
  • the actual position (X coordinate, Y coordinate, Information such as Z coordinate), angle ⁇ , angle ⁇ x, and angle ⁇ y has been described as an example, but such actual positions (X coordinate, Y coordinate, Z coordinate), angle ⁇ , angle ⁇ x, angle ⁇ y, and the like have been described. It may be a set value such as the operating amount (moving amount of the guide roller) of the linear motion mechanism 67 determined based on the information.
  • the same function is provided in place of the linear motion mechanism 67 having a function of moving the position of at least one second idler roller 65B in order to move one end of the belt B in the elevating direction.
  • a cam mechanism position adjusting unit
  • the holding unit 7 of the above-described embodiment and the modified example has been described with reference to an example in which it is connected to one end of the belt B via the first buffering mechanism 50 and the second buffering mechanism 40, it is directly connected to the holding unit 7. You may. Further, the four belts B may be directly connected to the holding unit 7 as they are. Further, it may be connected to the holding unit 7 by three belts B.
  • a measurement unit 80 of the above embodiment and the above modification a measurement unit provided with a battery and a communication unit and in which these are integrally configured may be used.

Abstract

天井搬送車（１）は、複数の吊持部材（Ｂ）の巻き取り及び繰り出しを行うことにより、昇降部（７）を昇降させる巻取ドラム（６３）と、巻取ドラム（６３）から繰り出される吊持部材（Ｂ）が巻き掛けられる少なくとも一つの案内ローラ（６５Ｂ）と、巻取ドラム（６３）及び案内ローラ（６５Ｂ）を支持する本体部（６１）と、本体部（６１）に対する案内ローラ（６５）の相対位置を移動させることにより、吊持部材（Ｂ）の昇降部（７）への接続部分を昇降方向に移動させる、少なくとも一つの位置調整部（６７）と、昇降部（７）における傾きに関する情報に基づいて位置調整部（６７）における案内ローラ（６５Ｂ）の移動を制御する制御部（８）と、を備える。

Description

天井搬送車及び搬送車システム
　本発明の一側面は、天井搬送車及び搬送車システムに関する。
　天井等に敷設された軌道を走行する走行部と、棚又はロードポート等の移載部に物品を移載する把持部を有する昇降部と、が設けられた天井搬送車が知られている。昇降部は、ベルト等の複数の吊持部材によって吊り下げ保持されており、当該吊持部材を巻き取りないし繰り出しすることによって昇降される。
　例えば、特許文献１には、二重巻きされた２本の吊持部材（昇降ベルト）が次層の巻き取りに移行するタイミングのずれに起因するドラム一回転当たりの巻取差の累積が、昇降部（荷台）を必要な水平度に保持し得る所定値未満となるように、両吊持部材のドラムに対する固定端位置と、ドラムの巻取面から延びる両吊持部材の巻出し角と、が設定されている天井搬送車が開示されている。この天井搬送車によれば、２本の吊持部材の巻取差を許容範囲内に抑え、昇降高さによらず物品を水平に把持することができる。
特開平１０－１９４４１０号公報
　しかしながら、昇降部の傾きは、二重巻きされた吊持部材の次層への巻取タイミングに起因するだけではなく、吊持部材の厚みの誤差又は巻取ドラムの直径の誤差にも起因することもあるので、昇降部の傾きをもっと簡単に調整したいという要望がある。また、昇降部の傾きは、物品を水平に保持したいという要望だけでなく、物品を所望の角度で把持したいという要望もある。これらの要望に対応するためには、人の手を介することなく昇降部の傾きを適切に調整する構成が必要となる。
　そこで、本発明の一側面の目的は、人の手を介することなく、昇降部の傾きを適切に調整することが可能な天井搬送車及び搬送車システムを提供することにある。
　本発明の一側面に係る天井搬送車は、物品を把持する把持部を有する昇降部を複数の吊持部材によって昇降させるようにした天井搬送車であって、複数の吊持部材の巻き取り及び繰り出しを行うことにより、昇降部を昇降させる巻取ドラムと、巻取ドラムから繰り出される吊持部材が巻き掛けられる少なくとも一つの案内ローラと、巻取ドラム及び案内ローラを支持する本体部と、本体部に対する案内ローラの相対位置を移動させることにより、吊持部材の昇降部への接続部分を昇降方向に移動させる、少なくとも一つの位置調整部と、昇降部における傾きに関する情報に基づいて位置調整部による案内ローラの移動を制御する制御部と、を備える。
　この構成の天井搬送車では、位置調整部を作動させることによって昇降部における傾きを調整することができる。そして、位置調整部は、昇降部における傾きに関する情報に基づいて自動的に調整されるので、昇降部を所望の傾きに調整することができる。すなわち、本発明の天井搬送車は、人の手を介することなく、昇降部の傾きを適切に調整することが可能となる。
　本発明の一側面に係る天井搬送車は、傾きに関する情報に基づいて決定される案内ローラの移動量又は傾きに関する情報を記憶する記憶部を更に備え、制御部は、上記の移動量又は傾きに関する情報に基づいて位置調整部による案内ローラの移動を制御してもよい。この構成では、昇降部の傾きに関する情報を常時取得しなくても、記憶部に記憶された現在の昇降部の状態を示すと思われる情報に基づいて、昇降部を所望の傾きに調整することができる。
　本発明の一側面に係る天井搬送車では、記憶部は、天井搬送車との間で物品の受け渡しが行われる移載部ごとに、移動量又は傾きに関する情報を記憶し、制御部は、移載部ごとの移動量又は傾きに関する情報に基づいて位置調整部による案内ローラの移動を制御してもよい。この構成では、移載部ごとに、最適な昇降部の傾きに調整することができる。
　本発明の一側面に係る天井搬送車は、昇降部に設けられ、傾きに関する情報を取得する取得部を更に備えてもよい。この構成では、簡易な構成で、昇降部の傾きを取得することができる。
　本発明の一側面に係る天井搬送車は、昇降部に設けられ、傾きに関する情報を取得する取得部を更に備え、取得部は、定期的に傾きに関する情報を取得し、記憶部は、定期的に取得される傾きに関する情報に基づいて決定される案内ローラの移動量又は定期的に取得される傾きに関する情報を記憶してもよい。この構成では、現状に近い昇降部の傾きに関する情報が取得されるので、昇降部を所望の傾きに適切に調整することができる。
　本発明の一側面に係る搬送車システムは、上記の天井搬送車と、天井搬送車とは別体として設けられ、傾きに関する情報を取得する取得部と、取得部によって取得された傾きに関する情報を天井搬送車に送信する通信部と、を備えてもよい。この構成では、天井搬送車に大きな改造を加えずとも、各天井搬送車の昇降部の傾きを人の手を介することなく適切に調整することが可能となる。
　本発明の一側面に係る搬送車システムは、天井搬送車を定期的に取得部が傾きに関する情報を取得可能な位置に移動させる制御装置を更に備え、通信部は、定期的に取得部によって取得される傾きに関する情報を天井搬送車に送信してもよい。この構成では、現状に近い昇降部の傾きに関する情報が取得されるので、昇降部を所望の傾きに適切に調整することができる。
　本発明の一側面によれば、人の手を介することなく、昇降部の傾きを適切に調整することが可能となる。
図１は、一実施形態の天井搬送車の側面図である。 図２は、保持ユニットの正面図である。 図３は、第一緩衝機構及び第二緩衝機構の斜視図である。 図４は、昇降駆動ユニットの正面図である。 図５は、昇降駆動ユニットの側面図である。 図６（Ａ）及び図６（Ｂ）は、昇降駆動ユニットの動作を示す正面図である。 図７（Ａ）及び図７（Ｂ）は、昇降駆動ユニットの動作を示す側面図である。 図８は、測定ユニット及び被測定ユニットの斜視図である。 図９は、測定ユニットが被測定ユニットを測定するときの各距離センサの測定対象を示す模式図である。 図１０（Ａ）～（Ｃ）は、ユニットコントローラが天井搬送車の状態を算出する方法を示す模式図である。 図１１は、搬送車システムの機能構成を示すブロック図である。 図１２（Ａ）はメンテナンス架台を示す側面図であり、図１２（Ｂ）は、図１２（Ａ）のＢ方向から見たメンテナンス架台を示す平面図である。 図１３（Ａ）及び図１３（Ｂ）は、メンテナンス架台を用いて天井搬送車の状態を取得する手順を説明する図である。 図１４（Ａ）及び図１４（Ｂ）は、メンテナンス架台を用いて天井搬送車の状態を取得する手順を説明する図である。 図１５は、メンテナンス架台を用いて天井搬送車の状態を取得する手順を説明する図である。 図１６は、天井搬送車の状態を取得する変形例に係る手段を説明する図である。
　以下、図面を参照して、本発明の一側面の好適な一実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
　一実施形態の搬送車システム１００は、複数の天井搬送車１（図１参照）と、天井搬送車１の走行路を形成する軌道２０（図１参照）と、エリアコントローラ（制御装置）１１０（図１１参照）と、測定ユニット（取得部）８０（図１１参照）と、被測定ユニット（取得部）９０（図８参照）と、を備えている。複数の天井搬送車１の少なくとも一台は、水平面に対する保持ユニット（昇降部）７の傾きを調整する直動機構（位置調整部）６７（図４参照）と、を備えている。
　図１に示されるように、一実施形態の天井搬送車１は、半導体デバイスが製造されるクリーンルームの天井付近に敷設された軌道２０に沿って走行する。一実施形態の天井搬送車１は、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ（Front　Opening　Unified　Pod）（物品）２００の搬送、及び、半導体ウェハに各種処理を施す処理装置に設けられたロードポート（移載部）３００等に対するＦＯＵＰ２００の移載を行う。
　図１及び図１１に示されるように、天井搬送車１は、フレームユニット２と、走行ユニット３と、ラテラルユニット４と、シータユニット５と、昇降駆動ユニット６と、保持ユニット７と、搬送車コントローラ（制御部）８と、記憶部８Ａと、通信部９と、を備えている。フレームユニット２は、センターフレーム１５と、フロントフレーム１６と、リアフレーム１７と、を有している。フロントフレーム１６は、センターフレーム１５における前側（天井搬送車１の走行方向における前側）の端部から下側に延在している。リアフレーム１７は、センターフレーム１５における後側（天井搬送車１の走行方向における後側）の端部から下側に延在している。
　走行ユニット３は、センターフレーム１５の上側に配置されている。走行ユニット３は、例えば、軌道２０に沿って敷設された高周波電流線から非接触で電力の供給を受けることで、軌道２０に沿って走行する。ラテラルユニット４は、センターフレーム１５の下側に配置されている。ラテラルユニット４は、シータユニット５、昇降駆動ユニット６及び保持ユニット７を横方向（天井搬送車１の走行方向における側方）に移動させる。シータユニット５は、ラテラルユニット４の下側に配置されている。シータユニット５は、昇降駆動ユニット６及び保持ユニット７を水平面内において回動させる。
　昇降駆動ユニット６は、シータユニット５の下側に配置されている。昇降駆動ユニット６は、保持ユニット７を昇降させる。保持ユニット７は、昇降駆動ユニット６の下側に配置されている。保持ユニット７は、ＦＯＵＰ２００のフランジ２０１を保持する。
　搬送車コントローラ８は、センターフレーム１５に配置されている。搬送車コントローラ８は、ＣＰＵ（Central　Processing　Unit）、ＲＯＭ（Read　only　memory）及びＲＡＭ(Random　access　memory)等によって構成された電子制御ユニットである。搬送車コントローラ８は、天井搬送車１の各部を制御する。
　以上のように構成された天井搬送車１は、一例として、次のように動作する。ロードポート３００から天井搬送車１にＦＯＵＰ２００を移載する場合には、ＦＯＵＰ２００を保持していない天井搬送車１がロードポート３００の上方の予め定められた位置に停止する。停止位置において下降させる保持ユニット７の位置が、ロードポート３００（ロードポート３００に載置されたＦＯＵＰ２００）に対する所定位置からずれる場合には、ラテラルユニット４及びシータユニット５を駆動することにより、保持ユニット７の水平位置及び水平角度を調整する。また、ベルト（吊持部材）Ｂが繰り出されることにより下降された保持ユニット７が水平面に対して傾く場合には、直動機構６７（図４参照）を作動させることによって保持ユニット７の傾きを調整する。
　搬送車コントローラ８は、記憶部８Ａに記憶された設定値に基づいて、保持ユニット７の水平位置及び水平角度、並びに保持ユニット７の傾きの調整を実施する。続いて、昇降駆動ユニット６が保持ユニット７を下降させ、保持ユニット７が、ロードポート３００に載置されているＦＯＵＰ２００のフランジ２０１を保持する。続いて、昇降駆動ユニット６が保持ユニット７を上昇端まで上昇させて、フロントフレーム１６とリアフレーム１７との間にＦＯＵＰ２００を配置する。続いて、ＦＯＵＰ２００を保持した天井搬送車１が走行を開始する。
　一方、天井搬送車１からロードポート３００にＦＯＵＰ２００を移載する場合には、ＦＯＵＰ２００を保持した天井搬送車１がロードポート３００の上方の予め定められた位置に停止する。停止位置において下降させる保持ユニット７（ＦＯＵＰ２００）の位置が、ロードポート３００に対する所定位置からずれる場合には、ラテラルユニット４及びシータユニット５を駆動することにより、保持ユニットの水平位置及び水平角度を調整する。また、ベルトＢが繰り出されることにより下降された保持ユニット７が水平面に対して傾く場合には、直動機構６７（図４参照）を作動させることによって保持ユニット７の傾きを調整する。
　搬送車コントローラ８は、記憶部８Ａに記憶された設定値に基づいて、保持ユニット７の水平位置及び水平角度、並びに保持ユニット７の傾きの調整を実施する。続いて、昇降駆動ユニット６が保持ユニット７を下降させ、ロードポート３００にＦＯＵＰ２００を載置し、保持ユニット７がＦＯＵＰ２００のフランジ２０１の保持を解放する。続いて、昇降駆動ユニット６が保持ユニット７を上昇端まで上昇させる。続いて、ＦＯＵＰ２００を保持していない天井搬送車１が走行を開始する。
　次に、保持ユニット７の構成について詳細に説明する。図１及び図２に示されるように、保持ユニット７は、ベース１１と、一対のグリッパ（把持部）１２，１２と、筐体１３を有している。一対のグリッパ１２，１２は、水平方向に沿って開閉可能となるようにベース１１によって支持されている。一対のグリッパ１２，１２は、駆動モータ（図示省略）及びリンク機構（図示省略）によって開閉させられる。本実施形態では、一対のグリッパ１２，１２が開状態のときに、グリッパ１２の保持面がフランジ２０１の下面の高さより下方となるように、保持ユニット７の高さ位置が調整される。そして、この状態で一対のグリッパ１２，１２が閉状態となることで、グリッパ１２の保持面がフランジ２０１の下面の下方へ進出し、この状態で昇降駆動ユニット６を上昇させることにより、一対のグリッパ１２，１２によってフランジ２０１が保持（把持）され、ＦＯＵＰ２００が支持される。保持ユニット７において、ベース１１は、筐体１３の底壁を構成しており、筐体１３に対する位置が固定されている。
　図３に示されるように、本実施形態の保持ユニット７には、第一緩衝機構５０及び第二緩衝機構４０を介してベルトＢの一端が接続される。ここで、第一緩衝機構５０及び第二緩衝機構４０について詳細に説明を行う。第一緩衝機構５０及び第二緩衝機構４０は、ベルトＢと保持ユニット７（図１参照）とを連結する機構であり、走行ユニット３が走行するとき又は保持ユニット７が昇降するときの振動がＦＯＵＰ２００に伝わることを抑制する機構である。
　第一緩衝機構５０は、鉛直方向下方からベース１１を鉛直方向に移動可能に支持する弾性部材５８を有し、鉛直方向から見た平面視において天井搬送車１の走行方向に直交する幅方向の一方に配置される。本実施形態では、第一緩衝機構５０は、左右方向において保持ユニット７の右側に設けられている。第一緩衝機構５０は、接続部材５１と、揺動部材５３と、第一本体部材５４と、第二本体部材５６と、一対の弾性部材５８，５８と、を有している。なお、本実施形態における左右方向とは、天井搬送車１を走行方向前方から見たときの左右方向を意味する。
　接続部材５１は、ベルトＢに取り付けられる部材である。揺動部材５３は、接続部材５１に連結される部材である。揺動部材５３は、ピン部材５２を介して接続部材５１に双方向に回転可能に連結される。第一本体部材５４は、略Ｌ字状の部材であり、その底部は、平坦となるように形成されている。第一本体部材５４は、その上端が揺動部材５３に接続されている。第一本体部材５４は、底部が第二本体部材５６にボルト等によって接続されている。第二本体部材５６は、弾性部材５８を下方から支持すると共に、第一本体部材５４の底部を支持する。
　一対の弾性部材５８，５８は、所定のバネ定数を有するコイルバネである。一対の弾性部材５８，５８は、第二本体部材５６に支持されると共にベース１１を下方から支持する。弾性部材５８の下端は、第二本体部材５６に固定されている。弾性部材５８の上端は、ベース１１には固定されておらず、接触することによってベース１１を支持する。すなわち、一対の弾性部材５８，５８のそれぞれは、第二本体部材５６とベース１１との両方に接触した状態で縮んだ状態にあるとき、第二本体部材５６とベース１１とを互いに遠ざける方向に付勢する。弾性部材５８は、互いに接触する部材間に伝わる振動を低減する役割を有する。なお、ベース１１に固定され、第二本体部材５６に離接可能に設けられてもよい。
　第二緩衝機構４０は、鉛直方向下方からベース１１を鉛直方向に移動可能に支持する弾性部材４８を有し、鉛直方向から見た平面視において天井搬送車１の走行方向に直交する幅方向の他方（幅方向において第一緩衝機構５０とは反対側）に配置される。本実施形態では、第二緩衝機構４０は、左右方向において保持ユニット７の左側に設けられている。第二緩衝機構４０は、接続部材４１，４１と、揺動部材４３と、第三本体部材４５と、第四本体部材４６と、規制部材４７と、一対の弾性部材４８，４８と、を有している。
　接続部材４１，４１は、ベルトＢ，Ｂが取り付けられる部材である。揺動部材４３は、一対の接続部材４１，４１と、第三本体部材４５とを連結する部材である。一対の接続部材４１，４１と揺動部材４３とは、双方向に回転可能に連結され、一対のピン部材４２，４２を介して連結される。揺動部材４３と第三本体部材４５とは、双方向に回転可能に連結され、ピン部材４４を介して連結されている。第四本体部材４６は、弾性部材４８，４８を下方から支持する。
　一対の弾性部材４８，４８は、所定のバネ定数を有するコイルバネである。一対の弾性部材４８，４８は、第四本体部材４６に支持されていると共にベース１１を下方から支持する。弾性部材４８の下端は、第四本体部材４６に固定されている。規制部材４７は、第四本体部材４６に対してベース１１が所定距離以上離れることを規制する。より詳細には、規制部材４７は、第四本体部材４６に対して所定距離以上離れようとするベース１１の上面を係止する。弾性部材４８の上端は、ベース１１には固定されておらず、接触することによってベース１１を支持する。すなわち、一対の弾性部材４８，４８のそれぞれは、第四本体部材４６とベース１１との両方に接触した状態にあるとき、第四本体部材４６及びベース１１を互いに遠ざける方向に付勢する。弾性部材４８は、互いに接触する部材間に伝わる振動を低減する役割を有する。なお、弾性部材４８は、ベース１１に固定され、第四本体部材４６に離接可能に設けられてもよい。
　なお、図示はしないが、保持ユニット７は、第一緩衝機構５０と第二緩衝機構４０とを連結すると共に、鉛直方向における第一緩衝機構５０とベース１１との間の距離と、鉛直方向における第二緩衝機構４０とベース１１との間の距離とを互いに近づけるように動作するリンク機構を備えていてもよい。
　次に、昇降駆動ユニット６の構成について詳細に説明する。図４及び図５に示されるように、昇降駆動ユニット６は、ベース（本体部）６１と、支持部６２と、四つ（複数）の巻取ドラム６３と、駆動モータ（巻取駆動部）６３Ａと、第一アイドラローラ（案内ローラ）６５Ａと、第二アイドラローラ（案内ローラ）６５Ｂと、第三アイドラローラ（案内ローラ）６４と、直動機構（位置調整部）６７と、揺動部材６８と、四つ（複数）のベルトＢと、を有している。
　ベース６１は、支持部６２を介して巻取ドラム６３、第一アイドラローラ６５Ａ及び第三アイドラローラ６４を支持している。支持部６２は、四つの巻取ドラム６３を回転可能に支持する。四つの巻取ドラム６３は、前後方向に配列されており、駆動モータ６３Ａによる駆動によって四つのベルトＢのそれぞれを巻き取り又は繰り出しする。支持部６２は、第一アイドラローラ６５Ａ及び揺動部材６８の一端部６８Ａを揺動可能に支持している。
　各巻取ドラム６３は、回転可能となるように支持部６２を介してベース６１に取り付けられている。駆動モータ６３Ａは、各巻取ドラム６３を回転させるための駆動源であり、ベース６１に固定されている。四つの巻取ドラム６３は、図示しない共通の回動軸に取り付けられることにより、あるいは図示しない連動機構で連結されることにより、一の駆動モータ６３Ａによって駆動される。
　各ベルトＢの一端は保持ユニット７に接続されており、各ベルトＢの他端は各巻取ドラム６３に接続されている。本実施形態では、四本のベルトＢは、保持ユニット７の三点を吊り下げるように設けられている。より詳細には、保持ユニット７は、四本のベルトＢによって吊り下げられており、四本のうち二本のベルトＢは、保持ユニット７に対して揺動可能に設けられた一つの揺動部材４３（図３参照）に接続部材４１を介して接続されており、四本のうち残りの二本のベルトのそれぞれは、保持ユニット７に対して揺動可能に設けられた二つの揺動部材５３のそれぞれに接続部材５１を介して接続されている。
　第一アイドラローラ６５Ａ及び第二アイドラローラ６５Ｂは、第一緩衝機構５０に接続されるベルトＢの移動を案内する。第一緩衝機構５０に接続されるベルトＢは二本あり、第一アイドラローラ６５Ａ及び第二アイドラローラ６５Ｂも、それぞれのベルトＢに対応して設けられる。第一アイドラローラ６５Ａは支持部６２に設けられており、ベース６１に対して相対的に移動しない。第二アイドラローラ６５Ｂは、後述する揺動部材６８に設けられており、ベース６１に対して相対的に移動する。なお、第二アイドラローラ６５Ｂがベース６１に対して相対的に移動する構成は後段にて説明する。第三アイドラローラ６４は、第二緩衝機構４０に接続されるベルトＢの移動を案内する。第二緩衝機構４０に接続されるベルトＢは二本あり、第三アイドラローラ６４も、それぞれのベルトＢに対応して設けられる。
　直動機構６７は、主に、駆動モータ６７Ａと、ねじ軸６７Ｂと、ボールナット６７Ｃと、を有しており、駆動モータ６７Ａの回転運動を直線運動に変換する公知の機構である。直動機構６７は、ブラケット６６を介してベース６１に固定されている。駆動モータ６７Ａの駆動により、ねじ軸６７Ｂに沿って移動するボールナット６７Ｃには、揺動部材６８の他端部６８Ｂが接続されている。本実施形態では、ねじ軸６７Ｂに沿ってボールナット６７Ｃが移動することにより揺動部材６８が揺動し、当該揺動部材６８の揺動に伴い第二アイドラローラ６５Ｂがベース６１に対して相対的に移動する。このように、直動機構６７は、ベルトＢの保持ユニット７（第一緩衝機構５０）への接続部分（ベルトＢの一端）が昇降方向に移動するように、第二アイドラローラ６５Ｂの位置を移動させる。なお、揺動部材６８を直動機構６７によって片持ち支持される上下動自在な部材に変更し、この部材を上下動させることにより第二アイドラローラ６５Ｂの位置を直線的に移動させるようにしてもよい。
　例えば、図６（Ａ）に示されるように、両方の直動機構６７を作動させて、第二アイドラローラ６５Ｂを上方に（ベース６１に近づけるように）移動させれば、保持ユニット７の右側を上方に傾けることができる。また、例えば、図６（Ｂ）に示されるように、両方の直動機構６７を作動させて、第二アイドラローラ６５Ｂを下方に（ベース６１から遠ざけるように）移動させれば、保持ユニット７の右側を下方に傾けることができる。
　また、例えば図７（Ａ）に示されるように、二つの直動機構６７のうち一方（前側）の直動機構６７を作動させて、第二アイドラローラ６５Ｂを上方に（ベース６１に近づけるように）移動させれば、保持ユニット７の前側を上方に傾けることができる。保持ユニット７の前側を上方に傾けたい場合には、二つの直動機構６７のうち他方（後側）の直動機構６７を作動させて、第二アイドラローラ６５Ｂを下方に（ベース６１から遠ざけるように）移動させてもよい。
　また、例えば図７（Ｂ）に示されるように、二つの直動機構６７のうち他方（後側）の直動機構６７を作動させて、第二アイドラローラ６５Ｂを上方に（ベース６１に近づけるように）移動させれば、保持ユニット７の後側を上方に傾けることができる。保持ユニット７の後側を上方に傾けたい場合には、二つの直動機構６７のうち一方（前側）の直動機構６７を作動させて、第二アイドラローラ６５Ｂを下方に（ベース６１から遠ざけるように）移動させてもよい。
　上述したように、本実施形態の天井搬送車１は、二つの直動機構６７の両方又は一方を作動させることによって保持ユニット７の水平面に対する傾きを調整することができる。更に、本実施形態の天井搬送車１では、天井搬送車１の状態（昇降部における傾きに関する情報）に基づいて、直動機構６７の動作が制御される。天井搬送車１の状態は、例えば、センターフレーム１５に設けられた記憶部８Ａに記憶されている。また、天井搬送車１の状態は、ティーチング時に取得される天井搬送車１の状態と、測定ユニット８０及び被測定ユニット９０によって取得される天井搬送車１の状態と、が含まれる。
　ここで、天井搬送車１のそれぞれは、搬送車システム１００を稼働させる前にティーチングが実施される。ティーチングとは、天井搬送車１がロードポート３００においてＦＯＵＰ２００の移載を行うために、天井搬送車１が軌道２０の予め定められた所定位置に停止すると共に保持ユニット７が所定距離下降した状態で、保持ユニット７の位置（更に詳細には、グリッパ１２の位置）が目標位置からどれだけずれるかを知得するために天井搬送車１の状態を取得し、この天井搬送車１の状態に基づいて、搬送車システム１００の稼働時に目標位置からのずれが許容範囲に収まるように、天井搬送車１に実施すべき動作を記憶させることをいう。天井搬送車１の状態の例は、ロードポート３００の基準位置を原点とした場合のグリッパ１２の実位置（Ｘ座標，Ｙ座標，Ｚ座標）、角度θ、角度αｘ及び角度αｙ等の情報である。
　測定ユニット８０及び被測定ユニット９０について詳細に説明する。図８及び図９に示されるように、測定ユニット８０及び被測定ユニット９０は、天井搬送車１の状態を、人の手を介することなく取得するためのユニットである。図８は、測定ユニット８０及び被測定ユニット９０の斜視図であり、図９は、測定ユニット８０が被測定ユニット９０を測定するときの各距離センサ８３Ｘ１，８３Ｙ１，８３Ｙ２，８３Ｚ１，８３Ｚ２，８３Ｚ３の測定対象を示す模式図である。図８及び図９に示される実線矢印及び破線矢印は、各距離センサ８３Ｘ１，８３Ｙ１，８３Ｙ２，８３Ｚ１，８３Ｚ２，８３Ｚ３におけるレーザの出力方向を示している。
　本実施形態の搬送車システム１００では、天井搬送車１の状態を取得する際に、天井搬送車１に被測定ユニット９０が搭載され、ロードポート３００に測定ユニット８０が搭載される。すなわち、被測定ユニット９０は、一対のグリッパ１２，１２によって把持されて用いられ、測定ユニット８０は、ロードポート３００に載置されて用いられる。天井搬送車１は、軌道２０の所定位置に停止して、保持ユニット７が所定距離下降させられ、被測定ユニット９０がロードポート３００の上方において測定ユニット８０から離間した状態で、天井搬送車１の状態が取得される。
　測定ユニット８０は、本体部８１と、ユニットコントローラ８２（図１１参照）と、複数の距離センサ８３Ｘ１，８３Ｙ１，８３Ｙ２，８３Ｚ１，８３Ｚ２，８３Ｚ３と、取付部８４と、支持部８５と、ガイド部８６と、を備えている。本体部８１は、ユニットコントローラ８２、取付部８４及びガイド部８６を支持する平板状の部材である。ユニットコントローラ８２は、本体部８１に支持された状態で設けられており、測定ユニット８０における電気的な各種処理を行う。
　各距離センサ８３Ｘ１，８３Ｙ１，８３Ｙ２，８３Ｚ１，８３Ｚ２，８３Ｚ３は、例えばレーザ式の距離センサであり、取付部８４に取り付けられている。距離センサ８３Ｘ１は、Ｘ軸方向に沿って本体部８１の内方に向かってレーザ光を出射することで、対象物との距離を測定する。距離センサ８３Ｙ１，８３Ｙ２は、Ｙ軸方向に沿って本体部８１の内方に向かってレーザ光を出射することで、対象物との距離を測定する。距離センサ８３Ｚ１，８３Ｚ２，８３Ｚ３は、Ｚ軸方向に沿って上方に向かってレーザ光を出射することで、対象物との距離を測定する。
　取付部８４は、各距離センサ８３Ｘ１，８３Ｙ１，８３Ｙ２，８３Ｚ１，８３Ｚ２，８３Ｚ３が取り付けられる部分であり、本体部８１に立設されている。支持部８５は、被測定ユニット９０を支持する部分であり、本体部８１に立設されている。ガイド部８６は、被測定ユニット９０を支持部８５に支持させるとき、被測定ユニット９０が所定位置に位置決めされるよう案内する部分である。ガイド部８６は、本体部８１に立設されている。
　被測定ユニット９０は、フランジ９１と、ベースプレート９２と、複数のターゲットプレート９３，９４，９５と、脚部９７と、を備えている。フランジ９１は、グリッパ１２によって把持可能に設けられる部分である。ベースプレート９２は、フランジ９１に接続されており、複数のターゲットプレート９３，９４，９５が立設される。ベースプレート９２及び複数のターゲットプレート９３，９４，９５は、各距離センサ８３Ｘ１，８３Ｙ１，８３Ｙ２，８３Ｚ１，８３Ｚ２，８３Ｚ３による測定対象面を形成する部分である。
　各ターゲットプレート９３，９４，９５は、ベースプレート９２の所定位置に固定されている。ターゲットプレート９３において距離センサ８３Ｘ１と対向する表面９３ａは、Ｘ軸方向に垂直な面であり、ロードポート３００の基準位置（ロードポート３００の載置面の中心位置）と所定の位置関係を有している。ターゲットプレート９４において距離センサ８３Ｙ１と対向する表面９４ａ、及びターゲットプレート９５において距離センサ８３Ｙ２と対向する表面９５ａは、Ｙ軸方向に垂直な面であり、ロードポート３００の基準位置と所定の位置関係を有している。脚部９７は、ターゲットプレート９３，９４，９５の下部にそれぞれ設けられており、測定ユニット８０によって被測定ユニット９０が支持されるときに、測定ユニット８０の本体部８１に接触する。
　以上により、測定ユニット８０のユニットコントローラ８２は、距離センサ８３Ｘ１による測定距離Ｘ１、距離センサ８３Ｙ１による測定距離Ｙ１、距離センサ８３Ｙ２による測定距離Ｙ２、距離センサ８３Ｚ１による測定距離Ｚ１、距離センサ８３Ｚ２による測定距離Ｚ２及び距離センサ８３Ｚ３による測定距離Ｚ３を取得することができる。そして、ユニットコントローラ８２は、取得した複数の測定距離Ｘ１，Ｙ１，Ｙ２，Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３に基づいて、ロードポート３００の基準位置を原点とした場合のグリッパ１２の実位置（Ｘ座標，Ｙ座標，Ｚ座標）、並びに、角度θ、角度αｘ及び角度αｙを算出することができる。
　ここで、角度θは、図１０（Ａ）に示されるように、被測定ユニット９０に対して測定ユニット８０がＺ軸回りに回転している回転角度（すなわち、ロードポート３００に対してグリッパ１２がＺ軸回りに回転している回転角度）である。距離センサ８３Ｙ１と距離センサ８３Ｙ２との距離をＬ１とすると、角度θは、θ＝tan－１［（Ｙ１－Ｙ２）／Ｌ１］と表される。なお、図１０（Ａ）では、距離センサ８３Ｘ１，８３Ｚ１，８３Ｚ２，８３Ｚ３等の図示が省略されている。
　また、角度αｘは、図１０（Ｂ）に示されるように、被測定ユニット９０のベースプレート９２の表面９２ａに対して測定ユニット８０がＹ軸回りに傾いている傾斜角度（すなわち、ロードポート３００の基準面に対してグリッパ１２がＹ軸回りに傾いている傾斜角度）である。距離センサ８３Ｚ１と距離センサ８３Ｚ３との距離をＬ２とすると、角度αｘは、αｘ＝tan－１［（Ｚ３－Ｚ１）／Ｌ２］と表される。なお、図１０（Ｂ）では、距離センサ８３Ｘ１，８３Ｙ１，８３Ｙ２及びターゲットプレート９３，９４，９５等の図示が省略されている。
　また、角度αｙは、図１０（Ｃ）に示されるように、被測定ユニット９０のベースプレート９２の表面９２ａに対して測定ユニット８０がＸ軸回りに傾いている傾斜角度（すなわち、ロードポート３００の基準面に対してグリッパ１２がＸ軸回りに傾いている傾斜角度）である。距離センサ８３Ｚ１による測定距離Ｚ１と距離センサ８３Ｚ３による測定距離Ｚ３との平均値（すなわち、（Ｚ１＋Ｚ３）／２）をＺ１３とし、距離センサ８３Ｚ１と距離センサ８３Ｚ３とを結ぶ直線と距離センサ８３Ｚ２との距離をＬ３とすると、角度αｙは、αｙ＝tan－１［（Ｚ２－Ｚ１３）／Ｌ３］と表される。なお、図１０（Ｃ）では、距離センサ８３Ｘ１，８３Ｙ１，８３Ｙ２及びターゲットプレート９３，９４，９５等の図示が省略されている。
　本実施形態の搬送車システム１００では、所定のロードポート３００において、ロードポート３００の基準位置を原点とした場合のグリッパ１２の実位置（Ｘ座標，Ｙ座標，Ｚ座標）、並びに、角度θ、角度αｘ及び角度αｙ（以下、単に「天井搬送車１の状態」とも称する。）を取得する代わりに、図１２（Ａ）及び図１２（Ｂ）に示されるメンテナンス架台１５０に設けられた第一載置台１５１、第二載置台１５２及び一対の第三載置台１５３，１５３に載置される測定ユニット８０と、少なくとも一つの被測定ユニット９０と、を用いて天井搬送車１の状態を取得する。
　次に、メンテナンス架台１５０について詳細に説明する。図１２（Ａ）に示されるように、メンテナンス架台１５０は、軌道２０沿いの所定位置に設けられている。第一載置台１５１、第二載置台１５２、及び一対の第三載置台１５３，１５３は、フレーム１５４に支持されている。第一載置台１５１は、軌道２０の下方であって、第二載置台１５２に対して相対的に低い位置（言い換えれば、ＦＯＵＰ２００を載置するためのベルトＢの繰り出し量が相対的に大きい位置）に設けられている。
　第二載置台１５２は、軌道２０の下方であって、第一載置台１５１に対して相対的に高い位置（言い換えれば、ＦＯＵＰ２００を載置するためのベルトＢの繰り出し量が相対的に小さい位置）に設けられている。第二載置台１５２は、前後方向にスライド可能に設けられており、第一載置台１５１の上方の領域に位置する進出位置と、第一載置台１５１の上方の領域に位置しない退避位置との間で移動可能に設けられている。退避位置は、鉛直方向上方から見た平面視において、第一載置台１５１とずれた位置（本実施形態では後方にずれた位置）に設けられている。第二載置台１５２を利用して天井搬送車１の状態を取得する場合には、第二載置台１５２を進出位置に移動させる。
　一対の第三載置台１５３，１５３は、上方から見た平面視において軌道２０を挟むように配置されている。一対の第三載置台１５３，１５３は、ラテラルユニット４を作動させないとＦＯＵＰ２００を移載できない位置に設けられている。一対の第三載置台１５３，１５３は、第二載置台１５２とは異なり移動不可に固定されている。
　上述したように第一載置台１５１、第二載置台１５２及び一対の第三載置台１５３，１５３を有するメンテナンス架台１５０では、第一載置台１５１、第二載置台１５２及び一対の第三載置台１５３，１５３ごとに天井搬送車１の状態を取得することができる。すなわち、メンテナンス架台１５０では、第一載置台１５１を利用して、ベルトＢの繰り出し量が相対的に大きいときの天井搬送車１の状態を取得することができ、第二載置台１５２を利用して、ベルトＢの繰り出し量が相対的に小さいときの天井搬送車１の状態を取得することができ、一対の第三載置台１５３，１５３を利用して、ラテラルユニット４を作動させてベルトＢを繰り出したときの天井搬送車１の状態を取得することができる。
　次に、メンテナンス架台１５０を利用して、天井搬送車１の状態を取得するときの流れを説明する。図１３（Ａ）に示されるように、エリアコントローラ１１０は、所定のタイミングで天井搬送車１をメンテナンス架台１５０に移動させる。エリアコントローラ１１０（図１１参照）は、予め定められたスケジュールに沿って（定期的に）天井搬送車１をメンテナンス架台１５０に移動させる。メンテナンス架台１５０の第一載置台１５１には、被測定ユニット９０が測定ユニット８０に支持された状態で載置されている（図８参照）。
　天井搬送車１は、図１３（Ｂ）に示されるように、第一載置台１５１の上方に停止した状態でベルトＢを繰り出し、保持ユニット７を降下させる。天井搬送車１は、所定量のベルトＢを繰り出した後、グリッパ１２を作動させて、被測定ユニット９０のフランジ９１を把持する。その後、所定量のベルトＢを巻き取り、測定ユニット８０に支持された状態の被測定ユニット９０を測定ユニット８０から離反させる。第一載置台１５１に載置された測定ユニット８０は、この状態で被測定ユニット９０のベースプレート９２及びターゲットプレート９３，９４，９５までの距離Ｘ１，Ｙ１，Ｙ２，Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３を測定する。
　第一載置台１５１に載置された測定ユニット８０による測定の後、天井搬送車１は、被測定ユニット９０を把持した状態でベルトＢを巻き取り、第二載置台１５２よりも高い高さ位置まで保持ユニット７を移動させる。次に、図１４（Ａ）に示されるように、第二載置台１５２をスライドさせ、第一載置台１５１の上方の進出位置にまで移動させる。天井搬送車１は、ベルトＢを繰り出し、被測定ユニット９０を保持した保持ユニット７を降下させる。天井搬送車１は、所定量のベルトＢを繰り出し、第二載置台１５２に載置された測定ユニット８０から所定量離反する状態となるように被測定ユニット９０を位置させる。第二載置台１５２に載置された測定ユニット８０は、この状態で被測定ユニット９０のベースプレート９２及びターゲットプレート９３，９４，９５までの距離Ｘ１，Ｙ１，Ｙ２，Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３を測定する。
　第二載置台１５２に載置された測定ユニット８０による測定の後、天井搬送車１は、被測定ユニット９０を把持した状態でベルトＢを巻き取り、次は、ラテラルユニット４を作動させ、保持ユニット７を一対の第三載置台１５３の一方の上方に移動させる。天井搬送車１は、ベルトＢを繰り出し、被測定ユニット９０を保持した保持ユニット７を降下させる。天井搬送車１は、所定量のベルトＢを繰り出し、一対の第三載置台１５３の一方に載置された測定ユニット８０から所定量離反する状態となるように被測定ユニット９０を位置させる。一対の第三載置台１５３の一方に載置された測定ユニット８０は、この状態で被測定ユニット９０のベースプレート９２及びターゲットプレート９３，９４，９５までの距離Ｘ１，Ｙ１，Ｙ２，Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３を測定する。
　一対の第三載置台１５３の一方に載置された測定ユニット８０による測定の後、天井搬送車１は、被測定ユニット９０を把持した状態でベルトＢを巻き取り、ラテラルユニット４を作動させ、今度は、保持ユニット７を一対の第三載置台１５３の他方の上方に移動させる。天井搬送車１は、ベルトＢを繰り出し、被測定ユニット９０を保持した保持ユニット７を降下させる。天井搬送車１は、所定量のベルトＢを繰り出し、一対の第三載置台１５３の他方に載置された測定ユニット８０から所定量離反する状態となるように被測定ユニット９０を位置させる。一対の第三載置台１５３の他方に載置された測定ユニット８０は、この状態で被測定ユニット９０のベースプレート９２及びターゲットプレート９３，９４，９５までの距離Ｘ１，Ｙ１，Ｙ２，Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３を測定する。
　一対の第三載置台１５３の他方に載置された測定ユニット８０による測定の後、天井搬送車１は、被測定ユニット９０を把持した状態でベルトＢを巻き取り、ラテラルユニット４を作動させ、今度は、保持ユニット７を第一載置台１５１の上方に移動させる。次に、図１４（Ｂ）に示されるように、第二載置台１５２は、第一載置台１５１の上方から退避した退避位置に移動する。なお、第二載置台１５２における退避位置への移動は、第二載置台１５２に載置された測定ユニット８０による測定の後、適時のタイミングで実行されてよい。
　天井搬送車１は、第一載置台１５１の上方に停止した状態でベルトＢを繰り出し、被測定ユニット９０を保持した保持ユニット７を降下させる。図１５に示されるように、天井搬送車１は、被測定ユニット９０が、第一載置台１５１に載置された測定ユニット８０に支持される状態となるまでベルトＢを繰り出した後、グリッパ１２を作動させて、被測定ユニット９０におけるフランジ９１の把持を開放する。被測定ユニット９０は、第一載置台１５１に載置された測定ユニット８０に支持された状態となる。その後、天井搬送車１は、保持ユニット７が走行可能状態となるまでベルトＢを巻き取る。エリアコントローラ１１０は、天井搬送車１をメンテナンス架台１５０から退出させる。
　以上の流れによって、ベースプレート９２及びターゲットプレート９３，９４，９５までの距離Ｘ１，Ｙ１，Ｙ２，Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３を測定した第一載置台１５１，第二載置台１５２及び一対の第三載置台１５３，１５３のそれぞれに載置された被測定ユニット９０のそれぞれは、測定した距離Ｘ１，Ｙ１，Ｙ２，Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３に基づいて、各載置台の基準位置を原点とした場合のグリッパ１２の実位置（Ｘ座標，Ｙ座標，Ｚ座標）、角度θ、角度αｘ及び角度αｙ等の情報が算出される。これらの情報は、メンテナンス架台１５０に設けられた通信部８８を介して、天井搬送車１の通信部９に送信される。メンテナンス架台１５０の通信部８８と天井搬送車１の通信部９とは、光通信、無線通信等の適宜手段によって通信することができる。
　搬送車コントローラ８は、通信部９を介して受信した、各載置台の基準位置を原点とした場合のグリッパ１２の実位置（Ｘ座標，Ｙ座標，Ｚ座標）、角度θ、角度αｘ及び角度αｙ等の情報を記憶部８Ａ（図１１参照）に記憶させる。すなわち、搬送車コントローラ８は、測定ユニット８０及び被測定ユニット９０によって取得した最新の天井搬送車１の状態を記憶部８Ａに記憶（更新）させる。搬送車コントローラ８は、この記憶部８Ａに記憶された天井搬送車１の状態に基づいて、直動機構６７の動作を制御する。
　上記実施形態の天井搬送車１における作用効果について説明する。上記実施形態の天井搬送車１では、直動機構６７を作動させることによって保持ユニット７における水平面に対する傾きを調整することができる。そして、直動機構６７の作動量（案内ローラの移動量）は、天井搬送車１の状態である保持ユニット７における傾きに関する情報（角度αｘ及び角度αｙ等の情報）に基づいて自動的に調整されるので、保持ユニット７を所望の傾きに調整することができる。すなわち、本実施形態の天井搬送車１は、人の手を介することなく、保持ユニット７の傾きを適切に調整することが可能となる。
　上記実施形態の搬送車システム１００では、天井搬送車１の状態を取得する取得部としての測定ユニット８０及び被測定ユニット９０が、天井搬送車１とは別体として設けられている。この構成では、天井搬送車１に大きな改造を加えずとも、各天井搬送車１の保持ユニット７の傾きを人の手を介することなく適切に調整することが可能となる。
　上記実施形態の搬送車システム１００では、各天井搬送車１が定期的にメンテナンス架台１５０に移動させられ、天井搬送車１の状態が定期的に取得される。これにより、天井搬送車１の状態が経年的に変化する場合であっても、現状に近い天井搬送車１の状態が取得されるので、保持ユニット７を所望の傾きに適切に調整することができる。
　以上、一実施形態について説明したが、本発明の一側面は、上記実施形態に限られない。発明の一側面の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
（変形例１）
　上記実施形態の天井搬送車１では、メンテナンス架台１５０に天井搬送車１を入場させることにより、天井搬送車１の状態を取得する例を挙げて説明したが、搬送車システム１００を構築するロードポート３００ごとに、天井搬送車１の状態を取得してもよい。この構成では、保持ユニット７を、実際にＦＯＵＰ２００が載置されるロードポート３００ごとに最適な傾きに調整することができる。
（変形例２）
　上記実施形態及び上記変形例の天井搬送車１では、保持ユニット７が被測定ユニット９０を把持することにより、測定ユニット８０及び被測定ユニット９０から天井搬送車１の状態を取得する例を挙げて説明したが、各載置台に載置された被測定ユニット９０に対し、測定ユニット８０を把持した保持ユニット７を離反・接近させることにより、天井搬送車１の状態を取得してもよい。この構成では、メンテナンス架台１５０の各載置台には、測定ユニット８０に比べて安価な被測定ユニット９０が配置されるので、メンテナンス架台１５０を安価に構築することができる。
（変形例３）
　上記実施形態及び上記変形例の天井搬送車１では、天井搬送車１の状態を取得する方法として、測定ユニット８０及び被測定ユニット９０を例に挙げて説明したが、これに限定されない。例えば、図１６に示されるように、第一カメラ１６０Ａ及び第二カメラ１６０Ｂが設けられたメンテナンス架台１５０Ａを用いて天井搬送車１の状態を取得してもよい。メンテナンス架台１５０Ａは、例えば、第二カメラ１６０Ｂに対して相対的に低い位置に設けられた第一カメラ１６０Ａと、当該第一カメラ１６０Ａよりも高い位置に設けられた第二カメラ１６０Ｂと、コントローラ１５５と、を有している。第一カメラ１６０Ａは、上記の第一載置台１５１に設けられた測定ユニット８０と同様に、ベルトＢの繰り出し量が相対的に大きいときの天井搬送車１の状態を取得することができる。第二カメラ１６０Ｂは、上記の第二載置台１５２に設けられた測定ユニット８０と同様に、ベルトＢの繰り出し量が相対的に小さいときの天井搬送車１の状態を取得することができる。
　コントローラ１５５は、第一カメラ１６０Ａ及び第二カメラ１６０Ｂが撮像する画像に基づいて、天井搬送車１の状態（例えば、保持ユニット７の傾き）を解析する。天井搬送車１の状態の解析は、例えばパターンマッチング等、公知の解析手法を用いることができる。
（変形例４）
　上記実施形態及び上記変形例の天井搬送車１では、記憶部８Ａに記憶させる天井搬送車１の状態として、所定の基準位置を原点とした場合のグリッパ１２の実位置（Ｘ座標，Ｙ座標，Ｚ座標）、角度θ、角度αｘ及び角度αｙ等の情報を例に挙げて説明したが、このような実位置（Ｘ座標，Ｙ座標，Ｚ座標）、角度θ、角度αｘ及び角度αｙ等の情報に基づいて決定される直動機構６７の作動量（案内ローラの移動量）等の設定値であってもよい。
（変形例５）
　上記実施形態及び上記変形例の一部では、メンテナンス架台１５０の各載置台に、測定ユニット８０の測定対象となる被測定ユニット９０が配置されている例を挙げて説明したが、例えば、ロードポート３００であれば、被測定ユニット９０を載置する代わりにＦＯＵＰ２００が載置される部分に形成された位置決めピン等を測定ユニット８０の測定対象として利用してもよいし、メンテナンス架台１５０の各載置台に測定対象となるターゲットを直接形成してもよい。
（変形例６）
　上記実施形態及び上記変形例では、測定ユニット８０及び被測定ユニット９０によって天井搬送車１の状態を取得する例を挙げて説明したが、これに限定されない。例えば、測定ユニット８０及び被測定ユニット９０に代えて、保持ユニット７の水平方向に対する傾きを取得する傾き検出部を、例えば保持ユニット７に設けてもよい。傾き検出部の例には、三軸センサ及び加速度センサ等が含まれる。
（その他の変形例）
　上記実施形態の天井搬送車１において、ベルトＢの一端を昇降方向に移動させるために少なくとも一つの第二アイドラローラ６５Ｂの位置を移動させる機能を有する直動機構６７に代えて、同様の機能を有するカム機構（位置調整部）を設けてもよい。
　上記実施形態の天井搬送車１では、少なくとも一つの第二アイドラローラ６５Ｂの位置を移動させることにより、ベルトＢの一端を昇降方向に移動させる例を挙げて説明したが、第二アイドラローラ６５Ｂに代えて第一アイドラローラ６５Ａの位置を移動させることにより、ベルトＢの一端を昇降方向に移動させる構成としてもよい。
　上記実施形態及び変形例では、直動機構６７としてボールねじを採用した例を挙げて説明したが、シリンダ、リニアガイド等を採用してもよい。
　上記実施形態及び変形例の保持ユニット７は、第一緩衝機構５０及び第二緩衝機構４０を介してベルトＢの一端と接続されている例を挙げて説明したが、保持ユニット７に直接接続されてもよい。また、四本のベルトＢが、そのまま直接保持ユニット７に接続されてもよい。また、三本のベルトＢによって保持ユニット７に接続されてもよい。
　上記実施形態及び変形例では、天井搬送車１と測定ユニット８０との間で、通信部を介して直接やりとりする例を挙げて説明したが、エリアコントローラ１１０を介して各種情報をやりとりしてもよい。
　上記実施形態及び上記変形例の測定ユニット８０の構成に加えて、バッテリ及び通信部を備え、これらが一体的に構成された測定ユニットを用いてもよい。
　１…天井搬送車、７…保持ユニット、８…搬送車コントローラ（制御部）、６１…ベース（本体部）、６４…第三アイドラローラ（案内ローラ）、６５Ａ…第一アイドラローラ（案内ローラ）、６５Ｂ…第二アイドラローラ（案内ローラ）、６７…直動機構（位置調整部）、８０…測定ユニット（取得部）、８２…ユニットコントローラ、８３Ｘ１，８３Ｙ１，８３Ｙ２，８３Ｚ１，８３Ｚ２，８３Ｚ３…距離センサ、８８…通信部、９０…被測定ユニット（取得部）、９３，９４，９５…ターゲットプレート、１００…搬送車システム、１１０…エリアコントローラ（制御装置）。

Claims (7)

  1. 　物品を把持する把持部を有する昇降部を複数の吊持部材によって昇降させるようにした天井搬送車であって、
    　前記複数の吊持部材の巻き取り及び繰り出しを行うことにより、前記昇降部を昇降させる巻取ドラムと、
    　前記巻取ドラムから繰り出される前記吊持部材が巻き掛けられる少なくとも一つの案内ローラと、
    　前記巻取ドラム及び前記案内ローラを支持する本体部と、
    　前記本体部に対する前記案内ローラの相対位置を移動させることにより、前記吊持部材の前記昇降部への接続部分を昇降方向に移動させる、少なくとも一つの位置調整部と、
    　前記昇降部における傾きに関する情報に基づいて前記位置調整部による前記案内ローラの移動を制御する制御部と、を備える、天井搬送車。
  2. 　前記傾きに関する情報に基づいて決定される前記案内ローラの移動量又は前記傾きに関する情報を記憶する記憶部を更に備え、
    　前記制御部は、前記移動量又は前記傾きに関する情報に基づいて前記位置調整部による前記案内ローラの移動を制御する、請求項１記載の天井搬送車。
  3. 　前記記憶部は、前記天井搬送車との間で前記物品の受け渡しが行われる移載部ごとに、前記移動量又は前記傾きに関する情報を記憶し、
    　前記制御部は、前記移載部ごとの前記移動量又は前記傾きに関する情報に基づいて前記位置調整部による前記案内ローラの移動を制御する、請求項２記載の天井搬送車。
  4. 　前記昇降部に設けられ、前記傾きに関する情報を取得する取得部を更に備える、請求項１～３の何れか一項記載の天井搬送車。
  5. 　前記昇降部に設けられ、前記傾きに関する情報を取得する取得部を更に備え、
    　前記取得部は、定期的に前記傾きに関する情報を取得し、
    　前記記憶部は、定期的に取得される前記傾きに関する情報に基づいて決定される前記案内ローラの移動量又は定期的に取得される前記傾きに関する情報を記憶する、請求項２又は３記載の天井搬送車。
  6. 　請求項１～３の何れか一項記載の天井搬送車と、
    　前記天井搬送車とは別体として設けられ、前記傾きに関する情報を取得する取得部と、
    　前記取得部によって取得された前記傾きに関する情報を前記天井搬送車に送信する通信部と、を備える、搬送車システム。
  7. 　前記天井搬送車を定期的に前記取得部が前記傾きに関する情報を取得可能な位置に移動させる制御装置を更に備え、
    　前記通信部は、定期的に前記取得部によって取得される前記傾きに関する情報を前記天井搬送車に送信する、請求項６記載の搬送車システム。
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