TW202128528A - 高架搬送車 - Google Patents

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Abstract

本發明之高架搬送車(1)具備：捲取轉筒(63)，其由一驅動馬達(63A)驅動，進行複數根皮帶(B)之捲取及送出，藉此使保持單元(7)升降；至少一個第二惰輪輥(65B)，其供捲繞從捲取轉筒(63)送出之皮帶(B)捲繞；基座(61)，其設置於移行單元(3)，支撐捲取轉筒(63)及第二惰輪輥(65B)；及直動機構(67)，其使至少一個第二惰輪輥(65B)之位置移動，以使皮帶(B)之向保持單元(7)連接之連接部分沿升降方向移動。

Description

高架搬送車
本發明之一方面係關於一種高架搬送車。
已知有一種高架搬送車，其設置有：移行部，其沿鋪設於高架等之軌道移行；及升降部，其具有將物品移載至載置架或裝載埠等移載部之固持部。升降部係由皮帶等複數根吊持構件懸吊並保持，藉由捲取及送出該吊持構件而升降。於此種高架搬送車中，要求在升降時將升降部相對於移載部維持平行(移載部水平時，升降部亦水平)。
例如，專利文獻1中揭示有一種高架搬送車，該高架搬送車中，以轉筒每旋轉一圈之捲取差之累加值未達可將升降部(載物台)保持為必需之水平度之既定值的方式，設定兩吊持構件相對於轉筒之固定端位置、及從轉筒之捲取面延伸之兩吊持構件之捲出角，上述之捲取差係因雙重捲繞之2根吊持構件(升降皮帶)移行至下一層捲取之時間點之偏差引起。根據該高架搬送車，可將2根吊持構件之捲取差抑制於容許範圍內，無關升降位置而可始終將載物台保持為水平。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開平10-194410號公報
(發明所欲解決之問題)
然而，升降部存在斜率之原因不僅在於雙重捲繞之吊持構件向下一層之捲取時間點，亦在於吊持構件之厚度之誤差或捲取轉筒之直徑之誤差。即，升降部存在斜率之原因亦在於捲取量之變動，上述捲取量之變動係指隨著捲取量之增大，捲取轉筒每旋轉一圈之捲取量會增加。針對此種變動，藉由於捲取部貼附膠帶等而調整捲繞加粗量，以升降部之斜率之變動變小之方式進行調整。然而，此種處理係藉由人工作業來實施，故作業者之負擔較大。進而，此種升降部存在斜率之原因有時亦在於吊持構件之捲取速度等、及捲取部之機械誤差。為了應對該等各種因素，升降部之斜率需能容易調整。
因此，本發明之一方面之目的在於，提供一種能夠容易地調整升降部之斜率之高架搬送車。 (解決問題之技術手段)
本發明之一方面之高架搬送車係藉由複數根吊持構件使升降部相對於沿軌道移行之移行部而升降者，上述升降部具有固持物品之固持部；其具備有：捲取轉筒，其由一個捲取驅動部驅動，進行複數根吊持構件之捲取及送出，藉此使升降部升降；至少一個導引輥，其供從捲取轉筒送出之吊持構件捲繞；本體框架，其設置於移行部，支撐捲取轉筒及導引輥；及致動器，其使至少一個導引輥之位置移動，以使吊持構件之向升降部連接之連接部分沿升降方向移動。
於該構成之高架搬送車中，藉由使致動器工作而使吊持構件之向升降部連接之連接部分移動。因此，藉由使致動器工作這一簡單之作業，可使上述連接部分向上方移動或向下方移動。藉此，可容易地調整升降部之斜率。
於本發明之一方面之高架搬送車中，亦可為複數根吊持構件以懸吊升降部之三點之方式設置，致動器使捲繞有懸吊三點中之兩點之吊持構件的導引輥之位置移動。於該構成中，可將升降部以穩定之狀態懸吊。又，藉由使捲繞有將兩點懸吊之吊持構件之導引輥移動，可使升降部成為所期望之斜率狀態。
於本發明之一方面之高架搬送車中，亦可為升降部經由連接構件而由四根吊持構件懸吊，四根中之兩根吊持構件連接於設成可相對於升降部擺動之一個擺動部，四根中之其餘兩根吊持構件分別連接於升降部。於該構成中，即便於利用四根吊持構件將升降部懸吊之情形時，升降部亦可成為利用兩根吊持構件及擺動構件之三點懸吊之狀態。藉此，可減小吊持構件斷開時升降部下落之可能性，並且可將升降部以穩定之狀態懸吊。
本發明之一方面之高架搬送車亦可進而具備有：水平移動部，其使升降部沿水平方向移動；及第一控制部，其基於利用水平移動部使升降部移動時產生之水平移動部之撓曲量，控制致動器使導引輥移動之移動量。於該構成中，基於上述撓曲量，以沿水平方向移載物品時之升降部之斜率例如成為水平狀態之方式，或以成為與移載部之斜率大致相同之狀態之方式，控制致動器。其結果，可穩定地將物品從升降部移交至移載部。
本發明之一方面之高架搬送車亦可進而具備有：斜率檢測部，其獲取升降部相對於水平方向之斜率；及第二控制部，其以藉由斜率檢測部獲取之斜率成為既定值之方式控制致動器。於該構成中，可使升降部始終為所期望之斜率之狀態(包含水平狀態)。
本發明之一方面之高架搬送車亦可進而具備有：記憶部，其記憶與高架搬送車之間進行物品之移交的每個移載部之斜率；及第三控制部，其以升降部中之斜率與將要載置物品之移載部中之斜率大致相同的方式控制致動器。於該構成中，在將物品從升降部移交至移載部時，可使升降部之斜率與移載部之斜率一致，因此，可穩定地將物品從升降部移交至移載部。 (對照先前技術之功效)
根據本發明之一方面，能夠容易地調整升降部之斜率。
如圖1所示，一實施形態之高架搬送車1沿著於製造半導體元件之無塵室之天花板附近所鋪設的軌道100移行。一實施形態之高架搬送車1進行收容有複數個半導體晶圓之FOUP(Front Opening Unified Pod，前開式晶圓盒)(物品)200之搬送、及FOUP 200相對於設置在對半導體晶圓實施各種處理之處理裝置之裝載埠(移載部)300等之移載。
高架搬送車1具備框架單元2、移行單元(移行部)3、橫向單元(水平移動部)4、θ單元5、升降驅動單元6、保持單元(升降部)7及控制器8。框架單元2具有中央框架21、前框架22及後框架23。前框架22從中央框架21中之前側(高架搬送車1之移行方向上之前側)之端部向下側延伸。後框架23從中央框架21之後側(高架搬送車1之移行方向上之後側)之端部向下側延伸。
移行單元3配置於中央框架21之上側。移行單元3例如藉由以非接觸之方式從沿著軌道100鋪設之高頻電流線接受電力供給，而沿著軌道100移行。橫向單元4配置於中央框架21之下側。橫向單元4使θ單元5、升降驅動單元6及保持單元7沿橫向(高架搬送車1之移行方向上之側方)移動。θ單元5配置於橫向單元4之下側。θ單元5使升降驅動單元6及保持單元7於水平面內旋動。
升降驅動單元6配置於θ單元5之下側。升降驅動單元6使保持單元7升降。保持單元7配置於升降驅動單元6之下側。保持單元7保持FOUP 200之凸緣部201。控制器8配置於中央框架21。控制器8係由CPU(Central Processing Unit，中央處理單元)、ROM(Read Only Memory，唯讀記憶體)及RAM(Random Access Memory，隨機存取記憶體)等構成之電子控制單元。控制器8控制高架搬送車1之各部。
作為一例，以如上方式構成之高架搬送車1係以如下方式動作。於將FOUP 200從裝載埠300移載至高架搬送車1之情形時，未保持有FOUP 200之高架搬送車1停止於裝載埠300之上方。於保持單元7之水平位置偏離裝載埠300之正上方位置之情形時，藉由驅動橫向單元4及θ單元5，連同升降驅動單元6一起對保持單元之水平位置及角度進行微調整。繼而，升降驅動單元6使保持單元7下降，保持單元7保持載置於裝載埠300之FOUP 200之凸緣部201。繼而，升降驅動單元6使保持單元7上升至上升端，將FOUP 200配置於前框架22與後框架23之間。繼而，保持有FOUP 200之高架搬送車1開始移行。
另一方面，於將FOUP 200從高架搬送車1移載至裝載埠300之情形時，保持有FOUP 200之高架搬送車1停止於裝載埠300之上方。於保持單元7(FOUP 200)之水平位置偏離裝載埠300之正上方位置之情形時，藉由驅動橫向單元4及θ單元5，連同升降驅動單元6一起對保持單元之水平位置及角度進行微調整。繼而，升降驅動單元6使保持單元7下降，將FOUP 200載置於裝載埠300，保持單元7解除保持FOUP 200之凸緣部201。繼而，升降驅動單元6使保持單元7上升至上升端。繼而，未保持有FOUP 200之高架搬送車1開始移行。
其次，對保持單元7之構成進行詳細說明。如圖1及圖2所示，保持單元7具有基座71、一對夾持器(固持部)72及框體73。一對夾持器72以可沿著水平方向打開或閉合之方式受基座71支撐。一對夾持器72藉由驅動馬達(省略圖示)及連桿機構(省略圖示)而打開或閉合。於本實施形態中，在一對夾持器72、72為打開狀態時，以夾持器72之保持面較凸緣部201之下表面之高度靠下方之方式調整保持單元7之高度位置。然後，藉由於該狀態下使一對夾持器72、72成為閉合狀態，而使夾持器72之保持面進入凸緣部201之下表面之下方，於該狀態下使升降驅動單元6上升，藉此，利用一對夾持器72、72保持(固持)凸緣部201，從而支撐FOUP 200。於保持單元7中，基座71構成框體73之底壁，且相對於框體73之位置被固定。
於本實施形態之保持單元7，經由第一緩衝機構50(參照圖3)及第二緩衝機構40(參照圖4)而連接有皮帶B之一端。此處，對第一緩衝機構50及第二緩衝機構40進行詳細說明。圖3係第一緩衝機構50之側視圖，圖4係第二緩衝機構40之側視圖。再者，為了方便說明，圖3省略了下文所述之第一本體構件54之一部分(第二支撐構件54B)及連結於第一緩衝機構50之連桿機構80之圖示。又，為了方便說明，圖4亦省略了下文所述之第四本體構件46之一部分(第四支撐構件46B)及連結於第二緩衝機構40之連桿機構80之圖示。如圖3及圖4所示，第一緩衝機構50及第二緩衝機構40係將皮帶B與升降驅動單元6(參照圖1)連結之機構，且為抑制移行單元3移行時或升降驅動單元6升降時之振動傳遞至FOUP 200之機構。
如圖2所示，第一緩衝機構50於左右方向上設置於保持單元7之左側。又，如圖3所示，第一緩衝機構50於前後方向上配置於兩個部位。第一緩衝機構50具有連接構件51、擺動構件53、第一本體構件54、第二本體構件56、第一軸部57、57及第一彈簧構件58、58。
連接構件51係安裝於皮帶B之構件。擺動構件53係連結於連接構件51之構件。擺動構件53經由第一銷構件52而可旋轉地連結於連接構件51。第一本體構件54係上端開口之大致U字狀之構件，其底部形成為於水平方向上呈平坦。第一本體構件54之上端藉由螺栓55而連結於擺動構件53之兩端。第一本體構件54具有第一支撐構件54A(參照圖5)及第二支撐構件54B(參照圖5)。第一支撐構件54A從下方支撐第一彈簧構件58、58。第二支撐構件54B係與第一支撐構件54A正交之構件。
第二本體構件56係將前後方向上之擺動構件53及第一本體構件54之大致中心部彼此連結之構件。一對第一軸部57、57係從第一本體構件54向上方延伸之棒狀構件，以於前後方向上隔著第二本體構件56之方式配置。一對第一彈簧構件58、58係具有既定之彈簧常數之壓縮螺旋彈簧，分別被一對第一軸部57、57插通。於一對第一彈簧構件58、58之上端，以接觸之狀態配置有基座71。第一彈簧構件58將基座71朝與FOUP 200之固持方向(鉛直方向下方)為相反側之上方推壓。作為抗振部之第一彈簧構件58具有減少於相互接觸之構件間傳遞之振動之作用。
如圖2所示，第二緩衝機構40於左右方向上設置於保持單元7之右側。如圖4所示，第二緩衝機構40於前後方向上配置於中央部附近。第二緩衝機構40具有連接構件41、41、擺動構件(擺動部)43、第三本體構件45、第四本體構件46、第二軸部47、47及第二彈簧構件48、48。
連接構件41、41係安裝有皮帶B、B之構件。擺動構件43係將一對連接構件41、41與第三本體構件45連結之構件。一對連接構件41、41與擺動構件43可雙向旋轉地連結，且經由一對第三銷構件42、42而連結。擺動構件43與第三本體構件45經由第四銷構件44而連結。第四本體構件46係連結於第三本體構件45之下端，且為於水平方向上延伸之板材。第四本體構件46具有第三支撐構件46A(參照圖5)及第四支撐構件46B(參照圖5)。第三支撐構件46A從下方支撐第二彈簧構件48、48。第四支撐構件46B係與第三支撐構件46A正交之構件。
一對第二軸部47、47係從第四本體構件46向上方延伸之棒狀構件，以於前後方向上隔著第三本體構件45之方式配置。一對第二彈簧構件48、48係具有既定之彈簧常數之壓縮螺旋彈簧，分別被一對第二軸部47、47插通。於一對第二軸部47、47之上端，以接觸之狀態配置有基座71。第二彈簧構件48將基座71朝與FOUP 200之固持方向(鉛直方向下方)為相反側之上方推壓。作為抗振部之第二彈簧構件48具有減少於相互接觸之構件間傳遞之振動的作用。
如圖5所示，連桿機構80將排列於與前後方向(移行方向)及上下方向(鉛直方向)之兩者正交之左右方向(寬度方向)的兩個第一緩衝機構50及第二緩衝機構40連結，並且將排列於前後方向之兩個第一緩衝機構50、50彼此連結。連桿機構80以使第一緩衝機構50中之第一本體構件54與基座71之間之距離和第二緩衝機構40中之第四本體構件46與基座71之間之距離相互接近之方式動作。又，連桿機構80以使配置於左側之第一緩衝機構50中之第一本體構件54與基座71之間之距離和配置於右側之第一緩衝機構50中之第一本體構件54與基座71之間之距離相互接近之方式動作。即，連桿機構80作為高架搬送車1之安定器(stabilizer)而發揮功能。
其次，對升降驅動單元6之構成進行詳細說明。如圖6及圖7所示，升降驅動單元6具有基座(本體框架)61、支撐部62、四個(複數個)捲取轉筒63、驅動馬達(捲取驅動部)63A、第一惰輪輥65A、第二惰輪輥(導引輥)65B、第三惰輪輥64、直動機構(致動器)67、擺動構件68及四根(複數根)皮帶(吊持構件)B。
基座61設置於移行單元。基座61經由支撐部62而支撐捲取轉筒63及第一惰輪輥65A。支撐部62支撐四個捲取轉筒63，且其等可旋轉。四個捲取轉筒63排列於前後方向，藉由驅動馬達63A之驅動而捲取或送出四根皮帶B之各者。再者，於圖7、圖9(A)、圖9(B)中，省略供與第二緩衝機構40連接之皮帶B捲取的捲取轉筒63之圖示。支撐部62支撐第一惰輪輥65A及擺動構件68之一端部68A，且其等可擺動。
各捲取轉筒63以可旋轉之方式經由支撐部62而安裝於基座61。驅動馬達63A係用以使各捲取轉筒63旋轉之驅動源，且固定於基座61。四個捲取轉筒63係藉由安裝於未圖示之共通之旋動軸，或者藉由利用未圖示之連動機構連結，而由一個驅動馬達63A驅動。
各皮帶B之一端連接於保持單元7，各皮帶B之另一端連接於各捲取轉筒63。於本實施形態中，四根皮帶B以懸吊保持單元7之三點之方式設置。更詳細而言，保持單元7由四根皮帶B懸吊，四根中之兩根皮帶B經由連接構件41而連接於設置成可相對於保持單元7擺動之一個擺動構件43(參照圖4)，四根中之其餘兩根皮帶各者經由連接構件51而連接於設置成可相對於保持單元7擺動之擺動構件53。
第一惰輪輥65A及第二惰輪輥65B導引與第一緩衝機構50連接之皮帶B之移動。連接於第一緩衝機構50之皮帶B有兩根，第一惰輪輥65A及第二惰輪輥65B亦對應於各皮帶B而設置。第一惰輪輥65A設置於支撐部62，不相對於基座61相對地移動。第二惰輪輥65B設置於下文所述之擺動構件68，相對於基座61相對地移動。再者，第二惰輪輥65B相對於基座61相對地移動之構成將於下述段落進行說明。第三惰輪輥64導引與第二緩衝機構40連接之皮帶B之移動。與第二緩衝機構40連接之皮帶B有兩根，第三惰輪輥64亦對應於各皮帶B而設置。
直動機構67係主要具有驅動馬達67A、螺桿軸67B及球螺母67C，且其為將驅動馬達67A之旋轉運動轉換成直線運動之公知機構。直動機構67經由支架66而固定於基座61。於藉由驅動馬達67A之驅動而沿著螺桿軸67B移動之球螺母67C，可擺動地連接有擺動構件68之另一端部68B。於本實施形態中，擺動構件68係藉由球螺母67C沿著螺桿軸67B移動而擺動，隨著該擺動構件68之擺動，第二惰輪輥65B相對於基座61相對地移動。如此，直動機構67以皮帶B之向保持單元7(第一緩衝機構50)連接之連接部分(皮帶B之一端)於升降方向上移動之方式，使第二惰輪輥65B之位置移動。
例如如圖8(A)所示，只要使兩個直動機構67工作，使第二惰輪輥65B向上方(以接近基座61之方式)移動，便可使保持單元7之左側向上方傾斜。又，例如如圖8(B)所示，只要使兩個直動機構67工作，使第二惰輪輥65B向下方(以遠離基座61之方式)移動，便可使保持單元7之左側向下方傾斜。
又，例如如圖9(A)所示，只要使兩個直動機構67中之一(前側)直動機構67工作，使第二惰輪輥65B向上方(以接近基座61之方式)移動，便可使保持單元7之前側向上方傾斜。於欲使保持單元7之前側向上方傾斜之情形時，亦可使兩個直動機構67中之另一(後側)直動機構67工作，使第二惰輪輥65B向下方(以遠離基座61之方式)移動。
又，例如如圖9(B)所示，只要使兩個直動機構67中之另一(後側)直動機構67工作，使第二惰輪輥65B向上方(以接近基座61之方式)移動，便可使保持單元7之後側向上方傾斜。於欲使保持單元7之後側向上方傾斜之情形時，亦可使兩個直動機構67中之一(前側)直動機構67工作，使第二惰輪輥65B向下方(以遠離基座61之方式)移動。
於本實施形態中，藉由使兩個直動機構67中之兩者或一者工作，可調整保持單元7相對於水平面之斜率。於此種構成中，如圖10所示，直動機構67可利用遙控器8A等操作手段，經由控制器8進行操作。控制器8與遙控器8A之連接可為有線，亦可為無線。又，直動機構67亦可利用經由沿著軌道100鋪設之高頻電流線而統一控制高架搬送車1之區域控制器(未圖示)等，經由控制器8進行操作。
於本實施形態中，可抑制由隨著捲取量增大而增加之捲取轉筒63每旋轉一圈之捲取量之變動引起的保持單元7之斜率。例如，將與捲取量相應之保持單元7之斜率預先記憶於例如記憶部8B，控制器8基於與從記憶部8B讀出之保持單元7之斜率相關的資訊，控制直動機構67(驅動馬達67A)。更詳細而言，於欲將保持單元7維持為水平狀態之情形時，從記憶部8B獲取與捲取量相應之保持單元7之斜率，使直動機構67沿消除該所獲取之斜率之方向工作。於欲使保持單元7之斜率配合裝載埠300之傾斜之情形時，亦從記憶部8B獲取與捲取量相應之保持單元7之斜率，以使該所獲取之斜率成為既定之斜率之方式使直動機構67工作。記憶部8B可設置於高架搬送車1，亦可以能夠通信之方式設置於與高架搬送車1分開之場所。
又，控制器8亦可基於橫向單元4進入時之橫向單元4之撓曲量，控制直動機構67。具體而言，例如亦可設置記憶部8B，並使該記憶部8B預先記憶FOUP 200之每種重量下之上述撓曲量，於橫向單元4沿水平方向送出FOUP 200時，控制器(第一控制部)8以使保持單元7相應於該撓曲量而成為水平之方式，或以與裝載埠300之傾斜變得相同之方式，控制直動機構67。
又，亦可為，配合裝載埠300之斜率，控制器8以保持單元7之斜率與裝載埠300之斜率變得大致相同之方式，控制直動機構67。具體而言，亦可將每個裝載埠300之斜率預先記憶於記憶部8B，於載置FOUP 200時，控制器(第二控制部)8從記憶部8B獲取欲進行載置之裝載埠300之斜率，以與該裝載埠之斜率變得大致相同之方式，控制直動機構67。
又，亦可將獲取保持單元7相對於水平方向之斜率之斜率檢測部77設置於例如保持單元7。斜率檢測部77之例中包含三軸感測器及加速度感測器等。控制器(第三控制部)8亦可以藉由斜率檢測部77獲取之斜率成為既定值(例如水平狀態或裝載埠300之傾斜)之方式控制直動機構67。於此情形時，只要將與裝載埠300之傾斜相關之資訊預先記憶於記憶部8B等即可。
對上述實施形態之高架搬送車1之作用效果進行說明。於上述實施形態之高架搬送車1中，藉由使直動機構67工作而使皮帶B之一端(向保持單元7連接之連接部分)移動。因此，藉由使直動機構67工作這一簡單之作業，可使上述連接部分向上方移動或向下方移動。即，可使保持單元7之一部分或全部與皮帶B之一端之移動連動地沿上下方向移動。藉此，可容易地調整保持單元7之斜率。
於上述實施形態之高架搬送車1中，複數根皮帶B以懸吊保持單元7之三點之方式設置，直動機構67使第二惰輪輥65B之位置移動，該第二惰輪輥65B捲繞有懸吊三點中之兩點之皮帶B。因此，可將保持單元7以穩定之狀態懸吊。又，藉由使捲繞有懸吊兩點之皮帶B之第二惰輪輥65B移動，可使保持單元7成為所期望之斜率狀態。
於上述實施形態之高架搬送車1中，保持單元7由四根皮帶B懸吊，四根中之兩根皮帶B經由連接構件41而連接於設置成可相對於保持單元7擺動之一個擺動構件43，四根中之其餘兩根皮帶B分別經由連接構件51而連接於設置成可相對於保持單元7擺動之擺動構件53。藉此，即便於藉由四根皮帶B懸吊著保持單元7之情形時，保持單元7亦可成為利用兩根皮帶B及擺動構件43這三點懸吊之狀態。藉此，可減小皮帶B斷開時保持單元7下落之可能性，並且可將保持單元7以穩定之狀態懸吊。
上述實施形態之高架搬送車1基於橫向單元4於水平方向上進入時橫向單元4之撓曲量，以保持單元7之斜率例如成為水平狀態之方式，或以成為與移載部之斜率大致相同之狀態之方式，控制直動機構67。其結果，可穩定地將FOUP 200從保持單元7移交至裝載埠300。習知之高架搬送車無此種調整保持單元之斜率狀態之手段，因此會配合保持單元之斜率來調整裝載埠300之斜率。於本實施形態中，無需此種裝載埠300側之調整。
上述實施形態之高架搬送車1由於以藉由斜率檢測部77獲取之斜率成為既定值之方式控制直動機構67，故可使保持單元7始終為所期望之斜率之狀態(包含水平狀態)，或可成為使保持單元7之斜率配合裝載埠300之斜率之狀態。
上述實施形態之高架搬送車1具有記憶部8B，該記憶部8B預先記憶在與高架搬送車1之間進行FOUP 200之移交之每個裝載埠300的斜率。因此，於將FOUP 200從保持單元7移交至裝載埠300時，可使保持單元7之斜率與裝載埠300之斜率一致。其結果，可穩定地將FOUP 200從保持單元7移交至裝載埠300。
以上，對一實施形態進行了說明，但本發明之一方面並不限於上述實施形態。可於不脫離發明之一方面之主旨之範圍內進行各種變更。
(變形例1) 於上述實施形態之高架搬送車1中，可代替具有如下功能的直動機構67而設置具有相同功能之凸輪機構(致動器)167，上述功能係指，為了使皮帶B之一端沿升降方向移動，而使至少一個第二惰輪輥65B之位置移動。
如圖11所示，凸輪機構167係主要具有驅動馬達167A、凸輪構件167B、旋轉軸167C及支承構件168，且為將驅動馬達167A之旋轉運動之運動方向進行轉換之公知機構。凸輪機構167經由支架66而固定於基座61。於驅動馬達167A之旋轉軸167C，安裝有橢圓狀之凸輪構件167B。於擺動構件68之另一端部68B，固定有矩形狀之支承構件168。支承構件168以與凸輪構件167B之外周面相接之方式設置。
於凸輪機構167中，凸輪構件167B伴隨旋轉軸167C之旋轉而旋轉。凸輪構件167B形成為橢圓狀，因此，伴隨凸輪構件167B之旋轉，凸輪構件167B與支承構件168之接觸部分沿升降方向移動，使擺動構件68之另一端部68B擺動。即，藉由使凸輪構件167B旋轉而使擺動構件68擺動，伴隨該擺動構件68之擺動，第二惰輪輥65B相對於基座61相對地移動。如此，凸輪機構167使第二惰輪輥65B之位置移動，以使皮帶B之向保持單元7(第一緩衝機構50)連接之連接部分(皮帶B之一端)沿升降方向移動。
例如，如圖12(A)所示，只要使兩個凸輪機構167工作，使第二惰輪輥65B向上方(以接近基座61之方式)移動，便可使保持單元7之左側向上方傾斜。又，例如如圖12(B)所示，只要使兩個凸輪機構167工作，使第二惰輪輥65B向下方(以遠離基座61之方式)移動，便可使保持單元7之左側向下方傾斜。
雖未圖示，但只要使兩個凸輪機構167中之一(前側)凸輪機構167工作，使第二惰輪輥65B向上方(以接近基座61之方式)移動，便可使保持單元7之前側向上方傾斜。於欲使保持單元7之前側傾斜之情形時，亦可使兩個凸輪機構167中之另一(後側)凸輪機構167工作，使第二惰輪輥65B向下方(以遠離基座61之方式)移動。同樣地，只要使兩個凸輪機構167中之另一(後側)凸輪機構167工作，使第二惰輪輥65B向上方(以接近基座61之方式)移動，便可使保持單元7之後側向上方傾斜。於欲使保持單元7之後側向上方傾斜之情形時，亦可使兩個凸輪機構167中之一(前側)凸輪機構167工作，使第二惰輪輥65B向下方(以遠離基座61之方式)移動。
即便為此種變形例1之構成，亦可藉由使凸輪機構167工作而使皮帶B之一端移動。藉此，可容易地調整保持單元7之斜率。
(變形例2) 於上述實施形態之高架搬送車1中，列舉藉由使至少一個第二惰輪輥65B之位置移動而使皮帶B之一端沿升降方向移動之例進行了說明，但亦可設為如下構成：取代第二惰輪輥65B，而使第一惰輪輥65A之位置移動，藉此而使皮帶B之一端沿升降方向移動。
使用圖13進行具體說明。第二惰輪輥265B經由支撐部62而安裝於基座61。第二惰輪輥265B不相對於基座61相對地移動。第一惰輪輥265A設置於擺動構件268之一端部268A。擺動構件268設置成能以中心部268B為旋動軸而旋動。擺動構件268之另一端268C係可旋動地固定於構成直動機構(致動器)267之球螺母267C。直動機構267具有與上述實施形態之直動機構67相同之構成，具有驅動馬達267A、螺桿軸267B及球螺母267C。驅動馬達267A固定於基座61。
於本實施形態中，藉由使球螺母267C沿著螺桿軸267B移動而使擺動構件268擺動，伴隨該擺動構件268之擺動，第一惰輪輥265A相對於基座61相對地移動。如此，直動機構267使第一惰輪輥265A之位置移動，以使皮帶B之向保持單元7(第一緩衝機構50)連接之連接部分沿升降方向移動。
例如如圖14(A)所示，只要使兩個直動機構267工作，使第一惰輪輥265A向上方(以接近基座61之方式)移動，便可使保持單元7之左側向下方傾斜。又，例如如圖14(B)所示，只要使兩個直動機構267工作，使第一惰輪輥265A向下方(以遠離基座61之方式)移動，便可使保持單元7之左側向上方傾斜。
雖未圖示，但只要使兩個直動機構267中之一(前側)直動機構267工作，使第一惰輪輥265A向上方(以接近基座61之方式)移動，便可使保持單元7之前側向下方傾斜。於欲使保持單元7之前側向下方傾斜之情形時，亦可使兩個直動機構267中之另一(後側)直動機構267工作，使第一惰輪輥265A向下方(以遠離基座61之方式)移動。又，只要使兩個直動機構267中之另一(後側)直動機構267工作，使第一惰輪輥265A向下方(以遠離基座61之方式)移動，便可使保持單元7之後側向上方傾斜。於欲使保持單元7之後側向上方傾斜之情形時，亦可使兩個直動機構267中之一(前側)直動機構267工作，使第一惰輪輥265A向上方(以接近基座61之方式)移動。
即便為此種變形例2之構成，亦可藉由使直動機構267工作而使皮帶B之一端移動。藉此，可容易地調整保持單元7之斜率。又，在不使第二惰輪輥65B移動之變形例2之構成中，於從升降方向上方觀察之俯視時，可使第二惰輪輥65B相對於皮帶B之向保持單元7連接之連接部分的位置變動變小，因此可穩定地懸吊保持單元7。
上述實施形態及變形例1中所具備之第一惰輪輥65A之配置亦可省略。即，可將從捲取轉筒63送出之皮帶B直接捲繞於第二惰輪輥65B。再者，第一惰輪輥65A係為了使從捲取轉筒63經由第一惰輪輥65A及第二惰輪輥65B至保持單元7之皮帶B的長度與從捲取轉筒63至第三惰輪輥64之皮帶B的長度一致而設置。只要設置第一惰輪輥65A，便可抑制捲取時或送出時因捲繞加粗所致之變動。即，可減小利用直動機構67或凸輪機構167之調整量。
於上述實施形態及變形例2中，列舉採用滾珠螺桿作為直動機構67、267之例進行了說明，但亦可採用汽缸、線性導軌等。
上述實施形態、變形例1及變形例2之保持單元7係列舉經由第一緩衝機構50及第二緩衝機構40而與皮帶B之一端連接之例進行了說明，但亦可直接連接於保持單元7。又，亦可將四根皮帶B直接連接於保持單元7。又，亦可藉由三根皮帶B而連接於保持單元7。
於上述實施形態、變形例1及變形例2中，列舉於保持單元7設置斜率檢測部77之例進行了說明。於該構成中，亦可利用遙控器8A進行操作，以使於皮帶B之每一送出量下，斜率檢測部77所檢測出之斜率均為水平，並獲取藉由該遙控操作所獲得之值作為修正值(直動機構67、267或凸輪機構167之控制值)。亦可將該修正值記憶於記憶部8B。又，亦可為，藉由利用夾持器72固持具有檢測斜率之功能之治具，而獲取與從斜率檢測部77獲得之修正值相同之修正值。
1:高架搬送車 2:框架單元 3:移行單元(移行部) 4:橫向單元(水平移動部) 5:θ單元 6:升降驅動單元 7:保持單元(升降部) 8:控制器(第一控制部、第二控制部、第三控制部) 8A:遙控器 8B:記憶部 21:中央框架 22:前框架 23:後框架 40:第二緩衝機構 41,51:連接構件 42:第三銷構件 43:擺動構件(擺動部) 44:第四銷構件 45:第三本體構件 46:第四本體構件 46A:第三支撐構件 46B:第四支撐構件 47:第二軸部 48:第二彈簧構件 50:第一緩衝機構 52:第一銷構件 53,68,268:擺動構件 54:第一本體構件 54A:第一支撐構件 54B:第二支撐構件 55:螺栓 56:第二本體構件 57:第一軸部 58:第一彈簧構件 61:基座(本體框架) 62:支撐部 63:捲取轉筒 63A:驅動馬達(捲取驅動部) 64:第三惰輪輥 65A:第一惰輪輥 65B:第二惰輪輥(導引輥) 66:支架 67:直動機構(致動器) 67A,167A,267A:驅動馬達 67B,267B:螺桿軸 67C,267C:球螺母 68A,268A:擺動構件之一端部 68B:擺動構件之另一端部 71:基座 72:夾持器(固持部) 73:框體 77:斜率檢測部 80:連桿機構 100:軌道 167:凸輪機構(致動器) 167B:凸輪構件 167C:旋轉軸 168:支承構件 200:FOUP 201:凸緣部 265A:第一惰輪輥(導引輥) 265B:第二惰輪輥 267:直動機構(致動器) 268B:中心部 268C:擺動構件之另一端 300:裝載埠(移載部) B:皮帶(吊持構件)
圖1係一實施形態之高架搬送車之側視圖。 圖2係保持單元之前視圖。 圖3係第一緩衝機構之側視圖。 圖4係第二緩衝機構之側視圖。 圖5係連桿機構之立體圖。 圖6係升降驅動單元之前視圖。 圖7係升降驅動單元之側視圖。 圖8(A)及圖8(B)係表示升降驅動單元之動作之前視圖。 圖9(A)及圖9(B)係表示升降驅動單元之動作之側視圖。 圖10係表示圖1之高架搬送車之功能構成之方塊圖。 圖11係變形例1之升降驅動單元之前視圖。 圖12(A)及圖12(B)係表示變形例1之升降驅動單元之動作之前視圖。 圖13係變形例2之升降驅動單元之前視圖。 圖14(A)及圖14(B)係表示變形例2之升降驅動單元之動作之前視圖。
6:升降驅動單元
7:保持單元(升降部)
61:基座(本體框架)
62:支撐部
63:捲取轉筒
63A:驅動馬達(捲取驅動部)
64:第三惰輪輥
65A:第一惰輪輥
65B:第二惰輪輥(導引輥)
67:直動機構(致動器)
67A:驅動馬達
67B:螺桿軸
67C:球螺母
68:擺動構件
68A:擺動構件之一端部
68B:擺動構件之另一端部
72:夾持器(固持部)
B:皮帶(吊持構件)

Claims (6)

  1. 一種高架搬送車，其係藉由複數根吊持構件使升降部相對於沿軌道移行之移行部而升降者，上述升降部具有固持物品之固持部；其具備有： 捲取轉筒，其由一個捲取驅動部驅動，進行上述複數根吊持構件之捲取及送出，藉此使上述升降部升降； 至少一個導引輥，其供從上述捲取轉筒送出之上述吊持構件捲繞； 本體框架，其設置於上述移行部，支撐上述捲取轉筒及上述導引輥；及 致動器，其使至少一個上述導引輥之位置移動，以使上述吊持構件之向上述升降部連接之連接部分沿升降方向移動。
  2. 如請求項1之高架搬送車，其中，上述複數根吊持構件係以懸吊上述升降部之三點之方式設置， 上述致動器使捲繞有懸吊上述三點中之兩點之上述吊持構件的上述導引輥之位置移動。
  3. 如請求項2之高架搬送車，其中，上述升降部經由連接構件而由四根上述吊持構件懸吊， 上述四根中之兩根上述吊持構件連接於設成可相對於上述升降部擺動之一個擺動部， 上述四根中之其餘兩根上述吊持構件分別連接於上述升降部。
  4. 如請求項1至3中任一項之高架搬送車，其中，進而具備有： 水平移動部，其使上述升降部沿水平方向移動；及 第一控制部，其基於利用上述水平移動部使上述升降部移動時產生之上述水平移動部之撓曲量，控制上述致動器使上述導引輥移動之移動量。
  5. 如請求項1至4中任一項之高架搬送車，其中，進而具備有： 斜率檢測部，其獲取上述升降部相對於水平方向之斜率；及 第二控制部，其以藉由上述斜率檢測部獲取之斜率成為既定值之方式控制上述致動器。
  6. 如請求項1至5中任一項之高架搬送車，其中，進而具備有： 記憶部，其記憶與上述高架搬送車之間進行上述物品之移交的每個移載部之斜率；及 第三控制部，其以上述升降部中之斜率與將要載置上述物品之上述移載部中之上述斜率大致相同的方式控制上述致動器。
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