JP7099622B2 - 走行車システム - Google Patents

Description

本発明の一側面は、走行車システムに関する。

軌道に沿って走行可能な本体部と、物品を把持する把持部を有し、複数の吊持部材が巻き取り及び繰り出しされることにより前記本体部に対して昇降する昇降部と、を備えた天井走行車が知られている（例えば、特許文献１）。特許文献１に記載の走行車は、左右の一対の側壁と、当該一対の側壁の上端間を接続する基部と、を備える軌道であって、走行部が収容される空間が形成されるように断面視Ｃ字状に形成された軌道に沿って走行する。一対の側壁のそれぞれには、走行車に電力を供給する給電部が延在方向に沿って設けられている。

特開２００７－５０７９３号公報

このような走行車では、走行部をクリーニングする等のメンテナンスを定期的に行う必要がある。しかしながら、上記従来の軌道は、走行部が収容空間の内部を走行するように形成されているため、走行部を露出させない限りメンテナンスを行うことができない。そこで、側壁に開口部を設けることも考えられるが、側壁には給電部が配置されているため、走行部のメンテナンスを可能にするサイズの開口を確保することはできない。メンテナンスを可能にするサイズの開口を設けた場合には、給電部を設けることができないので走行車が走行できなくなる。

そこで、本発明の一側面の目的は、メンテナンス作業が必要な走行部を露出させる作業エリアを形成すると共に、当該作業エリアにおいて走行車を移動させることができる走行車システムを提供することにある。

本発明の一側面に係る走行車システムは、走行車の走行部を収容すると共に走行車の走行経路に沿って延在する本体部と、本体部の延在方向に沿って設けられており、走行部に電力を供給する給電部とを有する走行用軌道を、走行車が走行する走行車システムであって、走行用軌道に連続するように設けられており、走行部の少なくとも一部を露出させる開放部を形成すると共に給電部が設けられていない作業用軌道と、作業用軌道に沿って走行車を移動させる移動機構と、を備える。

この構成の走行車システムでは、作業用軌道に給電部を設けない代わりに、給電部が設けられていた部分を利用して走行部の少なくとも一部を露出させる開放部を形成している。これにより、走行用軌道では本体部に収容されて露出させることができなかった走行部を軌道から露出させることができるので、走行部のメンテナンスを容易に実施できる。また、この構成の走行車システムでは、給電部が設けられていない作業用軌道では走行車は自走することができないが、この作業用軌道において走行車を移動させるための移動機構が設けられている。このような結果、メンテナンス作業が必要な走行部を露出させる作業エリアを形成すると共に、当該作業エリアにおいて走行車を移動させることができる。

本発明の一側面に係る走行車システムでは、作業用軌道の両端には、走行用軌道が接続されており、移動機構は、一方の走行用軌道から他方の走行用軌道との間で走行車を移動させてもよい。この構成の走行車システムでは、走行車をメンテナンスするための作業エリアを走行経路の一部に設けることが可能になる。

本発明の一側面に係る走行車システムは、作業用軌道に位置する走行車に、開放部を介して、走行部の少なくとも一部に作業を実行する処理装置を更に備えてもよい。この構成の走行車システムでは、走行車に対するメンテナンス作業の一部を自動化することができる。

本発明の一側面に係る走行車システムでは、処理装置は、走行部の少なくとも一部に付着した付着物を吸引する吸引装置であってもよい。この構成の走行車システムでは、他の部分に付着物を付着させることなく、付着物を回収することができる。

本発明の一側面に係る走行車システムでは、移動機構は、走行車を走行方向における前後から挟み込む一対のアーム部と、一対のアーム部を、走行車を挟み込む位置と走行車から退避する位置との間で移動させる回動駆動部と、一対のアーム部を、走行用軌道の延在方向に沿って移動させる移動駆動部と、を備えてもよい。この構成の走行車システムでは、走行方向の前後から走行車を挟み込んだ状態で走行車を移動させることができるので、走行車を移動させるとき又は停止させるときに走行車が惰性で移動してしまうことを防止できる。

本発明の一側面に係る走行車システムでは、移動機構は、ベースプレートと、ベースプレートに、走行方向に移動可能に設けられた移動プレートと、を有し、一対のアーム部は、第一アーム部と第二アーム部とを有し、第一アーム部は、移動プレートに対して走行用軌道の延在方向に移動可能に設けられており、第二アーム部は、移動プレートに対して走行用軌道の延在方向に移動不能に設けられていてもよい。この構成の走行車システムでは、走行車を移動させるときには第一アーム部及び第二アーム部が設けられた移動プレートを移動させればよいので、第一アーム部と第二アームとの間の距離を維持するために第一アーム部及び第二アームを同期制御する必要がない。このため、第一アーム部及び第二アーム部がそれぞれ独立して移動する構成と比べて、容易な制御で走行車を移動させることができる。

本発明の一側面に係る走行車システムでは、走行部は、無給電時に、ブレーキがかかる走行輪と、自由に回転する走行補助輪と、を有しており、作業用軌道は、走行部を下方から支持する下方支持部を有しており、下方支持部は、鉛直方向において、走行補助輪に対向する第一部分が、走行輪に対向する第二部分よりも上方に位置するように形成されていてもよい。この構成の走行車における走行輪は、駆動部が駆動していない状態において容易に回転しないように構成されている。したがって、給電部が設けられていない作業用軌道に走行輪が接触している状態において走行車を移動させることが難しい。この構成の走行車システムでは、自由に回転する走行補助輪のみが作業用軌道に接触するので、走行車を容易に移動させることが可能となる。

本発明の一側面によれば、メンテナンス作業が必要な走行部を露出させる作業エリアを形成すると共に、当該作業エリアにおいて走行車を移動させることができる。

図１は、一実施形態に係る走行車システムを示す概略平面図である。 図２は、図１の天井走行車を走行方向から見た正面概略図である。 図３は、一実施形態の作業用軌道を示した斜視図である。 図４は、図３の作業用軌道と走行車の走行部とを示した断面図である。 図５は、一実施形態の移動機構を示した平面図である。 図６は、図５の移動機構を示した側面図である。 図７は、一実施形態の作業エリアに配置される移動機構及び吸引装置を作業用軌道の延在方向から見た断面図である。 図８（ａ）～図８（ｄ）は、図５の移動機構の動作を示す説明図である。 図９（ａ）～図９（ｄ）は、図５の移動機構の動作を示す説明図である。

以下、図面を参照して、本発明の一側面の好適な一実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図２、図４及び図７では、説明の便宜のため「上」、「下」、「左」、「右」、「前」、「後」方向を定義する。

図１及び図２に示されるように、走行車システム１は、走行用軌道４に沿って移動可能な天井走行車６を用いて、物品１０を載置部９，９間で搬送するためのシステムである。物品１０には、例えば、複数の半導体ウェハを格納するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）及びガラス基板を格納する容器、レチクルポッド等のような容器、並びに一般部品等が含まれる。走行車システム１は、走行用軌道４、複数の走行車６、複数の載置部９、作業用軌道４１、移動機構６０、及び吸引装置（処理装置）８０を備える。

走行用軌道４は、例えば、作業者の頭上スペースである天井付近に敷設されている。走行用軌道４は、例えば天井から吊り下げられている。走行用軌道４は、走行車６を走行させるための予め定められた走行路である。走行用軌道４は、支柱４０Ａ，４０Ａにより支持される。走行車システム１の走行用軌道４は、所定のエリアを一方向に巡回する本線部４Ａと、走行車６をメンテンナンスするための作業エリア１６０が設けられた作業用軌道４１に走行車６を導入させる退避部４Ｂと、を有している。なお、退避部４Ｂにおいても、走行車６は、予め定められた一方向に移動する。

走行用軌道４は、一対の下面部４０Ｂと一対の側面部４０Ｃ，４０Ｃと天面部４０Ｄとからなる筒状のレール本体部４０と、給電部４０Ｅと、磁気プレート４０Ｆと、を有している。レール本体部４０は、走行車６の走行部５０を収容（内包）する。下面部４０Ｂは、走行車６の走行方向に延在し、レール本体部４０の下面を構成する。下面部４０Ｂは、走行車６の走行ローラ５１を転動させて走行させる板状部材である。側面部４０Ｃは、走行車６の走行方向に延在し、レール本体部４０の側面を構成する。天面部４０Ｄは、走行車６の走行方向に延在し、レール本体部４０の上面を構成する。

給電部４０Ｅは、走行車６の給電コア５７に電力を供給すると共に、給電コア５７と信号の送受信を行う部位である。給電部４０Ｅは、一対の側面部４０Ｃ，４０Ｃのそれぞれに固定され、走行方向に沿って延在している。給電部４０Ｅは、給電コア５７に対して非接触の状態で電力を供給する。磁気プレート４０Ｆは、走行車６のＬＤＭ（Linear DC Motor）５９に走行又は停止のための磁力を発生させる。磁気プレート４０Ｆは、天面部４０Ｄに固定され、走行方向に沿って延在している。

走行車６は、走行用軌道４を走行し、物品１０を搬送する。走行車６が走行用軌道４を走行するとは、走行車６の走行ローラ５１が走行用軌道４の下面部４０Ｂを転動することをいう。走行車６は、物品１０を移載可能に構成されている。走行車６は、天井走行式無人走行車である。走行車システム１が備える走行車６の台数は、特に限定されず、複数である。走行車６は、本体部７と、走行部５０と、制御部３５と、を有する。本体部７は、本体フレーム２２と、横送り部２４と、θドライブ２６と、昇降駆動部２８と、昇降台３０と、カバー３３と、を有する。

本体フレーム２２は、走行部５０と接続されており、横送り部２４と、θドライブ２６と、昇降駆動部２８と、昇降台３０と、カバー３３とを支持する。横送り部２４は、θドライブ２６、昇降駆動部２８及び昇降台３０を一括して、走行用軌道４の走行方向と直角な方向に横送りする。θドライブ２６は、昇降駆動部２８及び昇降台３０の少なくとも何れかを水平面内で所定の角度範囲内で回動させる。昇降駆動部２８は、昇降台３０をワイヤ、ロープ及びベルト等の吊持材の巻取りないし繰出しによって昇降させる。昇降台３０には、チャックが設けられており、物品１０の把持又は解放が自在とされている。カバー３３は、例えば走行車６の走行方向の前後に一対設けられている。カバー３３は、図示しない爪等を出没させて、搬送中に物品１０が落下することを防止する。

走行部５０は、走行車６を走行用軌道４に沿って走行させる。図４に示されるように、走行部５０は、走行ローラ５１、サイドローラ５２、分岐ローラ５３、補助ローラ５４、傾斜ローラ５５、給電コア５７及びＬＤＭ５９を有している。図２では、分岐ローラ５３、補助ローラ５４、及び傾斜ローラ５５の図示は省略する。

走行ローラ５１は、走行輪としての外輪５１Ａ及び走行補助輪としての内輪５１Ｂからなるローラ対である。走行ローラ５１は、走行部５０の前後の左右両端に配置されている。走行ローラ５１は、走行用軌道４の一対の下面部４０Ｂ，４０Ｂ（又は後述する図４の下方支持部４３）を転動する。サイドローラ５２は、走行ローラ５１の外輪５１Ａのそれぞれを前後方向に挟むように配置されている。サイドローラ５２は、走行用軌道４の側面部４０Ｃ（又は後述する図４の側方支持部４５）に接触可能に設けられている。分岐ローラ５３は、サイドローラ５２のそれぞれを上下方向に挟むように配置されている。サイドローラ５２は、走行用軌道４の接続部又は分岐部等に配置されているガイド（図示せず）に接触可能に設けられている。

補助ローラ５４は、走行部５０の前後に設けられている、三つ一組のローラ群である。補助ローラ５４は、走行部５０が加減速等により走行中に前後に傾いたときに、ＬＤＭ５９及び給電コア５７等が走行用軌道４の上面に配置された磁気プレート４０Ｆに接触することを防止するために設けられている。傾斜ローラ５５は、ＬＤＭ５９の四隅に設けられている。傾斜ローラ５５は、前後方向から傾いた状態で配置されている。傾斜ローラ５５は、走行部５０がカーブ区間を走行する際の遠心力による傾きを防止するために設けられている。

給電コア５７は、走行部５０の前後に、左右方向にＬＤＭ５９を挟むように配置されている。走行用軌道４に配置された給電部４０Ｅとの間で非接触による給電と、非接触による各種信号の送受信を行う。給電コア５７は制御部３５との間で信号をやりとりする。ＬＤＭ５９は、走行部５０の前後に設けられている。ＬＤＭ５９は、電磁石によって走行用軌道４の上面に配置された磁気プレート４０Ｆとの間で、走行又は停止のための磁力を発生させる。

図１に示されるように、載置部９は、走行用軌道４に沿って配置され、走行車６との間で物品１０の受け渡し可能な位置に設けられている。載置部９には、バッファ及び受渡ポートが含まれる。バッファは、物品１０が一時的に載置される載置部である。バッファは、例えば、目的とする受渡ポートに他の物品１０が載置されている等の理由により、走行車６が搬送している物品１０をその受渡ポートに移載できない場合に、物品１０が仮置きされる載置部である。受渡ポートは、例えば洗浄装置、成膜装置、リソグラフィ装置、エッチング装置、熱処理装置、平坦化装置をはじめとする半導体の処理装置（図示せず）に対して物品１０の受渡を行うための載置部である。なお、処理装置は、特に限定されず、種々の装置であってもよい。

例えば、載置部９は、走行用軌道４の側方に配置されている。この場合、走行車６は、横送り部２４で昇降駆動部２８等を横送りし、昇降台３０を僅かに昇降させることにより、載置部９との間で物品１０を受け渡しする。なお、図示はしないが載置部９は、走行用軌道４の直下に配置されてもよい。この場合、走行車６は、昇降台３０を昇降させることにより、載置部９との間で物品１０を受け渡しする。

制御部３５は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）及びＲＡＭ（Random Access Memory）等からなる電子制御ユニットである。制御部３５は、走行車６における各種動作を制御する。具体的には、制御部３５は、走行部５０と、横送り部２４と、θドライブ２６と、昇降駆動部２８と、昇降台３０と、を制御する。制御部３５は、例えばＲＯＭに格納されているプログラムがＲＡＭ上にロードされてＣＰＵで実行されるソフトウェアとして構成することができる。制御部３５は、電子回路等によるハードウェアとして構成されてもよい。制御部３５は、走行用軌道４の給電部４０Ｅ（フィーダー線）等を利用して、コントローラ９０と通信を行う。

コントローラ９０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭ等からなる電子制御ユニットである。コントローラ９０は、例えばＲＯＭに格納されているプログラムがＲＡＭ上にロードされてＣＰＵで実行されるソフトウェアとして構成することができる。コントローラ９０は、電子回路等によるハードウェアとして構成されてもよい。コントローラ９０は、走行車６に物品１０を搬送させる搬送指令を送信する。

図１に示されるように、作業エリア１６０は、退避部４Ｂの一部に設けられ、走行車６に含まれる走行部５０の走行ローラ５１及び給電コア５７等のメンテナンスを実施するエリアである。作業エリア１６０には、作業用軌道４１（図３参照）と、移動機構６０（図５及び図６参照）と、吸引装置（処理装置）８０（図７参照）と、が設けられている。

作業用軌道４１は、その両端が走行用軌道４，４に連続するように一方向（以下、「延在方向Ｘ」と称する。）に延在し、図３及び図４に示されるように、走行部５０の少なくとも一部（例えば、給電コア５７）を露出させる開放部４７を形成している。言い換えれば、作業用軌道４１には、走行用軌道４に設けられているような給電部４０Ｅ及び天面部４０Ｄが設けられておらず、走行用軌道４の給電部４０Ｅ及び天面部４０Ｄに対応する部分が開放部４７となっている。

作業用軌道４１は、作業用軌道４１の両端に配置されるフレーム４２と、一対の下方支持部４３、４３と、一対の側方支持部４５と、を有している。

フレーム４２は、一対の側面部４２Ａ，４２Ａと、天面部４２Ｂと、を有している。一対の側面部４２Ａ，４２Ａは、左右方向に対向して配置され、鉛直方向に延在する板状部材である。側面部４２Ａは、ブラケット（図示せず）及び支柱（図示せず）を介して天井に固定される。天面部４２Ｂは、一対の側面部４２Ａ，４２Ａを、一対の側面部４２Ａ，４２Ａの上端にて接続する板状部材である。

下方支持部４３は、走行部５０を下方から支持する。より詳細には、下方支持部４３は、走行車６の走行ローラ５１の内輪５１Ｂを転動させて走行させる部材である。下方支持部４３は、フレーム４２の側面部４２Ａの下端に固定され、一対のフレーム４２，４２に延在方向Ｘに沿って掛け渡されている。下方支持部４３は、鉛直方向において、内輪５１Ｂに対向する第一部分４３Ｂが、外輪５１Ａに対向する第二部分４３Ａよりも上方に位置するように形成されている。下方支持部４３の第一部分４３Ｂ（すなわち、内輪５１Ｂの転動面）は、走行用軌道４に接続される部位において、走行用軌道４の下面部４０Ｂ（図２参照）の上面と同一レベルの平面を構成するよう（面一）に接続される。

側方支持部４５は、走行車６のサイドローラ５２が接触する部材である。側方支持部４５は、フレーム４２の側面部４２Ａに固定され、一対のフレーム４２，４２に掛け渡されている。

図５～図７に示されるように、移動機構６０は、走行車６が作業用軌道４１を走行するように、作業用軌道４１に沿って走行車６を移動させる。走行車６が作業用軌道４１を走行するとは、走行車６の走行ローラ５１が作業用軌道４１の下方支持部４３を転動することをいう。作業用軌道４１の両端には、走行用軌道４，４が接続されている。移動機構６０は、一方の走行用軌道４から他方の走行用軌道４との間で走行車６を移動させる。移動機構６０は、ベースプレート７０と、移動プレート７１と、第一アーム部６１及び第二アーム部６５からなる一対のアーム部と、第一回動駆動部（回動駆動部）６２と、第二回動駆動部（回動駆動部）６６と、第一移動駆動部（移動駆動部）６４と、第二移動駆動部（移動駆動部）６８と、を備える。

ベースプレート７０は、移動プレート７１、第一アーム部６１、第二アーム部６５、第一回動駆動部６２、第二回動駆動部６６、第一移動駆動部６４、及び第二移動駆動部６８を支持する、板状の部材である。ベースプレート７０は、吊下部材７５によって天井から吊り下げられている。

移動プレート７１は、第一アーム部６１、第二アーム部６５、第一回動駆動部６２、第二回動駆動部６６、第一移動駆動部６４、及び第二移動駆動部６８を支持する、板状の部材である。移動プレート７１は、ベースプレート７０に対して走行車６の延在方向Ｘに移動可能に設けられている。より詳細には、移動プレート７１は、ＬＭガイド（Linear Motion Guide）６８Ａ及び駆動モータ６８Ｂ等からなる第二移動駆動部６８によって、ベースプレート７０に対して走行車６の延在方向Ｘに移動可能に設けられている。

第一アーム部６１は、走行車６の延在方向Ｘにおける上流側に配置されている。すなわち、第一アーム部６１は、走行車６を移動させるとき、走行車６の後端（カバー３３）に接触する。なお、ここでいう上流側・下流側とは、予め設定された走行車６の一方向への移動方向を基準として定められる方向をいう。第一アーム部６１は、第一回動駆動部６２によって、走行車６を挟み込む位置（接触位置）と走行車６から退避する位置（退避位置）との間で移動する。第一アーム部６１及び第一回動駆動部６２は、第一移動駆動部６４によって、移動プレート７１に対して走行車６の延在方向Ｘに移動可能に設けられている。より詳細には、第一アーム部６１及び第一回動駆動部６２はＬＭガイド６４Ａ及び駆動モータ６４Ｂ等からなる第一移動駆動部６４によって、移動プレート７１に対して走行車６の延在方向Ｘに移動可能に設けられている。

第二アーム部６５は、走行車６の延在方向Ｘにおける下流側に配置されている。すなわち、第二アーム部６５は、走行車６を移動させるとき、走行車６の前端に接触する。第二アーム部６５は、第二回動駆動部６６によって、走行車６を挟み込む位置と走行車６から退避する位置との間で移動する。第二アーム部６５及び第二回動駆動部６６は、第一アーム部６１及び第一回動駆動部６２とは異なり、移動プレート７１に対して延在方向Ｘに移動不能に設けられている。

吸引装置８０は、作業エリア１６０（作業用軌道４１）に位置する走行車６に、開放部４７を介して、走行部５０の少なくとも一部に作業を実行する。より詳細には、吸引装置８０は、走行部５０の少なくとも一部（例えば、給電コア５７）に付着した付着物を吸引する。吸引装置８０は、天井から吊り下げられた支持プレート８５に設けられている。吸引装置８０は、六つ（六軸）の関節によって構成される垂直多関節型ロボット８１であり、その先端には、付着物を吸引する吸引部８２が設けられている。

移動機構６０が走行車６を移動させるときの動作について、主に図８及び図９を用いて説明する。

作業エリア１６０に配置される作業用軌道４１に走行車６が存在しないとき、図８（ａ）に示されるように、第一アーム部６１が退避位置に位置し、第二アーム部６５が接触位置に位置している。このような状態において、作業用軌道４１に走行車６が進入してくると、図８（ｂ）に示されるように、走行車６は、第二アーム部６５に接触する位置で一旦停止する。走行車６が第二アーム部６５に接触する位置で一旦停止すると、第一回動駆動部６２は、第一アーム部６１を接触位置に回動させ、第一移動駆動部６４は、第一アーム部６１及び第一回動駆動部６２を前進（走行車６の走行方向における下流側に移動）させる。これにより、図８（ｃ）に示されるように、走行車６は、第一アーム部６１と第二アーム部６５とによって挟み込まれた状態となる。

次に、図８（ｄ）に示されるように、第二移動駆動部６８は、移動プレート７１を前進させる。すなわち、第二移動駆動部６８は、第一アーム部６１と第二アーム部６５との間の距離を維持したまま、第一アーム部６１、第一回動駆動部６２、第二アーム部６５、及び第二回動駆動部６６とを前進させる。走行車６は、第一アーム部６１と第二アーム部６５とによって挟み込まれた状態で前進させられ、図９（ａ）に示されるように、作業用軌道４１に沿って一方の走行用軌道４から他方の走行用軌道４にまで移動させられる。

次に、走行車６が他方の走行用軌道４まで移動させられると、図９（ｂ）に示されるように、第二回動駆動部６６は、第二アーム部６５を退避位置に回動させる。その後、走行車６は、走行部５０の給電コア５７に供給される電力によって、自身の走行部５０が有する駆動部によって前進を開始する。

次に、図９（ｃ）に示されるように、第二回動駆動部６６は、第二アーム部６５を接触位置に回動させる。そして、第二移動駆動部６８は、移動プレート７１を後退させる。すなわち、第二移動駆動部６８は、第一アーム部６１と第二アーム部６５との間の距離を維持したまま、第一アーム部６１、第一回動駆動部６２、第二アーム部６５、及び第二回動駆動部６６を後退させる。その後、第一移動駆動部６４は、第一アーム部６１及び第一回動駆動部６２を後退させる。図９（ｄ）に示されるように、第一アーム部６１及び第二アーム部６５は、次に進入してくる走行車６を待つ位置にまで戻る。そして、図８（ａ）に示されるように、第一アーム部６１が退避位置に位置し、第二アーム部６５が接触位置に位置している状態で、次の走行車６の到着を待つ。

次に、上記実施形態の走行車システム１の作用効果について説明する。上記実施形態の走行車システム１では、作業用軌道４１に給電部を設けない代わりに、図３に示されるように、給電部が設けられていた部分を利用して走行車６の走行部５０の少なくとも一部を露出させる開放部４７を形成している。走行用軌道４ではレール本体部４０に収容されて露出させることができなかった走行部５０を作業用軌道４１から露出させることができるので、走行部５０のメンテナンスを容易に実施できる。また、上記実施形態の走行車システム１では、給電部が設けられていないため自走することができない走行車６を、作業用軌道４１において移動させるための移動機構６０が設けられている。したがって、メンテナンス作業が必要な走行部５０を露出させる作業エリア１６０を形成すると共に、当該作業エリア１６０において走行車６を移動させることができる。

上記実施形態の走行車システム１では、図５及び図６に示されるように、作業用軌道４１に沿って一方の走行用軌道４から他方の走行用軌道４との間で走行車６を移動させる移動機構６０を備える。したがって、走行車６をメンテナンスするための作業エリアを走行経路の一部に設けることが可能になる。

上記実施形態の走行車システム１では、図７に示されるように、作業用軌道４１に位置する走行車６に、開放部４７を介して、走行部５０の少なくとも一部に作業を実行する処理装置としての吸引装置８０を備えている。このような構成により、走行車６に対するメンテナンス作業の一部を自動化することができ、付着物をまき散らして他の部分に付着物を付着させることなく、付着物を回収することができる。

上記実施形態の走行車システム１の移動機構６０は、図５及び図６に示されるように、走行車６を走行方向における前後から挟み込む一対のアーム部である第一アーム部６１及び第二アーム部６５を備えている。このような構成により、走行車６を移動させるとき又は停止させるときに走行車６が惰性で移動してしまうことを防止できる。

上記実施形態の走行車システム１の移動機構６０は、ベースプレート７０に対して延在方向Ｘに移動可能に設けられた移動プレート７１に、第一アーム部６１と第二アーム部６５とが設けられている。このような構成により、走行車６を移動させるときに互いの距離を維持するために第一アーム部６１及び第二アーム部６５を同期制御する必要がない。したがって、第一アーム部６１及び第二アーム部６５がそれぞれ独立して移動する構成と比べて、容易な制御で走行車６を移動させることができる。

上記実施形態の走行車システム１の作業用軌道４１では、図４に示されるように、下方支持部４３は、鉛直方向において、内輪５１Ｂに対向する第一部分４３Ｂが、外輪５１Ａに対向する第二部分４３Ａよりも上方に位置するように形成されている。したがって、給電コア５７に電力が供給されない状態（無給電時）において回転しないようにブレーキがかかる外輪５１Ａを有する走行車６であっても、ブレーキがかからず自由に回転する内輪５１Ｂのみが作業用軌道４１に接触し、走行輪である外輪５１Ａが浮いた状態となる（下方支持部４３に接触しない状態となる）ので、走行車６を容易に移動させることが可能となる。

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の一側面は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

上記実施形態の作業用軌道４１は、下方支持部４３及び側方支持部４５から構成される例を挙げて説明したが、この実施形態に限定されない。例えば、走行用軌道４に備わる一対の側面部４０Ｃ，４０Ｃのように側面を覆う側面部を有し、給電部が設けられていた部分を利用して走行部５０の少なくとも一部を露出させる開放部４７を形成してもよい。

上記実施形態では作業エリア１６０（すなわち、作業用軌道４１）が走行用軌道４と走行用軌道４との間に配置されている例を挙げて説明したが、作業エリア１６０は、走行用軌道４の終端部に配置されてもよい。

上記実施形態の移動機構６０は、第一アーム部６１と第二アーム部６５とが移動プレート７１に設けられ、一体的に延在方向Ｘに移動する例を挙げて説明したが、この実施形態に限定されない。例えば、第一アーム部６１及び第二アーム部６５は、ベースプレート７０に設けられ、ベースプレート７０に対してそれぞれ独立して延在方向Ｘに移動可能に設けられてもよい。

上記実施形態の作業用軌道４１では、下方支持部４３は、鉛直方向において第一部分４３Ｂが第二部分４３Ａよりも上方に位置するように形成されている例を挙げて説明したがこの実施形態に限定されない。例えば、走行部５０の走行輪が内輪５１Ｂとして形成され、走行補助輪が外輪５１Ａとして構成されている場合には、第二部分４３Ａが第一部分４３Ｂよりも上方に位置するように形成されてもよい。

上記実施形態では、走行車６を吊り下げて走行させるための走行用軌道４に適用した例を説明したが、本発明の一側面は、地面に配置される軌道を走行車が走行する走行車システムにも適用することが可能である。

１…走行車システム、４…走行用軌道、６…天井走行車（走行車）、７…本体部、１０…物品、４０Ｃ…側面部、４０Ｅ…給電部、４１…作業用軌道、４２…フレーム、４３…下方支持部、４３Ａ…第二部分、４３Ｂ…第一部分、４５…側方支持部、４７…開放部、５０…走行部、５１…走行ローラ、５１Ａ…外輪（走行輪）、５１Ｂ…内輪（走行補助輪）、５７…給電コア、６０…移動機構、６１…第一アーム部、６２…第一回動駆動部（回動駆動部）、６４…第一移動駆動部（移動駆動部）、６５…第二アーム部、６６…第二回動駆動部（回動駆動部）、６８…第二移動駆動部（移動駆動部）、７０…ベースプレート、７１…移動プレート、８０…吸引装置（処理装置）、８１…垂直多関節型ロボット、８２…吸引部、１６０…作業エリア。

Claims (7)

1. 走行車の走行部を収容すると共に前記走行車の走行経路に沿って延在する本体部と、前記本体部の延在方向に沿って設けられており、前記走行部に電力を供給する給電部とを有する走行用軌道を、前記走行車が走行する走行車システムであって、
   前記走行用軌道に連続するように設けられており、前記走行部の少なくとも一部を露出させる開放部を形成すると共に前記給電部が設けられていない作業用軌道と、
   前記作業用軌道に沿って前記走行車を移動させる移動機構と、を備える、走行車システム。
2. 前記作業用軌道の両端には、前記走行用軌道が接続されており、
   前記移動機構は、一方の前記走行用軌道から他方の前記走行用軌道との間で前記走行車を移動させる、請求項１記載の走行車システム。
3. 前記作業用軌道に位置する前記走行車に、前記開放部を介して、前記走行部の少なくとも一部に作業を実行する処理装置を更に備える、請求項１又は２記載の走行車システム。
4. 前記処理装置は、前記走行部の少なくとも一部に付着した付着物を吸引する吸引装置である、請求項３記載の走行車システム。
5. 前記移動機構は、
   前記走行車を走行方向における前後から挟み込む一対のアーム部と、
   前記一対のアーム部を、前記走行車を挟み込む位置と前記走行車から退避する位置との間で移動させる回動駆動部と、
   前記一対のアーム部を、前記走行用軌道の延在方向に沿って移動させる移動駆動部と、を備える、請求項１～４の何れか一項記載の走行車システム。
6. 前記移動機構は、
   ベースプレートと、
   前記ベースプレートに、前記走行方向に移動可能に設けられた移動プレートと、を有し、
   前記一対のアーム部は、第一アーム部と第二アーム部とを有し、
   前記第一アーム部は、前記移動プレートに対して前記走行用軌道の延在方向に移動可能に設けられており、
   前記第二アーム部は、前記移動プレートに対して前記走行用軌道の延在方向に移動不能に設けられている、請求項５記載の走行車システム。
7. 前記走行部は、無給電時に、ブレーキがかかる走行輪と、自由に回転する走行補助輪と、を有しており、
   前記作業用軌道は、走行部を下方から支持する下方支持部を有しており、
   前記下方支持部は、鉛直方向において、前記走行補助輪に対向する第一部分が、前記走行輪に対向する第二部分よりも上方に位置するように形成されている、請求項１～６の何れか一項記載の走行車システム。

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