JP2013035657A - 移動装置 - Google Patents

Abstract

【課題】坂坂道軌道部において停止した天井搬送車の移動を容易に行うことができ、作業性の向上を図れる移動装置を提供する。
【解決手段】移動装置１は、軌道Ｒに沿って走行する天井搬送車１００を軌道Ｒの坂道軌道部ＳＲで支持して移動させる装置であり、坂道軌道部ＳＲに沿って設けられたガイドユニット１０と、ガイドユニット１０に摺動可能に設けられたスライド部１２と、スライド部１２をガイドユニット１０に沿って移動させる移動機構１６と、スライド部１２に連結され、天井搬送車１００を坂道軌道部ＳＲにおいて支持する支持部１４と、を備え、支持部１４は、天井搬送車１００を支持しないときには天井搬送車１００と干渉しない位置にある。
【選択図】図１

Description

本発明は、天井に設置された軌道の坂道軌道部において天井搬送車を支持して移動させる移動装置に関する。

天井に設置された軌道を走行する天井搬送車が給電系や駆動系のトラブル等により故障して自走困難な状態の場合には、他の天井搬送車の障害とならないように、手動で天井搬送車を移動して軌道から天井搬送車を離脱させる必要がある。そこで、例えば特許文献１に記載のものでは、棒状の押し棒本体の上端部に押圧部材が取り付けられており、押し棒本体によって天井搬送車を押すことにより天井搬送車を移動させる。

特許４４６５８３３号公報

ところで、天井搬送車が走行する軌道には傾斜を有する坂道軌道部が存在している場合があり、坂道軌道部において天井搬送車が停止することもある。このとき、特にＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）を搬送している場合には、重量があるため、天井搬送車を坂道軌道部において支持して移動させることは作業者の負担となる。したがって、作業性の改善が求められている。

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、坂道軌道部において停止した天井搬送車の移動を容易に行うことができ、作業性の向上を図れる移動装置を提供することを目的とする。

本発明に係る移動装置は、軌道に沿って走行する天井搬送車を軌道の坂道軌道部で支持して移動させる移動装置であって、坂道軌道部に沿って設けられたガイド部と、ガイド部に沿って摺動可能に設けられた摺動部と、摺動部をガイド部に沿って移動させる移動手段と、天井搬送車の支持位置に対して進退自在に摺動部に連結され、天井搬送車を坂道軌道部において支持するときには支持位置に進入し、天井搬送車を支持しないときには支持位置から退避する支持部と、を備えることを特徴とする。

この移動装置では、坂道軌道部に沿ってガイド部が設けられており、このガイド部に摺動可能に設けられた摺動部に、天井搬送車を支持する支持部が連結されている。これにより、天井搬送車が坂道軌道部において停止した場合には、支持部によって天井搬送車を坂下側から支持し、ガイド部に沿って摺動部を移動手段により移動させることにより、天井搬送車を移動させることができる。したがって、坂道軌道部における天井搬送車の移動を容易に行うことができ、作業性の向上が図れる。また、天井搬送車を支持しないときには支持位置から支持部が退避するため、天井搬送車との干渉を防止でき、通常走行時の天井搬送車の走行の妨げになることを回避できる。

床又は床側に設置され、複数のブロック体から構成される載置部を備え、ガイド部は、載置部に載置されている。この構成によれば、例えば坂道軌道部の下方に半導体製造装置等が設置されている場合であっても、ブロック体の配置や積み方を変えることにより、ガイド部を載置することが可能となる。また、ガイド部の高さ位置の調整や移設を容易且つ迅速に行うことができる。

ガイド部は、坂道軌道部の下方に設置されており、支持部は、摺動部に対して折り畳み可能に設けられており、天井搬送車を坂道軌道部において支持するときには立設されて支持位置に進入し、天井搬送車を支持しないときには折り畳まれて支持位置から退避する構成とすることもできる。このような構成によれば、簡易な構成としつつ、支持部が天井搬送車の走行の妨げになることをより確実に回避できる。

ガイド部は、坂道軌道部の両側にそれぞれ設置されており、摺動部は、ガイド部から下方に延在し、互いに対向してガイド部に設置されており、支持部は、摺動部の間に架設されていると共に、当該摺動部において上下方向に移動可能に設けられている構成とすることもできる。このように、坂道軌道部と一体的に構成することにより、床側のスペースを必要としないので、少スペース化を図ることができる。また、支持部が摺動部において上下方向に移動するため、支持部が天井搬送車の走行の妨げになることをより確実に回避できる。

本発明によれば、坂道軌道部において停止した天井搬送車の移動を容易に行うことができ、作業性の向上を図れる。

（ａ）は第１実施形態に係る移動装置を示す図であり、（ｂ）は（ａ）に示す移動装置を上から見た図である。 図１（ａ）に示す移動装置を反対側から見た斜視図である。 移動機構の構成を示す図である。 図１に示す移動装置の変形例を示す図である。 第２実施形態に係る移動装置を示す斜視図である。 図５に示す移動装置を横から見た図である。 第３実施形態に係る移動装置を示す斜視図である。 図７に示す移動装置を横から見た図である。 参考形態に係る移動装置を示す斜視図である。 図９に示す移動装置を横から見た図である。

以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

［第１実施形態］
図１（ａ）は、第１実施形態に係る移動装置を示す図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）に示す移動装置を上から見た図である。図２は、図１（ａ）に示す移動装置を反対側から見た斜視図である。

図１及び図２に示す移動装置１は、クリーンルームに設置されている天井搬送車（ＯＨＴ：OverheadHoist Transport）１００が軌道Ｒの坂道軌道部ＳＲにおいて給電系、駆動系のトラブル等により走行不能で停止した場合に、天井搬送車１００を坂道軌道部ＳＲから通常の軌道Ｒに移動させる装置である。なお、ここで言う通常の軌道Ｒとは、天井Ｃ又は床Ｆに対して略平行に延在している軌道である。

最初に、天井搬送車１００について説明する。天井搬送車１００は、被搬送物（図示しない）を搬送経路である軌道Ｒに沿って搬送する。軌道Ｒは、半導体デバイスを製造するためのクリーンルームの天井Ｃ（もしくは、クリーンルームとクリーンルームとの間）に設置されたものである。また、被搬送物は、複数枚の半導体ウェハを収容したカセット（いわゆるＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod））である。なお、軌道Ｒは、走行レール、この走行レールを支持する支持部材（吊りボルト）等を含んで構成されるものである。

天井搬送車１００は、被搬送物を収容して軌道Ｒに沿って走行する本体部１０２を備えている。本体部１０２は、走行部１０４を介して軌道Ｒに吊り下げられている。走行部１０４は、軌道Ｒの内面に接触する駆動輪及びガイド輪を有しており、これらにより、軌道Ｒに沿って本体部１０２を走行させる。また、走行部１０４は、軌道Ｒ内に位置する電磁コイルユニットを有しており、これにより、軌道Ｒ内に敷設された高周波電流線から無接触で電力の供給を受ける。

続いて、移動装置１について説明する。図１及び図２に示すように、移動装置１は、軌道Ｒが傾斜する部分（以下、坂道軌道部ＳＲ）に設置されている。なお、移動装置１は、坂道軌道部ＳＲに常設されていることが好ましいが、天井搬送車１００が停止したときに設置されてもよい。

移動装置１は、本体部３と、本体部３を載置する載置部５と、本体部３を固定する固定部７とから構成されている。載置部５は、略直方体形状をなしたブロック（ブロック体）Ｂを、クリーンルームの床Ｆから高さ方向に複数（ここでは３段）積み重ねて構成されており、半導体製造装置Ｍの突出部分等を回避して設置される。各々のブロックＢは、縦横に隣接するブロックＢと相互に連結可能とされており、一体的に連結されることで、載置部５が本体部３を充分に支持するための所定の強度及び重量を確保できる。なお、半導体製造装置Ｍの近傍に位置するブロックＢは、半導体製造装置Ｍとの連結機能を有していてもよい。

固定部７は、天井Ｃと本体部３との間に複数（ここでは２つ）設置されている。固定部７は、例えば伸縮可能に設けられており、一端が天井Ｃに当接すると共に他端が本体部３に当接して、本体部３を下方に押圧することにより、本体部３を載置部５との間で固定している。なお、固定部７の設置は必須ではなく、本体部３の固定が不十分なときに用いられる。

本体部３は、直方体形状をなしており、載置部５上に載置されている。本体部３は、ガイドユニット（ガイド部）１０と、スライド部（摺動部）１２と、支持部１４と、移動機構（移動手段）１６（図３参照）とを備えている。

ガイドユニット１０は、直方体形状をなしており、本体部３に嵌め込まれている。ガイドユニット１０は、坂道軌道部ＳＲの傾斜に対応して傾斜しており、坂道軌道部ＳＲに沿って延在している。ガイドユニット１０には、互いに平行な２本のガイド溝１０ａ，１０ｂが形成されている。ガイド溝１０ａ，１０ｂは、所定の間隔をあけて並設されており、坂道軌道部ＳＲに沿って延在している。

スライド部１２は、ガイドユニット１０のガイド溝１０ａ，１０ｂに摺動可能に設けられている。スライド部１２は、ガイド溝１０ａ，１０ｂに係合しており、例えば図示しないベアリングやローラー等によりガイド溝１０ａ，１０ｂを摺動する。スライド部１２は、ガイド溝１０ａ，１０ｂに合わせて複数（ここでは２つ）設けられている。

支持部１４は、天井搬送車１００を坂下側から支持する部分である。支持部１４は、天井搬送車１００の支持位置に対して進退自在にスライド部１２に連結されている。支持位置は、天井搬送車１００の走行軌道上で天井搬送車１００と当接する位置である。支持部１４は、スライド部１２の移動に連動して移動する。

支持部１４は、略矩形状の板部材であり、スライド部１２に対して折り畳み可能に設けられている。具体的には、支持部１４は、例えばスライド部１２に蝶番等の接続部材により連結されており、図１（ｂ）に示すように、本体部３から張り出す第１の状態と、本体部３側に折り畳まれた第２の状態とに変形する。第１の状態は、天井搬送車１００の支持位置に支持部１４が進入した状態であり、第２の状態は、天井搬送車１００の支持位置から支持部１４が退避した状態である。支持部１４を使用するときには、天井搬送車１００の前方又は後方に配置し、本体部３から張り出して設置する。一方、支持部１４を使用しないときには、本体部３側に折り畳む。これにより、支持部１４は、通常走行時の天井搬送車１００との干渉が回避される。

移動機構１６は、スライド部１２を移動させるための手段である。図３は、移動機構の構成を示す図である。図３に示すように、移動機構１６は、スライド部１２に連結されるワイヤー１７と、ガイドユニット１０の一端側に回動可能に軸支され、ワイヤー１７が掛けられる滑車１８と、ワイヤー１７の巻き取り、繰り出しを行うハンドル１９とから構成されている。ハンドル１９は、移動装置１において作業者の手が届く位置に設けられており、例えば載置部５に設置されている。なお、ワイヤー１７に代えて、ベルトを用いてもよい。

移動機構１６は、ハンドル１９を回転させてワイヤー１７の巻き取り、又は繰り出しを行うことにより、ワイヤー１７に連結されたスライド部１２を移動させる。なお、移動機構１６は、上述のように手動ではなく、ガイドユニット１０に内蔵したモーター（図示しない）などによりワイヤー１７の巻き取り、繰り出しを自動で行う構成であってもよい。この場合、モーターを操作するスイッチ等が設けられる。また、移動機構１６は、手動及び自動の両方の設備を備えていてもよい。

続いて、移動装置１の動作について説明する。なお、以下の説明においては、手動により天井搬送車１００を移動させる場合について説明する。また、天井搬送車１００は、図１において右側から左側に走行、すなわち坂道軌道部ＳＲを上っている状態であったとする。

まず、天井搬送車１００が停止した場合、天井搬送車１００の進行方向の後方側までスライド部１２を移動させる。このとき、支持部１４は、第２の状態、すなわち折り畳まれた状態となっている。そして、支持部１４が第１の状態となるようにセットし、天井搬送車１００の後方側に支持部１４を配置する。次に、ハンドル１９を回してワイヤー１７を巻き取ることにより、スライド部１２をガイド溝１０ａ，１０ｂに沿って移動させ、天井搬送車１００の後部に支持部１４を当接させる。

天井搬送車１００の後部に支持部１４を当接させた後、天井搬送車１００のブレーキを解除する。これにより、天井搬送車１００が坂道軌道部ＳＲに沿って移動自在となる。そして、ハンドル１９を操作して更にワイヤー１７を巻き取り、天井搬送車１００を坂道軌道部ＳＲの終端（上端）、つまり上側の水平軌道部まで移動させる。その後、天井搬送車１００を軌道Ｒの本線から離脱させる。そして、例えば、リフタ機能を有する軌道部分まで、押し棒等の手動ツールを用いて作業者が天井搬送車１００を押圧して移動させ、リフタによって床上まで降ろして修理やメンテナンスを行う。

以上説明したように、本実施形態では、坂道軌道部ＳＲに沿ってガイドユニット１０が設けられており、このガイドユニット１０に摺動可能に設けられたスライド部１２に、天井搬送車１００を支持する支持部１４が連結されている。これにより、天井搬送車１００が坂道軌道部ＳＲにおいて停止した場合には、支持部１４によって天井搬送車１００を坂下側から支持し、ガイドユニット１０に沿ってスライド部１２を移動機構１６により移動させることにより、天井搬送車１００を移動させることができる。したがって、坂道軌道部ＳＲにおける天井搬送車１００の移動を容易に行うことができ、作業性の向上が図れる。

また、支持部１４は、使用されないときには折り畳まれ、天井搬送車１００と干渉しない位置に配置されている。そのため、通常走行時において支持部１４が天井搬送車１００の走行の妨げとなることを回避できる。

また、ガイドユニット１０を備える本体部３は、載置部５に載置されている。載置部５は、複数のブロックＢから構成されているため、坂道軌道部ＳＲの下方に半導体製造装置Ｍ等が設置されている場合であっても、ブロックＢの配置や積み方により様々な形状に成形することができる。したがって、半導体製造装置Ｍ等が設置されている場合でも、ガイドユニット１０を設置することが可能となる。また、ブロックＢにより載置部５を構成するため、ガイドユニット１０の高さ位置の調整や移設を容易且つ迅速に行うことができる。

図４は、移動装置の変形例を示す図である。図４に示すものでは、上り及び下りの２本の坂道軌道部ＳＲが並設されている。移動装置１Ａは、２本の坂道軌道部ＳＲの間に設置されている。移動装置１Ａのガイドユニット１０Ａでは、ガイド溝１０ａ，１０ｂが厚み方向に貫通している。また、スライド部１２Ａは、互いに平行をなして２本設けられており、支持部１４から延伸している。スライド部１２Ａは、ガイドユニット１０Ａに取り外し可能に設けられている。スライド部１２Ａを取り付ける場合には、スライド部１２Ａをガイド溝１０ａ，１０ｂそれぞれ挿入し、接続部材１３によりスライド部１２Ａをガイドユニット１０Ａに接続する。

このような構成により、移動装置１Ａでは、上り又は下りの坂道軌道部ＳＲのいずれかにおいて天井搬送車１００が停止した場合であっても、支持部１４の取り付け方向を変えることにより、両方の坂道軌道部ＳＲに対応することができる。

［第２実施形態］
続いて、第２実施形態について説明する。図５は、第２実施形態に係る移動装置を示す斜視図である。図６は、図５に示す移動装置を横から見た図である。

図５及び図６に示すように、移動装置２０は、軌道Ｒの下方に設置されている。移動装置２０は、ガイドユニット２２と、スライド部２４と、支持部２６とを備えている。また、移動装置２０は、図示しない移動機構を備えている。

ガイドユニット２２は、坂道軌道部ＳＲの下方に設置されている。ガイドユニット２２は、板状の部材であり、吊りボルト２１により天井Ｃから吊り下げられている。ガイドユニット２２には、坂道軌道部ＳＲに沿ってガイド溝２２ａが設けられている。ガイド溝２２ａは、ガイドユニット２２の中央部に形成されている。

スライド部２４は、ガイド溝２２ａに沿って摺動可能に設けられている。スライド部２４は、略矩形状を呈する板部材であり、ガイド溝２２ａの幅と略同様の幅を有している。スライド部２４の底部には、図示しないローラー等が設けられている。

支持部２６は、略矩形状を呈する板部材であり、スライド部２４の前後方向の一端側に連結されている。支持部２６は、スライド部２４に折り畳み可能に設けられている。支持部２６は、スライド部２４に例えば蝶番等の接続部材により連結されており、図６に示すように、スライド部２４から立ち上がり（立設され）、天井搬送車１００と当接する第１の状態と、スライド部２４側に折り畳まれた第２の状態とに変形する。第１の状態は、天井搬送車１００の支持位置に支持部２６が進入した状態であり、第２の状態は、天井搬送車１００の支持位置から支持部２６が退避した状態である。支持部２６は、第２状態となることにより、天井搬送車１００との干渉が回避される。

移動機構は、第１実施形態の移動機構１６と同様の構成を有している。すなわち、移動機構は、ワイヤーと、滑車と、ハンドルとから構成されており、ワイヤーがスライド部２４に連結されている。また、ガイドユニット２２の上りの終端には、滑車が回動可能に軸支されている。移動機構は、ハンドルを回転させてワイヤーの巻き取り、繰り出しを行うことにより、ワイヤーに連結されたスライド部２４を移動させる。

続いて、移動装置２０の動作について説明する。なお、以下の説明においては、手動により天井搬送車１００を移動させる場合について説明する。また、天井搬送車１００は、図６において右側から左側に走行、すなわち坂道軌道部ＳＲを上っている状態であったとする。

まず、天井搬送車１００が停止した場合、天井搬送車１００の進行方向の後方側までスライド部２４を移動させる。このとき、支持部２６は、第２の状態、すなわち折り畳まれた状態となっている。そして、支持部２６が第１の状態となるようにセットし、天井搬送車１００の後方側に支持部２６を配置する。次に、ハンドルを回してワイヤーを巻くことにより、スライド部２４をガイド溝２２ａに沿って移動させ、天井搬送車１００の後部に支持部２６を当接させる。

天井搬送車１００の後部に支持部２６を当接させた後、天井搬送車１００のブレーキを解除する。これにより、天井搬送車１００が坂道軌道部ＳＲに沿って移動自在となる。そして、ハンドルを操作して更にワイヤーを巻き取り、天井搬送車１００を坂道軌道部ＳＲの終端まで移動させる。その後、天井搬送車１００を軌道Ｒの本線から離脱させる。

以上説明したように、本実施形態では、坂道軌道部ＳＲの下方にガイドユニット２２が設置されており、このガイドユニット２２に摺動可能に設けられたスライド部２４に、天井搬送車１００を支持する支持部２６が連結されている。これにより、天井搬送車１００が坂道軌道部ＳＲにおいて停止した場合には、支持部２６によって天井搬送車１００を坂下側から支持し、ガイドユニット２２に沿ってスライド部２４を移動機構により移動させることにより、天井搬送車１００を移動させることができる。したがって、坂道軌道部ＳＲにおける天井搬送車１００の移動を容易に行うことができ、作業性の向上が図れる。

また、移動装置２０では、ガイドユニット２２が天井Ｃから吊り下げられているため、床Ｆ側に設置スペースを必要としない。したがって、少スペース化を図ることができる。

また、支持部２６がスライド部２４に対して折り畳み可能に設けられているため、使用しないときには天井搬送車１００と干渉しない位置に配置される。そのため、通常走行時において天井搬送車１００の走行の妨げとなることを回避できる。

［第３実施形態］
続いて、第３実施形態について説明する。図７は、第３実施形態に係る移動装置を示す斜視図である。図８は、図７に示す移動装置を横から見た図である。

図７及び図８に示すように、移動装置３０は、ガイドユニット３２ａ，３２ｂと、スライド部３４ａ，３４ｂと、支持部３６とを備えている。また、移動装置３０は、図示しない移動機構を備えている。

ガイドユニット３２ａ，３２ｂは、柱状の部材であり、坂道軌道部ＳＲの両側（両側面）にそれぞれ設置されている。ガイドユニット３２ａ，３２ｂには、坂道軌道部ＳＲに沿ってガイド溝３３が形成されている。

スライド部３４ａ，３４ｂは、ガイド溝３３に沿って摺動可能に設けられている。スライド部３４ａ，３４ｂは、ガイドユニット３２ａ，３２ｂからそれぞれ下方に延在し、互いに対向してガイドユニット３２ａ，３２ｂに設置されている。スライド部３４ａ，３４ｂは、柱状の部材であり、その上端部に設けられた係合部３７がガイドユニット３２ａ，３２ｂのガイド溝３３に係合している。スライド部３４ａ，３４ｂは、係合部３７を中心に揺動可能に設けられている。スライド部３４ａ，３４ｂの対向する内面には、延在方向（上下方向）に沿ってガイド溝３５が設けられている。

支持部３６は、天井搬送車１００の支持位置に対して進退自在にスライド部３４ａ，３４ｂに架設されている。支持部３６は、スライド部材３８がスライド部３４ａ，３４ｂのガイド溝３５に沿って摺動可能に設けられており、ガイド溝３５に沿って上下方向に移動する。支持部３６は、図７に示すように、スライド部３４ａ，３４ｂの上部側に位置し、天井搬送車１００と当接する第１の状態と、スライド部３４ａ，３４ｂの下部側に位置し、天井搬送車１００と当接しない第２の状態とに移動する。第１の状態は、天井搬送車１００の支持位置に支持部３６が進入した状態であり、第２の状態は、天井搬送車１００の支持位置から支持部３６が退避した状態である。支持部３６は、図８に示すように、天井搬送車１００と当接する部分が傾斜面３６ａとなっている。

移動機構は、第１実施形態の移動機構１６と同様の構成を有している。すなわち、移動機構は、ワイヤーと、滑車と、ハンドルとから構成されており、ワイヤーがスライド部３４ａ，３４ｂのそれぞれに連結されている。また、ガイドユニット３２ａ，３２ｂの上りの終端には、滑車がそれぞれ回動可能に軸支されている。移動機構は、ハンドルを回転させてワイヤーの巻き取り、繰り出しを行うことにより、ワイヤーに連結されたスライド部３４ａ，３４ｂを移動させる。

続いて、移動装置３０の動作について説明する。なお、以下の説明においては、手動により天井搬送車１００を移動させる場合について説明する。また、天井搬送車１００は、図８において右側から左側に走行、すなわち坂道軌道部ＳＲを上っている状態であったとする。

まず、天井搬送車１００が停止した場合、天井搬送車１００の進行方向の後方側までスライド部３４ａ，３４ｂを移動させる。このとき、支持部３６は、第２の状態、すなわちスライド部３４ａ，３４ｂの下部側に位置している。そして、支持部３６を第１の状態となるようにセットし、天井搬送車１００の後方側に支持部３６を配置する。次に、ハンドルを回してワイヤーを巻くことにより、スライド部３４ａ，３４ｂをガイド溝３３に沿って移動させ、天井搬送車１００の後部に支持部３６を当接させる。

天井搬送車１００の後部に支持部３６を当接させた後、天井搬送車１００のブレーキを解除する。これにより、天井搬送車１００が坂道軌道部ＳＲに沿って移動自在となる。そして、ハンドルを操作して更にワイヤーを巻き取り、天井搬送車１００を坂道軌道部ＳＲの終端まで移動させる。その後、天井搬送車１００を軌道Ｒの本線から離脱させる。

以上説明したように、本実施形態では、坂道軌道部ＳＲにガイドユニット３２ａ，３２ｂが設置されており、このガイドユニット３２ａ，３２ｂに摺動可能に設けられたスライド部３４ａ，３４ｂに、天井搬送車１００を支持する支持部３６が連結されている。これにより、天井搬送車１００が坂道軌道部ＳＲにおいて停止した場合には、支持部３６によって天井搬送車１００を坂下側から支持し、ガイドユニット３２ａ，３２ｂに沿ってスライド部３４ａ，３４ｂを移動機構により移動させることにより、天井搬送車１００を移動させることができる。したがって、坂道軌道部ＳＲにおける天井搬送車１００の移動を容易に行うことができ、作業性の向上が図れる。

また、支持部３６は、スライド部３４ａ，３４ｂにおいて上下方向に移動可能に設けられている。そのため、使用しないときには天井搬送車１００と干渉しない位置に配置される。これにより、通常走行時において支持部３６が天井搬送車１００の走行の妨げとなることを回避できる。

［参考形態］
続いて、参考形態について説明する。図９は、参考形態に係る移動装置を示す斜視図である。図１０は、図９に示す移動装置を横から見た図である。

図９及び図１０に示すように、移動装置４０は、ガイドユニット４２ａ，４２ｂと、スライド部４４と、ロープ４６と、滑車４８とを備えている。

ガイドユニット４２ａ，４２ｂは、坂道軌道部ＳＲの下方に設置されている。ガイドユニット４２ａ，４２ｂは、柱状の部材であり、吊りボルト４１により天井Ｃから吊り下げられている。ガイドユニット４２ａ，４２ｂは、天井搬送車１００の中央部付近の高さ位置に設置されている。ガイドユニット４２ａ，４２ｂは、坂道軌道部ＳＲを挟む位置において対向して一対配置されており、坂道軌道部ＳＲに沿って延在している。ガイドユニット４２ａ，４２ｂには、坂道軌道部ＳＲに沿ってガイド溝４３が形成されている。

ガイドユニット４２ａ，４２ｂの一端部（坂道軌道部ＳＲの上りの終端）には、滑車４８が設けられている。滑車４８は、ガイドユニット４２ａ，４２ｂにそれぞれ回動可能に軸支されている。

スライド部４４は、ガイドユニット４２ａ，４２ｂに摺動可能に設けられている。スライド部４４は、ガイド溝４３に係合されている。また、スライド部４４は、環状のリング部４４ａを有しており、リング部４４ａには、ロープ４６が挿通されている。

ロープ４６は、スライド部４４のリング部４４ａに挿通されていると共に、滑車４８に掛けられている。ロープ４６は、滑車４８、ガイドユニット４２ａ側のスライド部４４のリング部４４ａ、ガイドユニット４２ｂ側のスライド部４４及び滑車４８に渡されている。つまり、ロープ４６は、２つのスライド部４４のリング部４４ａに掛け渡されており、その両端部は、滑車４８から下方に垂れ下がっている。ロープ４６は、スライド部４４のリング部４４ａ間において撓まずに掛け渡される第１の状態と、スライド部４４のリング部４４ａ間において撓んで掛け渡される第２の状態とに変形する。

続いて、移動装置４０の動作について説明する。なお、天井搬送車１００は、図１０において右側から左側に走行、すなわち坂道軌道部ＳＲを上っている状態であったとする。

まず、天井搬送車１００が停止した場合、天井搬送車１００の進行方向の後方側までスライド部４４を移動させる。このとき、ロープ４６は、第２の状態、すなわち撓んでいる状態となっている。そして、ロープ４６を下方に引っ張り、ロープ４６が第１の状態となるようにセットし、天井搬送車１００の後方側にロープ４６を配置する。次に、ロープ４６を更に下方に引っ張ることにより、スライド部４４をガイド溝４３に沿って移動させ、天井搬送車１００の後部にロープ４６を当接させる。

天井搬送車１００の後部にロープ４６を当接させた後、天井搬送車１００のブレーキを解除する。これにより、天井搬送車１００が坂道軌道部ＳＲに沿って移動自在となる。そして、ロープ４６を更に可能に引っ張ることにより、天井搬送車１００を坂道軌道部ＳＲの終端まで移動させる。その後、天井搬送車１００を軌道Ｒの本線から離脱させる。

以上説明したように、参考形態では、坂道軌道部ＳＲに沿ってガイドユニット４２ａ，４２ｂが設置されており、このガイドユニット４２ａ，４２ｂに摺動可能に設けられたスライド部４４に、天井搬送車１００を支持するロープ４６が掛け渡されている。これにより、天井搬送車１００が坂道軌道部ＳＲにおいて停止した場合には、ロープ４６によって天井搬送車１００を坂下側から支持し、ガイドユニット４２ａ，４２ｂに沿ってスライド部４４を移動させることにより、天井搬送車１００を移動させることができる。したがって、坂道軌道部ＳＲにおける天井搬送車１００の移動を容易に行うことができ、作業性の向上が図れる。

本発明は、上記形態に限定されるものではない。例えば、上記形態では、坂道軌道部ＳＲの坂下側に支持部が位置して天井搬送車１００を支持しているが、支持部の位置はこれに限定されない。要は、天井搬送車１００を坂道軌道部ＳＲにおいて支持する構成であればよい。

１…移動装置、５…載置部、１０，２２，３２ａ，３２ｂ…ガイドユニット（ガイド部）、１２，１２Ａ，２４，３４ａ，３４ｂ…スライド部（摺動部）、１４，２６，３６…支持部、１６…移動機構（移動手段）、１００…天井搬送車、Ｂ…ブロック（ブロック体）、Ｃ…天井、Ｆ…床、Ｍ…半導体製造装置、Ｒ…軌道、ＳＲ…坂道軌道部。

Claims (4)

1. 軌道に沿って走行する天井搬送車を前記軌道の坂道軌道部で支持して移動させる移動装置であって、
   前記坂道軌道部に沿って設けられたガイド部と、
   前記ガイド部に沿って摺動可能に設けられた摺動部と、
   前記摺動部を前記ガイド部に沿って移動させる移動手段と、
   前記天井搬送車の支持位置に対して進退自在に摺動部に連結され、前記天井搬送車を前記坂道軌道部において支持するときには前記支持位置に進入し、前記天井搬送車を支持しないときには前記支持位置から退避する支持部と、
   を備えることを特徴とする移動装置。
2. 床又は床側に設置され、複数のブロック体から構成される載置部を備え、
   前記ガイド部は、前記載置部に載置されていることを特徴とする請求項１記載の移動装置。
3. 前記ガイド部は、前記坂道軌道部の下方に設置されており、
   前記支持部は、前記摺動部に対して折り畳み可能に設けられており、前記天井搬送車を前記坂道軌道部において支持するときには立設されて前記支持位置に進入し、前記天井搬送車を支持しないときには折り畳まれて前記支持位置から退避することを特徴とする請求項１又は２記載の移動装置。
4. 前記ガイド部は、前記坂道軌道部の両側にそれぞれ設置されており、
   前記摺動部は、前記ガイド部から下方に延在し、互いに対向して前記ガイド部に設置されており、
   前記支持部は、前記摺動部の間に架設されていると共に、当該摺動部において上下方向に移動可能に設けられていることを特徴とする請求項１記載の移動装置。
   

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